JP5334533B2 - Processing method of mold for molding optical molded product and mold - Google Patents

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Description

本発明は、例えば、光学シート等の光学成形品を成形する光学成形品の成形用金型及びその金型の加工方法の改良に係り、特に、大面積を有する光学シート（大面積を有する光学成形品）を成形するものに関する。   The present invention relates to an improvement of a molding die for an optical molded product that molds an optical molded product such as an optical sheet and a processing method for the mold, and in particular, an optical sheet having a large area (an optical sheet having a large area). A molded article).

従来から、例えば、射出成形用の金型、圧縮成形用の金型、プレス成形用の金型等を含む適宜な光学成形品の成形用金型を用いて、シート状（板状）の光学部材（例えば、光学シート、導光板）等の光学成形品を成形することが行われている。
また、昨今、薄型テレビ等に大画面化が要求されるようになり、テレビ画面用の光学成形品を成形する成形用金型キャビティの成形面（転写面）を大面積化することが求められている。 Conventionally, for example, a sheet-like (plate-like) optical device is used by using a molding die for an appropriate optical molding product including, for example, an injection molding die, a compression molding die, a press molding die, and the like. An optical molded product such as a member (for example, an optical sheet or a light guide plate) is molded.
In recent years, there has been a demand for large screens for flat-screen televisions and the like, and it is required to increase the molding surface (transfer surface) of the molding die cavity for molding optical molded products for television screens. ing.

即ち、従来から、例えば、射出成形用金型を用いて、（或いは、図５に示すような圧縮成形用金型を用いて、）薄型テレビの大画面に採用される大面積を有する光学シート（光学成形品）を成形用の金型キャビティ内で射出成形することが行われている。
従って、まず、成形用キャビティ内に加熱溶融化した樹脂材料を注入充填し、次に、成形用キャビティ内の樹脂を冷却固化することにより、成形用キャビティにおける所要の微細形状に対応した大面積を有する光学シートを射出成形することができる。
このとき、成形用キャビティ成形面（転写面）の形状を、大面積を有する光学シートにおける大面積化した表面に成形転写することができる。
なお、例えば、大面積を有する光学シートについて、光学シートの一方の面（入光面）から他方の面（出光面）に光を透過させることになる。 That is, conventionally, for example, an optical sheet having a large area that is used for a large screen of a thin television using an injection mold (or a compression mold as shown in FIG. 5). (Optical molded product) is injection-molded in a mold cavity for molding.
Therefore, first, the resin material melted by heating is injected and filled into the molding cavity, and then the resin in the molding cavity is cooled and solidified, so that a large area corresponding to the required fine shape in the molding cavity is obtained. The optical sheet can be injection molded.
At this time, the shape of the molding cavity molding surface (transfer surface) can be molded and transferred onto the surface of the optical sheet having a large area.
For example, for an optical sheet having a large area, light is transmitted from one surface (light incident surface) of the optical sheet to the other surface (light exit surface).

また、従来から、大面積を有する光学シートを成形するキャビティ成形面（転写面）を備えた金型部材（本発明に係るキャビティ成形面シート部材に対応する部材）は、例えば、次のようにして加工されている。
即ち、金型材料（鋼材等）の被加工面をダイヤモンド工具にて楕円振動切削加工することにより、Ｖ字溝等の所要微細形状を有するキャビティ成形面が形成されている。
従って、この楕円振動切削加工した所要の微細形状を有するキャビティ成形面を備えた金型キャビティ内で大面積を有する光学シートが成形されることになる。 Conventionally, a mold member (a member corresponding to the cavity molding surface sheet member according to the present invention) having a cavity molding surface (transfer surface) for molding an optical sheet having a large area is, for example, as follows. Have been processed.
That is, a cavity forming surface having a required fine shape such as a V-shaped groove is formed by subjecting a work surface of a mold material (steel material or the like) to elliptical vibration cutting with a diamond tool.
Therefore, an optical sheet having a large area is molded in a mold cavity having a cavity molding surface having a required fine shape that has been subjected to elliptical vibration cutting.

特開２００３−１７７４０４号JP 2003-177404 A

即ち、前述したように、大面積を有する光学シート（大面積を有する光学成形品）を成形用金型で成形するために、金型材料（鋼材等）の被加工面をダイヤモンド工具（切削工具）にて楕円振動切削加工することにより、所要の微細凹凸形状のキャビティ成形面を有する金型部材を形成することが行われている。
しかしながら、この場合、この金型の加工時間が長時間になるので、金型キャビティ成形面を有する金型部材を効率良く加工することができないと云う弊害がある。
また、金型材料（鋼材等）の被加工面が加工熱によって変形することにより、また、切削工具が磨耗することにより、金型キャビティ成形面に、切削工具の先端形状に対応した所要の微細凹凸形状を効率良く加工することができないと云う弊害がある。 That is, as described above, in order to mold an optical sheet having a large area (an optical molded product having a large area) with a molding die, a work surface of a mold material (steel material, etc.) is formed with a diamond tool (cutting tool). ) To form a mold member having a cavity forming surface having a required fine irregular shape.
However, in this case, since the processing time of the mold becomes long, there is a problem that the mold member having the mold cavity molding surface cannot be processed efficiently.
In addition, when the work surface of the mold material (steel material, etc.) is deformed by the processing heat, or when the cutting tool is worn, the mold cavity forming surface has the required fine shape corresponding to the tip shape of the cutting tool. There is an adverse effect that the uneven shape cannot be processed efficiently.

従って、本発明は、大面積を有する光学成形品を成形するキャビティ成形面を備えた成形用金型（キャビティ成形面シート部材）を効率良く加工することができる光学成形品の成形用金型の加工方法及びその金型を提供することを目的とする。
即ち、大面積を有する光学成形品を成形するキャビティ成形面を備えた成形用金型（キャビティ成形面シート部材）の生産性を効率良く向上させることができる光学成形品の成形用金型の加工方法及びその金型を提供することを目的とする。
また、本発明は、大面積を有する光学成形品を成形する成形用金型（キャビティ成形面シート部材）のキャビティ成形面に所要の形状を効率良く加工することができる光学成形品の成形用金型の加工方法及びその金型を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides an optical molding product molding die capable of efficiently processing a molding die (cavity molding surface sheet member) having a cavity molding surface for molding an optical molding product having a large area. It aims at providing a processing method and its metal mold | die.
That is, processing of a molding die for an optical molded product that can efficiently improve the productivity of a molding die (cavity molding surface sheet member) having a cavity molding surface for molding an optical molded product having a large area. The object is to provide a method and its mold.
Further, the present invention provides a molding die for an optical molded product that can efficiently process a required shape on a cavity molding surface of a molding die (cavity molding surface sheet member) for molding an optical molded product having a large area. It aims at providing the processing method of a type | mold, and its metal mold | die.

前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法は、所要形状の光学パターンを有する光学成形品を金型キャビティ内で成形する光学成形品の成形用金型を加工する光学成形品の成形用金型の加工方法であって、
前記金型キャビティに設けられた金型キャビティ成形面シート部材を加工する金型材料として、塑性変形性を有する金型材料を用意する工程と、
前記金型材料を押圧して所要形状の光学パターンを加工する駒型を用意する工程と、
前記した金型材料に前記した駒型を振動させた状態で押圧することにより、前記した金型キャビティ成形面シート部材に所要形状の光学パターンを加工する工程と、
前記金型材料に駒型を押圧するとき、前記した金型材料の所要複数個所に各別に前記した駒型で順番に押圧することにより、前記したキャビティ成形面シート部材を形成する工程とを含むことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned technical problem, a method for processing a mold for molding an optical molded product according to the present invention is a molding of an optical molded product in which an optical molded product having an optical pattern of a required shape is molded in a mold cavity. A method for processing a molding die for an optical molded product for processing a molding die,
Preparing a mold material having plastic deformability as a mold material for processing a mold cavity molding surface sheet member provided in the mold cavity;
A step of preparing a piece mold for processing the optical pattern of a required shape by pressing the mold material;
A step of processing an optical pattern of a required shape on the above-described mold cavity molding surface sheet member by pressing the above-described mold material in a state of vibrating the above-mentioned piece mold;
When pressing the piece type to the mold material, by pressing the desired plurality of positions in turn aforementioned frame type to each other of the gold type material, and forming a cavity forming surface sheet member described above It is characterized by that .

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法は、前記金型材料を駒型で押圧するときに、前記金型材料に前記駒型を超音波振動させた状態で押圧することにより、金型キャビティ成形面シート部材に所要形状の光学パターンを加工する工程と含むことを特徴とする。   Further, the method for processing a mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the technical problem described above is such that when the mold material is pressed by a piece mold, the piece mold is applied to the mold material. And a step of processing an optical pattern of a required shape on a mold cavity molding surface sheet member by pressing in a state of being ultrasonically vibrated.

また、前記技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法は、前記金型材料を用意するときに、駒型で押圧する被押圧範囲をマトリクス型にて全面に配置したマトリクス型配置の金型材料を用意する工程と含むことを特徴とする。   Further, in the method for processing a mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the technical problem, the pressed range to be pressed with a piece mold is prepared as a matrix mold when the mold material is prepared. And a step of preparing a matrix-type mold material disposed on the entire surface.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法は、前記金型材料を用意するときに、塗布板に金型材料をスピンコートすることにより、前記した塗布板に所要の厚さを有するシート状の金型材料を形成する工程を備えたことを特徴とする。   Further, in the method for processing a mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the above technical problem, the mold material is spin-coated on the coating plate when the mold material is prepared. By the above-mentioned, it has the process of forming the sheet-like mold material which has a required thickness on the above-mentioned application board, It is characterized by the above-mentioned.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法は、前記金型材料が、スピンオングラス材料であることを特徴とする。   Moreover, in the method for processing a mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the above technical problem, the mold material is a spin-on-glass material.

