JP5331375B2

JP5331375B2 - Sampling device and test device

Info

Publication number: JP5331375B2
Application number: JP2008120656A
Authority: JP
Inventors: 弘一郎植草; 雅之川端
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2008-05-02
Filing date: 2008-05-02
Publication date: 2013-10-30
Anticipated expiration: 2028-05-02
Also published as: JP2009270895A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sampling device having a short measuring time. <P>SOLUTION: This sampling device for sampling a repeated signal repeated for every repeating period determined beforehand has: a sampling part for sampling at a plurality of sampling timings which is larger than the number of a repeating period of the repeated signal over a plurality of repeating periods, and outputting a plurality of sampling data; and an alignment part for aligning the plurality of sampling data in the order of the phase of each repeated signal, and outputting waveform data acquired by sampling each repeated signal. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、サンプリング装置および試験装置に関する。特に本発明は、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングするサンプリング装置および試験装置に関する。 The present invention relates to a sampling device and a test device. In particular, the present invention relates to a sampling apparatus and a test apparatus that sample a repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period.

信号をサンプリングする方法の一つとして、アンダーサンプリングが知られている。アンダーサンプリングは、同一波形を繰り返すサンプル対象信号を出力させ、この繰返し周期（Ｔ）よりも微小時間（ΔＴ）だけ長い周期（Ｔ＋ΔＴ）によりサンプル対象信号を順次にサンプルする。これにより、サンプル対象信号の波形をΔＴのサンプリング周期でサンプルした場合に得られるデータと等価なサンプリングデータを取得することができる。 Undersampling is known as one method for sampling a signal. Undersampling outputs a sample target signal that repeats the same waveform, and sequentially samples the sample target signal with a period (T + ΔT) that is longer than the repetition period (T) by a minute time (ΔT). Thereby, sampling data equivalent to the data obtained when the waveform of the sampling target signal is sampled at the sampling period of ΔT can be acquired.

特開２００１−２７６５２号公報JP 2001-27652 A レクロイ・ジャパン株式会社、「サンプリング・オシロスコープで１０ＭＳ／ｓを実現した画期的タイムベースＣＩＳ（Coherent Interleaved Sampling）の解説」、エレクトロニクスアップデイト、２００５年７月LeCroy Japan Co., Ltd., “Explanation of groundbreaking time base CIS (Coherent Interleaved Sampling) that realized 10 MS / s with sampling oscilloscope”, Electronics Update, July 2005

しかし、このようなアンダーサンプリング方法は、同一波形を繰返し出力しなければならなく、十分なサンプル数のデータが得られるまでに長い時間を費やさなければならなかった。また、デバイスの試験において、デバイスから出力された信号をアンダーサンプリングして取り込むと、高速なＡＤコンバータを用いなくてよいので装置のコストを低くすることができるが、試験時間は長くなってしまう。 However, such an undersampling method has to repeatedly output the same waveform, and it has been necessary to spend a long time until data having a sufficient number of samples can be obtained. In the device test, if the signal output from the device is undersampled and taken in, it is not necessary to use a high-speed AD converter, so that the cost of the apparatus can be reduced, but the test time becomes longer.

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできるサンプリング装置および試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。 Therefore, an object of the present invention is to provide a sampling device and a test device that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングするサンプリング装置であって、複数の繰返し周期にわたって、繰返し信号の繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、複数のサンプリングデータを繰返し信号の位相順に整列して、繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、を備えるサンプリング装置を提供する。 In order to solve the above-described problem, according to a first aspect of the present invention, there is provided a sampling device for sampling a repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period, and the repetitive signal has a repetitive period over a plurality of repetitive periods. A sampling section that samples at a plurality of sampling timings greater than the number and outputs a plurality of sampling data; an alignment section that aligns the plurality of sampling data in the order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal; A sampling device is provided.

本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに試験信号を供給する試験信号供給部と、試験信号に応じて被試験デバイスが出力する、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングして、繰返し信号の波形データを出力するサンプリング装置と、波形データに基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、を備え、サンプリング装置は、複数の繰返し周期にわたって、繰返し信号の繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、複数のサンプリングデータを、繰返し信号の位相順に整列して、繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、を有する試験装置を提供する。 In the second embodiment of the present invention, a test apparatus for testing a device under test, a test signal supply unit for supplying a test signal to the device under test, and a device under test output in advance according to the test signal, A sampling device comprising: a sampling device that samples a repetitive signal repeated every predetermined repetitive period and outputs waveform data of the repetitive signal; and a determination unit that determines the quality of the device under test based on the waveform data A sampling unit that outputs a plurality of sampling data by sampling at a plurality of sampling timings that are larger than the number of repetition periods of the repetitive signal over a plurality of repetitive periods, and aligns the plurality of sampling data in the order of the phases of the repetitive signals. And an alignment unit that outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal. To provide.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the claimed invention, and all combinations of features described in the embodiments are described. It is not necessarily essential for the solution of the invention.

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を、被試験デバイス２００とともに示す。試験装置１０は、被試験デバイス２００を試験する。試験装置１０は、一例として、被試験デバイス２００から出力されるシリアル伝送信号の符号間干渉によるデータ依存ジッタの特性試験をしてよい。 FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 10 according to this embodiment together with a device under test 200. The test apparatus 10 tests the device under test 200. As an example, the test apparatus 10 may test a characteristic of data-dependent jitter due to intersymbol interference of a serial transmission signal output from the device under test 200.

試験装置１０は、試験信号供給部２０と、サンプリング装置３０と、判定部４０とを備える。試験信号供給部２０は、被試験デバイス２００に試験信号を供給して、被試験デバイス２００から予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号を出力させる。試験信号供給部２０は、一例として、擬似ランダムデータに応じた波形の信号（すなわち、擬似ランダム信号）を、被試験デバイス２００から繰返して出力させてよい。 The test apparatus 10 includes a test signal supply unit 20, a sampling device 30, and a determination unit 40. The test signal supply unit 20 supplies a test signal to the device under test 200 and causes the device under test 200 to output a repetitive signal that repeats every predetermined repetitive cycle. As an example, the test signal supply unit 20 may repeatedly output a signal having a waveform corresponding to pseudo-random data (ie, a pseudo-random signal) from the device under test 200.

サンプリング装置３０は、試験信号に応じて被試験デバイス２００が出力する、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングする。そして、サンプリング装置３０は、繰返し信号の波形を表わす波形データを出力する。サンプリング装置３０は、一例として、繰返し周期毎に繰り返す擬似ランダム信号をサンプリングして、擬似ランダム信号の波形を表す波形データを出力してよい。サンプリング装置３０は、一例として、繰返し信号の時系列波形を表す波形データを出力してもよいし、繰返し信号の周波数成分を表す波形データを出力してもよい。 The sampling device 30 samples a repetitive signal that is output by the device under test 200 in response to the test signal and that repeats every predetermined repetitive cycle. Then, the sampling device 30 outputs waveform data representing the waveform of the repetitive signal. For example, the sampling device 30 may sample a pseudo-random signal that repeats every repetition period, and output waveform data representing the waveform of the pseudo-random signal. As an example, the sampling device 30 may output waveform data representing a time-series waveform of a repetitive signal, or may output waveform data representing a frequency component of the repetitive signal.

