JP5330466B2 - スライドバルブ - Google Patents
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Description
このバルブの従来例として、弁箱に弁座シール用のエア駆動部が装着され、弁座シール用のシールリングが弁箱内に着脱自在に取り付けられ、移動可能なスイングプレートが弁閉位置に移動した状態でシールリングをスイングプレートに押圧することにより、弁座がシールできるようにした構造のスライドバルブが提案されている(特許文献1参照)。この特許文献1は、シールリングの弁座シール用のOリングと摺動Oリングの径の差分の面積にのみ背圧が加わる構造のため、小さな弁推力で大気圧と真空差圧の推力に耐えてシールすることができる利点を有している。
図1は、本発明におけるスライドバルブを装着した一例を示す圧力制御の構成システム図であり、同図において、チャンバCHにプロセスガスやN2ガスを供給し、排気側には、スライドバルブ1と圧力センサSとバルブコントローラCとポンプPを設けている。
図2、3において、前記スライドバルブ1は、扁平形状のボデー3を有し、このボデー3は、ボデー本体3aとカバー体3bより構成され、カバー体3bは、ボルト等の締結手段12によりボデー本体3aに分離可能に設けられ、メンテナンス時に分離できるようになっている。
すなわち、図19において、モータ駆動による駆動例によると、ステッピングモータ36の駆動力をベルト37を介して後述する回転軸を回転駆動させてスライドプレート4を回転させる。この場合、ステッピングモータ36は、図示しないコントローラにより制御されて弁体13の開閉を制御しながら作動させ、制御用のスライドバルブ1に用いる。
弁体シリンダ30にエアを例えば0.4MPa供給すると、図3において、ピストン20のシリンダ26内に流入してピストン20を押圧すると共に、ピストン20に連結している弁体13を同図において下方に引き込んで弁体13が開く。この場合、遅延切換バルブ32はニードル32aでエア供給されるので、例えば2秒間は動作しない。そして、2秒後に遅延切換バルブ32が作動し、スイングシリンダ31にエアが供給されると、スライドプレート4が旋回し、0.3〜0.4MPaで図2に示すように、スライドプレート4Aの位置で全開位置になる。
2 流路
3 ボデー
4 スライドプレート
7 回転軸
13 弁体
14 ストッパ
15 弁座面
17,18 隙間
19 制御リブ
20 ピストン
27 スプリング
30 弁体シリンダ
31 スイングシリンダ
36 モータ
Claims (5)
- 流路を有するボデー内に、前記流路の流れを阻止する閉鎖位置と該流れを許容する開放位置との間を流路軸に対して垂直で水平上に移動するスライドプレートを設け、前記スライドプレート内に組み込んだ弁体を流路軸方向に移動させて前記弁体を開閉自在に設け、前記スライドプレートの基端部を前記ボデーに軸装した回転軸に着脱可能に取り付けたスライドバルブにおいて、前記回転軸には、ねじ部を有する円形部とこの円形部の下部に両側を嵌合方向に縮めたテーパ面を有する台形状の四角部を連接し、前記スライドプレートには、U字状の係合溝とこの係合溝の下部に両側を嵌合方向に縮めたテーパ面を有する台形状の嵌合部を連接し、前記円形部に前記係合溝を係合し、かつ前記四角部に前記嵌合部を嵌合し、さらに前記ねじ部にナットを締結して前記スライドプレートの基端部を前記回転軸に着脱自在に設け、前記スライドプレートに設けた基端部と前記回転軸を接続する際に、前記回転軸の接続部位に設けた連通孔と排気路と、前記スライドプレートに設けたエア供給排気ポートと排気ポートとの両者を同時にOリングを介してシール着脱できるようにしたことを特徴とするスライドバルブ。
- 前記回転軸のねじ部の途中に、前記ナットの抜脱を回避するよう空回りするねじの未加工部分を設けたことを特徴とする請求項1に記載のスライドバルブ。
- 前記スライドプレートの排気ポートは、前記弁体の締切り用シリンダ用ピストン軸の二重シール構造の中間部位と連通させた請求項1又は2に記載のスライドバルブ。
- 前記弁体を前記スライドプレート内の下流側に組み込んだ請求項1乃至3の何れか1項に記載のスライドバルブ。
- 前記ボデーを、装置チャンバーの開口部に直接装着した請求項1乃至4の何れか1項に記載のスライドバルブ。
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