JP5318135B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents
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Description
静電駆動型のMEMSスイッチにおいては、プルイン電圧の低減、あるいはクリープ耐性の確保、あるいはホットスイッチング性等の信頼性の向上が望まれている。
図1は、本発明の実施の形態にかかる静電アクチュエータを表す平面模式図ある。
また、図2は、本実施形態にかかる静電アクチュエータを表す斜視模式図である。
また、図3は、本実施形態にかかる静電アクチュエータの駆動を説明する平面模式図である。
なお、図2(b)は、図2(a)に表したB部の拡大模式図である。図3は、本実施形態にかかる静電アクチュエータ10を図1に表した矢視Aの方向にみたときの平面模式図である。
図3(a)は、本実施形態の膜体部30がアップステートの状態にある場合を表す平面模式図である。図3(b)は、本実施形態の膜体部30が撓んだ状態を表す平面模式図である。図3(c)は、本実施形態の膜体部30がダウンステートの状態にある場合を表す平面模式図である。
また、電極部20には、図示しない信号発生部が接続されている。図示しない信号発生部は、電極部20に信号電圧を印加することができる。すなわち、電極部20には、膜体部30を静電的に吸引するための駆動電圧と、信号電圧と、が足し合わされた電圧が印加される。
また、膜体部30は、金属などの導電性材料により形成されている。この場合、膜体部30の材料は、いわゆる半導体プロセス(半導体装置の製造技術)における成膜やエッチングなどにおいて使用可能なものであることが好ましい。そのようなものとしては、例えば、アルミニウム(Al)、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、白金(Pt)、またはこれらを含む合金などが挙げられる。
第2の孔部62は、矩形形状を有し、第2の方向に延在している。第2の孔部62は、第1の孔部61と第1の周縁部31との間、および第1の孔部61と第2の周縁部32との間にそれぞれ設けられている。第2の孔部62の長手方向(第2の方向)と、膜体部30の長手方向と、は略直交している。そのため、膜体部30は、長手方向においても比較的撓みやすい。
膜体部30の長手方向(X方向)の寸法30xは、例えば約275μm(マイクロメートル)程度である。膜体部30の短手方向(Y方向)の寸法30yは、例えば約110μm程度である。膜体部30の厚さ方向(Z方向)の寸法30zは、例えば約2μm程度である。
第1の孔部61の長手方向(X方向)の寸法61xは、例えば約124.5μm程度である。第1の孔部61の短手方向(Y方向)の寸法61yは、例えば約10μm程度である。
第2の孔部62の短手方向(X方向)の寸法62xは、例えば約10μm程度である。第2の孔部62の長手方向(Y方向)の寸法62yは、例えば16μm程度である。
接続部41の一端は、基板100と接続されており、接続部41の他端は、弾性部42と接続されている。弾性部42の一端は、接続部41と接続されており、弾性部42の他端は、第1の周縁部31または第2の周縁部32と接続されている。図1および図2に表したように、弾性部42は、複数の他端において第1の周縁部31または第2の周縁部32と接続されている。付勢部40は、弾性材料により形成されている。そのため、付勢部40は、いわゆる弾性梁となる。また、弾性部42は、緩衝部としての機能も有する。
図3(a)に表したように、電極部20と膜体部30との間に電位差が与えられていない状態では、膜体部30は、電極部20から離隔している。つまり、膜体部30は、アップステートの状態にある。続いて、電極部20と膜体部30との間に電位差が与えられると、電極部20および膜体部30は、弾性部42の弾性力(復元力)に逆らって静電引力により互いに引きつけられる。これにより、図3(b)に表したように、膜体部30は、Z方向すなわち電極部20の方向へ駆動する。
図4は、静電アクチュエータの駆動特性のシミュレーション結果の一例を例示するグラフ図である。
また、図5は、比較例にかかる静電アクチュエータを表す平面模式図である。
また、図6は、本実施形態にかかる静電アクチュエータを表す平面模式図である。
なお、図6(b)に表した静電アクチュエータの構造は、図1〜図3に関して前述した静電アクチュエータの構造と同様である。
また、図8は、本実施形態にかかる静電アクチュエータの応力分布のシミュレーション結果の一例を例示する平面模式図である。
図9(a)に表した静電アクチュエータ10dの膜体部30dは、略中央部において1つの連接部36を有する。一方、膜体部30dは、第3の周縁部33dおよび第4の周縁部34dにおいては連接部36を有していない。つまり、膜体部30dには2つの第1の孔部61dが設けられ、第1の孔部61dの一端は、第3の周縁部33dおよび第4の周縁部34dにおいてそれぞれ開口している。
図10(a)に表した弾性部46は、1つの直線部46bにおいて2つの分岐部46aを有する。これによれば、図1〜図3に関して前述した静電アクチュエータ10の弾性部42と比較して、弾性部46と膜体部30との接続箇所を増やすことができる。これにより、弾性部46と膜体部30との1つの接続箇所にかかる応力を、図1〜図3に関して前述した静電アクチュエータ10と比較してさらに低減することができる。これにより、付勢部40のクリープ耐性をより確実に確保することができる。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた電極部と、
前記電極部と対向して設けられ導電性を有する膜体部と、
前記基板と接続された接続部と、前記接続部と前記膜体部とのあいだに設けられた弾性部と、を有し前記膜体部を支持する付勢部と、
を備え、
前記電極部と前記膜体部とは、前記電極部に印加される電圧に応じて接触した状態と離隔した状態とが可能とされ、
前記弾性部は、前記接続部に接続された一端と、前記膜体部に接続された複数の他端と、のあいだに分岐部を有し、
前記膜体部は、第1の方向に延在する第1の孔部を有し、
前記第1の方向は、前記膜体部の長手方向であることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記第1の孔部は、前記膜体部の短手方向における中心部に設けられたことを特徴とする請求項1記載の静電アクチュエータ。
- 複数の前記付勢部を備え、
前記複数の付勢部のいずれかは、前記膜体部の第1の周縁部に接続され、
前記複数の付勢部の他のいずれかは、前記第1の周縁部に対向する第2の周縁部に接続されたことを特徴とする請求項1または2に記載の静電アクチュエータ。 - 前記第1の周縁部に接続された前記付勢部と、前記第2の周縁部に接続された前記付勢部と、は、互いに対向する位置に設けられたことを特徴とする請求項3記載の静電アクチュエータ。
- 前記膜体部は、第2の方向に延在する第2の孔部をさらに有し、
前記第2の方向と、前記膜体部の長手方向と、は、直交していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の静電アクチュエータ。 - 前記膜体部は、複数の前記第2の孔部を有し、
前記複数の前記第2の孔部のいずれかは、前記第1の孔部と前記膜体部の第1の周縁部との間に設けられ、
前記複数の前記第2の孔部の他のいずれかは、前記第1の孔部と前記第1の周縁部に対向する第2の周縁部との間に設けられたことを特徴とする請求項5記載の静電アクチュエータ。 - 前記付勢部は、複数の前記弾性部を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の静電アクチュエータ。
- 前記複数の弾性部と、前記膜体部と、のそれぞれの接続箇所における前記複数の弾性部の剛性は、互いに均一であることを特徴とする請求項7記載の静電アクチュエータ。
- 前記複数の弾性部と、前記膜体部と、のそれぞれの接続箇所における前記複数の弾性部の剛性は、それぞれの間で段階的に又は徐々に変化していることを特徴とする請求項7記載の静電アクチュエータ。
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