JP5312857B2 - Substrate cutting method and apparatus - Google Patents

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Abstract

Provided is a substrate cutting apparatus (1) by which a tray (5) storing cut substrates (3) (separate packages (4)) formed by cutting a molded substrate is efficiently transferred, and the packages (4) are efficiently manufactured. In a package storing unit (D) of the substrate cutting apparatus (1), at the time of separately transferring tray-placed members (27) having trays (5) placed thereon, in one way on an annular transfer region (37) including an upper transfer region (36) and a lower transfer region (35), a tray (6 (7)) storing the packages (4) is transferred from a package storing position (15) to a position (34) where the tray having the packages stored therein is to be taken out, and at the same time, a stand-by tray (5) detected at a shift detection position (16) is moved to the package storing position (15).

Description

本発明は、所要複数個のＩＣ等の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を個々のパッケージ（個片）に切断する基板の切断方法及びその装置の改良に関するものである。   The present invention relates to a substrate cutting method for cutting a molded substrate in which a plurality of required electronic parts such as ICs are collectively sealed with a resin material into individual packages (pieces) and an improvement of the apparatus. It is.

従来から、基板の切断装置を用いて、成形済基板の所要個所を切断機構（ブレード）にて切断することにより、個々のパッケージを形成することが行われているが、この基板の切断は、次のようにして行われている。   Conventionally, using a substrate cutting device, individual packages are formed by cutting a required portion of a molded substrate with a cutting mechanism (blade). It is done as follows.

即ち、まず、この切断装置の基板載置位置において、成形済基板を切断テーブルに供給セットして吸着固定すると共に、切断機構にて成形済基板に設定された切断線を切断して個々のパッケージを形成するようにしている。
次に、個々のパッケージを検査すると共に、パッケージの収容ユニットにおいて、検査済のパッケージ４をトレイ５に収容するようにしている。
即ち、良品パッケージ４を良品トレイ６に収容し、不良品パッケージ５を不良品トレイ７に収容するようにしている。 That is, first, at the substrate mounting position of this cutting apparatus, the molded substrate is supplied and set to the cutting table and sucked and fixed, and the cutting line set on the molded substrate is cut by the cutting mechanism to each package. To form.
Next, the individual packages are inspected, and the inspected packages 4 are accommodated in the tray 5 in the package accommodation unit.
That is, the non-defective product package 4 is accommodated in the non-defective product tray 6, and the defective product package 5 is accommodated in the defective product tray 7.

特開２００３−１６８６９７号JP 2003-166867 A

また、従来から、図９（１）に示すような基板の切断装置（パッケージの収容ユニット１０１）が用いられると共に、図９（１）に示すパッケージの収容ユニット１０１には、パッケージ４を収容した収容済トレイ５（６、７）を収納するトレイ収納部となる良品トレイ部１０２と、不良品トレイ部１０３とが設けられ、更に、パッケージを収容する前の収容前トレイ（空トレイ）５を装填する収容前トレイ装填部１０４が設けられて構成されている。
また、図９（２）に示すように、良品トレイ部１０２には、トレイ装填部１０４からの収容前トレイ５を供給するトレイ供給位置１０５と、トレイ５の整列状態（トレイ５のずれ）を検知するトレイ検知位置１０６と、良品パッケージ４をトレイ５に収容する良品パッケージ収容位置１０７と、良品パッケージ４が満杯となった良品トレイ６（５）を収納する良品トレイ収納位置１０８とが設けられて構成されている。
また、図９（２）に示すように、トレイ供給位置１０５には、トレイ５を挟持固定する供給位置グリップ１０５がトレイ５の長手方向に２個、設けられると共に、良品パッケージ収容位置１０７には、トレイ供給位置１０５から良品パッケージ収容位置１０７に、供給位置グリップ１０５で挟持されたトレイ５を受け継いで挟持固定する収容位置グリップ１１０がトレイ５の長手方向に設けられて構成されている。
また、図９（２）に示すように、トレイ検知位置１０６には、トレイ供給位置１０５から良品パッケージ収容位置１０７にトレイ５を移送させるときに、（即ち、トレイ５の移送中に、）トレイ５の整列状態を検知するトレイ検知機構１１１が２個、固定された状態で設けられて構成されている。
なお、良品パッケージ収容位置１０７において、トレイ５にパッケージ４をパッケージ係着機構１１２で係着して収容することができるように構成されている。
従って、従来から、図９（２）に示すように、良品パッケージ収容位置１０７のトレイ５に良品パッケージ４が満杯になった場合、まず、トレイ装填部１０４からのトレイ５をトレイ供給位置１０５に供給して供給位置グリップ１０９でトレイ５を挟持し、次に、トレイ供給位置１０５から良品トレイ収容位置１０７に空のトレイ５を移送するようにしている。
また、このトレイ５の移送時に、トレイ検知位置１０６において、瞬間的ではあるが、２個のトレイ検知機構１１１にてトレイ５の整列状態（トレイ５のずれ）を検知するようにしている。 Conventionally, a substrate cutting device (package housing unit 101) as shown in FIG. 9 (1) is used, and the package 4 is housed in the package housing unit 101 shown in FIG. 9 (1). A non-defective product tray portion 102 and a defective product tray portion 103 serving as a tray storage portion for storing the stored trays 5 (6, 7) are provided, and a pre-storage tray (empty tray) 5 before storing packages is further provided. A pre-accommodating tray loading unit 104 to be loaded is provided.
Further, as shown in FIG. 9B, the non-defective tray unit 102 has a tray supply position 105 for supplying the pre-accommodating tray 5 from the tray loading unit 104 and an alignment state of the tray 5 (shift of the tray 5). A tray detection position 106 for detection, a non-defective package storage position 107 for storing the non-defective package 4 in the tray 5, and a non-defective tray storage position 108 for storing the non-defective tray 6 (5) filled with the non-defective package 4 are provided. Configured.
Further, as shown in FIG. 9B, the tray supply position 105 is provided with two supply position grips 105 for holding and fixing the tray 5 in the longitudinal direction of the tray 5, and at the non-defective package storage position 107. The storage position grip 110 is provided in the longitudinal direction of the tray 5 so as to take over and fix the tray 5 held by the supply position grip 105 from the tray supply position 105 to the non-defective package storage position 107.
Further, as shown in FIG. 9B, the tray detection position 106 has a tray when the tray 5 is transferred from the tray supply position 105 to the non-defective package storage position 107 (that is, during the transfer of the tray 5). Two tray detection mechanisms 111 for detecting the five alignment states are provided in a fixed state.
In addition, the non-defective package storage position 107 is configured so that the package 4 can be received and attached to the tray 5 by the package attachment mechanism 112.
Therefore, conventionally, as shown in FIG. 9 (2), when the non-defective package 4 is full in the tray 5 at the non-defective package accommodation position 107, the tray 5 from the tray loading unit 104 is first moved to the tray supply position 105. Then, the tray 5 is clamped by the supply position grip 109 and then the empty tray 5 is transferred from the tray supply position 105 to the non-defective tray storage position 107.
In addition, when the tray 5 is transferred, the two tray detection mechanisms 111 detect the alignment state of the tray 5 (the displacement of the tray 5) at the tray detection position 106 instantaneously.

しかしながら、前述したように、トレイ供給位置１０５から良品パッケージ収容位置１０７に、トレイ５を移送するとき、トレイ５を、供給位置グリップ１０９から収容位置グリップ１１０に持ち替えて受け継ぐことになるので、グリップ１１０（１０９）による挟持が不安定であってトレイ５に「ずれ」が発生し易く、トレイ５の整列状態を効率良く良好に設定することができない。
また、このとき、トレイガイド１１３にトレイ５を摺動させながら移動させることになるので、トレイ５に「ずれ」が発生し易い。
従って、パッケージ４を収容するトレイ５に発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイ５の整列状態を効率良く良好に設定することができないと云う弊害がある。 However, as described above, when the tray 5 is transferred from the tray supply position 105 to the non-defective package storage position 107, the tray 5 is transferred from the supply position grip 109 to the storage position grip 110 and inherited. The clamping by (109) is unstable, and the “slip” is likely to occur in the tray 5, and the alignment state of the tray 5 cannot be set efficiently and satisfactorily.
At this time, the tray 5 is moved while being slid on the tray guide 113, so that the “slip” is likely to occur in the tray 5.
Therefore, there is an adverse effect that the “displacement” generated in the tray 5 accommodating the package 4 can be efficiently prevented, and the alignment state of the tray 5 cannot be set efficiently and satisfactorily.

また、前述したように、２個の固定されたトレイ検知機構１１１にてトレイ５のずれ（トレイ５の整列状態）を検知した場合、トレイ５の移送中に、２個のトレイ検知機構１１１で、瞬間的に、「トレイ５のずれ（トレイ５の整列状態）」を検知することになるので、トレイ５の整列状態（ずれ）の検知精度が低くなり易い。
即ち、トレイ５のずれに対する検知精度が低くなって、トレイ５の整列状態を効率良く検知することができない。
従って、トレイ５の整列状態（ずれ）を高精度で効率良く検出することができないと云う弊害がある。 Further, as described above, when the displacement of the tray 5 (alignment state of the tray 5) is detected by the two fixed tray detection mechanisms 111, the two tray detection mechanisms 111 are moved during the transfer of the tray 5. Since the “displacement of the tray 5 (alignment state of the tray 5)” is detected instantaneously, the detection accuracy of the alignment state (displacement) of the tray 5 tends to be low.
That is, the detection accuracy with respect to the displacement of the tray 5 becomes low, and the alignment state of the tray 5 cannot be detected efficiently.
Therefore, there is an adverse effect that the alignment state (displacement) of the tray 5 cannot be detected efficiently with high accuracy.

また、前述したように、トレイ５にパッケージ４が満杯になった場合、収容前トレイ装填部１０４側から良品トレイ部１０２側にトレイ５を移送することになるため、トレイ５の交換に長時間を必要とすることになる。
このトレイ５の交換に長時間を必要とするために、パッケージ（製品）４を効率良く生産することができないと云う弊害がある。 Further, as described above, when the package 4 is full in the tray 5, the tray 5 is transferred from the pre-accommodating tray loading unit 104 side to the non-accommodating tray unit 102 side. Will be required.
Since the replacement of the tray 5 requires a long time, there is an adverse effect that the package (product) 4 cannot be efficiently produced.

従って、本発明は、トレイに発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイの整列状態を効率良く良好に設定することを目的とする。
また、本発明は、トレイの整列状態（ずれ）を高精度で効率良く検出することを目的とする。
また、本発明は、パッケージを効率良く生産することを目的とするものである。 Therefore, an object of the present invention is to efficiently prevent “displacement” occurring in a tray and to set the tray alignment state efficiently and satisfactorily.
Another object of the present invention is to detect the alignment state (displacement) of the tray with high accuracy and efficiency.
Another object of the present invention is to efficiently produce a package.