判定部４０は、サンプリング装置３０が出力した波形データに基づいて、被試験デバイス２００の良否を判定する。判定部４０は、一例として、サンプリング装置３０が出力した波形データに基づいてアイダイアグラムを生成して、使用者に提示してよい。また、判定部４０は、サンプリング装置３０が出力した波形データに基づき符号間干渉によるデータ依存ジッタを算出して、データ依存ジッタが基準値以内であるか否かを判定してもよい。 The determination unit 40 determines pass / fail of the device under test 200 based on the waveform data output by the sampling device 30. For example, the determination unit 40 may generate an eye diagram based on the waveform data output by the sampling device 30 and present it to the user. Further, the determination unit 40 may calculate data-dependent jitter due to intersymbol interference based on the waveform data output from the sampling device 30, and determine whether the data-dependent jitter is within a reference value.

図２は、本実施形態に係るサンプリング装置３０の構成を示す。サンプリング装置３０は、サンプリング部５２と、設定部５４と、整列部５６とを有する。 FIG. 2 shows a configuration of the sampling device 30 according to the present embodiment. The sampling device 30 includes a sampling unit 52, a setting unit 54, and an alignment unit 56.

サンプリング部５２は、複数の繰返し周期の測定期間にわたって、繰返し信号の繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力する。すなわち、サンプリング部５２は、被試験デバイス２００が出力した繰返し信号を、当該繰返し信号の繰返し周期より短いサンプリング間隔で、複数の繰返し周期の測定期間にわたってサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力する。 The sampling unit 52 performs sampling at a plurality of sampling timings larger than the number of repetition periods of the repeated signal over a plurality of repetition period measurement periods, and outputs a plurality of sampling data. That is, the sampling section 52 samples the repetitive signal output from the device under test 200 over a plurality of repetitive period measurement periods at a sampling interval shorter than the repetitive period of the repetitive signal, and outputs a plurality of sampling data.

サンプリング部５２は、一例として、トラック／ホールド部６２と、ＡＤ変換部６４と、サンプリング制御部６６とを含んでよい。トラック／ホールド部６２は、被試験デバイス２００が出力した繰返し信号をサンプリング間隔毎にトラッキングおよびホールドを繰り返す。ＡＤ変換部６４は、トラック／ホールド部６２により繰返し信号がホールドされている期間中において、ホールドされた繰返し信号の振幅値を量子化して、ディジタルのサンプリングデータに変換する。サンプリング制御部６６は、トラック／ホールド部６２のトラッキングおよびホールドのタイミング制御、並びに、ＡＤ変換部６４の変換タイミングの制御をする。このようなサンプリング部５２によれば、繰返し信号を設定されたサンプリング間隔でサンプリングし、各サンプリングタイミングにおける繰返し信号の振幅を表すサンプルデータを、複数の繰返し周期の測定期間にわたって順次に出力することができる。 As an example, the sampling unit 52 may include a track / hold unit 62, an AD conversion unit 64, and a sampling control unit 66. The track / hold unit 62 repeats tracking and holding the repetitive signal output from the device under test 200 at every sampling interval. The AD conversion unit 64 quantizes the amplitude value of the held repetitive signal during the period in which the repetitive signal is held by the track / hold unit 62, and converts it into digital sampling data. The sampling controller 66 controls the tracking and hold timing of the track / hold unit 62 and the conversion timing of the AD converter 64. According to such a sampling unit 52, a repetitive signal is sampled at a set sampling interval, and sample data representing the amplitude of the repetitive signal at each sampling timing can be sequentially output over a plurality of repetitive period measurement periods. it can.

設定部５４は、サンプリング部５２が繰返し信号をサンプリングするサンプリング間隔を設定する。なお、設定部５４が設定するサンプリング間隔については、図３において説明する。 The setting unit 54 sets a sampling interval at which the sampling unit 52 samples the repeated signal. The sampling interval set by the setting unit 54 will be described with reference to FIG.

整列部５６は、サンプリング部５２により複数の繰返し周期の測定期間にわたってサンプルされた複数のサンプリングデータを、繰返し信号の位相順に整列する。そして、整列部５６は、位相順に整列した複数のサンプリングデータを、繰返し信号の波形をサンプリングした波形データとして出力する。これに代えて、整列部５６は、複数のサンプリングデータを、繰返し信号の周波数成分を表す複数の周波数データに変換して、周波数順に整列してもよい。そして、整列部５６は、周波数順に整列した複数の周波数データを、繰返し信号の波形をサンプリングした波形データとして出力してもよい。なお、整列部５６の構成の一例については、図４および図５において説明する。 The alignment unit 56 aligns the plurality of sampling data sampled by the sampling unit 52 over the measurement periods of the plurality of repetition periods in the order of the phases of the repetition signals. Then, the aligning unit 56 outputs a plurality of sampling data arranged in phase order as waveform data obtained by sampling the waveform of the repetitive signal. Instead of this, the aligning unit 56 may convert the plurality of sampling data into a plurality of frequency data representing the frequency components of the repetitive signal and arrange them in order of frequency. Then, the aligning unit 56 may output a plurality of frequency data arranged in order of frequency as waveform data obtained by sampling the waveform of the repetitive signal. An example of the configuration of the alignment unit 56 will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

図３の（Ａ）は、繰返し周期Ｔの一例を示す。図３の（Ｂ）は、擬似ランダム信号である繰返し信号の一例、および、複数のサンプリングタイミングにおいてサンプリングされた複数のサンプリング点を示す。図３の（Ｃ）は、複数のサンプリングタイミングを示す。図３の（Ｄ）は、各サンプリング点のサンプル順序を示す。 FIG. 3A shows an example of the repetition period T. FIG. 3B shows an example of a repetitive signal that is a pseudo-random signal and a plurality of sampling points sampled at a plurality of sampling timings. FIG. 3C shows a plurality of sampling timings. FIG. 3D shows the sample order of each sampling point.

ここで、当該サンプリング装置３０が出力すべき波形データのサンプル数をＮ（Ｎは、２以上の正の整数）とする。サンプル数Ｎは、使用者により予め設定されてもよいし、設定部５４によって適宜選択されてもよい。Ｎは、一例として、１０２４、２０４８等の２のべき乗の値であってよい。 Here, the number of waveform data samples to be output by the sampling device 30 is N (N is a positive integer of 2 or more). The sample number N may be set in advance by the user or may be appropriately selected by the setting unit 54. For example, N may be a power of 2 such as 1024 or 2048.

また、サンプリング部５２のサンプリング間隔を１／Ｆｓとする。さらに、サンプリング間隔１／Ｆｓにサンプル数Ｎを乗じた時間を測定期間Ｓとする。また、測定期間Ｓ内に含まれる繰返し信号の繰返し周期の数（繰返し数）を、Ｍ（Ｍは、２以上の正の整数）とする。この結果、繰返し周期Ｍの期間（すなわち、測定期間Ｓ）において、繰返し信号を１／Ｆｓ間隔でＮ回サンプルしたサンプリングデータが出力される。 Further, the sampling interval of the sampling unit 52 is 1 / Fs. Further, a measurement period S is a time obtained by multiplying the sampling interval 1 / Fs by the number of samples N. In addition, the number of repetition periods (repetition number) of the repetition signal included in the measurement period S is M (M is a positive integer of 2 or more). As a result, in the period of the repetition period M (that is, the measurement period S), sampling data obtained by sampling the repetition signal N times at 1 / Fs intervals is output.