また、前記技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法は、前記スピンオングラス材料が、水素化シルセスキサンポリマー、或いは、アルキルシルセスキオサンポリマーであることを特徴とする。   Further, in the method for processing a mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the technical problem, the spin-on-glass material is a hydrogenated silsesquioxane polymer or an alkylsilsesquioxane polymer. It is characterized by that.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型は、光学成形品成形用の金型キャビティ内で所要形状の光学パターンを有する光学成形品を成形する光学成形品の成形用金型であって、前記した金型キャビティの成形面を、前記した光学成形品の所要形状の光学パターンに対応した所要形状の光学パターンを有する駒型を塑性変形性を有する金型材料の所要複数個所に前記した駒型を振動させた状態で押圧して形成した所要形状の光学パターンにて形成したことを特徴とする。 In addition, the mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the technical problem described above molds an optical molded product having an optical pattern of a required shape within a mold cavity for molding the optical molded product. A mold for molding an optically molded product, wherein a piece mold having an optical pattern of a required shape corresponding to the optical pattern of the required shape of the optical molded product has a plastic deformability on the molding surface of the mold cavity. It is characterized in that it is formed with an optical pattern of a required shape formed by pressing the above-mentioned piece shape in a vibrating state at a plurality of required positions of the mold material.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型は、前記金型キャビティの成形面を、光学成形品の所要形状の光学パターンに対応した所要形状の光学パターンを有する駒型を金型材料の所要複数個所に駒型を超音波振動させた状態で押圧して形成した所要形状の光学パターンにて形成することを特徴とする。   Further, in the mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the above technical problem, the molding surface of the mold cavity has a required shape corresponding to the optical pattern of the required shape of the optical molded product. A piece having an optical pattern is formed by an optical pattern having a desired shape formed by pressing the piece in a state where the piece is ultrasonically vibrated at a plurality of required positions of the mold material.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型は、前記金型材料が、スピンオングラス材料であることを特徴とする。   In addition, the mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the above technical problem is characterized in that the mold material is a spin-on-glass material.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る光学成形品の成形用金型は、前記スピンオングラス材料が、水素化シルセスキサンポリマー、或いは、アルキルシルセスキオサンポリマーであることを特徴とする。   Further, in the mold for molding an optical molded product according to the present invention for solving the above technical problem, the spin-on-glass material is a hydrogenated silsesquioxane polymer or an alkylsilsesquioxane polymer. Features.

即ち、本発明は、従来例に示すキャビティ成形面（鋼材等）を一括して楕円振動切削する構成に比べて、インプリント用の駒型を超音波振動させた状態で、塑性変形性を有する（シート状の）金型材料の所要複数個所の夫々に、各別に、駒型を押圧することにより、大面積を有する光学成形品を成形するキャビティ成形面を備えた成形用金型（キャビティ成形面シート部材）を効率良く（短時間で）加工する構成である。
このため、本発明によれば、大面積を有する光学成形品（光学シート）を成形するキャビティ成形面を備えた成形用金型（キャビティ成形面シート部材）を効率良く加工することができる光学成形品の成形用金型の加工方法及びその金型を提供することができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、大面積を有する光学成形品を成形するキャビティ成形面を備えた成形用金型（キャビティ成形面シート部材）の生産性を効率良く向上させることができる光学成形品の成形用金型の加工方法及びその金型を提供することができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、大面積を有する光学成形品を成形する成形用金型（キャビティ成形面シート部材）のキャビティ成形面に所要の形状を効率良く加工することができる光学成形品の成形用金型の加工方法及びその金型を提供することできると云う優れた効果を奏する。 That is, the present invention has plastic deformability in a state in which the imprint piece mold is ultrasonically vibrated, as compared with the configuration in which the cavity forming surfaces (steel materials, etc.) shown in the conventional example are collectively subjected to elliptical vibration cutting. A mold for molding (cavity molding) having a cavity molding surface for molding an optical molded product having a large area by pressing a piece mold at each of a plurality of required locations of a sheet material (sheet-like). The surface sheet member is processed efficiently (in a short time).
For this reason, according to the present invention, optical molding capable of efficiently processing a molding die (cavity molding surface sheet member) having a cavity molding surface for molding an optical molded product (optical sheet) having a large area. There is an excellent effect that it is possible to provide a method for processing a mold for molding a product and the mold.
Further, according to the present invention, an optical molded product capable of efficiently improving the productivity of a molding die (cavity molded surface sheet member) having a cavity molded surface for molding an optical molded product having a large area. There is an excellent effect that it is possible to provide a method for processing a molding die and the die.
Further, according to the present invention, molding of an optical molded product capable of efficiently processing a required shape on a cavity molding surface of a molding die (cavity molding surface sheet member) for molding an optical molded product having a large area. There is an excellent effect that it is possible to provide a method for processing a metal mold and the metal mold.

まず、本発明に係る実施例を詳細に説明する。
図１、図２、図３は、本発明に係る光学シートを成形するキャビティ成形面（転写面）を有するキャビティ成形面シート部材（成形用金型）を加工する加工装置である。
図４（１）、図４（２）、図４（３）は、本発明に係るキャビティ成形面シート部材（成形用金型）におけるキャビティ成形面を加工する方法の説明図である。
図５（１）、図５（２）は、本発明に係る光学成形品の成形用金型である。 First, embodiments according to the present invention will be described in detail.
1, 2, and 3 are processing apparatuses that process a cavity molding surface sheet member (molding die) having a cavity molding surface (transfer surface) for molding an optical sheet according to the present invention.
4 (1), 4 (2), and 4 (3) are explanatory views of a method of processing the cavity forming surface in the cavity forming surface sheet member (molding die) according to the present invention.
5 (1) and 5 (2) are molds for molding an optical molded product according to the present invention.

なお、本発明は、後述するように、図１、図２、図３に示す成形用金型の加工装置を用いることにより、図４（１）、図４（２）、図４（３）に示すナノインプリントによる加工方法にて、図５（１）、図５（２）に示す成形用金型に設けられる光学シート成形用の金型キャビティにおけるキャビティ成形面（転写面）を備えたキャビティ成形面シート部材（金型部材）を加工するものである。
また、本発明は、塑性変形性を有するシート状の金型材料（例えば、後述するＳＯＧ材料）にマトリクス型にて配置された矩形状の被押圧範囲（所要複数個所）の夫々に、各別に且つ順次に（順番に）、駒型（ナノインプリント型）を超音波振動させた状態で、駒型を連続して押圧する（押し付ける）ことにより、大面積を有する光学シート（光学成形品）を成形するキャビティ成形面（転写面）を加工するものである。
このため、駒型の押圧面における所要の微細凹凸形状の光学パターンが、シート状（薄膜状）の金型材料のマトリクス型配置された被押圧範囲（被押圧面）の夫々に対して転写して形成されることになる（ナノインプリントされることになる）。
従って、シート状の金型材料を駒型で加工することにより、所要の微細凹凸形状を有する光学パターンのキャビティ成形面（光学パターン成形面）を備えたキャビティ成形面シート部材が形成されることになる。 As will be described later, in the present invention, by using the molding die processing apparatus shown in FIGS. 1, 2, and 3, FIGS. 4 (1), 4 (2), and 4 (3) are used. Cavity molding provided with a cavity molding surface (transfer surface) in a mold cavity for optical sheet molding provided in the molding die shown in FIGS. 5 (1) and 5 (2) by the nanoimprint processing method shown in FIG. The face sheet member (mold member) is processed.
Further, the present invention provides a sheet-shaped mold material having plastic deformability (for example, an SOG material described later) in a rectangular pressed range (required plural positions) arranged in a matrix shape. In addition, in order (in order), the piece shape (nanoimprint type) is ultrasonically vibrated, and the piece shape is continuously pressed (pressed) to form an optical sheet (optical molded product) having a large area. The cavity molding surface (transfer surface) to be processed is processed.
For this reason, the required fine concave-convex optical pattern on the piece-shaped pressing surface is transferred to each of the pressed ranges (pressed surfaces) in which the matrix type arrangement of the sheet-shaped (thin film-shaped) mold material is arranged. (To be nanoimprinted).
Accordingly, by processing the sheet-shaped mold material in a piece shape, a cavity-formed surface sheet member having a cavity-formed surface (optical pattern-formed surface) of an optical pattern having a required fine uneven shape is formed. Become.

（成形用金型の加工装置の全体構成について）
即ち、図１、図２、図３に示すように、成形用金型の加工装置１には、後述するようなシート状の金型材料２を所要の厚さにて塗布して載置する塗布板３と、塗布板３を載置する塗布板の載置テーブル４とが設けられて構成されている。
従って、シート状金型材料２を所要の厚さにて塗布した塗布板３を載置テーブル４に載置することにより、シート状金型材料２を加工装置１に水平面状態で設置することができるように構成されている。
なお、後述するように、所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１のキャビティ成形面３０を備えたシート状金型材料２が、光学成形品の成形用金型２１に設けられるキャビティ成形面シート部材２６（金型分割部材）となるものである。 (About the overall configuration of the molding die processing equipment)
That is, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, a sheet-shaped mold material 2, which will be described later, is applied and placed on a molding die processing apparatus 1 with a required thickness. The coating plate 3 and the coating plate mounting table 4 on which the coating plate 3 is mounted are provided.
Therefore, the sheet-shaped mold material 2 can be installed on the processing apparatus 1 in a horizontal plane state by placing the coating plate 3 coated with the sheet-shaped mold material 2 at a required thickness on the mounting table 4. It is configured to be able to.
Note that, as will be described later, a cavity-molded surface sheet member in which a sheet-shaped mold material 2 having a cavity molding surface 30 of an optical pattern 11 having a required fine uneven shape is provided in a molding die 21 of an optical molded product. 26 (die division member).

また、図示はしていないが、加工装置１には、塗布板の載置テーブル４を水平方向に、即ち、Ｘ方向とＹ方向に各別に移動させる水平移動手段と、水平移動手段を制御して載置テーブル４の位置を所要の位置に制御する載置テーブルの位置制御手段とが設けられて構成されている。
即ち、水平移動手段にて制御することにより、塗布板の載置テーブル４をＸ方向とＹ方向とに各別に移動させることができるように構成されている。
このため、水平移動手段にて、載置テーブル４に設置した塗布板３上のシート状金型材料２の表面における或る特定個所（後述する被押圧範囲１０）を、所要の位置（後述する駒型７の位置）に移動させて位置させることができるように構成されている。
また、加工装置１には、塗布板３上のシート状金型材料２の所要個所を垂直方向に（Ｚ方向に）下動して押圧する（押し付ける）駒型の押圧手段（ナノインプリント手段）５が設けられて構成されている。
従って、押圧手段５（駒型７）にて、シート状の金型材料２の表面における所要個所（後述する被押圧範囲１０の夫々）に、所要の微細凹凸形状の光学パターン１１を押圧して形成する（ナノインプリントする）ことができるように構成されている。
また、図示はしていないが、加工装置１には、装置全体を制御する装置制御駆動手段が設けられて構成されると共に、装置制御駆動手段にて装置全体の諸機能を駆動制御することができるように構成されている。
なお、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とは互いに直角となる関係にある。 Although not shown, the processing apparatus 1 controls a horizontal movement means for moving the placement table 4 of the coating plate in the horizontal direction, that is, in the X direction and the Y direction, and the horizontal movement means. The mounting table position control means for controlling the position of the mounting table 4 to a required position is provided.
In other words, the application table mounting table 4 can be moved separately in the X direction and the Y direction by being controlled by the horizontal moving means.
For this reason, a specific position (a pressed range 10 to be described later) on the surface of the sheet-shaped mold material 2 on the coating plate 3 placed on the mounting table 4 is moved to a required position (to be described later) by the horizontal moving means. It is configured so that it can be moved to the position of the piece shape 7).
Further, the processing apparatus 1 has a piece-shaped pressing means (nanoimprinting means) 5 that moves down (presses) a required portion of the sheet-shaped mold material 2 on the coating plate 3 in the vertical direction (in the Z direction). Is provided.
Accordingly, the pressing means 5 (piece 7) presses the required optical pattern 11 having a fine uneven shape to a required portion (each of the pressed range 10 described later) on the surface of the sheet-like mold material 2. It can be formed (nanoimprinted).
Although not shown, the processing apparatus 1 is configured to include apparatus control driving means for controlling the entire apparatus, and various functions of the entire apparatus can be driven and controlled by the apparatus control driving means. It is configured to be able to.
Note that the X direction, the Y direction, and the Z direction are perpendicular to each other.