前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、成形済基板を切断した個々のパッケージをトレイに収容する基板の切断方法であって、前記したトレイの整列状態を検知する工程と、前記したトレイに前記したパッケージを収容する工程とを備えると共に、前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージの収容位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージの収容位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする。   A substrate cutting method according to the present invention for solving the above-described technical problem is a substrate cutting method in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray, and the tray alignment state is detected. And a step of accommodating the package in the tray described above, a step of moving the tray accommodating the package from the package receiving position, and a package in which the detected tray is described. The step of moving to the storage position is simultaneously performed.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、成形済基板を切断した個々のパッケージをトレイに収容する基板の切断方法であって、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を２個、用意する工程と、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を移動させる上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域で、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を一方通行で各別に周回させる工程と、前記した上端移動領域の中間部に前記したパッケージを収容する位置を設ける工程と、前記した上端移動領域の一端側に前記したトレイを検知する位置を設ける工程と、前記した上端移動領域の他端側に前記したパッケージを収容したトレイを取り出す位置を設ける工程と、前記した下端移動領域の他端側に前記したトレイを供給する位置を設ける工程とを備えると共に、
前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージを収容する位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージを収容する位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする。 In addition, a substrate cutting method according to the present invention for solving the technical problem described above is a substrate cutting method in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray, and the tray is placed on the substrate. The above-described tray was placed in an annular movement region including a step of preparing two tray placement members, and an upper end movement region and a lower end movement region for moving the tray placement member on which the tray is placed. A step of rotating the tray mounting member separately in one way, a step of providing a position for housing the package in the middle portion of the upper end moving region, and detecting the tray on one end side of the upper end moving region. Providing a position for removing the tray containing the package on the other end side of the upper end moving area, and a step for providing the position on the other end side of the lower end moving area. Together and a step of providing a position for supplying the trays,
The step of moving the tray storing the package described above from the position of storing the package and the step of moving the detected tray to the position of storing the package are performed simultaneously.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、前記したトレイ搬送機構でトレイをリフト機構に引き渡して受け継ぐと共に、前記したリフト機構で下端移動領域における収容前トレイ載置位置にあるトレイ載置部材にトレイを載置して供給する工程を有することを特徴とする。   In addition, the substrate cutting method according to the present invention for solving the technical problem described above includes transferring the tray to the lift mechanism by the tray transport mechanism as described above and inheriting the tray before storage in the lower end movement region by the lift mechanism. It has the process of mounting and supplying a tray to the tray mounting member in a mounting position.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記した上端移動領域の収容済トレイ載置位置にある収容済トレイをリフト機構で押圧してトレイの収納部に収納することを特徴とする。   Further, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above includes a tray storage unit that presses the accommodated tray at the accommodated tray placement position of the above-described upper end movement region with a lift mechanism. It is characterized by being housed in.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、成形済基板を切断した個々のパッケージを収容したトレイを収納する収容済トレイのストッカを備える収容済トレイ収納部と、収容前トレイを収納した収容前トレイのストッカを備えた収容前トレイ装填部とを備えた基板の切断装置であって、前記した収容済トレイ収納部における収容済トレイのストッカと、前記した収容前トレイ装填部における収容前トレイのストッカとを前記した装置の上方位置に並設し、且つ、前記した装置における収容済トレイ収納部の下方位置に、前記したトレイを載置するトレイ載置手段を設けると共に、前記したトレイ載置手段を、前記したトレイを供給セットする貫通孔を有するトレイ載置部材と、前記したトレイ載置部材を上端位置と下端位置との間で上下動する上下動機構と、前記したトレイ載置部材と上下動機構とを装置前面と装置背面との間で往復移動させる往復移動機構とから構成し、前記した収容済トレイのストッカと前記したトレイ載置部材との間を前記した貫通孔を挿通した状態で上下動するリフト機構と、前記した収容前トレイのストッカから前記した収容前トレイを前記したリフト機構に搬送するトレイ搬送機構と、前記したトレイ載置部材に載置した収容前トレイを検知するトレイ検知機構とを備えたことを特徴とする。   A substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above includes an accommodated tray storage section including a stocker for an accommodated tray for accommodating a tray accommodating individual packages obtained by cutting a molded substrate. And a pre-accommodating tray loading unit that includes a pre-accommodating tray stocker that accommodates the pre-accommodating tray, and includes the stocked tray stocker in the accommodated tray accommodating unit described above. A tray placement unit in which the stocker of the pre-accommodating tray in the pre-accommodating tray loading unit is juxtaposed in the upper position of the above-described apparatus, and the above-described tray is placed below the accommodated tray storage unit in the above-described apparatus And a tray mounting member having a through hole for supplying and setting the tray, and the tray mounting member. A vertical movement mechanism that moves up and down between the position and the lower end position, and a reciprocation mechanism that reciprocates the tray mounting member and the vertical movement mechanism between the front surface of the apparatus and the rear surface of the apparatus. A lift mechanism that moves up and down in a state in which the through hole is inserted between the stocker of the accommodated tray and the tray mounting member, and a lift mechanism that describes the pre-accommodation tray from the stocker of the pre-accommodation tray. And a tray detection mechanism for detecting a pre-accommodating tray placed on the tray placement member.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記したトレイ載置部材が上端位置で移動する上端移動領域と、前記したトレイ載置部材が下端位置で移動する下端移動領域とを設けて構成し、更に、前記した上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域を設けて構成したことを特徴とする。   In addition, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above includes an upper end moving region in which the tray mounting member moves at the upper end position, and the tray mounting member moves at the lower end position. The lower end moving area is provided, and the annular moving area including the upper end moving area and the lower end moving area is further provided.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記した装置上方位置に並設した収容済トレイのストッカ及び収容前トレイのストッカと、装置下方位置に配置したトレイ載置手段における上端位置にあるトレイ載置部材との間に、トレイ搬送機構の移動領域を設けて構成したことを特徴とする。   Further, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above is arranged at the lower position of the apparatus, with the stocker of the accommodated tray and the stocker of the pre-accommodating tray arranged side by side above the apparatus. A moving region of the tray transport mechanism is provided between the tray mounting member and the tray mounting member at the upper end position of the tray mounting means.

また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記したトレイ検知機構を、トレイ載置部材の移動方向と垂直方向となる方向に往復移動自在に設けて構成したことを特徴とする。   Further, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above is configured such that the above-described tray detection mechanism is reciprocally movable in a direction perpendicular to the moving direction of the tray mounting member. It is characterized by that.

本発明によれば、トレイ載置部材（トレイ載置手段）にトレイセット部として設けられた貫通孔に、トレイの大収容部（皿部）を嵌装することにより、トレイ縁部をトレイ載置部材の載置面に載置した状態で縁部を係止することができるので、トレイに発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイの整列状態を効率良く良好に設定することができると云う優れた効果を奏する。   According to the present invention, the tray edge portion is mounted on the tray by fitting the large storage portion (dish portion) of the tray into the through-hole provided as the tray setting portion in the tray mounting member (tray mounting means). Since the edge portion can be locked in a state where it is placed on the placement surface of the placement member, it is possible to efficiently prevent the “displacement” that occurs in the tray, and to set the tray alignment state efficiently and satisfactorily. There is an excellent effect that can be done.

また、本発明によれば、上端トレイ検知位置において、Ｙ方向に移動する収容前トレイ（空トレイ）をＸ方向に移動する検知機構で検知することができるので、トレイの整列状態（ずれ）を高精度で効率良く検出することができると云う優れた効果を奏する。   Further, according to the present invention, the pre-storage tray (empty tray) that moves in the Y direction can be detected by the detection mechanism that moves in the X direction at the upper end tray detection position. An excellent effect is that detection can be performed with high accuracy and efficiency.

また、本発明によれば、上端パッケージ収容位置において、トレイがパッケージで満杯になったときに、パッケージが満杯になったトレイをパッケージ収容位置の外部へ（即ち、上端収容済トレイ載置位置に）移動させると同時に、上端トレイ検知位置に待機させた空の検知済トレイ（収容前トレイ）を上端パッケージ収容位置に移動させることができるため、トレイ交換時間を効率良く短縮することができるので、パッケージの生産性を効率良く向上させることができる。   Further, according to the present invention, when the tray is filled with the package at the upper end package accommodation position, the tray full of the package is moved to the outside of the package accommodation position (that is, at the upper end accommodated tray placement position). ) Since the empty detected tray (pre-storage tray) waiting at the upper end tray detection position can be moved to the upper end package storage position simultaneously with the movement, the tray replacement time can be efficiently shortened. Package productivity can be improved efficiently.

まず、本発明に係る実施例を詳細に説明する。
図１は、本発明に係る基板の切断装置である。
図２、図３は、図１に示す装置に設けられたパッケージ収容ユニット（トレイのユニット）である。
図４は、図２、図３に示すユニットに設けられたトレイ載置手段である。
なお、図５（１）〜（３）は、トレイ載置手段にトレイ搬送機構にてトレイを搬送する動作の説明図である。
また、図６は、トレイ載置手段（トレイ載置部材）の動作（環状移動領域）を説明する図である。
また、図７（１）〜（２）は、パッケージを収容した収容済トレイをトレイストッカ（収容済トレイ収納部）に収納する動作の説明図である。
また、図８は、本発明に用いられるトレイの一例である。 First, embodiments according to the present invention will be described in detail.
FIG. 1 shows a substrate cutting apparatus according to the present invention.
2 and 3 show a package housing unit (tray unit) provided in the apparatus shown in FIG.
FIG. 4 shows tray mounting means provided in the unit shown in FIGS.
FIGS. 5A to 5C are explanatory diagrams of the operation of transporting the tray to the tray placing means by the tray transport mechanism.
Moreover, FIG. 6 is a figure explaining operation | movement (annular movement area | region) of a tray mounting means (tray mounting member).
FIGS. 7A and 7B are explanatory diagrams of the operation of storing the accommodated tray accommodating the package in the tray stocker (accommodated tray accommodating portion).
FIG. 8 is an example of a tray used in the present invention.

（本発明に係る基板の切断装置の全体構成について）
次に、本発明に係る基板の切断装置の全体的な構成について説明する。
即ち、図１に示すように、本発明に係る基板の切断装置１は、成形済基板２を装填する基板の装填ユニットＡと、基板の装填ユニットＡから移送された成形済基板２を切断済基板３（個々のパッケージ４）に切断（分離）する基板の切断ユニットＢと、基板の切断ユニットＢで切断された個々のパッケージ４を外観検査して良品と不良品とに選別するパッケージの検査ユニットＣと、パッケージの検査ユニットＣで検査選別されたパッケージ４を良品と不良品とに各別にトレイ５に収容するパッケージの収容ユニット（トレイのユニット）Ｄとから構成されている。 (Overall configuration of substrate cutting apparatus according to the present invention)
Next, the overall configuration of the substrate cutting apparatus according to the present invention will be described.
That is, as shown in FIG. 1, a substrate cutting apparatus 1 according to the present invention cuts a substrate loading unit A for loading a molded substrate 2 and a molded substrate 2 transferred from the substrate loading unit A. Substrate cutting unit B to be cut (separated) into substrate 3 (individual package 4), and inspection of packages in which individual packages 4 cut by substrate cutting unit B are visually inspected and classified into good products and defective products The unit C and a package accommodation unit (tray unit) D for accommodating the package 4 inspected and sorted by the package inspection unit C into a non-defective product and a defective product in the tray 5 are provided.

従って、まず、基板の装填ユニットＡに装填された成形済基板１を基板の切断ユニットＢに移送して切断済基板３（個々のパッケージ４）に切断することができるように構成されている。
次に、パッケージの検査ユニットＣにおいて、基板の切断ユニットＢで切断された個々のパッケージ４を検査して選別すると共に、パッケージの収容ユニット（トレイのユニット）Ｄにおいて、パッケージ４を良品と不良品とに各別にトレイ５に収容することができるように構成されている。
また、本発明に係る基板の切断装置１においては、前述した各ユニットＡ・Ｂ・Ｃ・Ｄがこの順で互いに着脱自在に直列状態にて連結して装設することができるように構成されている。
なお、図１に示す基板の切断装置１において、１ａは装置前面であり、１ｂは装置後面である。 Therefore, the molded substrate 1 loaded in the substrate loading unit A is first transferred to the substrate cutting unit B so as to be cut into the cut substrates 3 (individual packages 4).
Next, in the package inspection unit C, the individual packages 4 cut by the substrate cutting unit B are inspected and sorted, and in the package accommodation unit (tray unit) D, the packages 4 are classified as good and defective. In addition, the tray 5 can be accommodated separately.
Further, the substrate cutting apparatus 1 according to the present invention is configured such that the units A, B, C, and D described above can be detachably connected to each other in series in this order. ing.
In the substrate cutting apparatus 1 shown in FIG. 1, 1a is the front surface of the apparatus, and 1b is the rear surface of the apparatus.

（トレイの構成について）
ここで、図８を用いて、本発明に用いられるパッケージ４を収容するトレイ５の一例を説明する。
例えば、図８に示すトレイ５には、トレイ外周囲に形成された係止用の縁部８と、トレイ内部に設けられ且つパッケージ４を所要数個にて収容する大収容部（皿部）９とが設けられて構成されている。
また、大収容部（皿部）９には、パッケージ４の収容位置として、仕切壁９ａで小部屋に仕切られ且つ個々のパッケージ４を個別に収容する小収容部（ポケット）１０が所要数個、設けられて構成されている。
従って、空のトレイ（パッケージを収容する前の収容前トレイ）５にパッケージ４を収容して満杯にすることにより、パッケージ４を収容した収容済トレイ（良品トレイ６、不良品トレイ７）となるものである。 (About tray configuration)
Here, an example of the tray 5 for accommodating the package 4 used in the present invention will be described with reference to FIG.
For example, the tray 5 shown in FIG. 8 includes a locking edge portion 8 formed on the outer periphery of the tray, and a large accommodating portion (dish portion) provided inside the tray and accommodating the required number of packages 4. 9 is provided.
The large accommodating portion (dish portion) 9 has a required number of small accommodating portions (pockets) 10 that are partitioned into small rooms by a partition wall 9a and individually accommodate the individual packages 4 as accommodation positions of the packages 4. Provided.
Therefore, by storing the package 4 in the empty tray (pre-container tray before accommodating the package) 5 and filling it up, it becomes an accommodated tray (good product tray 6, defective product tray 7) that accommodates the package 4. Is.