設定部５４は、測定期間Ｓ中に複数の繰返し周期が含まれるように、サンプリング部５２にサンプリング間隔１／Ｆｓを設定する。さらに、設定部５４は、測定期間Ｓ内における複数のサンプリングタイミングのそれぞれに対応する繰返し信号の位相が、互いに異なるように（すなわち、互いに重ならないように）、サンプリング部５２にサンプリング間隔１／Ｆｓを設定する。このような設定がされることにより、サンプリング部５２は、繰返し信号の位相が互いに異なる複数のサンプリングタイミングで繰返し信号をサンプリングすることができる。 The setting unit 54 sets the sampling interval 1 / Fs in the sampling unit 52 so that a plurality of repetition periods are included in the measurement period S. Further, the setting unit 54 sets the sampling interval 1 / Fs to the sampling unit 52 so that the phases of the repetitive signals corresponding to each of the plurality of sampling timings in the measurement period S are different from each other (that is, do not overlap each other). Set. With this setting, the sampling unit 52 can sample the repetitive signal at a plurality of sampling timings in which the phase of the repetitive signal is different from each other.

さらに、設定部５４は、測定期間Ｓ内に含まれるサンプリングタイミングの数（すなわち、サンプル数Ｎ）が、測定期間Ｓ内に含まれる繰返し信号の繰返し周期の数（すなわち、繰返し数Ｍ）よりも多くなるように、サンプリング間隔１／Ｆｓおよび繰返し数Ｍを設定する。このような設定がされることにより、サンプリング部５２は、測定期間Ｓにわたって、繰返し信号の繰返し周期の数Ｍより多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力することができる。換言すれば、サンプリング部５２は、繰返し周期Ｔより小さい予め定められたサンプリング間隔１／Ｆｓで、繰返し信号をサンプリングすることができる。 Further, the setting unit 54 determines that the number of sampling timings included in the measurement period S (that is, the number of samples N) is greater than the number of repetition periods of the repeated signals included in the measurement period S (that is, the number of repetitions M). The sampling interval 1 / Fs and the number of repetitions M are set so as to increase. With such a setting, the sampling unit 52 can sample at a plurality of sampling timings larger than the number M of repetition periods of the repetitive signal over the measurement period S, and output a plurality of sampling data. In other words, the sampling unit 52 can sample the repetitive signal at a predetermined sampling interval 1 / Fs smaller than the repetitive period T.

より具体的には、設定部５４は、下記の式（１）の関係を満たし、且つ、ＮとＭとが互いに素となるような、サンプリング間隔１／Ｆｓおよび繰返し数Ｍをサンプリング部５２に設定する。
Ｔ×Ｍ＝Ｎ／Ｆｓ …（１）
すなわち、設定部５４は、繰返し周期Ｔに正の整数である繰返し数Ｍを乗じた値と、波形データのサンプル数とサンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、繰返し数とサンプル数とが互いに素となるようなサンプリング間隔１／Ｆｓおよび繰返し数Ｍをサンプリング部５２に設定してよい。このような設定がされることにより、サンプリング部５２は、繰返し信号を１／（Ｍ×Ｆｓ）の周期でサンプリングした場合に得られる複数のデータと、等価な複数のサンプリングデータを出力することができる。 More specifically, the setting unit 54 sets the sampling interval 1 / Fs and the number of repetitions M to the sampling unit 52 so that the relationship of the following expression (1) is satisfied and N and M are relatively prime. Set.
T × M = N / Fs (1)
That is, the setting unit 54 matches the value obtained by multiplying the repetition period T by the number of repetitions M, which is a positive integer, and the value obtained by multiplying the number of waveform data samples and the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples. The sampling interval 1 / Fs and the repetition number M may be set in the sampling unit 52 such that and are mutually prime. With such a setting, the sampling unit 52 can output a plurality of data obtained when the repetitive signal is sampled at a period of 1 / (M × Fs) and a plurality of sampling data equivalent to the data. it can.

さらに、設定部５４は、予め定められた下限値以上である最も小さな整数値を、繰返し数Ｍとして設定してよい。これにより、設定部５４は、サンプリング部５２からサンプル数Ｎのサンプリングデータが出力されるまでの期間をより短くすることができる。 Furthermore, the setting unit 54 may set the smallest integer value that is equal to or greater than a predetermined lower limit value as the repetition number M. Thereby, the setting unit 54 can further shorten the period until the sampling data of the number of samples N is output from the sampling unit 52.

このように、サンプリング部５２は、繰返し信号を１／（Ｍ×Ｆｓ）の周期でサンプリングした場合に得られる複数のデータと等価な複数のサンプリングデータを出力することができる。もっとも、サンプリング部５２が出力する複数のサンプリングデータの順序は、繰返し信号を１／（Ｍ×Ｆｓ）の周期で１周期分サンプリングした場合に得られる複数のデータと同一とはなっていない。そこで、整列部５６は、サンプリング部５２が出力した複数のサンプリングデータを、繰返し信号の位相順または周波数順に整列する。 As described above, the sampling unit 52 can output a plurality of sampling data equivalent to a plurality of data obtained when the repetitive signal is sampled at a period of 1 / (M × Fs). However, the order of the plurality of sampling data output by the sampling unit 52 is not the same as the plurality of data obtained when the repetitive signal is sampled for one period at a period of 1 / (M × Fs). Therefore, the alignment unit 56 aligns the plurality of sampling data output from the sampling unit 52 in the order of the phase or frequency of the repetitive signal.

図４は、整列部５６の構成の第１例を示す。本例に係る整列部５６は、ＦＩＦＯメモリ７２と、記憶部７４と、書込部７６と、読出部７８とを含む。 FIG. 4 shows a first example of the configuration of the alignment unit 56. The alignment unit 56 according to this example includes a FIFO memory 72, a storage unit 74, a writing unit 76, and a reading unit 78.

ＦＩＦＯメモリ７２は、サンプリング部５２から出力されたサンプリングデータをサンプリング順に順次に入力して記憶する。さらに、ＦＩＦＯメモリ７２は、記憶しているサンプリングデータを入力順に（すなわち、サンプリング順に）出力する。 The FIFO memory 72 sequentially inputs and stores the sampling data output from the sampling unit 52 in the order of sampling. Furthermore, the FIFO memory 72 outputs the stored sampling data in the order of input (that is, in the order of sampling).

記憶部７４は、繰返し信号の位相順に配列されたアドレスを有し、複数のサンプリングデータを記憶する。書込部７６は、ＦＩＦＯメモリ７２からサンプリング順に出力された複数のサンプリングデータのそれぞれを、記憶部７４における、繰返し数Ｍおよびサンプル数Ｎに基づき算出したアドレスに書き込む。読出部７８は、記憶部７４から複数のサンプリングデータをアドレス順に読み出す。そして、読出部７８は、読み出した複数のサンプリングデータを繰返し信号の時系列波形を表わす波形データとして外部に出力する。 The storage unit 74 has addresses arranged in the order of the phases of the repetitive signals, and stores a plurality of sampling data. The writing unit 76 writes each of the plurality of sampling data output from the FIFO memory 72 in the sampling order to the address calculated based on the repetition number M and the sample number N in the storage unit 74. The reading unit 78 reads a plurality of sampling data from the storage unit 74 in the order of addresses. Then, reading unit 78 outputs the plurality of read sampling data to the outside as waveform data representing a time-series waveform of the repetitive signal.

ここで、測定期間Ｓ内に含まれる繰返し信号の繰返し数がＭ、及び、測定期間Ｓ内の繰返し信号のサンプル数がＮであることから、サンプル順でｋ番目のサンプリングデータの、繰返し信号に対する位相は、下記式（２）に表わされような、繰返し信号の初期位相からｘ番目の位相となる。 Here, since the number of repetitions of the repetitive signal included in the measurement period S is M and the number of samples of the repetitive signal in the measurement period S is N, the k-th sampling data in the sample order with respect to the repetitive signal The phase is the x-th phase from the initial phase of the repetitive signal as represented by the following formula (2).

