JP5346049B2 - テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、テンプレート処理装置及びインプリントシステム - Google Patents
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Description
5 インプリントユニット
50、51、60、61 後洗浄ユニット
151 保持部
153 溝部
160 紫外線照射部
180 カップ
192 ノズル
202 洗浄液供給口
203 純水供給口
204 洗浄液供給源
205 純水供給源
210 分離部
220 蒸留部
300 制御部
400 ガス供給部
C 転写パターン
D 純水
F 洗浄液
P レジストパターン
R レジスト膜
S 離型膜
T テンプレート
T1 表面
T2 裏面
W ウェハ
Claims (15)
- テンプレートの表面の転写パターン上に成膜された離型膜を除去して当該テンプレートの表面を洗浄するテンプレート処理方法であって、
前記テンプレートの表面の離型膜に対して前記テンプレートの裏面側から紫外線を照射しながら、当該離型膜に対して前記テンプレートの表面側から洗浄液を供給して、前記テンプレートの表面を洗浄することを特徴とする、テンプレート処理方法。 - 前記テンプレートの表面の離型膜に対して、前記洗浄液と比べて比重が小さく、且つ当該洗浄液と親和性を有しない純水を前記洗浄液と共に供給することを特徴とする、請求項1に記載のテンプレート処理方法。
- 前記洗浄液と純水は同一のノズルから供給され、
前記ノズルには、前記洗浄液を供給する洗浄液供給口と、前記洗浄液供給口の周囲に環状に形成され、純水を供給する純水供給口とが形成されていることを特徴とする、請求項2に記載のテンプレート処理方法。 - 前記テンプレートの表面を洗浄した後、洗浄後の前記洗浄液と純水を回収し、
その後、前記回収された洗浄液と純水を分離し、
その後、前記分離された洗浄液を蒸留して当該洗浄液をテンプレートの表面の洗浄に再利用することを特徴とする、請求項2又は3に記載のテンプレート処理方法。 - 前記洗浄液は、フッ素系溶剤であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のテンプレート処理方法。
- 前記テンプレートの裏面側から紫外線を照射する際、紫外線を照射する紫外線照射部と前記テンプレートとに間の空間に不活性ガスを供給することを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のテンプレート処理方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のテンプレート処理方法をテンプレート処理装置によって実行させるために、当該テンプレート処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項7に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
- テンプレートの表面の転写パターン上に成膜された離型膜を除去して当該テンプレートの表面を洗浄するテンプレート処理装置であって、
前記テンプレートを保持する保持部と、
前記テンプレートの表面の離型膜に対して、当該テンプレートの表面側から洗浄液を供給する液供給部と、
前記テンプレートの表面の離型膜に対して、当該テンプレートの裏面側から紫外線を照射する紫外線照射部と、を有することを特徴とする、テンプレート処理装置。 - 前記液供給部は、前記テンプレートの表面の離型膜に対して、前記洗浄液と比べて比重が小さく、且つ当該洗浄液と親和性を有しない純水を供給することを特徴とする、請求項9に記載のテンプレート処理装置。
- 前記液供給部は、前記洗浄液と純水を供給するノズルを有し、
前記ノズルには、前記洗浄液を供給する洗浄液供給口と、前記洗浄液供給口の周囲に環状に形成され、純水を供給する純水供給口とが形成されていることを特徴とする、請求項10に記載のテンプレート処理装置。 - 洗浄後の前記洗浄液と純水を回収する回収部と、
前記回収された洗浄液と純水を分離する分離部と、
前記分離された洗浄液を蒸留する蒸留部と、を有することを特徴とする、請求項10又は11に記載のテンプレート処理装置。 - 前記洗浄液は、フッ素系溶剤であることを特徴とする、請求項9〜12のいずれかに記載のテンプレート処理装置。
- 前記紫外線照射部は前記保持部の内部に配置され、
前記保持部に保持されたテンプレートと前記紫外線照射部との間の空間に、不活性ガスを供給するガス供給部を有することを特徴とする、請求項9〜13のいずれかに記載のテンプレート処理装置。 - 請求項9〜14のいずれかに記載のテンプレート処理装置を備えたインプリントシステムであって、
表面に離型膜が成膜された前記テンプレートを用いて、前記転写パターンを基板上に形成される塗布膜に転写し、当該塗布膜に所定のパターンを形成するインプリント装置を有することを特徴とする、インプリントシステム。
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