（押圧手段について）
また、押圧手段５には、押圧手段本体６と、本体６の下端側に設けられたナノインプリント用の駒型（押圧型）７と、本体６の中間位置に設けられた超音波振動機構８と、本体６と駒型７と超音波振動機構８とを上下動させる上下動機構（図示なし）とが設けられて構成されている。
従って、超音波振動機構８にて駒型７を超音波振動させた状態で、且つ、上下動機構にて、押圧手段本体６と駒型７と超音波振動機構８とを一体にした状態で、上下動することができるように構成されている。
また、上下動機構にて、駒型７（押圧手段５）を下動させることにより、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７にてシート状金型材料２の所要位置（後述する被押圧範囲１０）に所要の押圧力にて押圧することができるように構成されている。
なお、超音波振動機構８には、超音波振動の駆動源として、ボルト締めランジュバン型振動子（Bolt-clamped Langevin Type Transducer：ＢＬＴ型振動子）８を用いることができる。
また、超音波振動機構８による超音波振動は、例えば、周波数２０ＫＨｚ、振幅が数μｍで行うことができる。
また、後述する位置制御手段による駒型の位置決め時には、超音波振動機構８による超音波振動を停止することができる。 (Pressing means)
The pressing means 5 includes a pressing means main body 6, a nano-imprint piece (pressing mold) 7 provided on the lower end side of the main body 6, and an ultrasonic vibration mechanism 8 provided at an intermediate position of the main body 6. A vertical movement mechanism (not shown) for moving the main body 6, the piece 7 and the ultrasonic vibration mechanism 8 up and down is provided.
Therefore, in the state where the piece mold 7 is ultrasonically vibrated by the ultrasonic vibration mechanism 8 and the pressing means main body 6, the piece mold 7 and the ultrasonic vibration mechanism 8 are integrated by the vertical movement mechanism. It can be moved up and down.
Further, the piece mold 7 (pressing means 5) is moved downward by the up-and-down movement mechanism, so that the piece mold 7 is ultrasonically vibrated, and the required position ( It is configured so that it can be pressed with a required pressing force into a pressed range 10) to be described later.
In the ultrasonic vibration mechanism 8, a bolt-clamped Langevin type transducer (BLT type transducer) 8 can be used as a drive source of the ultrasonic vibration.
Moreover, the ultrasonic vibration by the ultrasonic vibration mechanism 8 can be performed with a frequency of 20 KHz and an amplitude of several μm, for example.
Further, the ultrasonic vibration by the ultrasonic vibration mechanism 8 can be stopped when the piece-shaped positioning is performed by the position control means described later.

（駒型について）
また、駒型７の下面側には所要の微細凹凸形状を有する光学パターンを備え且つ所要の押圧範囲を有する押圧面９が設けられて構成されている。
また、駒型押圧面９における所要の微細凹凸形状を有する光学パターンは、通常、ダイヤモンドツール等の切削工具にて楕円振動切削して加工されるものである。
例えば、駒型押圧面９に、光学パターンとして、所要の幅と深さとを有するＶ字溝（Ｖ字山）を、押圧面９の縦方向、横方向、斜め方向に楕円振動切削加工することができる。
従って、駒型７（押圧手段５）を超音波振動させた状態で所要の押圧力にて下動させて押圧することにより、駒型７の押圧面９における所要の微細凹凸形状を、シート状金型材料２の表面における矩形状の被押圧範囲１０に所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を転写して形成することができる。
この場合、駒型７の押圧面９における矩形状の押圧範囲がシート状金型材料２の表面における矩形状の被押圧範囲１０となる（図１、図３を参照）。
なお、駒型７によるシート状金型材料２の押圧に関して、駒型７の押圧時に、駒型７に超音波振動を付与することにより、僅かに発生する発熱作用や離型作用によって駒型７の押圧面９における所要の微細凹凸形状をシート状金型材料２の表面に効率良く転写することができる。 (About piece type)
Further, a pressing surface 9 having an optical pattern having a required fine uneven shape and having a required pressing range is provided on the lower surface side of the piece 7.
Further, the optical pattern having a required fine uneven shape on the piece-shaped pressing surface 9 is usually processed by elliptical vibration cutting with a cutting tool such as a diamond tool.
For example, a V-shaped groove (V-shaped mountain) having a required width and depth is optically cut on the piece-shaped pressing surface 9 in the vertical direction, the horizontal direction, and the diagonal direction of the pressing surface 9. Can do.
Therefore, the required fine uneven shape on the pressing surface 9 of the piece mold 7 is reduced to a sheet shape by pressing the piece mold 7 (pressing means 5) with the required pressing force while being ultrasonically vibrated. An optical pattern 11 having a required fine uneven shape can be transferred and formed in a rectangular pressed area 10 on the surface of the mold material 2.
In this case, the rectangular pressing range on the pressing surface 9 of the piece mold 7 becomes the rectangular pressed range 10 on the surface of the sheet-shaped mold material 2 (see FIGS. 1 and 3).
In addition, regarding the pressing of the sheet-shaped mold material 2 by the piece mold 7, when the piece mold 7 is pressed, by applying ultrasonic vibration to the piece mold 7, the piece mold 7 is generated by a slightly generated heat generation action or mold release action. The required fine uneven shape on the pressing surface 9 can be efficiently transferred onto the surface of the sheet-shaped mold material 2.

（水平移動手段について）
また、図示はしていないが、水平移動手段には、塗布板３の載置テーブル４をＸ方向に往復移動させるＸ方向移動機構と、塗布板３の載置テーブル４をＹ方向に往復移動させるＹ方向移動機構とが設けられて構成されている。
また、図示はしていないが、位置制御手段にて、Ｘ方向移動機構とＹ方向移動機構とを各別に制御することができるように構成されている。
従って、位置制御手段にて、Ｘ方向移動機構とＹ方向移動機構とを各別に制御することにより、載置テーブル４（塗布板３、シート状金型材料２）をＸ方向移動機構にてＸ方向に往復移動させ、また、載置テーブルをＹ方向移動機構にてＹ方向に往復移動させることができるように構成されている。
また、このとき、載置テーブル４の塗布板３上のシート状金型材料２における所要個所（被押圧範囲１０）の位置と、押圧手段の駒型７の押圧位置と一致させることができるように構成されている。
なお、駒型７の押圧面９とシート状の金型材料２の被押圧範囲１０とは平面的にその形状と大きさが一致するものである。 (About horizontal movement means)
Although not shown, the horizontal moving means includes an X-direction moving mechanism that reciprocates the mounting table 4 of the coating plate 3 in the X direction, and a reciprocating movement of the mounting table 4 of the coating plate 3 in the Y direction. And a Y-direction moving mechanism to be provided.
Although not shown, the position control means can control the X-direction moving mechanism and the Y-direction moving mechanism separately.
Therefore, by controlling the X-direction moving mechanism and the Y-direction moving mechanism separately by the position control means, the placement table 4 (coating plate 3, sheet-shaped mold material 2) is controlled by the X-direction moving mechanism. The mounting table can be reciprocated in the Y direction by a Y direction moving mechanism.
At this time, the position of the required portion (the pressed range 10) in the sheet-shaped mold material 2 on the coating plate 3 of the mounting table 4 can be matched with the pressing position of the piece 7 of the pressing means. It is configured.
It should be noted that the pressing surface 9 of the piece 7 and the pressed range 10 of the sheet-like mold material 2 are identical in shape and size in plan view.

（位置制御手段について）
また、図示はしていないが、位置制御手段にて、水平移動手段におけるＸ方向移動機構とＹ方向移動機構とを各別に制御することができるように構成されている。
この位置制御手段には、図示はしていないが、位置決めのフィードバック方式として、レーザスケール（フォログラム方式）を用いるクローズドループ方式を採用することができる。
なお、図示はしていないが、このクローズドループ方式の構成に関して言えば、載置テーブル４を駆動するＸ方向移動機構及びＹ方向移動機構、載置テーブル４の位置を測定するセンサ（位置検出器）、目標位置からの誤差に応じてＸ方向移動機構とＹ方向移動機構とを駆動する装置制御駆動手段とが設けられて構成されている。 (About position control means)
Although not shown, the position control means is configured to control the X-direction moving mechanism and the Y-direction moving mechanism in the horizontal moving means separately.
Although not shown in the figure, this position control means can employ a closed loop method using a laser scale (followogram method) as a positioning feedback method.
Although not shown, regarding the configuration of this closed loop system, an X-direction moving mechanism and a Y-direction moving mechanism for driving the mounting table 4, and a sensor (position detector) for measuring the position of the mounting table 4. ), And device control driving means for driving the X-direction moving mechanism and the Y-direction moving mechanism in accordance with an error from the target position.