ｘ＝ｍｏｄ（ｋ×Ｍ，Ｎ） …（２）
なお、ｍｏｄ（Ａ，Ｂ）は、ＡをＢで除した余りを表わす。 x = mod (k × M, N) (2)
Note that mod (A, B) represents a remainder obtained by dividing A by B.

従って、書込部７６は、ＦＩＦＯメモリ７２からサンプル順に出力された複数のサンプリングデータのそれぞれを、上記式（２）により表わされる位相に対応するアドレスに書き込んでよい。すなわち、書込部７６は、複数のサンプリングデータのそれぞれを、記憶部７４における、当該サンプリングデータのサンプル順序ｋに繰返し数Ｍを乗じた値をサンプル数Ｎで除した余り値ｘに対応するアドレスに書き込んでよい。これにより、書込部７６は、繰返し信号の位相順に並べ替えられた複数のサンプリングデータを記憶部７４に記憶させることができる。 Therefore, the writing unit 76 may write each of the plurality of sampling data output from the FIFO memory 72 in the order of samples to the address corresponding to the phase represented by the above equation (2). That is, the writing unit 76 addresses each of the plurality of sampling data in the storage unit 74 corresponding to a remainder value x obtained by dividing a value obtained by multiplying the sampling order k of the sampling data by the number of repetitions M by the number of samples N. You may write to Thereby, the writing unit 76 can store a plurality of sampling data rearranged in the phase order of the repetitive signal in the storage unit 74.

このような整列部５６によれば、サンプリング部５２から出力された複数のサンプリングデータを、繰返し信号の位相順に整列することができる。従って、整列部５６は、繰返し信号の時系列波形を表わす波形データを出力することができる。 With such an aligning unit 56, a plurality of sampling data output from the sampling unit 52 can be aligned in the order of the phases of the repetitive signals. Therefore, the aligning unit 56 can output waveform data representing the time series waveform of the repetitive signal.

なお、書込部７６は、サンプリングに先立って、記憶部７４の各アドレスに無効データを書き込んでよい。そして、読出部７８は、記憶部７４からアドレス順にデータを読み出して、無効データ以外のデータをサンプリングデータとして順次出力してよい。これにより、記憶部７４に設けられたアドレス数に対して書き込まれるサンプリングデータの数が少ない場合であっても、正しい波形データを出力することができる。 The writing unit 76 may write invalid data to each address in the storage unit 74 prior to sampling. The reading unit 78 may read data from the storage unit 74 in the order of addresses and sequentially output data other than invalid data as sampling data. As a result, even when the number of sampling data to be written is small with respect to the number of addresses provided in the storage unit 74, correct waveform data can be output.

また、以上に代えて、記憶部７４は、複数のサンプリングデータのサンプリング順に配列されたアドレスを有してもよい。この場合、書込部７６は、複数のサンプリングデータのそれぞれを、サンプリング順に記憶部７４に書き込む。そして、読出部７８は、記憶部７４における、繰返し数Ｍおよびサンプル数Ｎに基づいて算出した読出インターバルで順次にアドレスを選択して、複数のサンプリングデータを読み出す。 Further, instead of the above, the storage unit 74 may have addresses arranged in the sampling order of the plurality of sampling data. In this case, the writing unit 76 writes each of the plurality of sampling data in the storage unit 74 in the sampling order. Then, the reading unit 78 sequentially selects addresses at a reading interval calculated based on the repetition number M and the sample number N in the storage unit 74 and reads a plurality of sampling data.

繰返し信号のｘ番目の位相のサンプリングデータのサンプル順序ｋ_１と、繰返し信号の（ｘ＋１）番目の位相のサンプリングデータのサンプル順序ｋ_２との差Ｄは、下記式（３）に表わされる値となる。 A sample order k ₁ of x th sampling data of the phase of the repetitive signal, the difference D between the sample order k ₂ of the (x + 1) th sampling data of the phase of the repetitive signal, the value represented by the following formula (3) Become.

Ｄ＝（（Ａ×Ｎ）＋１）／Ｍ …（３）
なお、式（３）において、Ａは、Ｄが整数となるような、任意の整数を表わす。 D = ((A × N) +1) / M (3)
In the formula (3), A represents an arbitrary integer such that D is an integer.

従って、読出部７８は、上記式（３）に表わされる読出インターバルで且つサイクリックにアドレスを選択して、記憶部７４からサンプリングデータを読み出してよい。すなわち、読出部７８は、任意の整数Ａにサンプル数Ｎを乗じた値に１を加算した値をＭで除して得られる整数値の読出インターバルで且つサイクリックにアドレスを選択して、記憶部７４からサンプリングデータを読み出してよい。このように読み出すことによっても、整列部５６は、サンプリング部５２から出力された複数のサンプリングデータを、繰返し信号の位相順に整列することができる。 Therefore, the reading unit 78 may read sampling data from the storage unit 74 by selecting an address cyclically at a reading interval represented by the above formula (3). That is, the reading unit 78 cyclically selects an address at a reading interval of an integer value obtained by dividing a value obtained by multiplying a value obtained by multiplying an arbitrary integer A by the number of samples N by 1 with M, and stores it. Sampling data may be read from the unit 74. By reading in this way, the aligning unit 56 can align the plurality of sampling data output from the sampling unit 52 in the order of the phases of the repetitive signals.

図５は、整列部５６の構成の第２例を示す。図５に示す整列部５６の構成の第２例は、図４に示した第１例に係る整列部５６の構成と略同一構成を有するので、図４に示した部材と略同一構成および機能の部材については同一の符号を付けて以下相違点を除いて説明を省略する。 FIG. 5 shows a second example of the configuration of the alignment unit 56. The second example of the configuration of the alignment unit 56 shown in FIG. 5 has substantially the same configuration as the configuration of the alignment unit 56 according to the first example shown in FIG. These members are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted except for differences.

本例に係る整列部５６は、ＦＩＦＯメモリ７２と、ＦＦＴ部８４と、記憶部７４と、書込部７６と、読出部７８とを含む。ＦＦＴ部８４は、ＦＩＦＯメモリ７２に記憶されている複数のサンプリングデータを読み出し、読み出した複数のサンプリングデータに対してＦＦＴ（高速フーリエ変換）を行って、複数の周波数データを生成する。 The alignment unit 56 according to this example includes a FIFO memory 72, an FFT unit 84, a storage unit 74, a writing unit 76, and a reading unit 78. The FFT unit 84 reads a plurality of sampling data stored in the FIFO memory 72, performs FFT (Fast Fourier Transform) on the read plurality of sampling data, and generates a plurality of frequency data.

記憶部７４は、繰返し信号の周波数に対応するアドレスを有する。書込部７６は、ＦＦＴ部８４により生成された複数の周波数データのそれぞれを、記憶部７４の対応するアドレスに書き込む。読出部７８は、記憶部７４に記憶されている複数の周波数データを周波数順に読み出す。そして、読出部７８は、読み出した複数の周波数データを繰返し信号の各周波数成分を表す波形データとして外部に出力する。 The storage unit 74 has an address corresponding to the frequency of the repetitive signal. The writing unit 76 writes each of the plurality of frequency data generated by the FFT unit 84 to a corresponding address in the storage unit 74. The reading unit 78 reads a plurality of frequency data stored in the storage unit 74 in order of frequency. Then, the reading unit 78 outputs the read plurality of frequency data to the outside as waveform data representing each frequency component of the repetitive signal.