（パッケージの検査ユニットの構成について）
即ち、図１に示すように、パッケージの検査ユニットＣには、基板の切断ユニットＢで切断された切断済基板３（個々のパッケージ４）を載置する切断済基板の載置部９１と、切断済基板の載置部９１に載置した個々のパッケージ４を検査するパッケージ検査機構９２（カメラ）と、パッケージ検査機構９２で検査した個々のパッケージ４を所要配置にて各別に載置するパッケージ載置部９３と、パッケージ載置部９３に載置したパッケージ４を係着してトレイ５に搬送するパッケージ係着機構９４とが設けられて構成されている。
また、パッケージ載置部９３は、パッケージ載置位置９５とパッケージ係着位置９６との間を往復移動することができるように構成されている。
即ち、まず、基板の切断ユニットＢで切断された切断済基板３（個々のパッケージ４）を切断済基板の載置部９１に載置すると共に、パッケージ検査機構９２で切断済基板の載置部９１に載置した個々のパッケージ４（切断済基板３）を検査し、次に、パッケージ載置位置９５において、パッケージ載置部９３における所要位置に個々のパッケージ４を各別に載置し、個々のパッケージ４を載置したパッケージ載置部９３をパッケージ係着位置９６に移動させるようにしている。
従って、パッケージ係着位置９６において、パッケージ載置部９３に載置した個々のパッケージ４をパッケージ係着機構９４で係着することにより、パッケージの収容ユニットＤ側にパッケージ４を搬送し、パッケージ４をトレイ５（良品トレイ６、不良品トレイ７）の小収容部１０に各別に収容することができるように構成されている。 (About the configuration of the package inspection unit)
That is, as shown in FIG. 1, the package inspection unit C includes a cut substrate mounting portion 91 for mounting the cut substrates 3 (individual packages 4) cut by the substrate cutting unit B; A package inspection mechanism 92 (camera) for inspecting individual packages 4 placed on the placement unit 91 of the cut substrate, and a package for individually placing the individual packages 4 inspected by the package inspection mechanism 92 in a required arrangement A mounting portion 93 and a package engaging mechanism 94 for engaging the package 4 placed on the package placing portion 93 and transporting it to the tray 5 are provided.
Further, the package mounting portion 93 is configured to be able to reciprocate between the package mounting position 95 and the package engaging position 96.
That is, first, the cut substrate 3 (individual package 4) cut by the substrate cutting unit B is placed on the cut substrate mounting portion 91, and the cut substrate mounting portion is mounted by the package inspection mechanism 92. Each package 4 (cut substrate 3) placed on 91 is inspected, and then, in the package placement position 95, each package 4 is placed separately at a required position in the package placement portion 93. The package placing portion 93 on which the package 4 is placed is moved to the package engaging position 96.
Accordingly, the individual packages 4 placed on the package placement portion 93 are engaged by the package attachment mechanism 94 at the package attachment position 96, whereby the package 4 is transported to the package accommodation unit D side, and the package 4 Can be accommodated separately in the small accommodating portion 10 of the tray 5 (non-defective product tray 6, defective product tray 7).

（パッケージの収容ユニットの構成について）
パッケージの収容ユニット（トレイのユニット）Ｄには、パッケージの検査ユニットＣで検査されたパッケージ４を収容する収容済トレイ収納部と、収容前トレイ５を収納した収容前トレイ装填部とが設けられて構成されている。
即ち、図１、図２に示すように、パッケージの収容ユニット（トレイのユニット）Ｄには、パッケージの検査ユニットＣで良品であると検査されたパッケージ４をパッケージ係着機構９４で搬送してトレイ５（良品トレイ６）に収容する良品トレイ部１１と、パッケージの検査ユニットＣで不良品であると検査されたパッケージ４をパッケージ係着機構９４で搬送してトレイ５（不良品トレイ７）に収容する不良品トレイ部１２と、収容前トレイ（空トレイ）５を装填する収容前トレイ装填部１３とが設けられて構成されている。
また、図１、図２の図例に示すように、パッケージの検査ユニットＣ側からＸ方向に、
良品トレイ部１１、不良品トレイ部１２、収容前トレイ装填部１３の順に配置されて構成されている。
また、後述するように、収容前トレイ装填部１３から良品トレイ部１１と不良品トレイ部１２とに各別に収容前トレイ（空トレイ）５を搬送して供給することができるように構成されている。
また、後述するように、良品トレイ部１１において、良品パッケージ４を収容した良品トレイ６（５）を収納することができるように構成されている。
また、不良品トレイ部１２において、不良品パッケージ４を収容した不良品トレイ７（５）を収納することができるように構成されている。
従って、収容前トレイ装填部１３から良品トレイ部１１に空トレイ５を搬送供給すると共に、パッケージ係着機構９４で良品パッケージ４をトレイ５に収容して良品パッケージ４を（満杯に）収容した良品トレイ６を得ることができるように構成されている。
また、収容前トレイ装填部１３から不良品トレイ部１２に空トレイ５を搬送供給すると共に、パッケージ係着機構９４で不良品パッケージ４をトレイ５に収容して不良品パッケージ５を（満杯に）収容した不良品トレイ７を得ることができるように構成されている。
なお、図１、図２に示すように、パッケージの収容ユニット（トレイのユニット）Ｄにおける良品トレイ部１１（或いは、不良品トレイ部１２）には、Ｙ方向であって、装置前面１ａ側から装置背面１ｂ側に、後述するように、（下端）収容前トレイ載置位置１４〔或いは、（上端）収容済トレイ載置位置３４〕と、（上端）パッケージ収容位置１５と、（上端）トレイ検知位置１６とが（平面的に）この順序で配置されて構成されている。 (About the package housing unit configuration)
The package storage unit (tray unit) D is provided with a stored tray storage unit that stores the package 4 inspected by the package inspection unit C, and a pre-storage tray loading unit that stores the pre-storage tray 5. Configured.
That is, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the package receiving unit (tray unit) D transports the package 4 inspected as a non-defective product by the package inspection unit C by the package engaging mechanism 94. The non-defective product tray 11 accommodated in the tray 5 (non-defective product tray 6) and the package 4 inspected as a defective product by the package inspection unit C are transported by the package engaging mechanism 94 and the tray 5 (defective product tray 7). The defective product tray portion 12 to be accommodated in the container and the pre-accommodating tray loading portion 13 for loading the pre-accommodating tray (empty tray) 5 are provided.
Moreover, as shown in the example of FIG. 1 and FIG. 2, from the inspection unit C side of the package in the X direction,
The non-defective product tray unit 11, the defective product tray unit 12, and the pre-accommodating tray loading unit 13 are arranged in this order.
Further, as will be described later, the pre-container tray (empty tray) 5 can be conveyed and supplied separately from the pre-container tray loading unit 13 to the non-defective product tray unit 11 and the defective product tray unit 12. Yes.
Further, as will be described later, the non-defective product tray section 11 is configured to store the non-defective product tray 6 (5) containing the non-defective product package 4.
Further, the defective product tray section 12 is configured to be able to store a defective product tray 7 (5) in which the defective product package 4 is stored.
Accordingly, the empty tray 5 is transported and supplied from the pre-accommodating tray loading section 13 to the non-defective tray section 11 and the non-defective package 4 is accommodated in the tray 5 by the package engaging mechanism 94 to accommodate the non-defective package 4 (full). The tray 6 can be obtained.
In addition, the empty tray 5 is transported and supplied from the pre-accommodating tray loading unit 13 to the defective product tray unit 12, and the defective product package 4 is stored in the tray 5 by the package engaging mechanism 94 to fill the defective product package 5 (full). The stored defective product tray 7 can be obtained.
As shown in FIGS. 1 and 2, the non-defective product tray 11 (or defective product tray 12) in the package accommodation unit (tray unit) D is in the Y direction from the apparatus front surface 1a side. On the apparatus rear surface 1b side, as will be described later, (lower end) pre-storage tray mounting position 14 [or (upper end) stored tray mounting position 34], (upper end) package storage position 15, and (upper end) tray The detection positions 16 are arranged (in plan) in this order.

（収容済トレイ収納部について）
また、前述したように、良品トレイ部１１と不良品トレイ部１２とは、パッケージ４を収容した収容済トレイ（良品トレイ６、不良品トレイ７）を収納する収容済トレイ収納部１１、１２であって、基本的な構造は同じである。 (About the stored tray storage)
Further, as described above, the non-defective product tray unit 11 and the defective product tray unit 12 are the stored tray storage units 11 and 12 that store the stored trays (the good product tray 6 and the defective product tray 7) in which the package 4 is stored. And the basic structure is the same.

（トレイの検知機構について）
また、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）の装置背面１ｂ側におけるトレイ検知位置１６には、トレイ５の整列状態（トレイ５のずれ）を検知するトレイ検知機構１７が、（水平面におけるＹ方向とは直角方向となる）Ｘ方向に、往復移動自在に設けられて構成されている。
従って、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）のトレイ検知位置１６において、トレイ検知機構１６にてトレイ５の整列状態（トレイ５のずれ）を検知することができるように構成されている。
また、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）のパッケージ収容位置１５において、トレイ検知機構１７によるトレイ５の検知結果に基づいて、パッケージ係着機構９４で、トレイ５におけるパッケージ４の収容位置（例えば、パッケージの小収容部１０）に、パッケージ４を収容することができるように構成されている。
なお、後述するように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）の収容前トレイ載置位置１４に、収容前トレイ（空トレイ）５を収容前トレイ装填部１３から供給することができるように構成されている。 (Tray detection mechanism)
Further, a tray detection mechanism 17 that detects the alignment state of the tray 5 (the displacement of the tray 5) is provided at the tray detection position 16 on the apparatus rear surface 1b side of the non-defective product tray unit 11 (defective product tray unit 12) (Y in the horizontal plane). It is configured to be reciprocally movable in the X direction (which is perpendicular to the direction).
Therefore, the tray detection mechanism 16 can detect the alignment state of the trays 5 (shift of the tray 5) at the tray detection position 16 of the non-defective product tray unit 11 (defective product tray unit 12).
Further, at the package accommodation position 15 of the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), based on the detection result of the tray 5 by the tray detection mechanism 17, the package attachment mechanism 94 accommodates the package 4 accommodation location ( For example, the package 4 can be accommodated in the small accommodating portion 10) of the package.
As will be described later, the pre-container tray (empty tray) 5 can be supplied from the pre-container tray loading unit 13 to the pre-container tray placement position 14 of the non-defective product tray unit 11 (defective product tray unit 12). It is configured.

また、図３に示すように、パッケージの収容ユニットＤにおいて、良品トレイ部１１には、その上方位置側に良品トレイ６を収容する良品トレイのストッカ（良品トレイの収納部）１８が設けられて構成されると共に、その下方位置側にトレイ５（６）を載置するトレイ載置手段１９が２組にて設けられて構成されている。
また、不良品トレイ部１２には、良品トレイ部１１と同様に、その上方位置側に不良品トレイ７を収容する不良品トレイのストッカ（不良品トレイの収納部）２０が設けられと共に、その下方位置側にトレイ５（７）を載置するトレイ載置手段１９が２組（或いは１組）にて設けられて構成されている。
また、収容前トレイ装填部１３において、良品トレイのストッカ１８と不良品トレイのストッカ２０と同じ高さ位置となる上方位置に、空トレイ（パッケージ収容前のトレイ）５を収納した収容前トレイのストッカ（収容前トレイの収納部）２１が設けられて構成されている。
また、良品トレイのストッカ１８（収容済トレイの収納部）と、不良品トレイのストッカ２０（収容済トレイの収納部）と、収容前トレイのストッカ２１（空トレイの収納部）とはＸ方向に並んだ状態で設けられて構成されている。
また、パッケージの収容ユニットＤには、収容前トレイのストッカ２１からの収容前トレイ５を係止し且つ良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）側に収容前トレイ（空トレイ）５を搬送するトレイ搬送機構２２が設けられて構成されている。 Further, as shown in FIG. 3, in the package accommodation unit D, the good product tray unit 11 is provided with a good product tray stocker (good product tray storage unit) 18 for containing the good product tray 6 on the upper position side thereof. In addition to the above, two sets of tray mounting means 19 for mounting the tray 5 (6) are provided on the lower position side.
In addition, the defective product tray unit 12 is provided with a defective product tray stocker (contained product storage unit) 20 for storing the defective product tray 7 on the upper position side in the same manner as the non-defective product tray unit 11. Two sets (or one set) of tray mounting means 19 for mounting the tray 5 (7) are provided on the lower position side.
In the pre-accommodating tray loading unit 13, the pre-accommodating tray in which the empty tray (tray before accommodating the package) 5 is accommodated at an upper position that is the same height as the stocker 18 for the non-defective product tray and the stocker 20 for the defective product tray. A stocker (a storage portion of the tray before storage) 21 is provided and configured.
The non-defective tray stocker 18 (accommodated tray storage section), the defective tray stocker 20 (accommodated tray storage section), and the pre-accommodated tray stocker 21 (empty tray storage section) are in the X direction. It is provided and arranged in a state of being aligned.
Further, the pre-accommodating tray 5 from the stocker 21 of the pre-accommodating tray is locked to the package accommodating unit D, and the pre-accommodating tray (empty tray) 5 is transported to the non-defective product tray 11 (defective product tray 12) side. The tray transport mechanism 22 is provided and configured.