また、前述したように、クローズドループ方式を採用した位置制御手段に、レーザを利用したレーザフィードバックシステムを採用することができる。
なお、このレーザ光源を利用したシステムの分解能は１ｎｍであり、ナノレベルで載置テーブル４の位置を位置制御することができる。
即ち、後述するように、シート状の金型材料２の表面に設定されるマトリクス型配置の被押圧範囲１０の夫々に、各別に且つ順次に、駒型７を超音波振動した状態で押圧するとき、レーザフィードバックシステム（ナノレベルの位置制御）を採用した位置制御手段にて、載置プレート４におけるＸ方向の移動或いはＹ方向の移動を制御することにより、マトリクス型配置の被押圧範囲１０の夫々の位置に駒型７の位置を効率良く合致させることができる。
言い換えると、レーザスケールを採用した位置制御手段によるナノレベルの位置制御にて、駒型７の押圧面９が押圧する範囲の夫々と、シート状金型材料２の被押圧範囲１０の夫々とを、各別に且つ順次に、効率良く合致させることができる。
即ち、本発明における位置制御手段を用いることにより、マトリクス型配置の被押圧範囲１０の夫々について、例えば、隣接する２個の被押圧範囲１０に関し、載置テーブル４の位置制御手段にて効率良く位置制御することにより、一つの被押圧範囲１０の位置から隣接する被押圧範囲１０の位置に、高精度な送りで効率良く移動させて位置させることができる。
従って、例えば、隣接する２個の被押圧範囲１０の夫々において、駒型７で押圧された所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を効率良く形成することができる。
また、更に、本発明における位置制御手段を用いることにより、隣接する２個の被押圧範囲１０の両者間に隙間が発生することを効率良く防止することができると共に、両者１０間に継目が発生することを（ナノレベルで）効率良く防止することができる。
このため、位置制御手段と押圧手段５とを用いることにより、位置制御手段による高精度の移動送り及び位置決めと、押圧手段５による押圧（押し付け）とを繰り返して行う（ステップ＆リピートを行う）ことができる。 Further, as described above, a laser feedback system using a laser can be adopted as the position control means adopting the closed loop method.
The resolution of the system using this laser light source is 1 nm, and the position of the mounting table 4 can be controlled at the nano level.
That is, as will be described later, the piece mold 7 is pressed in a state of being ultrasonically vibrated separately and sequentially into each of the pressed ranges 10 of the matrix type arrangement set on the surface of the sheet-shaped mold material 2. When the position control means adopting the laser feedback system (nano-level position control) controls the movement in the X direction or the Y direction in the mounting plate 4, It is possible to efficiently match the position of the piece 7 with each position.
In other words, each of the range in which the pressing surface 9 of the piece 7 is pressed and each of the pressed range 10 of the sheet-shaped mold material 2 by the nano-level position control by the position control means adopting the laser scale. , It is possible to efficiently match each separately and sequentially.
That is, by using the position control means in the present invention, for each of the pressed areas 10 in the matrix arrangement, for example, two adjacent pressed areas 10 can be efficiently used by the position control means of the mounting table 4. By controlling the position, it is possible to efficiently move the position from the position of one pressed range 10 to the position of the pressed range 10 adjacent to the pressed range 10 with high accuracy.
Therefore, for example, in each of the two adjacent pressed areas 10, it is possible to efficiently form the optical pattern 11 having a required fine uneven shape pressed by the piece 7.
Furthermore, by using the position control means in the present invention, it is possible to efficiently prevent a gap from being generated between the two adjacent pressed ranges 10, and a seam is generated between the two 10. Can be efficiently prevented (at the nano level).
For this reason, by using the position control means and the pressing means 5, highly accurate movement feed and positioning by the position control means and pressing (pressing) by the pressing means 5 are repeatedly performed (step & repeat is performed). Can do.

（シート状金型材料の表面における駒型の押圧位置のマトリクス型配置について）
即ち、図３に示すように、シート状の金型材料２の表面における駒型７における矩形状の被押圧位置（被押圧範囲１０）を、例えば、４行×４列のマトリクス型配置に設定することができる。
また、被押圧範囲１０の４行×４列のマトリクス型配置全体でマトリクス型配置全面１２となるものである。
なお、図３、図４（１）、図４（２）、図４（３）において、マトリクス型配置の行を図例の上からＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄで示し、列を図の左からａ、ｂ、ｃ、ｄで示すものである。
従って、図３に示す左上の矩形状の被押圧範囲１０はＡ行ａ列となり、被押圧範囲Ａａで示されることになる。
また、図２におけるマトリクス型配置については、Ａ行の断面を示しており、図例に向かって左から右に、符号で、Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、Ａｄとなり、被押圧範囲Ａａ、Ａｂに所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１が駒型７、９にて各別に形成される。
このため、図４（３）に示すように、被押圧範囲１０（１２）の１６個の全てに所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１が形成されることにより、マトリクス型配置全面１２が光学パターン成形面１４に形成されることになる。 (Regarding the matrix type arrangement of the piece-shaped pressing positions on the surface of the sheet-shaped mold material)
That is, as shown in FIG. 3, the rectangular pressed position (pressed range 10) in the piece 7 on the surface of the sheet-shaped mold material 2 is set to, for example, a 4 × 4 matrix arrangement. can do.
Further, the entire matrix arrangement of 4 rows × 4 columns of the pressed range 10 becomes the entire matrix arrangement 12.
In FIG. 3, FIG. 4 (1), FIG. 4 (2), and FIG. 4 (3), the rows of the matrix type arrangement are indicated by A, B, C, and D from the top of the figure, and the columns are on the left of the figure. To a, b, c, d.
Therefore, the rectangular pressed range 10 in the upper left shown in FIG. 3 is A rows and a columns, and is indicated by the pressed range Aa.
In addition, the matrix type arrangement in FIG. 2 shows a cross section of row A, and from left to right in the figure, the symbols are Aa, Ab, Ac, and Ad, which are required for the pressed ranges Aa and Ab. The optical patterns 11 having the fine concavo-convex shape are respectively formed by the piece molds 7 and 9.
For this reason, as shown in FIG. 4 (3), the optical pattern 11 having the required fine irregularities is formed on all 16 of the pressed areas 10 (12), so that the matrix-type arrangement entire surface 12 becomes optical. It will be formed on the pattern molding surface 14.

次に、図２を用いて、駒型７を用いて、マトリクス型（Ａ行のみ）に配置された被押圧範囲１０（所要複数個所）の夫々に対して、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を押圧する構成を説明する。
即ち、図２に示すように、まず、シート状の金型材料２の表面における被押圧範囲Ａａ（１０）に駒型７を超音波振動させた状態でＺ方向に押圧することにより、被押圧範囲Ａａ（１０）に駒型押圧面９に形成された所要の微細凹凸形状の光学パターンを転写して所要の微細凹凸形状の光学パターン１１を形成する。
次に、水平移動手段にて載置テーブル４をＸ方向（図２に示す図例では左方向）に移動させると共に、位置制御手段で制御して被押圧範囲Ａａ（１０）に隣接する被押圧範囲Ａｂ（１０）の上方に駒型を配置する。
次に、被押圧範囲Ａａ（１０）に隣接する被押圧範囲Ａｂ（１０）に駒型７を超音波振動させた状態でＺ方向に押圧することにより、被押圧範囲Ａｂ（１０）に駒型押圧面９に形成された所要の微細凹凸形状の光学パターンを転写して所要の微細凹凸形状の光学パターン１１を形成することができる。
また、更に、被押圧範囲Ａｂ（１０）から駒型７を上動させて載置テーブル４を移動させることにより、被押圧位置Ａｂ（１０）に隣接する被押圧範囲Ａｃ（１０）の上方位置に駒型７を配置することができる。
即ち、次に、被押圧範囲Ａｃ（１０）に、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を押圧することができ、更に、被押圧範囲Ａｃ（１０）に隣接する被押圧範囲Ａｄ（１０）に駒型７を超音波振動させた状態で押圧することができる。
従って、シート状の金型材料２の表面におけるマトリクス型配置の被押圧範囲１０の夫々に対して、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７（押圧面９）を、各別に且つ順次に、連続して押圧することにより、光学パターン成形面１４（１２）を形成することができるように構成されている。 Next, using FIG. 2, the piece type 7 is ultrasonically vibrated with respect to each of the pressed ranges 10 (required plural places) arranged in a matrix type (only row A) using the piece type 7. The structure which presses the piece shape 7 in the state where it met is demonstrated.
That is, as shown in FIG. 2, first, the pressed die 7 is pressed in the Z direction while ultrasonically vibrating the piece 7 to the pressed range Aa (10) on the surface of the sheet-like mold material 2. The required fine uneven optical pattern 11 formed on the piece-shaped pressing surface 9 is transferred to the range Aa (10) to form the required fine uneven optical pattern 11.
Next, the placement table 4 is moved in the X direction (leftward in the example shown in FIG. 2) by the horizontal movement means, and is pressed by the position control means and adjacent to the pressed range Aa (10). A piece shape is arranged above the range Ab (10).
Next, by pressing in the Z direction in a state where the piece mold 7 is ultrasonically vibrated to the pressed range Ab (10) adjacent to the pressed range Aa (10), the piece type is set in the pressed range Ab (10). The required fine uneven-shaped optical pattern 11 formed on the pressing surface 9 can be transferred to form the required fine uneven-shaped optical pattern 11.
Furthermore, the upper position of the pressed range Ac (10) adjacent to the pressed position Ab (10) by moving the placing table 4 by moving the piece 7 from the pressed range Ab (10). The piece type 7 can be arranged on the top.
That is, next, the piece mold 7 can be pressed into the pressed range Ac (10) while the piece mold 7 is ultrasonically vibrated, and further, the pressed range adjacent to the pressed range Ac (10). The piece 7 can be pressed in the range Ad (10) in a state of being ultrasonically vibrated.
Accordingly, the piece mold 7 (pressing surface 9) is individually moved in a state where the piece mold 7 is ultrasonically vibrated with respect to each of the pressed ranges 10 in the matrix arrangement on the surface of the sheet-shaped mold material 2. And it is comprised so that the optical pattern shaping | molding surface 14 (12) can be formed by pressing sequentially sequentially.

