JP5315678B2 - 研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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日経マイクロデバイス1994年7月号、50〜57頁
「クッション層に接着剤を介して研磨層を接着する研磨パッドの製造方法において、クッション層はエラストマーからなり、樹脂フィルム上にエラストマー材質を溶融押し出しすることにより片面に剥離可能な樹脂フィルムが積層一体化されたクッション層の反対面に、研磨層を接着剤を介して加圧接着する工程の後に、クッション層から樹脂フィルムを剥離除去する工程を設けることを特徴とする研磨パッドの製造方法。」
本発明における接着剤、具体的にはウレタン系,エポキシ系,アクリル系,ゴム系等の各種接着剤およびこれらの接着剤をフィルム,不織布等の基材の両面に塗布し製造された各種両面テープ等の加圧接着の方法は特に限定されるものではない。具体的にはラミネーターによる研磨層への粘着テープの貼り合わせ,各種コーターによる研磨層への接着剤塗布等の方法により、上述した接着剤層を研磨層,クッション層間に形成した後、平板プレス,ロールプレス等により加圧する方法が挙げられる。なお、その際、研磨層,クッション層に悪影響を与えない範囲でプレス自体を加熱することも好ましい。これらの中でも生産性の観点からロールプレスによる加圧が好ましい。
液温を40℃に保った、ポリエーテルポリオール:”サンニックス(登録商標) FA−909”(三洋化成工業(株)製)100重量部,鎖伸長剤:エチレングリコール8重量部,アミン触媒:”Dabco(登録商標) 33LV”(エアープロダクツジャパン(株)製)1重量部,アミン触媒:”Toyocat(登録商標) ET”(東ソー(株)製)0.1重量部,シリコーン整泡剤:”TEGOSTAB(登録商標) B8462”(Th.Goldschmidt AG社製)0.5重量部,発泡剤:水0.2重量部を混合してなるA液と、液温を40℃に保ったイソシアネート:”サンフォーム(登録商標) NC−703”95重量部からなるB液を、RIM成型機により、吐出圧15MPaで衝突混合した後、60℃に保った金型内に吐出量500g/secで吐出し、10分間放置することで、大きさ700×700mm,厚み10mmの発泡ポリウレタンブロック(マイクロゴムA硬度:47度,密度:0.77g/cm3、平均気泡径:37μm)を作製した。その後、該発泡ポリウレタンブロックをスライサーで厚み3mmにスライスした。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧2kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み115μmのポリプロピレンとポリエチレンテレフタレートのドライラミネートフィルム(ポリプロピレンの厚み40μm,ポリエチレンテレフタレートの厚み75μm,両面マット仕上げ)のポリプロピレン面上に溶融押出成形された厚み1mmの熱可塑性ウレタンゴムシート(マイクロゴムA硬度:67度,90°剥離力:190gf/25mm)からなるクッション層の上にラミネーターを使用し線圧2kg/cmで貼り合わせた。その後、クッション層の反対面からポリプロピレンとポリエチレンテレフタレートのドライラミネートフィルムを剥離除去した。貼り合わせ後の研磨層とクッション層の積層体に反りはなかった。また、貼り合わせ面にエア噛みも見られなかった。さらにクッション層の下に両面粘着テープ“442JS”(住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧2kg/cmで貼り合わせることにより二層の研磨パッドを作製した。研磨パッドに反りはなかった。その後、研磨圧力4psiで研磨評価を行った。研磨レートは2200オングストローム/分であった。面内均一性は10.4%であった。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧2kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(両面マット仕上げ)上に溶融押出成形された厚み2mmの熱可塑性ウレタンゴムシート(マイクロゴムA硬度:69度,90°剥離力:550gf/25mm)からなるクッション層からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離除去した後、ポリエチレンテレフタレートフィルムが除去された面の反対面にラミネーターを使用し線圧2kg/cmで貼り合わせた。貼り合わせ後の研磨層とクッション層の積層体には反りが見られた。また、貼り合わせ面にエア噛みは見られなかった。
実施例1と同様にして作製した研磨層に両面粘着テープ“442JS” (住友スリーエム(株)製)をラミネーターを使用し線圧2kg/cmで貼り合わせた後、剥離紙を剥がし、それを厚み100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(両面マット仕上げ)上に溶融押出成形された厚み2mmの熱可塑性ウレタンゴムシート(マイクロゴムA硬度:69度,90°剥離力:550gf/25mm)からなるクッション層からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離除去した後、ポリエチレンテレフタレートフィルムが除去された面の反対面にラミネーターを使用し線圧0.3kg/cmで貼り合わせた。貼り合わせ後の研磨層とクッション層の積層体には反りが見られなかった。また、貼り合わせ面に微小なエア噛みが多数見られた。
Claims (5)
- クッション層に接着剤を介して研磨層を接着する研磨パッドの製造方法において、クッション層はエラストマーからなり、樹脂フィルム上にエラストマー材質を溶融押し出しすることにより片面に剥離可能な樹脂フィルムが積層一体化されたクッション層の反対面に、研磨層を接着剤を介して加圧接着する工程の後に、クッション層から樹脂フィルムを剥離除去する工程を設けることを特徴とする研磨パッドの製造方法。
- エラストマーが無発泡である請求項1記載の研磨パッドの製造方法。
- 加圧接着をロールプレス加圧により行う請求項1または2記載の研磨パッドの製造方法。
- クッション層と樹脂フィルムの間の90°剥離力が50〜1000gf/25mmである請求項1〜3のいずれかに記載の研磨パッドの製造方法。
- クッション層の厚みが0.1〜5mmである請求項1〜4のいずれかに記載の研磨パッドの製造方法。
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