また、前述したように、パッケージの収容ユニットＤの上方位置において、良品トレイのストッカ１８と不良品トレイのストッカ２０と収容前トレイのストッカ２１とからなるストッカの配置グループがＸ方向に並んだ状態で構成されている（図３を参照）。
また、パッケージの収容ユニットＤの下方位置において、良品トレイ部１１のトレイ載置手段１９と、不良品トレイ部１２のトレイ載置手段１９とからトレイ載置手段の配置グループが形成されて構成されている（図３を参照）。
更に、図３に示すように、パッケージの収容ユニットＤにおける上方位置と下方位置との間となる中間位置には、即ち、ストッカの配置グループとトレイ載置手段の配置グループとの間には、トレイ搬送機構２２がＸ方向に往復移動するトレイ搬送機構の移動領域２３がＸ方向に設けられて構成されている。
また、トレイ搬送機構２２の移動領域２３において、収容前トレイ装填部１３の収容前トレイのストッカ２１の下方側には、トレイ搬送機構のトレイ係止位置２４が設定されて構成されると共に、良品トレイ部１１と不良品トレイ部１２とには各別にトレイ搬送機構のトレイ引渡位置２５が設定されて構成されている。 In addition, as described above, in the upper position of the package accommodation unit D, the stocker arrangement group including the non-defective tray stocker 18, the defective tray stocker 20, and the pre-container tray stocker 21 is arranged in the X direction. (See FIG. 3).
Further, an arrangement group of tray placing means is formed from the tray placing means 19 of the non-defective product tray portion 11 and the tray placing means 19 of the defective tray portion 12 at a position below the package accommodation unit D. (See FIG. 3).
Further, as shown in FIG. 3, in the intermediate position between the upper position and the lower position in the package storage unit D, that is, between the stocker placement group and the tray placement means placement group, A tray transport mechanism moving region 23 in which the tray transport mechanism 22 reciprocates in the X direction is provided in the X direction.
Further, in the moving area 23 of the tray transport mechanism 22, a tray locking position 24 of the tray transport mechanism is set below the pre-accommodating tray stocker 21 of the pre-accommodating tray loading unit 13, and the non-defective product is configured. The tray unit 11 and the defective product tray unit 12 are configured by setting a tray delivery position 25 of the tray transport mechanism.

即ち、まず、収容前トレイのストッカ２１から収容前トレイ（空トレイ）５を下方向に押し出すことにより、トレイ搬送機構２２の移動領域２３におけるトレイ係止位置２４において、トレイ搬送機構２２にトレイ５を載置した状態で係止供給することができるように構成されている〔図５（１）を参照〕。
また、次に、後述するように、良品トレイ部１１において、トレイ搬送機構の移動領域２３におけるトレイ引渡位置２５で、トレイ搬送機構２２にてトレイ載置手段１９側にトレイ５をリフト機構４１（４２）に引き継いで供給することができるように構成されている〔図５（２）を参照〕。
また、更に、後述するように、不良品トレイ部１２において、トレイ搬送機構２２の移動領域２３におけるトレイ引渡位置２５で、トレイ搬送機構２２にてトレイ載置手段１９側にトレイ５をリフト機構４１（４２）に引き継いで供給することができるように構成されている。 That is, first, the pre-storage tray (empty tray) 5 is pushed downward from the pre-storage tray stocker 21, whereby the tray 5 is moved to the tray transfer mechanism 22 at the tray locking position 24 in the moving region 23 of the tray transfer mechanism 22. It is comprised so that it can carry out latching supply in the state which mounted (refer FIG. 5 (1)).
Next, as described later, in the non-defective tray unit 11, the tray 5 is moved to the tray mounting means 19 side by the tray transport mechanism 22 at the tray delivery position 25 in the movement region 23 of the tray transport mechanism. 42) (see FIG. 5 (2)).
Further, as will be described later, in the defective product tray unit 12, the tray 5 is moved to the tray placing means 19 side by the tray transport mechanism 22 at the tray delivery position 25 in the moving region 23 of the tray transport mechanism 22. (42) is constructed so that it can be supplied.

（トレイ搬送機構の構成について）
即ち、図３に示すように、トレイ搬送機構２２には、収容前トレイのストッカ２１から供給されたトレイ５をその縁部８で係止した状態で載置する係止回動部２６が設けられて構成されている。
また、図５（２）に示すように、トレイ搬送機構のトレイ引渡位置２５において、トレイ搬送機構２２の係止回動部２６を下方向から外方向に回動することにより、係止したトレイ５を解放し、後述するように、トレイ載置手段１９側のリフト機構４１（における支受部４２）にリフト機構の収容前トレイ受継位置５２で受け継ぐことができるように構成されている。 (About the configuration of the tray transport mechanism)
That is, as shown in FIG. 3, the tray transport mechanism 22 is provided with a locking rotation portion 26 that places the tray 5 supplied from the stocker 21 of the pre-accommodating tray while being locked at the edge portion 8. Is configured.
Further, as shown in FIG. 5 (2), at the tray delivery position 25 of the tray transport mechanism, the locked tray 26 is locked by rotating the locking rotation portion 26 of the tray transport mechanism 22 from below to the outside. 5 is configured so that it can be transferred to the lift mechanism 41 (the support portion 42) on the tray mounting means 19 side at the pre-accommodating tray transfer position 52 of the lift mechanism, as will be described later.

（トレイ載置手段の構成について）
図４に示すように、トレイ載置手段１９には、トレイ５（６、７）を載置するトレイ載置部材２７と、トレイ載置部材２７を上下動するトレイ載置部材の上下動機構２８と、トレイ載置部材２７とトレイ載置部材の上下動機構２８とをＹ方向に往復移動させるトレイ載置部材の往復移動機構２９と、トレイ載置部材２７の載置面（上面）３０に設けられたトレイの係止具（図示なし）とが設けられて構成されている。
また、トレイ載置部材２７には、トレイ大収容部（皿部）９を嵌装した状態で、トレイ５（６、７）を載置するトレイセット部となる貫通孔３１が設けられて構成されている。
このとき、トレイ縁部８はトレイ載置部材２７の載置面（上面）３０に係止された状態にて構成されている。
従って、トレイ５（６、７）をトレイ載置部材２７の載置面（トレイセット部）３０に係止具で係止した状態で供給セットして載置することができるように構成されている。 (About the configuration of the tray mounting means)
As shown in FIG. 4, the tray placing means 19 includes a tray placing member 27 for placing the tray 5 (6, 7), and a vertical movement mechanism for the tray placing member for moving the tray placing member 27 up and down. 28, a tray mounting member reciprocating mechanism 29 for reciprocating the tray mounting member 27 and the vertical movement mechanism 28 of the tray mounting member in the Y direction, and a mounting surface (upper surface) 30 of the tray mounting member 27. And a tray locking tool (not shown).
In addition, the tray mounting member 27 is provided with a through-hole 31 serving as a tray setting unit for mounting the trays 5 (6, 7) in a state where the large tray accommodating portion (dish portion) 9 is fitted. Has been.
At this time, the tray edge portion 8 is configured in a state of being locked to the placement surface (upper surface) 30 of the tray placement member 27.
Accordingly, the tray 5 (6, 7) is configured to be supplied and set in a state where the tray 5 (6, 7) is locked to the mounting surface (tray setting portion) 30 of the tray mounting member 27 by the locking tool. Yes.

なお、トレイ載置部材の往復移動機構２９として、例えば、ＬＭガイド（登録商標）の構成を用いることができる。
即ち、トレイ載置部材の往復移動機構２９には、ガイドレール３２と、トレイ載置手段本体１９に設けられたガイド部（スライダー）３３と、トレイ載置手段本体１９をＹ方向に往復駆動する駆動部（図示なし）とが設けられて構成されている。
従って、ガイド部（トレイ載置手段本体）３３をガイドレール３２上で往復移動させることができるように構成されている。
なお、図３に示すように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、前述したように、下方位置側に設けられた２組のトレイ載置手段１９について、向かって左側にガイドレール３２があるものを左側トレイ載置手段１９（１９ａ）とし、向かって右側にガイドレール３２があるものを右側トレイ載置手段１９（１９ｂ）とするものである。 In addition, as the reciprocation mechanism 29 of a tray mounting member, the structure of LM guide (trademark) can be used, for example.
That is, the tray mounting member reciprocating mechanism 29 reciprocally drives the guide rail 32, the guide portion (slider) 33 provided on the tray mounting means main body 19, and the tray mounting means main body 19 in the Y direction. A drive unit (not shown) is provided.
Accordingly, the guide portion (tray placing means main body) 33 can be reciprocated on the guide rail 32.
As shown in FIG. 3, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), as described above, the two sets of tray mounting means 19 provided on the lower position side are guide rails on the left side. The one having 32 is the left tray placing means 19 (19a), and the one having the guide rail 32 on the right side is the right tray placing means 19 (19b).

また、トレイ５（６、７）をトレイ載置部材２７の載置面３０に係止載置した状態で、トレイ載置部材２７（載置面３０）を、上下動機構２８を用いて、トレイ載置部材の上端位置と下端位置との間を上下動することができるように構成されている。
即ち、往復移動機構２９にて、下端位置の高さを保持した状態で、装置前面１ａ（トレイ載置位置１４）側から装置背面１ｂ側に（Ｙ方向に）、トレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）を移動させることができるように構成されている。
なお、この下端位置における装置背面１ｂ側の上端位置側は、トレイ検知位置１７となるものである。
従って、装置背面１ｂ側において、上下動機構２８を用いて、トレイ載置部材２７を下端位置から上端位置に上動させることができる。
また、往復移動機構２９にて、上端位置の高さを保持した状態で、装置背面１ｂ（トレイ検知位置１７）側から装置前面１ａ側に（Ｙ方向に）、トレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）を移動させることができるように構成されている。
このとき、上端位置における装置背面１ｂ側と装置前面１ａ側との間に設けられたパッケージ収容位置１５において、トレイ５に検査済パッケージ４を収容することができるように構成され、パッケージ４を収容した収容済トレイ６、７を形成することができる。
また、この上端位置における装置前面１ａ側は、収容済トレイ載置位置３４となり、この収容済トレイ載置位置３４の下端位置側は、収容前トレイ載置位置１４となるものである。
従って、装置前面１ａ側において、上端の収容済トレイ載置位置３４にあるトレイ載置部材２７は、収容済トレイ６、７をリフト機構４１（４２）にて上動させて取り除かれた後、上端位置から下端位置に下動して収容前トレイ載置位置１４で停止することになる。
また、更に、この収容前トレイ載置位置１４で、リフト機構４１（４２）にて収容前トレイ（空トレイ）５を載置することになる。 Further, in a state where the tray 5 (6, 7) is locked and placed on the placement surface 30 of the tray placement member 27, the tray placement member 27 (placement surface 30) is moved using the vertical movement mechanism 28. It is comprised so that it can move up and down between the upper end position and lower end position of a tray mounting member.
That is, the tray mounting member 27 (tray) is moved from the apparatus front surface 1a (tray mounting position 14) side to the apparatus rear surface 1b side (in the Y direction) with the reciprocating mechanism 29 holding the height of the lower end position. The mounting means 19) can be moved.
The upper end position side of the apparatus rear surface 1b side at this lower end position is the tray detection position 17.
Therefore, the tray mounting member 27 can be moved from the lower end position to the upper end position by using the vertical movement mechanism 28 on the apparatus rear surface 1b side.
Further, with the reciprocating mechanism 29 holding the height of the upper end position, the tray mounting member 27 (tray mounting) is moved from the apparatus back surface 1b (tray detection position 17) side to the apparatus front surface 1a side (in the Y direction). The positioning means 19) can be moved.
At this time, the package 4 is configured so that the inspected package 4 can be accommodated in the tray 5 at the package accommodation position 15 provided between the apparatus back surface 1b side and the apparatus front surface 1a side at the upper end position. The accommodated trays 6 and 7 can be formed.
Further, the apparatus front surface 1 a side at the upper end position is the accommodated tray placement position 34, and the lower end position side of the accommodated tray placement position 34 is the tray accommodation position 14 before accommodation.
Therefore, on the apparatus front surface 1a side, after the tray placing member 27 at the upper end accommodated tray placing position 34 is removed by moving the accommodated trays 6 and 7 up by the lift mechanism 41 (42), It moves downward from the upper end position to the lower end position and stops at the tray placement position 14 before accommodation.
Further, the pre-storage tray (empty tray) 5 is mounted by the lift mechanism 41 (42) at the pre-storage tray mounting position 14.