図６は、被試験デバイス２００から出力された繰返し信号の周波数特性の一例、および、サンプリング部５２によるサンプル後の信号（すなわち、ＩＦ信号）の周波数特性の一例を示す。 FIG. 6 shows an example of the frequency characteristic of the repetitive signal output from the device under test 200 and an example of the frequency characteristic of the signal after sampling by the sampling unit 52 (ie, IF signal).

被試験デバイス２００から出力された繰返し信号には、低周波数から高周波までの全帯域にわたって信号成分が含まれる。これに対して、サンプリング部５２によるサンプル後のＩＦ信号は、ナイキスト周波数Ｆｓ／２（すなわち、サンプリング周波数Ｆｓの１／２の周波数）以上の周波数成分が制限される。 The repetitive signal output from the device under test 200 includes signal components over the entire band from low frequency to high frequency. On the other hand, the IF signal after sampling by the sampling unit 52 is limited in frequency components equal to or higher than the Nyquist frequency Fs / 2 (that is, a frequency that is ½ of the sampling frequency Fs).

このようなＩＦ信号には、図６のａに示されるように、繰返し信号における周波数０からナイキスト周波数（Ｆｓ／２）以下の帯域の成分が含まれる。さらに、ＩＦ信号には、図６のｂに示されるように、繰返し信号におけるナイキスト周波数（Ｆｓ／２）以上サンプリング周波数（Ｆｓ）以下の帯域成分の折り返し成分のオーバサンプリング成分が含まれる。また、ＩＦ信号には、図６のｃに示されるように、繰返し信号における、サンプリング周波数（Ｆｓ）より高くナイキスト周波数の３倍の周波数（Ｆｓ＋Ｆｓ／２）以下の帯域のアンダーサンプリング成分が含まれる。また、ＩＦ信号には、図６のｄに示されるように、ナイキスト周波数の３倍の周波数（Ｆｓ＋Ｆｓ／２）より高くサンプリング周波数の２倍の周波数（２×Ｆｓ）以下の帯域成分の折り返し成分のオーバサンプリング成分が含まれる。 As shown in FIG. 6a, such an IF signal includes components in a band from a frequency 0 to a Nyquist frequency (Fs / 2) or less in the repetitive signal. Further, as shown in FIG. 6 b, the IF signal includes an oversampling component that is a folded component of a band component that is equal to or higher than the Nyquist frequency (Fs / 2) and is equal to or lower than the sampling frequency (Fs) in the repetitive signal. In addition, as shown in FIG. 6 c, the IF signal includes an undersampling component in a band that is higher than the sampling frequency (Fs) and not more than three times the Nyquist frequency (Fs + Fs / 2) in the repetitive signal. . Further, as shown in FIG. 6d, the IF signal has a band component aliasing component that is higher than the frequency (Fs + Fs / 2) that is three times the Nyquist frequency and equal to or lower than the frequency (2 × Fs) that is twice the sampling frequency. Of oversampling components.

従って、整列部５６は、ＩＦ信号に含まれる繰返し信号のアンダーサンプリング成分および繰返し信号の折り返し成分のオーバサンプリング成分を整列することにより、繰返し信号における周波数０からナイキスト周波数より高い周波数までの測定帯域Ｆの周波数成分を表す波形データを生成することができる。もっとも、設定部５４は、繰返し信号における測定帯域Ｆ内の複数の周波数サンプル点が、ＩＦ信号の周波数上において互いに異なるように（すなわち、互いに重ならないように）、サンプリング部５２にサンプリング周波数を設定する。 Therefore, the aligning unit 56 aligns the undersampling component of the repetitive signal and the oversampling component of the repetitive signal aliasing component included in the IF signal, thereby measuring the measurement band F from the frequency 0 to the frequency higher than the Nyquist frequency in the repetitive signal. It is possible to generate waveform data representing frequency components. However, the setting unit 54 sets the sampling frequency in the sampling unit 52 so that a plurality of frequency sampling points within the measurement band F in the repetitive signal are different from each other on the frequency of the IF signal (that is, do not overlap each other). To do.

図７の（Ａ）は、被試験デバイス２００から出力された繰返し信号の周波数と、サンプル後の信号（ＩＦ信号）の周波数との対応関係の一例を示す。図７の（Ｂ）は、被試験デバイス２００から出力された繰返し信号の周波数特性を示す。図７の（Ｃ）は、サンプル後の信号（ＩＦ信号）の周波数特性を示す。 FIG. 7A shows an example of a correspondence relationship between the frequency of the repetitive signal output from the device under test 200 and the frequency of the sampled signal (IF signal). FIG. 7B shows the frequency characteristics of the repetitive signal output from the device under test 200. FIG. 7C shows the frequency characteristics of the sampled signal (IF signal).

ここで、サンプリング周波数がＦｓであることから、ＦＦＴ部８４がＦＦＴ演算した結果得られた周波数Ｆｉの周波数データは、繰返し信号における下記式（４）により表わされる周波数Ｆｒの信号成分を表わす。 Here, since the sampling frequency is Fs, the frequency data of the frequency Fi obtained as a result of the FFT operation by the FFT unit 84 represents a signal component of the frequency Fr represented by the following expression (4) in the repetitive signal.

ＩＦｍｏｄ（ｉｎｔ（Ｆｉ／（Ｆｓ／２），２））＝０
ＴＨＥＮＦｒ＝ｍｏｄ（Ｆｉ，Ｆｓ／２）
ＥＬＳＥＦｒ＝Ｆｓ／２−（ｍｏｄ（Ｆｉ，Ｆｓ）／２））
…（４）
なお、式（４）は、"ＩＦ"以下に表わされる条件式が真である場合、"ＴＨＥＮ"以下の式となり、偽である場合、"ＥＬＳＥ"以下の式となる。また、式（４）において、ｉｎｔ（Ｘ）は、Ｘの小数点以下を切り捨てた成分を表わす。 IF mod (int (Fi / (Fs / 2), 2)) = 0
THEN Fr = mod (Fi, Fs / 2)
ELSE Fr = Fs / 2− (mod (Fi, Fs) / 2))
... (4)
Equation (4) becomes an equation below “THEN” when the conditional expression expressed below “IF” is true, and becomes an equation below “ELSE” when false. Further, in Expression (4), int (X) represents a component obtained by rounding down the decimal part of X.

従って、書込部７６は、ＦＦＴ部８４から出力された複数の周波数データのそれぞれを、記憶部７４における上記式（４）に表わされる周波数に対応するアドレスに書き込んでよい。すなわち、書込部７６は、当該周波数データが繰返し信号の折り返し成分でない場合には（式（４）のＩＦが真の場合）、当該周波数Ｆｉをナイキスト周波数Ｆｓ／２で除した余りの周波数（式（４）のＴＨＥＮ以下の式で算出される周波数）に割り当てる。一方、書込部７６は、当該周波数データが繰返し信号の折り返し成分である場合には（式（４）のＩＦが偽の場合）、ナイキスト周波数Ｆｓ／２から、当該周波数Ｆｉをナイキスト周波数Ｆｓ／２で除した余りの周波数を減算した周波数（式（４）のＥＬＳＥ以下の式で算出される周波数）に割り当てる。 Therefore, the writing unit 76 may write each of the plurality of frequency data output from the FFT unit 84 to an address corresponding to the frequency represented by the above formula (4) in the storage unit 74. In other words, when the frequency data is not the aliasing component of the repetitive signal (if IF in equation (4) is true), the writing unit 76 divides the frequency Fi by the Nyquist frequency Fs / 2 ( (Frequency calculated by the following expression of THEN in Expression (4)). On the other hand, when the frequency data is a folded component of the repetitive signal (when IF in Expression (4) is false), the writing unit 76 calculates the frequency Fi from the Nyquist frequency Fs / 2. Assigned to the frequency obtained by subtracting the remainder of the frequency divided by 2 (frequency calculated by the expression below ELSE in Expression (4)).