次に、図３、図４（１）、図４（２）、図４（３）を用いて、シート状の金型材料２の表面におけるマトリクス型配置全面１２に配置された被押圧範囲１０の夫々に対して、駒型７（押圧面９）を押圧する構成について説明する。
また、マトリクス型配置全面１２における被押圧範囲１０の夫々に対する駒型７の押圧は、例えば、押圧順路（押圧順序）１３に示す順序にて行われる。
即ち、図３、図４（１）、図４（２）、図４（３）に示すように、押圧順路１３にしたがって、まず、駒型７（押圧面９）を超音波振動させた状態で、マトリクス型配置のＡ行における矩形状の被押圧範囲（Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、Ａｄ）を左から右に対して、各別に且つ順次に、駒型７を押圧することにより、被押圧範囲（Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、Ａｄ）の夫々に対して、各別に且つ順次に、連続して所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を形成することができる。
次に、行を１行下がってＢ行の被押圧範囲（Ｂｄ、Ｂｃ、Ｂｂ、Ｂａ）を右から左に、各別に且つ順次に、駒型７（押圧面９）を超音波振動させた状態で、連続して押圧することができる。
また、次に、行を１行下がってＣ行の被押圧範囲（Ｃａ、Ｃｂ、Ｃｃ、Ｃｄ）を左から右に、更に、行を１行下がってＤ行の被押圧範囲（Ｄｄ、Ｄｃ、Ｄｂ、Ｄａ）を右から左に、駒型７を超音波振動させた状態で、各別に且つ順次に、連続して押圧することができる。
このため、シート状の金型材料２に形成される被押圧範囲１０をマトリクス型に配置したマトリクス配置全面１２における被押圧範囲１０の夫々に対して、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７（押圧面９）を押圧することにより、マトリクス配置全面１２を光学パターン成形面１４に形成したキャビティ成形面シート部材２６を得ることができる。 Next, with reference to FIGS. 3, 4 (1), 4 (2), and 4 (3), the pressed range 10 disposed on the entire matrix-type arrangement surface 12 on the surface of the sheet-like mold material 2. The structure which presses the piece type | mold 7 (pressing surface 9) with respect to each of these is demonstrated.
Further, the pressing of the piece 7 with respect to each of the pressed ranges 10 on the entire matrix-type arrangement surface 12 is performed in the order shown in the pressing route (pressing order) 13, for example.
That is, as shown in FIGS. 3, 4 (1), 4 (2), and 4 (3), first, the piece 7 (pressing surface 9) is ultrasonically vibrated according to the pressing route 13. Then, the pressed range (Aa, Ab, Ac, Ad) in the A row of the matrix type arrangement is pressed from the left to the right separately and sequentially by pressing the piece 7 to be pressed range. For each of (Aa, Ab, Ac, Ad), it is possible to form the optical pattern 11 having a required fine concavo-convex shape continuously and separately from each other.
Next, the piece 7 (pressing surface 9) was ultrasonically vibrated separately and sequentially from the right to the left in the pressed range (Bd, Bc, Bb, Ba) of the B row by moving down one row. In the state, it can be continuously pressed.
Next, the pressed range of the C row (Ca, Cb, Cc, Cd) is lowered from the left to the right by one row, and the pressed range (Dd, Dc) of the D row is further lowered by one row. , Db, Da) from the right to the left, and the piece 7 can be continuously pressed separately and sequentially in a state of ultrasonic vibration.
For this reason, the piece 7 is ultrasonically vibrated with respect to each of the pressed ranges 10 on the entire matrix arrangement 12 where the pressed ranges 10 formed on the sheet-shaped mold material 2 are arranged in a matrix shape. By pressing the piece mold 7 (pressing surface 9), the cavity forming surface sheet member 26 in which the entire matrix arrangement surface 12 is formed on the optical pattern forming surface 14 can be obtained.

なお、図３、図４（２）に示す図例では、被押圧範囲（Ａａ、Ａｂ、Ａｃ、Ａｄ、Ｂｄ、Ｂｃ）に所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１が形成されている。
また、図４（１）に示す図例には、シート状の金型材料（被押圧面）におけるマトリクス配置全面１２（図例では１６個の被押圧範囲１０）が示されている。
また、図４（３）に示す図例には、１６個の被押圧範囲１０に形成された所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１となる光学パターン成形面１４が形成されている。 In the example shown in FIGS. 3 and 4 (2), the optical pattern 11 having a required fine uneven shape is formed in the pressed range (Aa, Ab, Ac, Ad, Bd, Bc).
Further, in the example shown in FIG. 4A, a matrix arrangement entire surface 12 (16 pressed ranges 10 in the illustrated example) in the sheet-shaped mold material (pressed surface) is shown.
Further, in the example shown in FIG. 4 (3), an optical pattern forming surface 14 is formed which becomes the optical pattern 11 having the required fine unevenness formed in the 16 pressed ranges 10.

即ち、シート状の金型材料２の表面にマトリクス型配置にて形成された被押圧範囲１０の夫々に対して、駒型７を超音波振動させた状態で、連続して押圧することにより、各被押圧範囲１０の夫々に、駒型押圧面９に対応する所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を形成することができる。
このため、マトリクス型配置全面１２における被押圧範囲１０の全てに所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を各別に形成することができる。
即ち、シート状の金型材料２に、所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１が各別に形成されたマトリクス型配置全面１２を形成することにより、光学パターン成形面１４を備えたキャビティ成形面シート部材２６が形成されることになる。
また、このとき、本発明に係る位置制御手段にて、駒型押圧面９の位置を被押圧範囲１０の夫々の位置に対して効率良く高精度の送りにて正確に配置することができる。
このため、隣接する被押圧範囲１０の間に隙間が発生することを（ナノレベルで）効率良く防止することができるように構成されている。 That is, by continuously pressing each of the pressed ranges 10 formed in a matrix-type arrangement on the surface of the sheet-shaped mold material 2 while the piece mold 7 is ultrasonically vibrated, An optical pattern 11 having a required fine concavo-convex shape corresponding to the piece-shaped pressing surface 9 can be formed in each pressed range 10.
For this reason, the optical pattern 11 which has a required fine uneven | corrugated shape in all the to-be-pressed ranges 10 in the matrix type | mold arrangement | positioning whole surface 12 can be formed separately.
That is, a cavity-shaped surface sheet provided with an optical pattern molding surface 14 is formed on the sheet-shaped mold material 2 by forming a matrix-type arrangement entire surface 12 in which optical patterns 11 having required fine unevenness are separately formed. The member 26 will be formed.
Further, at this time, the position control means according to the present invention can accurately and accurately arrange the position of the piece-shaped pressing surface 9 with respect to each position of the pressed range 10 with high-precision feeding.
For this reason, it is comprised so that it can prevent efficiently that a clearance gap generate | occur | produces between the adjacent to-be-pressed ranges 10 (nano level).

（本発明に係るシート状の金型材料について）
本発明に係るシート状の金型材料２（転写材料）は、例えば、塑性変形性を有する材料で形成されるものである。
即ち、塑性変形性を有する材料（シート状の金型材料２）として、例えば、アクリル、ゾル・ゲル系材料の水素化シルセスキオキサンポリマー（ＨＱＳ）、或いは、アルキルシルセスキオキサンポリマー（ＭＳＱ）などのスピンオングラス材料（Spin on Glass 材料：ＳＯＧ材料）が挙げられる。
従って、塗布板３上の表面にこれらのＳＯＧ材料（塗布平坦化材料）をスピンコートすることにより、塗布板３に所要の厚さを有するシート状の金型材料２（ＳＯＧ材料）が形成されることになる。 (About the sheet-shaped mold material according to the present invention)
The sheet-shaped mold material 2 (transfer material) according to the present invention is formed of, for example, a material having plastic deformability.
That is, as a plastically deformable material (sheet-shaped mold material 2), for example, acrylic, sol-gel-based hydrogenated silsesquioxane polymer (HQS), or alkylsilsesquioxane polymer (MSQ) ) And other spin-on-glass materials (Spin on Glass material: SOG material).
Therefore, by spin-coating these SOG materials (coating flattening material) on the surface of the coating plate 3, a sheet-shaped mold material 2 (SOG material) having a required thickness is formed on the coating plate 3. Will be.

また、塗布板３上にスピンコートして形成されたシート状の金型材料２（塑性変形性を有する塗布平坦化ＳＯＧ材料）の表面の所要個所に、室温（例えば、−５℃〜３５℃）で、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を押圧することができる。
従って、駒型７の押圧面９（所要の微細凹凸形状を有する光学パターン）をシート状の金型材料２に転写することにより、シート状の金型材料２の表面における１個の被押圧範囲１０に所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を形成する（ナノインプリントする）ことができる。
このとき、シート状の金型材料２は塑性変形性を有するので、シート状の金型材料２の表面には、駒型７の押圧面９の形状に対応した形状となる所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１が保持された状態で残存して（塑性変形して）形成されることになる。 In addition, a room temperature (for example, −5 ° C. to 35 ° C.) is provided at a required position on the surface of the sheet-like mold material 2 (coating flattening SOG material having plastic deformability) formed by spin coating on the coating plate 3. ), The piece 7 can be pressed while the piece 7 is ultrasonically vibrated.
Accordingly, one pressing range on the surface of the sheet-shaped mold material 2 is transferred by transferring the pressing surface 9 (optical pattern having a required fine uneven shape) of the piece mold 7 to the sheet-shaped mold material 2. 10 can be formed (nanoimprinted) with an optical pattern 11 having a required fine uneven shape.
At this time, since the sheet-shaped mold material 2 has plastic deformability, the surface of the sheet-shaped mold material 2 has a required fine uneven shape that has a shape corresponding to the shape of the pressing surface 9 of the piece mold 7. The optical pattern 11 having the above is left (plastically deformed) while being held.

即ち、図１、図２、図３に示す成形用金型の加工装置１を用いて、シート状の金型材料２（ＳＯＧ材料）を、大面積を有する光学シート２９（光学成形品）を成形するキャビティ成形面（転写成形面）３０を備えたキャビティ成形面シート部材２６（金型２１）に効率良く加工することができる〔図５（１）、図５（２）を参照〕。
また、本発明によれば、従来の金型材料を楕円振動切削する構成に比べて、本発明にように、駒型７の押圧面９を楕円振動切削にて加工する構成を含んだとしても、シート状の金型材料２（ＳＯＧ材料）に、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を押圧する構成の方が、その加工時間が極めて少なく、短時間となるものである。
このため、本発明によれば、キャビティ成形面シート部材２６（金型２１）の生産性を効率良く向上させることができる。
また、本発明によれば、大面積を有する光学シート２９を成形するキャビティ成形面３０を備えたキャビティ成形面シート部材２６を設けた金型２１を用いて、大面積を有する光学シート２９を効率良く成形することができる。
なお、所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１が形成されたシート状金型材料２の端部を切断除去してキャビティ成形面シート部材２６を形成しても良い。 That is, by using the molding die processing apparatus 1 shown in FIGS. 1, 2, and 3, the sheet-shaped mold material 2 (SOG material) is converted into the optical sheet 29 (optical molded product) having a large area. The cavity molding surface sheet member 26 (mold 21) having the cavity molding surface (transfer molding surface) 30 to be molded can be efficiently processed (see FIGS. 5 (1) and 5 (2)).
In addition, according to the present invention, even if a configuration in which the pressing surface 9 of the piece 7 is processed by elliptical vibration cutting as in the present invention is included as compared with a configuration in which conventional mold material is subjected to elliptical vibration cutting. The configuration in which the piece mold 7 is pressed in a state where the piece mold 7 is ultrasonically vibrated to the sheet-shaped mold material 2 (SOG material) is extremely short in processing time, and thus takes a short time. is there.
For this reason, according to this invention, productivity of the cavity shaping | molding surface sheet | seat member 26 (metal mold | die 21) can be improved efficiently.
Further, according to the present invention, the optical sheet 29 having a large area is efficiently used by using the mold 21 provided with the cavity forming surface sheet member 26 having the cavity forming surface 30 for forming the optical sheet 29 having a large area. It can be molded well.
Alternatively, the cavity-shaped surface sheet member 26 may be formed by cutting and removing the end portion of the sheet-shaped mold material 2 on which the optical pattern 11 having a required fine uneven shape is formed.