即ち、前述したように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、トレイ載置部材２７（における載置面３０）の下端位置の高さを保持した状態で、Ｙ方向に装置前面１ａ側が装置背面１ｂ側にトレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）を移動させる下端移動領域３５が設けられて構成されている。
また、前述したように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、トレイ載置部材２７（における載置面３０）の上端位置の高さを保持した状態で、Ｙ方向に装置背面１ｂ側が装置前面１ａ側にトレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）を移動させる上端移動領域３６が設けられて構成されている。
従って、装置前面１ａ側で下動したトレイ載置部材２７は、下端移動領域３５を装置前面１ａ側から装置背面１ｂ側に移動し、装置背面１ｂ側で上動して上端移動領域３６を装置背面１ｂ側から装置前面１ａ側に移動することができるように構成されている（Ｂｏｘ動作）。
なお、上端移動領域３５及び下端移動領域３６は、前述したトレイ搬送機構２２の移動領域２３の下方位置にあるものである。
また、後述するように、リフト機構４１（４２）にて下端移動領域３５の収容前トレイ載置位置１４にあるトレイ載置部材２７に収容前トレイ５を載置することができように構成されると共に、リフト機構４１（４２）にて上端移動領域３６の収容済トレイ載置位置３４にあるトレイ載置部材２７に収容済トレイ（良品トレイ６、不良品トレイ７）を押し上げることにより、収容済トレイの収納部（良品トレイのストッカ１８、不良品トレイのストッカ２０）に収納することができるように構成されている。 That is, as described above, in the non-defective product tray unit 11 (defective product tray unit 12), the height of the lower end position of the tray mounting member 27 (the mounting surface 30) is maintained in the Y direction in the apparatus front surface 1a. The lower end moving area 35 for moving the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) is provided on the apparatus rear surface 1b side.
Further, as described above, in the non-defective product tray section 11 (defective product tray section 12), the height of the upper end position of the tray mounting member 27 (the mounting surface 30) is maintained in the Y direction in the apparatus rear surface 1b. The upper end moving area 36 for moving the tray placing member 27 (tray placing means 19) is provided on the apparatus front surface 1a side.
Accordingly, the tray mounting member 27 moved down on the apparatus front surface 1a side moves the lower end movement area 35 from the apparatus front surface 1a side to the apparatus rear surface 1b side, and moves up on the apparatus rear surface 1b side to move the upper end movement area 36 in the apparatus. It is configured to be able to move from the back surface 1b side to the device front surface 1a side (Box operation).
The upper end movement area 35 and the lower end movement area 36 are located below the movement area 23 of the tray transport mechanism 22 described above.
Further, as will be described later, the lift mechanism 41 (42) is configured so that the pre-storage tray 5 can be mounted on the tray mounting member 27 at the pre-storage tray mounting position 14 in the lower end movement area 35. At the same time, the lift mechanism 41 (42) pushes up the stored tray (good product tray 6, defective product tray 7) onto the tray mounting member 27 at the stored tray mounting position 34 in the upper end movement area 36, thereby storing the tray. It is configured so that it can be stored in a storage unit for finished trays (stocker 18 for non-defective product trays, stocker 20 for defective product trays).

（トレイ載置部材によるトレイＢｏｘ動作について）
即ち、図６に示すように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、まず、下端移動領域３５の装置前面１ａ側における下端の収容前トレイ載置位置１４で空トレイ５を一方のトレイ載置部材２７に供給セットすると共に、下端移動領域３５で、収容前トレイ５を載置したトレイ載置部材２７を、上端のパッケージ収容位置１５にあるトレイ５（６、７）を載置した他方のトレイ載置部材２７の下方位置を通過させて、下端移動領域３５の装置背面１ｂ側に移動させ、上端移動領域３６にあるトレイ検知位置１６にまで上動させることができる。
次に、上端のトレイ検知位置１６において、トレイ検知機構１７で一方のトレイ載置部材２７に載置した収容前トレイ５を検知して待機させる。
更に、上端移動領域３６において、パッケージ収容位置１５で、他方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５に良品パッケージ（不良品パッケージ）４が満杯に収容されると、満杯になった収容済トレイ６、７を装置前面１ａ側となる上端の収容済トレイ載置位置３４に移動させる。
このとき、同時に、上端移動領域３６において、上端トレイ検知位置１６から上端パッケージ収容位置１５に一方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５を移動させ、引き続いて、トレイ５に良品パッケージ（検査済パッケージ）４を収容することができる。
従って、次に、後述するように、上端の収容済トレイ載置位置３４における収容済トレイ６、７をリフト機構４１（４２）で上動させることにより、良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）内に良品トレイ６（不良品トレイ７）を押し上げて収納することができる。 (Tray Box operation by tray mounting member)
That is, as shown in FIG. 6, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), first, the empty tray 5 is placed in one of the trays at the lower tray moving position 35 at the lower side of the apparatus front side 1a on the apparatus front side 1a. In addition to supplying and setting the tray mounting member 27, in the lower end movement area 35, the tray mounting member 27 on which the pre-accommodating tray 5 is mounted is mounted on the tray 5 (6, 7) in the upper package receiving position 15. The lower position of the other tray mounting member 27 is passed through and moved to the apparatus rear surface 1b side of the lower end movement area 35, and can be moved up to the tray detection position 16 in the upper end movement area 36.
Next, at the tray detection position 16 at the upper end, the tray detection mechanism 17 detects the pre-accommodating tray 5 placed on one tray placement member 27 and puts it on standby.
Further, in the upper end movement region 36, when the non-defective product package (defective product package) 4 is fully accommodated in the tray 5 placed on the other tray placement member 27 at the package accommodation position 15, the full accommodation is completed. The trays 6 and 7 are moved to the accommodated tray placement position 34 at the upper end on the apparatus front surface 1a side.
At the same time, the tray 5 placed on one tray placing member 27 is moved from the upper end tray detection position 16 to the upper end package receiving position 15 in the upper end movement area 36, and subsequently, the non-defective package (inspection) is placed on the tray 5. Finished package) 4 can be accommodated.
Therefore, as will be described later, the stored trays 6 and 7 in the stored tray mounting position 34 at the upper end are moved up by the lift mechanism 41 (42), so that the non-defective tray stocker 18 (the defective tray) The non-defective product tray 6 (defective product tray 7) can be pushed up and stored in the stocker 20).

（Ｂｏｘ動作の作用について）
即ち、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、上端移動領域３６のパッケージ収容位置１５でトレイ５に良品パッケージ（不良品パッケージ）４を収容することができる。
また、パッケージ収容位置１５でのパッケージ収容時に、上端移動領域３６のトレイ検知位置１６において、トレイ検知機構１７で他のトレイ５を検知して待機させることができるように構成されている。
即ち、パッケージ収容位置１５でトレイ５（６、７）が満杯となった場合、満杯のトレイ（良品トレイ６、不良品トレイ７）をパッケージ収容位置１５から収容済トレイ載置位置３４に移動させ、同時に、検知済トレイ５をトレイ検知位置１６からパッケージ収容位置１５に移動させることができる。
このため、２個のトレイ載置部材２７にて、検知済トレイ５を連続してパッケージ収容位置１５に供給することができる（所謂、ダブルトレイ供給方式）。
従って、（従来例に示す、トレイがパッケージで満杯になったときに、トレイの装填部からトレイを供給する構成に比べて、）本発明は、パッケージ収容位置１５において、トレイ５がパッケージ４で満杯になったときに、パッケージ４が満杯になったトレイ６、７をパッケージ収容位置１５から（その外部に）移動させ（退出させ）、これと同時に、空の検知済トレイ５をパッケージ収容位置１５（の内部）に移動させる（進出させる）ことができる。
このとき、トレイ５を直ちに交換することができるため、交換時間を効率良く短縮することができるので、パッケージ４の生産性を効率良く向上させることができる。 (About the action of Box operation)
That is, in the non-defective tray unit 11 (defective product tray unit 12), the non-defective product package (defective product package) 4 can be accommodated in the tray 5 at the package accommodation position 15 in the upper end movement region 36.
Further, when the package is accommodated at the package accommodation position 15, the tray detection mechanism 17 can detect and wait for another tray 5 at the tray detection position 16 in the upper end movement area 36.
That is, when the trays 5 (6, 7) are full at the package storage position 15, the full trays (good tray 6, defective product tray 7) are moved from the package storage position 15 to the stored tray mounting position 34. At the same time, the detected tray 5 can be moved from the tray detection position 16 to the package accommodation position 15.
For this reason, the detected tray 5 can be continuously supplied to the package accommodation position 15 by the two tray mounting members 27 (so-called double tray supply method).
Accordingly, the present invention (as compared to the configuration shown in the conventional example in which the tray is supplied from the tray loading unit when the tray is filled with the package), the tray 5 is the package 4 at the package receiving position 15. When the trays 6 and 7 are full, the trays 6 and 7 in which the package 4 is full are moved (exited) from the package housing position 15 (exit), and at the same time, the empty detected tray 5 is moved to the package housing position. 15 (inside) can be moved (advanced).
At this time, since the tray 5 can be immediately replaced, the replacement time can be shortened efficiently, so that the productivity of the package 4 can be improved efficiently.

また、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、２組のトレイ載置手段１９（２個のトレイ載置部材２７）は、２組とも、装置前面１ａ側から装置背面１ｂ側に移動する往路は下端領域３５で移動し、装置背面１ｂ側から装置前面１ａ側に移動する復路は上端領域３６を移動すると云う一方通行の環状移動であるため、時間的にずらせて移動させれば、互いに衝突することを効率良く防止することができる。
即ち、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、トレイ５（６、７）を載置したトレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）を移動させる上端移動領域３５と下端移動領域３６とを含む（上下方向となる垂直面での）環状移動領域３７（Ｂｏｘ動作する移動領域）を形成することができる。
この環状移動領域３７おいて、２個のトレイ載置部材２７（トレイ５）の夫々を一方通行で各別に（衝突することなく）周回させることができるように構成されている。
図６に示す図例では、環状移動領域３７において、トレイ載置部材２７（トレイ５）は右回り（時計回り）での一方通行の周回である。
なお、環状移動領域３７において、トレイ載置部材２７（トレイ５）は、右回りとは反対回りとなる左回りでの一方通行の周回を採用してもよい。 Further, in the non-defective tray portion 11 (defective product tray portion 12), the two sets of tray mounting means 19 (two tray mounting members 27) are moved from the apparatus front face 1a side to the apparatus rear face 1b side. The forward path to be moved in the lower end area 35, and the return path to move from the apparatus rear face 1b side to the apparatus front face 1a side is a one-way annular movement in which the upper end area 36 is moved. It is possible to efficiently prevent collisions with each other.
That is, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), the upper end moving region 35 and the lower end moving region 36 for moving the tray placing member 27 (tray placing means 19) on which the tray 5 (6, 7) is placed. Can be formed (in a vertical plane in the vertical direction) including an annular movement region 37 (movement region in which a box operation is performed).
In the annular movement region 37, each of the two tray mounting members 27 (tray 5) can be circulated individually (without colliding) in one way.
In the example shown in FIG. 6, in the annular movement region 37, the tray mounting member 27 (tray 5) is a one-way turn in the clockwise direction (clockwise).
In the annular movement region 37, the tray mounting member 27 (tray 5) may adopt a one-way circulation in the counterclockwise direction that is opposite to the clockwise direction.

更に、本発明において、一方のトレイ載置部材２７（検知済トレイ５）を上端移動領域３６で装置背面１ｂ側から装置前面１ａ側に移動させてパッケージ収容位置１５に停止させると共に、検査済パッケージ４をトレイ５に収容する。
このとき、他方のトレイ載置部材２７（収容前トレイ５）を下端移動領域３５で装置前面１ａ側から装置背面１ｂ側に移動させて上動させ、トレイ検知位置１６に停止させて検知して待機させることができる。
このため、２つのトレイ載置部材２７は上下位置で異なる移動領域３５、３６を移動することになり、互いに正面衝突することを効率良く防止することができる。 Further, in the present invention, one tray mounting member 27 (detected tray 5) is moved from the apparatus back surface 1b side to the apparatus front surface 1a side in the upper end movement area 36 and stopped at the package receiving position 15, and the inspected package 4 is accommodated in the tray 5.
At this time, the other tray mounting member 27 (the pre-accommodating tray 5) is moved upward from the apparatus front surface 1a side to the apparatus rear surface 1b side in the lower end movement area 35, and is stopped and detected at the tray detection position 16. Can wait.
For this reason, the two tray mounting members 27 move in different moving areas 35 and 36 at the upper and lower positions, and it is possible to efficiently prevent a frontal collision with each other.

（トレイ検知機構の検知動作による作用について）
前述したように、トレイ５のずれ（トレイ５の整列状態）を検知するトレイ検知機構１７は、トレイ検知位置１６において、Ｘ方向に往復移動することができるように構成されている。
また、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、検知前トレイ５はＹ方向に移動するように構成されている。
従って、トレイ５をＹ方向に（例えば、間欠的に）移動させながら、トレイ検知機構１７をＸ方向に走査することができる。
このため、（従来例に示すような、固定された２個の検知機構で移動するトレイを検知する構成に比べて、トレイ検知機構１７をＸ方向に走査することができるので、トレイ５の整列状態（ずれ）を高精度で効率良く検出することができる。 (About the effect of the detection operation of the tray detection mechanism)
As described above, the tray detection mechanism 17 that detects the displacement of the tray 5 (the alignment state of the tray 5) is configured to reciprocate in the X direction at the tray detection position 16.
Further, in the good product tray unit 11 (defective product tray unit 12), the pre-detection tray 5 is configured to move in the Y direction.
Therefore, the tray detection mechanism 17 can be scanned in the X direction while moving the tray 5 in the Y direction (for example, intermittently).
For this reason, the tray detection mechanism 17 can be scanned in the X direction as compared with the configuration in which the moving tray is detected by two fixed detection mechanisms as shown in the conventional example. The state (displacement) can be detected with high accuracy and efficiency.