このような整列部５６によれば、サンプリング部５２から出力された複数のサンプリングデータを、繰返し信号の周波数順に整列することができる。従って、整列部５６は、繰返し信号の周波数成分を表す波形データを出力することができる。 According to such an aligning unit 56, the plurality of sampling data output from the sampling unit 52 can be aligned in the order of the frequency of the repetitive signal. Therefore, the alignment unit 56 can output waveform data representing the frequency component of the repetitive signal.

以上のような本実施形態に係るサンプリング装置３０は、繰返し周期Ｔより短いサンプリング間隔１／Ｆｓにより繰返し信号をサンプリングする。これにより、サンプリング装置３０は、Ｎ個分のサンプリングデータを取得するまでの測定期間Ｔを短くすることができる。さらに、このようなサンプリング装置３０を備える試験装置１０によれば、被試験デバイスの試験期間を短くすることができる。 The sampling apparatus 30 according to the present embodiment as described above samples a repetitive signal at a sampling interval 1 / Fs shorter than the repetitive period T. Thereby, the sampling apparatus 30 can shorten the measurement period T until it acquires N pieces of sampling data. Furthermore, according to the test apparatus 10 including such a sampling apparatus 30, the test period of the device under test can be shortened.

図８は、本実施形態の変形例に係るサンプリング装置３０の構成を示す。図９は、整列部５６により整列された後の波形データの周波数特性の一例を示す。本変形例に係るサンプリング装置３０は、図２に示された本実施形態に係るサンプリング装置３０の構成と略同一構成を有するので、図２に示した部材と略同一構成および機能の部材については同一の符号を付けて以下相違点を除いて説明を省略する。 FIG. 8 shows a configuration of a sampling device 30 according to a modification of the present embodiment. FIG. 9 shows an example of the frequency characteristics of the waveform data after being aligned by the alignment unit 56. Since the sampling device 30 according to the present modification has substantially the same configuration as the configuration of the sampling device 30 according to the present embodiment shown in FIG. 2, members having substantially the same configuration and function as the members shown in FIG. The same reference numerals are assigned and the description is omitted except for the following differences.

サンプリング装置３０は、特性補正部８０と、フィルタ部８２とを、更に有する。特性補正部８０は、サンプリング部５２から複数のサンプリングデータを入力し、サンプリング部５２の周波数特性を補正して整列部５６へと出力する。これにより、特性補正部８０は、サンプリング部５２が周波数特性を有する場合であっても、精度良い波形データを出力させることができる。 The sampling device 30 further includes a characteristic correction unit 80 and a filter unit 82. The characteristic correction unit 80 receives a plurality of sampling data from the sampling unit 52, corrects the frequency characteristics of the sampling unit 52, and outputs the corrected data to the alignment unit 56. Thereby, the characteristic correction | amendment part 80 can output accurate waveform data, even if the sampling part 52 has a frequency characteristic.

フィルタ部８２は、整列部５６が出力する波形データにおける、予め設定された上限周波数より高い周波数成分を減衰させる。例えば、図９に示されるように、整列部５６により整列された後の波形データには、繰返し信号（例えば、擬似ランダム信号）の信号周期とは相関性の無いジッタが高周波数領域に含まれる場合がある。従って、フィルタ部８２は、例えば、データ依存ジッタを測定する場合において、予め定められた上限周波数より高い周波数成分を除去してよい。これにより、サンプリング装置３０は、データ依存ジッタを精度良く観察することができる波形データを出力することができる。 The filter unit 82 attenuates a frequency component higher than a preset upper limit frequency in the waveform data output from the alignment unit 56. For example, as shown in FIG. 9, the waveform data after being aligned by the aligning unit 56 includes jitter having no correlation with the signal period of the repetitive signal (for example, pseudorandom signal) in the high frequency region. There is a case. Therefore, for example, when measuring data-dependent jitter, the filter unit 82 may remove a frequency component higher than a predetermined upper limit frequency. As a result, the sampling device 30 can output waveform data that can accurately observe the data-dependent jitter.

さらに、フィルタ部８２は、繰返し信号の主要スペクトルに対して、サンプリング部５２内のトラック／ホールド部６２の周波数特性を補正してもよい。これにより、フィルタ部８２は、例えば、サンプリング間隔のずれ等により生じる周波数誤差を補正することができる。 Further, the filter unit 82 may correct the frequency characteristics of the track / hold unit 62 in the sampling unit 52 with respect to the main spectrum of the repetitive signal. Thereby, the filter part 82 can correct | amend the frequency error which arises by the shift | offset | difference of a sampling interval, etc., for example.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を、被試験デバイス２００とともに示す。FIG. 1 shows a configuration of a test apparatus 10 according to this embodiment together with a device under test 200. 図２は、本実施形態に係るサンプリング装置３０の構成を示す。FIG. 2 shows a configuration of the sampling device 30 according to the present embodiment. 図３は、サンプリング装置３０において用いられる各信号の一例を示す。FIG. 3 shows an example of each signal used in the sampling device 30. 図４は、整列部５６の構成の第１例を示す。FIG. 4 shows a first example of the configuration of the alignment unit 56. 図５は、整列部５６の構成の第２例を示す。FIG. 5 shows a second example of the configuration of the alignment unit 56. 図６は、被試験デバイス２００から出力された繰返し信号の周波数特性の一例、および、サンプリング部５２によるサンプル後の信号（すなわち、ＩＦ信号）の周波数特性の一例を示す。FIG. 6 shows an example of the frequency characteristic of the repetitive signal output from the device under test 200 and an example of the frequency characteristic of the signal after sampling by the sampling unit 52 (ie, IF signal). 図７の（Ａ）は、被試験デバイス２００から出力された繰返し信号の周波数と、サンプル後の信号（ＩＦ信号）の周波数との対応関係の一例を示す。図７の（Ｂ）は、被試験デバイス２００から出力された繰返し信号の周波数特性を示す。図７の（Ｃ）は、サンプル後の信号（ＩＦ信号）の周波数特性を示す。FIG. 7A shows an example of a correspondence relationship between the frequency of the repetitive signal output from the device under test 200 and the frequency of the sampled signal (IF signal). FIG. 7B shows the frequency characteristics of the repetitive signal output from the device under test 200. FIG. 7C shows the frequency characteristics of the sampled signal (IF signal). 図８は、本実施形態の変形例に係るサンプリング装置３０の構成を示す。FIG. 8 shows a configuration of a sampling device 30 according to a modification of the present embodiment. 図９は、整列部５６により整列された後の波形データの周波数特性の一例を示す。FIG. 9 shows an example of the frequency characteristics of the waveform data after being aligned by the alignment unit 56.