また、本発明によれば、成形用金型の加工装置１を用いて、所要の厚さを有するシート状金型材料２（塑性変形性を有するＳＯＧ材料）に、駒型（ナノインプリント型）７を超音波振動させた状態で、駒型７を連続して押圧することにより、シート状金型材料２にマトリクス型に配置された被押圧範囲１０の夫々に対して、各別に且つ順次に、所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を形成することができる。
このため、本発明によれば、シート状金型材料２に、所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を有する被押圧範囲１０の夫々がマトリクス型に配置されたマトリクス型配置全面１２を備えたキャビティ成形面３０を加工することにより、所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１（光学パターン成形面１４）を有するキャビティ成形面３０を備えたキャビティ成形面シート部材２６を形成することができる。
従って、本発明によれば、大面積を有する光学シート２９を成形する金型２１（キャビティ成形面シート部材２６）のキャビティ成形面３０（シート状金型材料２におけるマトリクス型配置の被押圧範囲１０）に、所要の微細な凹凸形状を有する光学パターン１１（光学パターン成形面１４）を各別に効率良く加工することができる。 In addition, according to the present invention, a piece mold (nanoimprint mold) 7 is formed on a sheet mold mold material 2 (an SOG material having plastic deformability) having a required thickness by using a molding die processing apparatus 1. By pressing the piece mold 7 continuously in a state of being ultrasonically vibrated, for each of the pressed ranges 10 arranged in a matrix pattern on the sheet-shaped mold material 2, separately and sequentially, The optical pattern 11 having a required fine uneven shape can be formed.
For this reason, according to the present invention, the sheet-shaped mold material 2 is provided with the matrix type arrangement entire surface 12 in which each of the pressed areas 10 having the optical pattern 11 having the required fine uneven shape is arranged in a matrix type. By processing the cavity molding surface 30, the cavity molding surface sheet member 26 including the cavity molding surface 30 having the optical pattern 11 (optical pattern molding surface 14) having a required fine uneven shape can be formed.
Therefore, according to the present invention, the pressed area 10 of the matrix mold arrangement in the cavity molding surface 30 (sheet mold material 2) of the mold 21 (cavity molding surface sheet member 26) for molding the optical sheet 29 having a large area. ), The optical pattern 11 (optical pattern forming surface 14) having a required fine uneven shape can be processed efficiently.

（本発明に係る金型の加工方法について）
即ち、図１、図２、図３に示す成形用金型の加工装置１において、まず、塗布板３の上面に平坦化塗布材料（塑性変形性を有するＳＯＧ材料：例えば、ＨＱＳ、ＭＳＱなど）をスピンコートすることにより、塗布板３の面に所要の厚さを有するシート状の金型材料２を形成することができる。
次に、塗布板３上のシート状の金型材料２の表面における所要個所、例えば、被押圧範囲１０をマトリクス型に配置したマトリクス型配置全面１２における被押圧範囲Ａａ（１０）に、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を所要の押圧力にて下動させて押圧することができる。
また、次に、被押圧範囲Ａａ（１０）から駒型７を上動させる。
次に、位置制御手段にて載置テーブル４を位置制御して移動させることにより、被押圧範囲Ａａに隣接する被押圧範囲Ａｂの上方に駒型７を位置させる。
更に、被押圧範囲Ａｂに、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を所要の押圧力にて下動させて押圧することができる。
従って、マトリクス型に配置した被押圧範囲１０の夫々を（マトリクス型配置全面１２を）、即ち、被押圧範囲（Ａａ〜Ｄｄの１６個所）に、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を所要の押圧力にて下動させて押圧することができる。
このため、シート状の金型材料２を加工することにより、金型２１のキャビティ成形面シート部材２６（シート状金型材料２）のキャビティ成形面３０に、所要の微細凹凸形状の光学パターン１１を備えたマトリクス型配置全面１２（光学パターン成形面１４）を形成することができる。 (About the die processing method according to the present invention)
That is, in the molding die processing apparatus 1 shown in FIGS. 1, 2, and 3, first, a flattening coating material (an SOG material having plastic deformability: for example, HQS, MSQ, etc.) is applied to the upper surface of the coating plate 3. The sheet-shaped mold material 2 having a required thickness can be formed on the surface of the coating plate 3 by spin coating.
Next, in a required place on the surface of the sheet-shaped mold material 2 on the coating plate 3, for example, in the pressed area Aa (10) in the entire matrix arrangement 12 where the pressed area 10 is arranged in a matrix shape, With the piece 7 being ultrasonically vibrated, the piece mold 7 can be pressed down with a required pressing force.
Next, the piece mold 7 is moved up from the pressed range Aa (10).
Next, by moving the mounting table 4 while controlling the position by the position control means, the piece 7 is positioned above the pressed range Ab adjacent to the pressed range Aa.
Furthermore, the piece mold 7 can be pressed down to the pressed range Ab with a required pressing force while the piece mold 7 is ultrasonically vibrated.
Therefore, each of the pressed ranges 10 arranged in a matrix type (matrix type arranged entire surface 12), that is, in a state where the piece type 7 is ultrasonically vibrated in the pressed range (16 locations Aa to Dd), The piece 7 can be pressed down with a required pressing force.
For this reason, by processing the sheet-shaped mold material 2, the required optical pattern 11 having the required fine unevenness is formed on the cavity-molded surface 30 of the cavity-molded surface sheet member 26 (sheet-shaped mold material 2) of the mold 21. It is possible to form a matrix type arrangement entire surface 12 (optical pattern forming surface 14) having

なお、駒型７の押圧面９を２インチ角とした場合、駒型押圧面９に対する被押圧範囲１０は２インチ角であり、図３に示す図例においては、マトリクス型配置全面１２は２０インチ角となるものである。   When the pressing surface 9 of the piece mold 7 is 2 inch square, the pressed range 10 with respect to the piece pressing surface 9 is 2 inch square, and in the example shown in FIG. It is an inch square.

また、２０インチのテレビの面積に対応した大面積を有する光学シート２９を成形する金型（２１）におけるキャビティ成形面シート部材２６のキャビティ成形面３０（光学パターン成形面１４）を加工する場合について比較する。
所要の微細凹凸形状の光学パターン１１（１４）は、Ｖ字溝（溝幅１０μｍ）を縦方向、横方向、斜め方向の３方向パターンである。
即ち、従来の楕円振動切削法では約６日弱（連続可動）が必要である。
しかしながら、本発明においては、２インチの駒型の押圧面に所要の微細凹凸形状の光学パターンを楕円振動切削する工程を含み、約１０時間で加工することができる。
従って、本発明によれば、キャビティ成形面シート部材２６（金型２１）の生産性を効率良く向上させることができる。 Further, in the case of processing the cavity molding surface 30 (optical pattern molding surface 14) of the cavity molding surface sheet member 26 in the mold (21) for molding the optical sheet 29 having a large area corresponding to the area of a 20 inch television. Compare.
The required fine concave-convex optical pattern 11 (14) is a three-directional pattern of V-shaped grooves (groove width of 10 μm) in the vertical direction, the horizontal direction, and the diagonal direction.
That is, the conventional elliptical vibration cutting method requires about 6 days (continuous movement).
However, in the present invention, the process can be performed in about 10 hours, including a step of elliptically oscillating a required fine uneven optical pattern on a 2-inch piece-shaped pressing surface.
Therefore, according to the present invention, the productivity of the cavity-formed surface sheet member 26 (mold 21) can be improved efficiently.

（本発明の作用効果について）
即ち、本発明によれば、図１、図２、図３に示す成形用金型の加工装置１を用いて、大面積を有する光学シート２９（光学成形品）を成形するキャビティ成形面３０（光学パターン成形面）を備えたキャビティ成形面シート部材２６（金型２１）を効率良く加工することができる。
更に、本発明によれば、成形用金型の加工装置１を用いて、所要の厚さを有するシート状の金型材料２（塑性変形性を有するＳＯＧ材料）に設定されたマトリクス配置全面１２の被押圧範囲１０の夫々に対して、各別に且つ順次に、駒型（ナノインプリント型）を超音波振動させた状態で、駒型７を連続して押圧することにより、被押圧範囲１０の夫々に所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を連続して加工することができる。
このため、シート状の金型材料２（ＳＯＧ材料）を、大面積を有する光学シート２９（光学成形品）を成形するキャビティ成形面（転写面）３０を備えたキャビティ成形面シート部材２６（金型２１）に効率良く加工することができる。 (About the effect of this invention)
That is, according to the present invention, the cavity molding surface 30 (for molding an optical sheet 29 (optical molded product) having a large area) is formed using the molding die processing apparatus 1 shown in FIGS. The cavity molding surface sheet member 26 (mold 21) provided with the optical pattern molding surface) can be processed efficiently.
Furthermore, according to the present invention, the entire surface 12 of the matrix arrangement set to the sheet-shaped mold material 2 (the SOG material having plastic deformability) having a required thickness by using the molding die processing apparatus 1. Each of the pressed ranges 10 is continuously pressed against each of the pressed ranges 10 in a state where the piece type (nanoimprint type) is ultrasonically oscillated separately and sequentially. In addition, the optical pattern 11 having a required fine uneven shape can be continuously processed.
For this reason, the sheet-shaped mold material 2 (SOG material) is formed into a cavity molded surface sheet member 26 (metal mold) having a cavity molded surface (transfer surface) 30 for molding an optical sheet 29 (optical molded product) having a large area. The mold 21) can be processed efficiently.