〔トレイ載置手段のトレイセット部（貫通孔）の作用について〕
前述したように、トレイ載置手段１９のトレイ載置部材２７にはトレイセット部として貫通孔３１が設けられて構成されている（図３を参照）。
即ち、前述したように、トレイ５の大収容部（皿部）９を貫通孔３１に嵌装することができるように構成されると共に、トレイの縁部８をトレイ載置部材２７の載置面３０に係止することができるように構成されている。
従って、この状態で、トレイ載置部材２７を上下動し、且つ、Ｙ方向に往復移動することができるように構成されている。
このため、（従来例に示すように、トレイの供給セット時に、グリップで受け渡するためにトレイが不安定となって「ずれ」易くなる構成に比べて、）トレイ５を効率良く安定して供給セットすることができるので、トレイ５に発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイ５の整列状態を効率良く良好に設定することができる。 [About the action of the tray setting part (through hole) of the tray mounting means]
As described above, the tray mounting member 27 of the tray mounting means 19 is configured by being provided with a through hole 31 as a tray setting portion (see FIG. 3).
That is, as described above, the large accommodating portion (dish portion) 9 of the tray 5 is configured to be fitted into the through hole 31, and the tray edge portion 8 is placed on the tray placing member 27. It is comprised so that it can latch on the surface 30. FIG.
Accordingly, in this state, the tray mounting member 27 can be moved up and down and reciprocated in the Y direction.
Therefore, as shown in the conventional example, the tray 5 can be efficiently and stably stabilized (compared with a configuration in which the tray becomes unstable and easily “displaces” because it is delivered with a grip when the tray is supplied and set). Since the supply can be set, the “displacement” generated in the tray 5 can be efficiently prevented, and the alignment state of the tray 5 can be set efficiently and satisfactorily.

（リフト機構の構成について）
図例に示すように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、２組のトレイ載置手段１７におけるトレイ載置部材２７の貫通孔３１の下方位置には、トレイ５（６、７）を支受した状態で上下動するリフト機構（リフター）４１が設けられて構成されている。
また、リフト機構４１には、トレイ５（６、７）を支受する支受部（支受板）４２と、支受部（支受板）４２を下方から支持する支持棒４３と、支持棒４３を介して支受部４２を上下動する支受部の上下動部４４とが設けられて構成されている。
従って、リフト機構４１において、トレイ５（６、７）を支受部（支受板）４１に支受した状態で、支持棒４３を介して支受部（支受板）４２を上下動部４４で上下動することができるように構成されている。
また、支受部（支受板）４２は、トレイ載置部材２７の貫通孔３１を下方から上方に挿通することができるように構成されている。
このとき、支受部（支受板）４２を支持した支持棒４３は貫通孔３１を挿通した状態にある。
従って、トレイ載置部材２７の貫通孔３１を下方から上方に貫通して上方に位置した支受部（支受板）４２がトレイ５（６、７）を支受（載置）した状態で、支受部（支受板）４２を上下動させることができるように構成されている。
更に、トレイ載置部材２７（貫通孔３１）の上方を含む所要位置で支受部（支受板）４２を停止することができるように構成されている。
なお、通常、リフト機構４１の支受部（支受板）４２は、トレイ載置部材２７（貫通孔３１）の下方位置に位置して停止している。 (About the structure of the lift mechanism)
As shown in the figure, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), the tray 5 (6, 7) is positioned below the through hole 31 of the tray placement member 27 in the two sets of tray placement means 17. ) Is provided, and a lift mechanism (lifter) 41 that moves up and down is provided.
The lift mechanism 41 includes a support portion (support plate) 42 that supports the trays 5 (6, 7), a support bar 43 that supports the support portion (support plate) 42 from below, and a support. An up-and-down moving part 44 of a support part that moves up and down the support part 42 via a rod 43 is provided.
Therefore, in the lift mechanism 41, the tray 5 (6, 7) is supported by the support portion (support plate) 41 and the support portion (support plate) 42 is moved up and down via the support rod 43. 44 so that it can move up and down.
The support portion (support plate) 42 is configured to be able to pass through the through hole 31 of the tray mounting member 27 from below to above.
At this time, the support rod 43 that supports the support portion (support plate) 42 is in a state of being inserted through the through hole 31.
Accordingly, in a state in which the tray 5 (6, 7) is supported (placed) by the support portion (support plate) 42 that passes through the through-hole 31 of the tray placement member 27 from below and is positioned upward. The support portion (support plate) 42 can be moved up and down.
Further, the support portion (support plate) 42 can be stopped at a required position including above the tray mounting member 27 (through hole 31).
Normally, the support portion (support plate) 42 of the lift mechanism 41 is located at a position below the tray mounting member 27 (through hole 31) and is stopped.

（リフト機構によるトレイ載置部材へのトレイ載置について）
即ち、図５（２）に示すように、トレイ搬送機構の移動領域２３におけるトレイの引渡位置２５において、トレイ搬送機構２２で係止された収容前トレイ（空トレイ）５の大収容部９の底面を、リフト機構の収容前トレイ受継位置５２にて、リフト機構４１の支受部４２で支受することができるように構成されている。
また、この状態で、トレイ搬送機構２２の係止回動部２６を回動して収容前トレイ５を解放することにより、収容前トレイ５を支受部４２（の上面）のみで支受するように構成されている。
図５（３）に示すように、収容前トレイ５を支受部４２で支受した状態で、支受部４２を下動させることにより、下端移動領域３５における装置前面１ａ側のトレイ載置位置１４に存在するトレイ載置部材２７の載置面３０（貫通孔３１）にトレイ５を供給セットすることができる。
このとき、支受部４２は貫通孔３１内或いはトレイ載置部材２７の下方位置に位置することになる。 (Tray placement on tray placement member by lift mechanism)
That is, as shown in FIG. 5 (2), the large storage portion 9 of the pre-storage tray (empty tray) 5 locked by the tray transfer mechanism 22 at the tray transfer position 25 in the movement area 23 of the tray transfer mechanism. The bottom surface can be supported by the support portion 42 of the lift mechanism 41 at the pre-accommodating tray transfer position 52 of the lift mechanism.
In this state, the pre-accommodating tray 5 is supported only by the support portion 42 (the upper surface thereof) by rotating the locking rotation portion 26 of the tray transport mechanism 22 to release the pre-accommodating tray 5. It is configured as follows.
As shown in FIG. 5 (3), the tray mounting on the apparatus front surface 1 a side in the lower end movement area 35 is performed by moving the support portion 42 downward while the pre-accommodating tray 5 is supported by the support portion 42. The tray 5 can be supplied and set on the mounting surface 30 (through hole 31) of the tray mounting member 27 existing at the position 14.
At this time, the support 42 is located in the through hole 31 or at a position below the tray mounting member 27.

即ち、図５（１）に示すように、まず、収容前トレイ装填部１３における収容前トレイのストッカ２１において、収容前トレイ５を下方向に押圧することにより、トレイ搬送機構の移動領域２３におけるトレイ係止位置２４にあるトレイ搬送機構２２にトレイ５を供給セットする。
このとき、トレイ搬送機構２２の係止回動部２６にトレイの縁部８が係止されることになる。
次に、図５（２）に示すように、トレイ搬送機構の移動領域２３における良品トレイ部１１側の位置となるトレイ引渡位置２５に、トレイ５を係止したトレイ搬送機構２２を移動させる。
このとき、係止回動部２６を回動してトレイ５を解放すると共に、トレイ搬送機構２２で係止された収容前トレイ５を、収容前トレイ受継位置５２にて、支受部４２で支受することができる。
次に、図５（３）に示すように、トレイ５を支受した支受部４２を下動させることにより、下端移動領域３５における収容前トレイ載置位置１４に存在するトレイ載置部材２７の載置面３０の貫通孔３１にトレイ５を供給セットすることになる。
従って、トレイ搬送機構２２とリフト機構４１とで下端の収容前トレイ載置位置１４に存在するトレイ載置部材２７にトレイ５を供給セットすることができる。 That is, as shown in FIG. 5A, first, in the pre-accommodating tray stocker 21 in the pre-accommodating tray loading unit 13, the pre-accommodating tray 5 is pressed downward to move the tray transport mechanism in the moving region 23. The tray 5 is supplied and set to the tray transport mechanism 22 at the tray locking position 24.
At this time, the edge portion 8 of the tray is locked to the locking rotation portion 26 of the tray transport mechanism 22.
Next, as shown in FIG. 5B, the tray transport mechanism 22 that holds the tray 5 is moved to a tray delivery position 25 that is a position on the non-defective tray section 11 side in the movement region 23 of the tray transport mechanism.
At this time, the locking rotation unit 26 is rotated to release the tray 5, and the pre-accommodating tray 5 locked by the tray transport mechanism 22 is moved by the support unit 42 at the pre-accommodating tray transfer position 52. Can be supported.
Next, as shown in FIG. 5 (3), the tray mounting member 27 existing at the tray mounting position 14 in the lower end moving region 35 is moved downward by moving the support portion 42 that supports the tray 5. The tray 5 is supplied and set in the through hole 31 of the mounting surface 30.
Therefore, the tray 5 can be supplied and set to the tray mounting member 27 existing at the tray mounting position 14 at the lower end by the tray transport mechanism 22 and the lift mechanism 41.

（リフト機構による良品トレイの良品トレイストッカへの収納について）
即ち、図７（１）に示すように、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、上端収容済トレイ載置位置３４でトレイ載置部材２７に載置された（パッケージ４が満杯となった）良品トレイ６（収容済トレイ）の大収容部９の底面を、リフト機構の収容済トレイ係着位置５３で、リフト機構４１の支受部４２にて支受することができるように構成されている。
また、図７（２）に示すように、リフト機構４１の支受部４２を上動することにより、良品トレイ６を良品トレイのストッカ１８に、リフト機構の収容済トレイ押上位置５１から支受部４２にて押し上げて収納することができるように構成されている。 (Storing non-defective trays into non-defective tray stockers by the lift mechanism)
That is, as shown in FIG. 7A, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), it is placed on the tray placement member 27 at the upper end accommodated tray placement position 34 (the package 4 is full). The bottom surface of the large accommodating portion 9 of the non-defective tray 6 (accommodated tray) can be supported by the supporting portion 42 of the lift mechanism 41 at the accommodated tray engaging position 53 of the lift mechanism. It is configured.
Further, as shown in FIG. 7 (2), by moving the support portion 42 of the lift mechanism 41 upward, the non-defective tray 6 is supported by the non-defective tray stocker 18 from the accommodated tray push-up position 51 of the lift mechanism. The unit 42 is configured to be pushed up and stored.

即ち、図７（１）に示すように、まず、良品トレイ部１１（不良品トレイ部１２）において、上端収容済トレイ載置位置３４に位置するトレイ載置部材２７に載置された良品トレイ６（不良品トレイ７）を、支受部４２（リフト機構４１）で支受する。
次に、図７（２）に示すように、支受部４２（リフト機構４１）を上動して良品トレイ６（不良品トレイ７）を良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）に押し上げて収納することができる。
従って、リフト機構４１にて良品トレイ６（不良品トレイ７）を上端収容済トレイ載置位置３４のトレイ載置部材２７から良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）に押し上げて収納することができる。 That is, as shown in FIG. 7A, first, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), the good product tray placed on the tray placement member 27 located at the upper end accommodated tray placement position 34. 6 (defective product tray 7) is supported by the support 42 (lift mechanism 41).
Next, as shown in FIG. 7 (2), the support portion 42 (lift mechanism 41) is moved up to replace the non-defective product tray 6 (defective product tray 7) with the non-defective product tray 18 (defective product stocker 20). Can be pushed up and stored.
Therefore, the non-defective product tray 6 (defective product tray 7) is pushed up by the lift mechanism 41 from the tray placement member 27 at the upper end accommodated tray placement position 34 to the good product stocker 18 (defective product stocker 20). be able to.