符号の説明Explanation of symbols

１０試験装置
２０試験信号供給部
３０サンプリング装置
４０判定部
５２サンプリング部
５４設定部
５６整列部
６２トラック／ホールド部
６４ＡＤ変換部
６６サンプリング制御部
７２ＦＩＦＯメモリ
７４記憶部
７６書込部
７８読出部
８０特性補正部
８２フィルタ部
８４ＦＦＴ部
２００被試験デバイス DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Test apparatus 20 Test signal supply part 30 Sampling apparatus 40 Determination part 52 Sampling part 54 Setting part 56 Arrangement part 62 Track / hold part 64 AD conversion part 66 Sampling control part 72 FIFO memory 74 Storage part 76 Writing part 78 Reading part 80 Characteristic correction unit 82 Filter unit 84 FFT unit 200 Device under test

Claims

予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングするサンプリング装置であって、
複数の繰返し周期にわたって、前記繰返し信号の前記繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、
前記複数のサンプリングデータを前記繰返し信号の位相順に整列して、前記繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、
を備え、
前記サンプリング部は、前記繰返し信号の位相が互いに異なる前記複数のサンプリングタイミング、且つ、前記繰返し周期より小さい予め定められたサンプリング間隔で前記繰返し信号をサンプリングして、
前記繰返し周期に正の整数である前記繰返し数を乗じた値と、前記波形データのサンプル数と前記サンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、前記繰返し数と前記サンプル数とが互いに素となる前記サンプリング間隔および前記繰返し数を前記サンプリング部に設定する設定部を更に備え、
前記整列部は、
前記繰返し信号の位相順に配列されたアドレスを有する記憶部と、
前記複数のサンプリングデータのそれぞれを、前記記憶部における、前記繰返し数および前記サンプル数に基づき算出したアドレスに書き込む書込部と、
前記複数のサンプリングデータを前記記憶部からアドレス順に読み出す読出部と、
を有し、
前記書込部は、サンプリングに先立って、前記記憶部の各アドレスに無効データを書き込み、
前記読出部は、前記記憶部からアドレス順にデータを読み出して、前記無効データ以外のデータをサンプリングデータとして順次出力する
サンプリング装置。 A sampling device for sampling a repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period,
A sampling unit that samples at a plurality of sampling timings that are greater than the number of repetition periods of the repetition signal over a plurality of repetition periods, and outputs a plurality of sampling data;
An alignment unit that aligns the plurality of sampling data in order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal;
Equipped with a,
The sampling unit samples the repetitive signal at a plurality of sampling timings having different phases of the repetitive signal, and at a predetermined sampling interval smaller than the repetitive period,
A value obtained by multiplying the repetition period by the number of repetitions which is a positive integer matches a value obtained by multiplying the number of samples of the waveform data by the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples are mutually equal. Further comprising a setting unit that sets the sampling interval and the number of repetitions to be a prime number in the sampling unit;
The alignment portion is
A storage unit having addresses arranged in phase order of the repetitive signal;
A writing unit that writes each of the plurality of sampling data to an address calculated based on the number of repetitions and the number of samples in the storage unit;
A reading unit for reading the plurality of sampling data from the storage unit in the order of addresses;
Have
The writing unit writes invalid data to each address of the storage unit prior to sampling,
The sampling unit reads out data from the storage unit in the order of addresses and sequentially outputs data other than the invalid data as sampling data .

予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングするサンプリング装置であって、  A sampling device for sampling a repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period,
複数の繰返し周期にわたって、前記繰返し信号の前記繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、  A sampling unit that samples at a plurality of sampling timings that are greater than the number of repetition periods of the repetition signal over a plurality of repetition periods, and outputs a plurality of sampling data;
前記複数のサンプリングデータを前記繰返し信号の位相順に整列して、前記繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、  An alignment unit that aligns the plurality of sampling data in order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal;
を備え、  With
前記サンプリング部は、前記繰返し信号の位相が互いに異なる前記複数のサンプリングタイミング、且つ、前記繰返し周期より小さい予め定められたサンプリング間隔で前記繰返し信号をサンプリングして、  The sampling unit samples the repetitive signal at a plurality of sampling timings having different phases of the repetitive signal, and at a predetermined sampling interval smaller than the repetitive period,
前記繰返し周期に正の整数である前記繰返し数を乗じた値と、前記波形データのサンプル数と前記サンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、前記繰返し数と前記サンプル数とが互いに素となる前記サンプリング間隔および前記繰返し数を前記サンプリング部に設定する設定部を更に備え、  A value obtained by multiplying the repetition period by the number of repetitions which is a positive integer matches a value obtained by multiplying the number of samples of the waveform data by the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples are mutually equal. Further comprising a setting unit that sets the sampling interval and the number of repetitions to be a prime number in the sampling unit;
前記整列部が出力する前記波形データにおける、予め設定された上限周波数より高い周波数成分を減衰させるフィルタ部を更に備えるサンプリング装置。  A sampling device further comprising a filter unit for attenuating a frequency component higher than a preset upper limit frequency in the waveform data output from the alignment unit.

予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングするサンプリング装置であって、  A sampling device for sampling a repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period,
複数の繰返し周期にわたって、前記繰返し信号の前記繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、  A sampling unit that samples at a plurality of sampling timings that are greater than the number of repetition periods of the repetition signal over a plurality of repetition periods, and outputs a plurality of sampling data;
前記複数のサンプリングデータを前記繰返し信号の位相順に整列して、前記繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、  An alignment unit that aligns the plurality of sampling data in order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal;
を備え、  With
前記サンプリング部は、前記繰返し信号の位相が互いに異なる前記複数のサンプリングタイミング、且つ、前記繰返し周期より小さい予め定められたサンプリング間隔で前記繰返し信号をサンプリングして、  The sampling unit samples the repetitive signal at a plurality of sampling timings having different phases of the repetitive signal, and at a predetermined sampling interval smaller than the repetitive period,
前記繰返し周期に正の整数である前記繰返し数を乗じた値と、前記波形データのサンプル数と前記サンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、前記繰返し数と前記サンプル数とが互いに素となる前記サンプリング間隔および前記繰返し数を前記サンプリング部に設定する設定部を更に備え、  A value obtained by multiplying the repetition period by the number of repetitions which is a positive integer matches a value obtained by multiplying the number of samples of the waveform data by the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples are mutually equal. Further comprising a setting unit that sets the sampling interval and the number of repetitions to be a prime number in the sampling unit;
前記サンプリング部から前記複数のサンプリングデータを入力し、前記サンプリング部の周波数特性を補正して前記整列部へと出力する特性補正部を更に備えるサンプリング装置。  A sampling apparatus further comprising: a characteristic correction unit that inputs the plurality of sampling data from the sampling unit, corrects the frequency characteristic of the sampling unit, and outputs the correction to the alignment unit.

前記設定部は、予め定められた下限値以上である最も小さな整数値を、前記繰返し数とする請求項１から３のいずれか１項に記載のサンプリング装置。 The sampling apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the setting unit sets the smallest integer value equal to or greater than a predetermined lower limit value as the number of repetitions.