また、本発明によれば、従来の金型材料を楕円振動切削する構成に比べて、本発明にように、駒型７の押圧面９を楕円振動切削にて加工する構成を含んだとしても、シート状の金型材料２（ＳＯＧ材料）に、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を押圧する構成の方が、その加工時間が極めて少なく、短時間となるものである。
このため、本発明によれば、キャビティ成形面シート部材２６（金型２１）の生産性を効率良く向上させることができる。
また、本発明によれば、大面積を有する光学シート２９を成形するキャビティ成形面３０を備えたキャビティ成形面シート部材２６を設けた金型２１を用いて、大面積を有する光学シート２９を効率良く成形することができる。 In addition, according to the present invention, even if a configuration in which the pressing surface 9 of the piece 7 is processed by elliptical vibration cutting as in the present invention is included as compared with a configuration in which conventional mold material is subjected to elliptical vibration cutting. The configuration in which the piece mold 7 is pressed in a state where the piece mold 7 is ultrasonically vibrated to the sheet-shaped mold material 2 (SOG material) is extremely short in processing time, and thus takes a short time. is there.
For this reason, according to this invention, productivity of the cavity shaping | molding surface sheet | seat member 26 (metal mold | die 21) can be improved efficiently.
Further, according to the present invention, the optical sheet 29 having a large area is efficiently used by using the mold 21 provided with the cavity forming surface sheet member 26 having the cavity forming surface 30 for forming the optical sheet 29 having a large area. It can be molded well.

（光学成形品の成形用金型の構成について）
即ち、本発明に係るキャビティ成形面３０（光学パターン成形面１４）を有するキャビティ成形面シート部材２６を備えた光学成形品の成形用金型として、例えば、図５（１）、図５（２）に示す光学成形品の圧縮成形用金型２１が挙げられる。
この光学成形品の圧縮成形用金型２１には、固定上型２２と、上型２２に対向配置した可動下型２３とが設けられて構成されると共に、図示はしていないが、上下両型２２、２３には加熱手段（或いは、更に、冷却手段）が設けられて構成されている。
また、下型２３の型面にはキャビティ開口部を有する光学シート成形用キャビティ２４（凹部）が形成されると共に、キャビティ２４の底面にはキャビティ２４内の樹脂を所要の加圧力で加圧するキャビティ底面部材２５が設けられて構成されている。
また、キャビティ底面部材２５には、キャビティ底面側に設けられたキャビティ成形面シート部材２６と、キャビティ成形面シート部材２６の下方側に設けられたキャビティ加圧部材２７が設けられて構成されている。
また、キャビティ加圧部材２７にキャビティ成形面シート部材２６が着脱自在に設けられて構成されている。
即ち、下型キャビティ２４内に供給された樹脂材料２８をキャビティ底面部材２５（２６）で加圧することができるように構成されている。
従って、上型２２の型面を含む光学シート成形用キャビティ２４内でキャビティ２４の形状に対応した光学シート２９を成形することができる。
また、キャビティ成形面シート部材２６のキャビティ成形面（転写面）３０に形成されたマトリクス型配置全面１２に形成された所要の微細凹凸状の光学パターン１１を、即ち、所要の微細凹凸状の光学パターン成形面１４（１１）を、大面積を有する光学シート２９に転写成形することができる。 (Configuration of mold for optical molded product)
That is, as a mold for molding an optical molded product including the cavity molding surface sheet member 26 having the cavity molding surface 30 (optical pattern molding surface 14) according to the present invention, for example, FIG. An optically molded product 21 for compression molding shown in FIG.
The compression molding die 21 of this optically molded product is configured by being provided with a fixed upper die 22 and a movable lower die 23 disposed opposite to the upper die 22, and although not shown, The molds 22 and 23 are provided with heating means (or further cooling means).
In addition, an optical sheet molding cavity 24 (concave portion) having a cavity opening is formed on the mold surface of the lower mold 23, and a cavity that pressurizes the resin in the cavity 24 with a required pressure on the bottom surface of the cavity 24. A bottom member 25 is provided and configured.
Further, the cavity bottom surface member 25 includes a cavity molding surface sheet member 26 provided on the cavity bottom surface side and a cavity pressurizing member 27 provided on the lower side of the cavity molding surface sheet member 26. .
Further, the cavity pressing member 27 is configured such that a cavity forming surface sheet member 26 is detachably provided.
That is, the resin material 28 supplied into the lower mold cavity 24 can be pressurized by the cavity bottom member 25 (26).
Therefore, the optical sheet 29 corresponding to the shape of the cavity 24 can be molded in the optical sheet molding cavity 24 including the mold surface of the upper mold 22.
Further, the required fine uneven optical pattern 11 formed on the entire matrix arrangement 12 formed on the cavity forming surface (transfer surface) 30 of the cavity forming surface sheet member 26, that is, the required fine uneven optical pattern. The pattern molding surface 14 (11) can be transfer molded to the optical sheet 29 having a large area.

（光学成形品の成形方法について）
まず、まず、下型キャビティ２４内に、例えば、透明性を有する液状のシリコーン樹脂材料（熱硬化性樹脂材料）２８を供給すると共に、金型２１（上下両型２２、２３）を型締めする。
次に、下型キャビティ２４内の加熱された樹脂材料（２８）をキャビティ底面部材２５（２６）で所要の加圧力にて加圧することができる。
即ち、下型キャビティ２４内で下型キャビティ２４の形状に対応した大面積の光学シート（光学成形品）２９を成形することができる。
このとき、キャビティ成形面シート部材２６のキャビティ成形面３０に加工されたマトリクス型配置全面１２における所要の微細凹凸状の光学パターン１１（光学パターン成形面１４）を、大面積を有する光学シート２９に転写成形することができる。
従って、硬化に必要な所要時間の経過後、金型２１（上下両型２２、２３）を型開きすることにより、所要の微細凹凸状の光学パターンを有する大面積の光学シート２９を得ることができる。
なお、熱可塑性の樹脂材料を用いた場合は、下型キャビティ２４内で樹脂材料（２８）を加熱した後、冷却手段にて冷却固化されることになる。 (About molding methods for optical molded products)
First, for example, a transparent liquid silicone resin material (thermosetting resin material) 28 is supplied into the lower mold cavity 24, and the mold 21 (both upper and lower molds 22, 23) is clamped. .
Next, the heated resin material (28) in the lower mold cavity 24 can be pressurized with the required pressure by the cavity bottom member 25 (26).
That is, a large-area optical sheet (optical molded product) 29 corresponding to the shape of the lower mold cavity 24 can be formed in the lower mold cavity 24.
At this time, the required fine uneven optical pattern 11 (optical pattern forming surface 14) on the entire matrix mold arrangement 12 processed on the cavity forming surface 30 of the cavity forming surface sheet member 26 is formed into an optical sheet 29 having a large area. Can be transfer molded.
Therefore, after the time required for curing has elapsed, the mold 21 (both upper and lower molds 22, 23) is opened to obtain a large-area optical sheet 29 having a required fine uneven optical pattern. it can.
When a thermoplastic resin material is used, the resin material (28) is heated in the lower mold cavity 24 and then cooled and solidified by the cooling means.

（その他について）
総じて、本発明において、位置制御手段にて、シート状金型材料２（塑性変形性を有するＳＯＧ材料）の表面におけるマトリクス型配置全面１２となる被押圧範囲１０の夫々に対して、各別に且つ順次に、駒型７を超音波振動させた状態で、駒型７を連続して押圧することができる。
また、本発明に係る位置制御手段にて駒型７の押圧面９に対する被押圧範囲１０の夫々を効率良く設定することができる。
このため、キャビティ成形面３０に所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を有する被押圧範囲１０（１１）をマトリクス型に配置したマトリクス型配置全面１２（光学パターン成形面１４）に効率良く形成することができる。
このとき、隣接する被押圧範囲１０（所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１）の間（継目）を効率良く且つ隙間なく（ナノレベルで）位置制御することができる。
このため、キャビティ成形面３０における所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１を備えたマトリクス型全面１２を、大面積を有する光学シート２９の表面に転写成形することができる。
また、このとき、観賞上、大面積を有する光学シート２９の表面を効率良く均一に明るくすることができる。 (About others)
In general, in the present invention, each of the pressed ranges 10 that are the entire matrix-type arrangement surface 12 on the surface of the sheet-shaped mold material 2 (the SOG material having plastic deformability) is individually controlled by the position control means. Sequentially, the piece mold 7 can be continuously pressed while the piece mold 7 is ultrasonically vibrated.
Moreover, each of the to-be-pressed range 10 with respect to the press surface 9 of the piece type | mold 7 can be set efficiently by the position control means which concerns on this invention.
For this reason, the pressed area 10 (11) having the optical pattern 11 having the required fine uneven shape on the cavity molding surface 30 is efficiently formed on the matrix type arrangement entire surface 12 (optical pattern molding surface 14) arranged in a matrix type. be able to.
At this time, it is possible to control the position between the adjacent pressed ranges 10 (the optical pattern 11 having the required fine uneven shape) (seam) efficiently and without gaps (at the nano level).
For this reason, the matrix type whole surface 12 provided with the optical pattern 11 which has the required fine uneven | corrugated shape in the cavity shaping | molding surface 30 can be transfer-molded on the surface of the optical sheet 29 which has a large area.
Further, at this time, the surface of the optical sheet 29 having a large area can be brightened efficiently and uniformly.