（リフト機構における支受部の上下方向の位置について）
次に、リフト機構４１における支受部４２（の上面）の位置について説明する。
即ち、図例に示すように、リフト機構４１における支受部４２で収容済トレイ６、７（の底面）をストッカ１８、２０内に押し上げる位置として、支受部４２（の上面）の位置を、収容済トレイ押上位置５１に設定することができる。
また、トレイ搬送機構の移動領域２３におけるトレイ引渡位置２５において、トレイ搬送機構２２（係止回動部２６）に係止されたトレイ５の底面をリフト機構４１における支受部４２で支受する位置として、支受部４２（の上面）の位置を、収容前トレイ受継位置５２に設定することができる。
また、上端収容済トレイ載置位置３４におけるトレイ載置部材２７に載置した収容済トレイ６、７（の底面）の位置を支受部４２で支受する位置として、支受部４２（の上面）の位置を、収容済トレイ係着位置５３に設定することができる。
また、下端収容前トレイ載置位置１４におけるトレイ載置部材２７に載置した収容前トレイ５（の底面）の位置を支受部４２で支受する位置として、支受部４２（の上面）の位置を、収容前トレイ供給位置５４に設定することができる。
また、支受部４２（の上面）における通常の定位置として、支受部の下端位置５５に設定することができる。
従って、支受部４２（の上面）の位置は、下方から上方に向けて、支受部の下端位置５５、収容前トレイ供給位置５４、収容済トレイ係着位置５３、収容前トレイ受継位置５２、収容済トレイ押上位置５１の順に配置されて構成されている。 (About the vertical position of the support in the lift mechanism)
Next, the position of the support part 42 (the upper surface thereof) in the lift mechanism 41 will be described.
That is, as shown in the figure, the position of the support portion 42 (the upper surface) is set as a position where the received trays 6 and 7 (the bottom surface) are pushed up into the stockers 18 and 20 by the support portion 42 in the lift mechanism 41. The accommodated tray push-up position 51 can be set.
In addition, at the tray delivery position 25 in the movement region 23 of the tray transport mechanism, the bottom surface of the tray 5 locked by the tray transport mechanism 22 (locking rotation unit 26) is supported by the support unit 42 of the lift mechanism 41. As the position, the position of the support portion 42 (the upper surface thereof) can be set to the pre-storage tray transfer position 52.
Further, the position of the accommodated trays 6 and 7 (the bottom surface thereof) placed on the tray placing member 27 at the upper end accommodated tray placing position 34 is set as a position to be supported by the support portion 42. The position of the upper surface) can be set to the accommodated tray engaging position 53.
Further, the position of the pre-accommodating tray 5 (the bottom surface thereof) placed on the tray placing member 27 at the lower-end pre-accommodating tray placing position 14 is set as a position to be supported by the supporting part 42 (the upper surface thereof). This position can be set to the pre-accommodating tray supply position 54.
Moreover, it can set to the lower end position 55 of a support part as a normal fixed position in the support part 42 (the upper surface).
Accordingly, the position of the support part 42 (the upper surface thereof) is from the bottom to the top, the lower end position 55 of the support part, the pre-accommodating tray supply position 54, the accommodated tray engaging position 53, and the pre-accommodating tray transfer position 52. These are arranged in the order of the accommodated tray push-up position 51.

（リフト機構における支受部の上下方向の動作について）
また、下端の収容前トレイ載置位置１４におけるトレイ載置部材２７に収容前トレイ５を供給する場合、まず、リフト機構４１の支受部４２（支持棒４３）を支受部下端位置５５から上動させて下端の収容前トレイ載置位置５４におけるトレイ載置部材２７の貫通孔３１を挿通することにより、収容前トレイ受継位置５２に支受部４２を位置させてトレイ搬送機構２２から収容前トレイ５を受け継ぐことになる。
次に、支受部４２を収容前トレイ供給位置５４に位置させることにより、トレイ載置部材２７に収容前トレイ５を供給することができる。 (About the vertical movement of the support in the lift mechanism)
Further, when the pre-storage tray 5 is supplied to the tray mounting member 27 at the tray mounting position 14 at the lower end, first, the support portion 42 (support bar 43) of the lift mechanism 41 is moved from the support portion lower end position 55. By moving up and passing through the through-hole 31 of the tray mounting member 27 at the tray mounting position 54 before storage at the lower end, the support portion 42 is positioned at the tray transfer position 52 before storage and stored from the tray transport mechanism 22. The front tray 5 will be inherited.
Next, the pre-accommodating tray 5 can be supplied to the tray mounting member 27 by positioning the support portion 42 at the pre-accommodating tray supply position 54.

また、上端の収容済トレイ載置位置３４における良品トレイ６（不良品トレイ７）を良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）に収納する場合、まず、リフト機構４１の支受部４２を収容済トレイ係着位置５３に位置させて、トレイ載置部材２７の収容済トレイ６、７を係着する。
次に、収容済トレイ係着位置５３から支受部４２（支持棒４３）をトレイ載置部材２７の貫通孔３１を挿通させることにより、支受部４２を収容済トレイ押上位置５１に位置させて良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）に良品トレイ６（不良品トレイ７）を押し上げて収納することができる。 Further, when the non-defective product tray 6 (defective product tray 7) at the upper end accommodated tray mounting position 34 is stored in the good product tray stocker 18 (defective product tray stocker 20), first, the support portion 42 of the lift mechanism 41. Is placed in the accommodated tray engaging position 53, and the accommodated trays 6 and 7 of the tray mounting member 27 are engaged.
Next, the support portion 42 is positioned at the accommodated tray push-up position 51 by inserting the support portion 42 (support bar 43) through the through-hole 31 of the tray mounting member 27 from the accommodated tray engaging position 53. The good product tray 6 (defective product tray 7) can be pushed up and stored in the good product stocker 18 (defective product stocker 20).

（本発明に係る基板の切断方法について）
本発明において、まず、パッケージの検査ユニットＣにおいて、切断済基板２を検査して良品パッケージ４と不良品パッケージ４とに選別する。
次に、パッケージの収容ユニットＤにおいて、良品トレイ部１１におけるトレイ載置部材２７の上端移動領域３６における装置前面１ａと装置背面１ｂとの中間部に形成されたパッケージ収容位置１５に位置したトレイ５（一方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５）に、良品パッケージ４をパッケージ係着機構９４にて係着した収容することができる。
このとき、装置背面１ｂ側となる上端移動領域３６のトレイ検知位置１６に存在する他方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５を、トレイ検知機構１７で検知することにより、検知済トレイ５を待機させることができる。
また、次に、上端パッケージ収容位置１５のトレイ５にパッケージ４が満杯となったとき、満杯となったトレイ（良品トレイ６）を装置前面１ａ側となる上端収容済トレイ載置位置３４に移動させる。
このとき、同時に、上端トレイ検知位置１６における他方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５を上端パッケージ収容位置１５に移動させることができる。
このため、上端パッケージ収容位置１５において、トレイ５を短時間で効率良く交換することができる。
従って、トレイ５を短時間で効率良く交換することができるので、トレイ５にパッケージ４を効率良く収容し得て、パッケージ４を効率良く生産することができる。 (About the substrate cutting method according to the present invention)
In the present invention, first, in the package inspection unit C, the cut substrate 2 is inspected and sorted into a non-defective package 4 and a defective package 4.
Next, in the package housing unit D, the tray 5 located at the package housing position 15 formed in the intermediate portion between the device front surface 1a and the device back surface 1b in the upper end movement region 36 of the tray mounting member 27 in the non-defective tray portion 11. The non-defective package 4 can be accommodated in the (tray 5 mounted on one tray mounting member 27) by the package engaging mechanism 94.
At this time, the tray 5 mounted on the other tray mounting member 27 existing at the tray detection position 16 in the upper end movement area 36 on the apparatus rear surface 1b side is detected by the tray detection mechanism 17, thereby detecting the detected tray 5. Can be made to wait.
Next, when the package 4 is full in the tray 5 at the upper-end package accommodation position 15, the full tray (non-defective product tray 6) is moved to the upper-end accommodation tray placement position 34 on the apparatus front surface 1a side. Let
At the same time, the tray 5 placed on the other tray placing member 27 at the upper tray detection position 16 can be moved to the upper package housing position 15.
For this reason, the tray 5 can be efficiently exchanged in a short time at the upper end package accommodation position 15.
Therefore, since the tray 5 can be efficiently exchanged in a short time, the package 4 can be efficiently accommodated in the tray 5 and the package 4 can be produced efficiently.

また、本発明は、図６に示すように、トレイ５を載置したトレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）が、所謂、Ｂｏｘ動作するものであり、２個のトレイ載置部材２７（トレイ５）が衝突しないように、（垂直面で、）環状移動領域３７を一方向通行で各別に移動（周回）する構成である。
即ち、本発明は、トレイ５を載置したトレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）を上端移動領域３６で装置背面１ｂ側から装置前面１ａ側に移動させて、トレイ載置部材２７（トレイ５）を上端移動領域３６から下端移動領域３５に下動し、次に、トレイ載置部材２７（トレイ５）を下端移動領域３５で装置前面１ａ側から装置背面１ｂ側に移動させて、トレイ載置部材２７（トレイ５）を下端移動領域３５から上端移動領域３６に上動させることによって、トレイ載置部材２７（トレイ５）を環状移動領域３７で一方向通行で周回する構成である。
従って、上端移動領域３６における装置前面１ａと装置背面１ｂとの中間部に設けられたパッケージ収容位置１５に位置する一方のトレイ載置部材２７（トレイ５）の下方側を、即ち、下端移動領域３５で装置前面１ａ側から装置背面１ｂ側に、他方のトレイ載置部材２７（トレイ５）が移動して通過することができるように構成されている。
このため、一方のトレイ載置部材２７（トレイ５）と他方のトレイ載置部材２７（トレイ５）とは、上下位置で衝突を回避することができるように構成されている。 Further, in the present invention, as shown in FIG. 6, the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) on which the tray 5 is mounted operates in a so-called box operation, and the two tray mounting members 27. In order to prevent the (tray 5) from colliding, the annular movement region 37 is moved (circulated) in one direction in each direction (on a vertical surface).
That is, according to the present invention, the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) on which the tray 5 is mounted is moved from the apparatus back surface 1b side to the apparatus front surface 1a side in the upper end movement region 36, and the tray mounting member 27 ( The tray 5) is moved downward from the upper end movement area 36 to the lower end movement area 35, and then the tray mounting member 27 (tray 5) is moved from the apparatus front face 1a side to the apparatus rear face 1b side in the lower end movement area 35. By moving the tray mounting member 27 (tray 5) upward from the lower end moving region 35 to the upper end moving region 36, the tray mounting member 27 (tray 5) circulates in one direction in the annular moving region 37. .
Therefore, the lower side of one tray placement member 27 (tray 5) located at the package accommodation position 15 provided in the intermediate portion between the apparatus front surface 1a and the apparatus back surface 1b in the upper end movement area 36, that is, the lower end movement area. 35, the other tray mounting member 27 (tray 5) can be moved and passed from the apparatus front surface 1a side to the apparatus back surface 1b side.
For this reason, one tray mounting member 27 (tray 5) and the other tray mounting member 27 (tray 5) are configured to be able to avoid collision at the vertical position.

また、本発明において、前述したように、上端移動領域３６の装置背面１ｂ側には、トレイ５の整列状態（ずれ）をトレイ検知機構１７で検知するトレイ検知位置１６が設けられて構成されている。
また、前述したように、トレイ検知機構１７は、トレイ５の移動方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）に往復移動して検知することができるように構成されている。
即ち、従来例では、固定された２個の検知機構１１１でＹ方向に移動するトレイ５を検知するようにしていた。
しかしながら、本発明では、Ｙ方向に移動するトレイ５を、Ｘ方向に移動する移動するトレイ検知機構１７で検知することができるように構成したので、トレイ５の整列状態（ずれ）を高精度で効率良く検出することができる。 In the present invention, as described above, the tray detection position 16 for detecting the alignment state (displacement) of the tray 5 by the tray detection mechanism 17 is provided on the apparatus rear surface 1b side of the upper end movement region 36. Yes.
Further, as described above, the tray detection mechanism 17 is configured to be able to detect by reciprocating in the direction (X direction) orthogonal to the movement direction (Y direction) of the tray 5.
That is, in the conventional example, the two detection mechanisms 111 that are fixed detect the tray 5 that moves in the Y direction.
However, in the present invention, since the tray 5 moving in the Y direction can be detected by the moving tray detection mechanism 17 moving in the X direction, the alignment state (displacement) of the tray 5 can be detected with high accuracy. It can be detected efficiently.

また、本発明においては、トレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）にはトレイセット部として貫通孔３１が設けられて構成されている。
この貫通孔３１に、トレイ５の大収容部９（皿部）を嵌装することにより、トレイ縁部８をトレイ載置部材２７の載置面３０に載置した状態で縁部８を係止具で係止するようにしている。
即ち、トレイ５を貫通孔３１に嵌装することができるので、トレイ５に発生する「ずれ（トレイ５の整列状態）」を効率良く防止し得て、トレイ５の整列状態を効率良く良好に設定することができる。 In the present invention, the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) is configured by being provided with a through hole 31 as a tray setting portion.
By fitting the large accommodating portion 9 (dish portion) of the tray 5 into the through hole 31, the edge portion 8 is engaged with the tray edge portion 8 placed on the placement surface 30 of the tray placement member 27. It is locked with a stopper.
That is, since the tray 5 can be fitted into the through-hole 31, the “displacement (alignment state of the tray 5)” generated in the tray 5 can be efficiently prevented, and the alignment state of the tray 5 can be efficiently improved. Can be set.