前記整列部は、
前記複数のサンプリングデータのサンプリング順に配列されたアドレスを有する記憶部と、
前記複数のサンプリングデータのそれぞれを、サンプリング順に記憶部に書き込む書込部と、
前記記憶部における、前記繰返し数および前記サンプル数に基づいて算出した読出インターバルで順次にアドレスを選択して、前記複数のサンプリングデータを読み出す読出部と、
を有する請求項２または３に記載のサンプリング装置。 The alignment portion is
A storage unit having addresses arranged in the sampling order of the plurality of sampling data;
A writing unit for writing each of the plurality of sampling data in the storage unit in the order of sampling;
A reading unit for sequentially reading out the plurality of sampling data by sequentially selecting an address at a reading interval calculated based on the number of repetitions and the number of samples in the storage unit;
The sampling device according to claim 2 or 3 , comprising:

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに試験信号を供給する試験信号供給部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングして、前記繰返し信号の波形データを出力するサンプリング装置と、
前記波形データに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記サンプリング装置は、
複数の繰返し周期にわたって、前記繰返し信号の前記繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、
前記複数のサンプリングデータを、前記繰返し信号の位相順に整列して、前記繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、
を有し、
前記サンプリング部は、前記繰返し信号の位相が互いに異なる前記複数のサンプリングタイミング、且つ、前記繰返し周期より小さい予め定められたサンプリング間隔で前記繰返し信号をサンプリングして、
前記繰返し周期に正の整数である前記繰返し数を乗じた値と、前記波形データのサンプル数と前記サンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、前記繰返し数と前記サンプル数とが互いに素となる前記サンプリング間隔および前記繰返し数を前記サンプリング部に設定する設定部を更に備え、
前記整列部は、
前記繰返し信号の位相順に配列されたアドレスを有する記憶部と、
前記複数のサンプリングデータのそれぞれを、前記記憶部における、前記繰返し数および前記サンプル数に基づき算出したアドレスに書き込む書込部と、
前記複数のサンプリングデータを前記記憶部からアドレス順に読み出す読出部と、
を有し、
前記書込部は、サンプリングに先立って、前記記憶部の各アドレスに無効データを書き込み、
前記読出部は、前記記憶部からアドレス順にデータを読み出して、前記無効データ以外のデータをサンプリングデータとして順次出力する
試験装置。 A test apparatus for testing a device under test,
A test signal supply unit for supplying a test signal to the device under test;
Sampling apparatus that samples the repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period and outputs the waveform data of the repetitive signal that is output from the device under test according to the test signal;
A determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the waveform data;
With
The sampling device comprises:
A sampling unit that samples at a plurality of sampling timings that are greater than the number of repetition periods of the repetition signal over a plurality of repetition periods, and outputs a plurality of sampling data;
An alignment unit that aligns the plurality of sampling data in order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal;
I have a,
The sampling unit samples the repetitive signal at a plurality of sampling timings having different phases of the repetitive signal, and at a predetermined sampling interval smaller than the repetitive period,
A value obtained by multiplying the repetition period by the number of repetitions which is a positive integer matches a value obtained by multiplying the number of samples of the waveform data by the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples are mutually equal. Further comprising a setting unit that sets the sampling interval and the number of repetitions to be a prime number in the sampling unit;
The alignment portion is
A storage unit having addresses arranged in phase order of the repetitive signal;
A writing unit that writes each of the plurality of sampling data to an address calculated based on the number of repetitions and the number of samples in the storage unit;
A reading unit for reading the plurality of sampling data from the storage unit in the order of addresses;
Have
The writing unit writes invalid data to each address of the storage unit prior to sampling,
The test apparatus , wherein the reading unit reads data from the storage unit in the order of addresses and sequentially outputs data other than the invalid data as sampling data .

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに試験信号を供給する試験信号供給部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングして、前記繰返し信号の波形データを出力するサンプリング装置と、
前記波形データに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記サンプリング装置は、
複数の繰返し周期にわたって、前記繰返し信号の前記繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、
前記複数のサンプリングデータを、前記繰返し信号の位相順に整列して、前記繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、
を有し、
前記サンプリング部は、前記繰返し信号の位相が互いに異なる前記複数のサンプリングタイミング、且つ、前記繰返し周期より小さい予め定められたサンプリング間隔で前記繰返し信号をサンプリングして、
前記繰返し周期に正の整数である前記繰返し数を乗じた値と、前記波形データのサンプル数と前記サンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、前記繰返し数と前記サンプル数とが互いに素となる前記サンプリング間隔および前記繰返し数を前記サンプリング部に設定する設定部を更に備え、
前記整列部が出力する前記波形データにおける、予め設定された上限周波数より高い周波数成分を減衰させるフィルタ部を更に備える
試験装置。 A test apparatus for testing a device under test,
A test signal supply unit for supplying a test signal to the device under test;
Sampling apparatus that samples the repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period and outputs the waveform data of the repetitive signal that is output from the device under test according to the test signal;
A determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the waveform data;
With
The sampling device comprises:
A sampling unit that samples at a plurality of sampling timings that are greater than the number of repetition periods of the repetition signal over a plurality of repetition periods, and outputs a plurality of sampling data;
An alignment unit that aligns the plurality of sampling data in order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal;
Have
The sampling unit samples the repetitive signal at a plurality of sampling timings having different phases of the repetitive signal, and at a predetermined sampling interval smaller than the repetitive period,
A value obtained by multiplying the repetition period by the number of repetitions which is a positive integer matches a value obtained by multiplying the number of samples of the waveform data by the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples are mutually equal. Further comprising a setting unit that sets the sampling interval and the number of repetitions to be a prime number in the sampling unit;
The test apparatus further includes a filter unit that attenuates a frequency component higher than a preset upper limit frequency in the waveform data output from the alignment unit .

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに試験信号を供給する試験信号供給部と、
前記試験信号に応じて前記被試験デバイスが出力する、予め定められた繰返し周期毎に繰り返す繰返し信号をサンプリングして、前記繰返し信号の波形データを出力するサンプリング装置と、
前記波形データに基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
を備え、
前記サンプリング装置は、
複数の繰返し周期にわたって、前記繰返し信号の前記繰返し周期の数より多い複数のサンプリングタイミングでサンプリングして、複数のサンプリングデータを出力するサンプリング部と、
前記複数のサンプリングデータを、前記繰返し信号の位相順に整列して、前記繰返し信号をサンプリングした波形データを出力する整列部と、
を有し、
前記サンプリング部は、前記繰返し信号の位相が互いに異なる前記複数のサンプリングタイミング、且つ、前記繰返し周期より小さい予め定められたサンプリング間隔で前記繰返し信号をサンプリングして、
前記繰返し周期に正の整数である前記繰返し数を乗じた値と、前記波形データのサンプル数と前記サンプリング間隔とを乗じた値とが一致し、且つ、前記繰返し数と前記サンプル数とが互いに素となる前記サンプリング間隔および前記繰返し数を前記サンプリング部に設定する設定部を更に備え、
前記サンプリング部から前記複数のサンプリングデータを入力し、前記サンプリング部の周波数特性を補正して前記整列部へと出力する特性補正部を更に備える
試験装置。 A test apparatus for testing a device under test,
A test signal supply unit for supplying a test signal to the device under test;
Sampling apparatus that samples the repetitive signal that repeats every predetermined repetitive period and outputs the waveform data of the repetitive signal that is output from the device under test according to the test signal;
A determination unit that determines pass / fail of the device under test based on the waveform data;
With
The sampling device comprises:
A sampling unit that samples at a plurality of sampling timings that are greater than the number of repetition periods of the repetition signal over a plurality of repetition periods, and outputs a plurality of sampling data;
An alignment unit that aligns the plurality of sampling data in order of the phase of the repetitive signal and outputs waveform data obtained by sampling the repetitive signal;
Have
The sampling unit samples the repetitive signal at a plurality of sampling timings having different phases of the repetitive signal, and at a predetermined sampling interval smaller than the repetitive period,
A value obtained by multiplying the repetition period by the number of repetitions which is a positive integer matches a value obtained by multiplying the number of samples of the waveform data by the sampling interval, and the number of repetitions and the number of samples are mutually equal. Further comprising a setting unit that sets the sampling interval and the number of repetitions to be a prime number in the sampling unit;
A test apparatus further comprising: a characteristic correction unit that inputs the plurality of sampling data from the sampling unit, corrects a frequency characteristic of the sampling unit, and outputs the corrected frequency characteristic to the alignment unit .