また、例えば、シート状金型材料２となるスピンコートＳＯＧ材料の所要複数個所に、インプレント用の駒型をスピンコートＳＯＧ材料２の表面に押圧する場合に、当該ＳＯＧ材料２を加熱したとき（熱プレスしたとき）、ＳＯＧ材料２の被押圧範囲１０の外周囲に（継目の近傍に）加熱（伝導熱）による影響が出やすい傾向にある。
しかしながら、本発明は、前述したように、室温（例えば、−５℃〜３５℃）で、シート状金型材料２となるスピンコートＳＯＧ材料に、インプレント用の駒型を超音波振動させた状態で、スピンコートＳＯＧ材料２の表面の所要複数個所１０の夫々に押圧する構成である。
このため、本発明によれば、ＳＯＧ材料２の被押圧範囲の外周囲に（継目の近傍に）、
前述した加熱（伝導熱）による影響を効率良く防止することができる。
従って、隣接する所要の微細凹凸形状を有する光学パターン１１の継目に駒型の押圧による影響を効率良く防止し得て、観賞上、大面積を有する光学シート２９の表面を効率良く均一に明るくすることができる金型（光学パターン成形面１４（１１）を有するキャビティ成形面シート部材２６）を加工することができる。 Also, for example, when the SOG material 2 is heated in the case where an imprint piece is pressed against the surface of the spin coat SOG material 2 at a required plurality of positions of the spin coat SOG material to be the sheet-shaped mold material 2 (When hot-pressed), the influence of heating (conducting heat) tends to appear on the outer periphery of the pressed range 10 of the SOG material 2 (in the vicinity of the joint).
However, according to the present invention, as described above, the imprint piece mold is ultrasonically vibrated at the room temperature (for example, −5 ° C. to 35 ° C.) on the spin coat SOG material to be the sheet mold material 2. In this state, it is configured to press each of the required plural places 10 on the surface of the spin coat SOG material 2.
For this reason, according to the present invention, the outer periphery of the pressed range of the SOG material 2 (in the vicinity of the seam),
It is possible to efficiently prevent the influence of the heating (conduction heat) described above.
Therefore, it is possible to efficiently prevent the influence of the pressing of the frame shape at the joint of the adjacent optical pattern 11 having the required fine uneven shape, and to brighten the surface of the optical sheet 29 having a large area efficiently and uniformly. A mold (cavity molding surface sheet member 26 having optical pattern molding surface 14 (11)) that can be processed can be processed.

本発明は、前述した実施例のものに限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意且つ適宜に変更・選択して採用できるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be arbitrarily changed and selected as needed within a range not departing from the gist of the present invention.

図１は、本発明に係る光学成形品の成形用金型の加工方法を説明する成形用金型の加工装置を概略的に示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view schematically showing a molding die processing apparatus for explaining a method for processing a molding die for an optical molded product according to the present invention. 図２は、図１に示す加工装置を概略的に示す概略縦断面図である。FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view schematically showing the processing apparatus shown in FIG. 図３は、図１に示す加工装置の要部を概略的に示す概略平面図であって、キャビティ成形面シート部材（金型部材）の被加工面（キャビティ成形面）を示している。FIG. 3 is a schematic plan view schematically showing a main part of the processing apparatus shown in FIG. 1, and shows a processed surface (cavity forming surface) of a cavity forming surface sheet member (mold member). 図３に示す装置要部におけるマトリクス配置全面を概略的に示す概略平面図であって、図４（１）は駒型による押圧前の状態（シート状の金型材料）を示し、図４（２）は駒型による押圧時の状態を示し、図４（３）は駒型による押圧後の状態（キャビティ成形面シート部材）を示している。FIG. 4 is a schematic plan view schematically showing the entire matrix arrangement in the main part of the apparatus shown in FIG. 3, and FIG. 4 (1) shows a state (sheet-like mold material) before pressing by a piece shape; 2) shows a state at the time of pressing by the piece shape, and FIG. 4 (3) shows a state after the pressing by the piece shape (cavity forming surface sheet member). 図５（１）、図５（２）は、本発明に係る光学成形品の成形用金型を概略的に示す概略縦断面図であって、図５（１）は前記した金型の型開状態を示し、図５（２）は前記した金型の型締状態を示している。FIGS. 5 (1) and 5 (2) are schematic longitudinal sectional views schematically showing a mold for molding an optical molded product according to the present invention, and FIG. 5 (1) is a mold of the above-described mold. The open state is shown, and FIG. 5 (2) shows the above-described mold clamping state.

１ 成形用金型の加工装置
２ シート状の金型材料
３ 塗布板
４ 塗布板の載置テーブル
５ 駒型の押圧手段
６ 押圧手段本体
７ 駒型
８ 超音波振動機構
９ 押圧面
１０ 被押圧範囲
１１ 所要の微細凹凸形状を有する光学パターン
１２ マトリクス型配置全面
１３ 押圧順路（押圧順序）
１４ 光学パターン成形面（光学パターンのマトリクス型配置の全面）
２１ 光学成形品の圧縮成形用金型
２２ 固定上型
２３ 可動下型
２４ キャビティ
２５ キャビティ底面部材
２６ キャビティ成形面シート部材
２７ キャビティ加圧部材
２８ 樹脂材料
２９ 光学シート
３０ キャビティ成形面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Molding device processing apparatus 2 Sheet-shaped mold material 3 Coating plate 4 Placing table of coating plate 5 Piece-shaped pressing means 6 Pressing means main body 7 Piece type 8 Ultrasonic vibration mechanism 9 Pressing surface 10 Pressed range 11 Optical pattern having required fine uneven shape 12 Matrix type entire surface 13 Pressing path (pressing order)
14 Optical pattern molding surface (entire surface of optical pattern matrix type arrangement)
21 Mold for Compression Molding of Optical Molded Product 22 Fixed Upper Mold 23 Movable Lower Mold 24 Cavity 25 Cavity Bottom Member 26 Cavity Molding Surface Sheet Member 27 Cavity Pressure Member 28 Resin Material 29 Optical Sheet 30 Cavity Molding Surface

Claims (10)

所要形状の光学パターンを有する光学成形品を金型キャビティ内で成形する光学成形品の成形用金型を加工する光学成形品の成形用金型の加工方法であって、
前記金型キャビティに設けられた金型キャビティ成形面シート部材を加工する金型材料として、塑性変形性を有する金型材料を用意する工程と、
前記金型材料を押圧して所要形状の光学パターンを加工する駒型を用意する工程と、
前記した金型材料に前記した駒型を振動させた状態で押圧することにより、前記した金型キャビティ成形面シート部材に所要形状の光学パターンを加工する工程と、
前記金型材料に駒型を押圧するとき、前記した金型材料の所要複数個所に各別に前記した駒型で順番に押圧することにより、前記したキャビティ成形面シート部材を形成する工程とを含むことを特徴とする光学成形品の成形用金型の加工方法。 A method for processing a mold for molding an optical molded product for processing a mold for molding an optical molded product for molding an optical molded product having an optical pattern of a required shape in a mold cavity,
Preparing a mold material having plastic deformability as a mold material for processing a mold cavity molding surface sheet member provided in the mold cavity;
A step of preparing a piece mold for processing the optical pattern of a required shape by pressing the mold material;
A step of processing an optical pattern of a required shape on the above-described mold cavity molding surface sheet member by pressing the above-described mold material in a state of vibrating the above-mentioned piece mold;
When pressing the piece type to the mold material, by pressing the desired plurality of positions in turn aforementioned frame type to each other of the gold type material, and forming a cavity forming surface sheet member described above A method for processing a mold for molding an optical molded product. 金型材料を駒型で押圧するときに、前記金型材料に前記駒型を超音波振動させた状態で押圧することにより、金型キャビティ成形面シート部材に所要形状の光学パターンを加工する工程と含むことを特徴とする請求項１に記載の光学成形品の成形用金型の加工方法。   A step of processing an optical pattern of a required shape on a mold cavity molding surface sheet member by pressing the mold material in a state of ultrasonically vibrating the piece mold when pressing the mold material with a piece mold The processing method of the shaping | molding die for optical molded articles of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 金型材料を用意するときに、駒型で押圧する被押圧範囲をマトリクス型にて全面に配置したマトリクス型配置の金型材料を用意する工程と含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学成形品の成形用金型の加工方法。   2. The method according to claim 1, further comprising the step of preparing a mold material having a matrix type arrangement in which a pressed range to be pressed by a piece type is arranged on the entire surface in a matrix type when preparing the mold material. 3. A method for processing a mold for molding an optical molded article according to 2. 金型材料を用意するときに、塗布板に金型材料をスピンコートすることにより、前記した塗布板に所要の厚さを有するシート状の金型材料を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学成形品の成形用金型の加工方法。   When preparing the mold material, the present invention includes a step of forming a sheet-shaped mold material having a required thickness on the coating plate by spin-coating the mold material on the coating plate. A method for processing a mold for molding an optical molded product according to claim 1 or 2. 金型材料が、スピンオングラス材料であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学成形品の成形用金型の加工方法。   3. The method for processing a mold for molding an optical molded article according to claim 1, wherein the mold material is a spin-on-glass material. スピンオングラス材料が、水素化シルセスキサンポリマー、或いは、アルキルシルセスキオサンポリマーであることを特徴とする請求項５に記載の光学成形品の成形用金型の加工方法。   6. The method for processing a mold for molding an optical molded article according to claim 5, wherein the spin-on-glass material is a hydrogenated silsesquioxane polymer or an alkyl silsesquioxane polymer. 光学成形品成形用の金型キャビティ内で所要形状の光学パターンを有する光学成形品を成形する光学成形品の成形用金型であって、前記した金型キャビティの成形面を、前記した光学成形品の所要形状の光学パターンに対応した所要形状の光学パターンを有する駒型を塑性変形性を有する金型材料の所要複数個所に前記した駒型を振動させた状態で押圧して形成した所要形状の光学パターンにて形成したことを特徴とする光学成形品の成形用金型。 An optical molded product molding mold for molding an optical molded product having an optical pattern of a required shape in a mold cavity for molding an optical molded product, the molding surface of the mold cavity described above being the optical molding described above A required shape formed by pressing a piece having an optical pattern of a required shape corresponding to an optical pattern of a required shape of a product in a state where the above-mentioned pieces are vibrated in a plurality of required positions of a mold material having plastic deformability. A mold for molding an optical molded product, characterized in that it is formed with an optical pattern of 金型キャビティの成形面を、光学成形品の所要形状の光学パターンに対応した所要形状の光学パターンを有する駒型を金型材料の所要複数個所に駒型を超音波振動させた状態で押圧して形成した所要形状の光学パターンにて形成することを特徴とする請求項７に記載の光学成形品の成形用金型。   Press the mold surface of the mold cavity that has the optical pattern of the required shape corresponding to the optical pattern of the required shape of the optical molded product in a state where the piece mold is ultrasonically vibrated at the required locations of the mold material. 8. The mold for molding an optical molded article according to claim 7, wherein the mold is formed with an optical pattern having a required shape. 金型材料が、スピンオングラス材料であることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の光学成形品の成形用金型。   The mold for molding an optical molded article according to claim 7 or 8, wherein the mold material is a spin-on-glass material. スピンオングラス材料が、水素化シルセスキサンポリマー、或いは、アルキルシルセスキオサンポリマーであることを特徴とする請求項９に記載の光学成形品の成形用金型。   10. The mold for molding an optical molded article according to claim 9, wherein the spin-on-glass material is a hydrogenated silsesquioxane polymer or an alkyl silsesquioxane polymer.
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