また、本発明において、下端の収容前トレイ載置位置１４にあるトレイ載置部材２７に収容前トレイ５をリフト機構４１で供給するには、まず、収容前トレイ装填部１３において、収容前トレイのストッカ２１から収容前トレイ５を下方向に押圧することにより、トレイ搬送機構２２（係止回動部２６）にトレイ係止位置２４でトレイ５を係止する。
次に、トレイ搬送機構２２のトレイ引渡位置２５において、支受部４２の収容前トレイ受継位置５２で、上動して貫通孔３１（下端位置のトレイ載置部材２７）を挿通したリフト機構４１（支受部４２）にて、収容前トレイ５をトレイ搬送機構４１から受け継ぐことができる。
また、次に、トレイ５を支受したリフト機構４１（支受部４２）を下動することにより、下端の収容前トレイ載置位置１４において、収容前トレイ供給位置５４で、トレイ載置部材２７の貫通孔３１にトレイ５の大収容部９を嵌装し且つトレイの縁部８を載置面３０で係止し、トレイ載置部材２７にトレイ５を供給セットすることができる。 In the present invention, in order to supply the pre-storage tray 5 to the tray mounting member 27 at the tray mounting position 14 at the lower end by the lift mechanism 41, first, the pre-storage tray 13 in the pre-storage tray loading unit 13 is used. By pressing the pre-accommodating tray 5 downward from the stocker 21, the tray 5 is locked at the tray locking position 24 to the tray transport mechanism 22 (locking rotation portion 26).
Next, at the tray delivery position 25 of the tray transport mechanism 22, the lift mechanism 41 is moved up at the pre-accommodating tray transfer position 52 of the support 42 and inserted through the through hole 31 (the tray mounting member 27 at the lower end position). The pre-accommodating tray 5 can be inherited from the tray transport mechanism 41 at the (supporting portion 42).
Next, by lowering the lift mechanism 41 (supporting portion 42) that supports the tray 5, the tray mounting member at the tray storage position 54 before storage at the tray storage position 14 before storage at the lower end. The large accommodating portion 9 of the tray 5 is fitted into the through-hole 31 of 27, and the edge portion 8 of the tray is locked by the placement surface 30, so that the tray 5 can be supplied and set on the tray placement member 27.

また、本発明において、上端の収容前トレイ載置位置１４にあるトレイ載置部材２７から収容済トレイ５をリフト機構４１で良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）に押し上げて収納するには、まず、上端の収容前トレイ載置位置３４におけるトレイ載置部材２７の貫通孔３１をリフト機構４１（支受部４２）で挿通することにより、収容済トレイ係着位置５３で収容済トレイ５を係着して上動させる。
次に、収容済トレイ押上位置５１からリフト機構４１（収容済トレイ６、７を係着した支受部４２）を上動させることにより、収容済トレイ６、７を良品トレイのストッカ１８（不良品トレイのストッカ２０）に押し上げて収納することができる。 Further, in the present invention, the accommodated tray 5 is pushed up by the lift mechanism 41 from the tray placing member 27 at the tray placing position 14 at the upper end of the tray to the non-defective tray stocker 18 (the stocker 20 of the defective product tray). First, the through-hole 31 of the tray mounting member 27 at the upper end tray mounting position 34 at the upper end is inserted by the lift mechanism 41 (supporting portion 42), so that it is stored at the stored tray engaging position 53. Tray 5 is engaged and moved up.
Next, the lift mechanism 41 (the support portion 42 to which the accommodated trays 6 and 7 are engaged) is moved up from the accommodated tray push-up position 51, whereby the accommodated trays 6 and 7 are moved to the non-defective tray stocker 18 (non-defective tray). It can be pushed up and stored in a non-defective tray stocker 20).

（本発明の作用効果について）
即ち、本発明において、トレイ載置部材２７（トレイ載置手段１９）にトレイセット部として設けられた貫通孔３１に、トレイ５の大収容部９（皿部）を嵌装することにより、トレイ縁部８をトレイ載置部材２７の載置面３０に載置した状態で縁部８を係止具で係止することができる。
従って、トレイ５を貫通孔３１に効率良く嵌装することができるので、トレイ５に発生する「ずれ（トレイ５の整列状態）」を効率良く防止し得て、トレイ５の整列状態を効率良く良好に設定することができる。 (About the effect of this invention)
That is, in the present invention, the large accommodation portion 9 (dish portion) of the tray 5 is fitted into the through-hole 31 provided as a tray setting portion in the tray placement member 27 (tray placement means 19), whereby the tray The edge 8 can be locked with a locking tool in a state where the edge 8 is mounted on the mounting surface 30 of the tray mounting member 27.
Accordingly, since the tray 5 can be efficiently fitted into the through-hole 31, the “displacement (alignment state of the tray 5)” generated in the tray 5 can be efficiently prevented, and the alignment state of the tray 5 can be efficiently improved. It can be set well.

また、本発明においては、Ｙ方向に移動するトレイ５を、Ｘ方向に移動する移動するトレイ検知機構１７で検知することができるように構成したので、前述したような従来例に比べて、トレイ５の整列状態（ずれ）を高精度で効率良く検出することができる。   In the present invention, since the tray 5 moving in the Y direction can be detected by the moving tray detection mechanism 17 moving in the X direction, the tray is compared with the conventional example as described above. It is possible to efficiently detect the alignment state (displacement) 5 with high accuracy.

また、本発明においては、上端パッケージ収容位置１５において、一方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５でパッケージ４が満杯となったとき、満杯となったトレイ（良品トレイ６、不良品トレイ７）を装置前面１ａ側となる上端の収容済トレイ載置位置３４に移動させることができる。
このとき、同時に、上端のトレイ検知位置１６における他方のトレイ載置部材２７に載置したトレイ５を上端のパッケージ収容位置１５に移動させることができる。
従って、上端のパッケージ収容位置１５において、検知済トレイ５を短時間で効率良く交換することができるので、トレイ５にパッケージ４を効率良く収容し得て、パッケージ４を効率良く生産することができる。 Further, in the present invention, when the package 4 is filled with the tray 5 placed on one tray placing member 27 at the upper end package accommodation position 15, the full tray (non-defective product tray 6, defective product tray) is filled. 7) can be moved to the accommodated tray placement position 34 at the upper end on the apparatus front face 1a side.
At the same time, the tray 5 placed on the other tray placing member 27 at the upper tray detection position 16 can be moved to the upper package accommodation position 15.
Therefore, since the detected tray 5 can be efficiently exchanged in a short time at the package accommodation position 15 at the upper end, the package 4 can be efficiently accommodated in the tray 5 and the package 4 can be produced efficiently. .

本発明は、前述した実施例のものに限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意且つ適宜に変更・選択して採用できるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be arbitrarily changed and selected as needed within a range not departing from the gist of the present invention.

前記した実施例において、不良品トレイ部１２にトレイ載置手段１９を２組、設ける構成を例示したが、不良品トレイ部１２にトレイ載置手段１９を１組、設ける構成を採用することができる。
なお、この場合、検査されたパッケージ４が不良品となる場合がごく僅かであるため、１組のトレイ載置手段１９で基板の切断装置を必要且つ十分に作動させることができる。 In the above-described embodiment, the configuration in which two sets of tray mounting means 19 are provided in the defective product tray portion 12 is illustrated. However, the configuration in which one set of tray mounting means 19 is provided in the defective product tray portion 12 may be adopted. it can.
In this case, since there are very few cases where the inspected package 4 is a defective product, the substrate cutting device can be operated as necessary and sufficiently by one set of tray mounting means 19.

図１は、本発明に係る基板の切断装置を概略的に示す概略平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view schematically showing a substrate cutting apparatus according to the present invention. 図２は、図１に示す装置におけるパッケージの収容ユニット（トレイのユニット）を概略的に示す概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view schematically showing a package accommodation unit (tray unit) in the apparatus shown in FIG. 図３は、図２に示すパッケージの収容ユニットを概略的に示す概略正面図である。FIG. 3 is a schematic front view schematically showing the accommodation unit of the package shown in FIG. 図４は、図２、図３に示すパッケージの収容ユニットの要部（トレイ載置手段）を拡大して概略的に示す拡大概略斜視図である。FIG. 4 is an enlarged schematic perspective view schematically showing an enlarged main part (tray placing means) of the package accommodation unit shown in FIGS. 2 and 3. 図５（１）、図５（２）、図５（３）は、図３に示すパッケージの収容ユニットの要部（トレイ搬送機構）を概略的に示す概略正面図であって、トレイをトレイ搬送機構で搬送してトレイ載置手段に装着する動作を説明する図である。5 (1), FIG. 5 (2), and FIG. 5 (3) are schematic front views schematically showing the main part (tray transport mechanism) of the package accommodation unit shown in FIG. It is a figure explaining the operation | movement which mounts in a tray mounting means, conveyed by a conveyance mechanism. 図６は、図３に示すパッケージの収容ユニットの要部（トレイ載置手段）を概略的に示す概略側面図であって、トレイ載置手段の動作を説明する図である。FIG. 6 is a schematic side view schematically showing the main part (tray placement means) of the package accommodation unit shown in FIG. 3, and is a view for explaining the operation of the tray placement means. 図７（１）、図７（２）は、図３に示すパッケージの収容ユニットの要部（トレイのストッカ）を概略的に示す略正面図であって、トレイをトレイストッカ（トレイ収納部）に収容する動作を示している。7 (1) and 7 (2) are schematic front views schematically showing the main part (tray stocker) of the package accommodation unit shown in FIG. 3, wherein the tray is a tray stocker (tray storage part). The operation to accommodate is shown. 図８は、図１に示す装置で切断されたパッケージを収容するトレイの一例を概略的に示す概略斜視図である。FIG. 8 is a schematic perspective view schematically showing an example of a tray for storing packages cut by the apparatus shown in FIG. 図９（１）は従来のパッケージの収容ユニットを概略的に示す概略平面図であり、図９（２）は図９（１）に示すパッケージの収容ユニットの要部を拡大して概略的に示す拡大概略平面図である。FIG. 9A is a schematic plan view schematically showing a conventional package accommodation unit, and FIG. 9B is an enlarged schematic view of the main part of the package accommodation unit shown in FIG. 9A. It is an enlarged schematic plan view shown.

符号の説明Explanation of symbols

１ 基板の切断装置
１ａ 装置前面
１ｂ 装置後面
２ 成形済基板
３ 切断済基板
４ パッケージ
５ トレイ（収容前トレイ、空トレイ）
６ 良品トレイ（収容済トレイ）
７ 不良品トレイ（収容済トレイ）
８ 縁部（トレイ）
９ 大収容部（トレイ）
９ａ 仕切壁
１０ 小収容部（トレイ）
１１ 良品トレイ部（収容済トレイ収納部）
１２ 不良品トレイ部（収容済トレイ収納部）
１３ 収容前トレイ装填部（空トレイ装填部）
１４ （下端）収容前トレイ載置位置（トレイ載置部材）
１５ パッケージ収容位置（トレイ載置部材）
１６ トレイ検知位置（トレイ載置部材）
１７ トレイ検知機構（トレイ載置部材）
１８ 良品トレイのストッカ（収容済トレイの収納部）
１９ トレイ載置手段
２０ 不良品トレイのストッカ（収容済トレイの収納部）
２１ 収容前トレイのストッカ（空トレイの収納部）
２２ トレイ搬送機構
２３ トレイ搬送機構の移動領域
２４ トレイ係止位置（トレイ搬送機構）
２５ トレイ引渡位置（トレイ搬送機構）
２６ 係止回動部（トレイ搬送機構）
２７ トレイ載置部材
２８ 上下動機構（トレイ載置部材）
２９ 往復移動機構（トレイ載置部材）
３０ 載置面（トレイ載置部材）
３１ 貫通孔（トレイ載置部材）
３２ カイドレール
３３ ガイド部（スライダー）
３４ （上端）収容済トレイ載置位置（トレイ載置部材）
３５ 下端移動領域（トレイ載置部材）
３６ 上端移動領域（トレイ載置部材）
３７ 環状移動領域（トレイ載置部材）
４１ リフト機構
４２ 支受部（支受板）
４３ 支持棒（リフト機構）
４４ 上下動部（リフト機構）
５１ 収容済トレイ押上位置（リフト機構）
５２ 収容前トレイ受継位置（リフト機構）
５３ 収容済トレイ係着位置（リフト機構）
５４ 収容前トレイ供給位置（リフト機構）
５５ 下端位置（リフト機構）
９１ 切断済基板の載置部（パッケージの検査ユニット）
９２ パッケージ検査機構（パッケージの検査ユニット）
９３ パッケージ載置部（パッケージの検査ユニット）
９４ パッケージ係着機構（パッケージの検査ユニット）
９５ パッケージ載置位置（パッケージの検査ユニット）
９６ パッケージ係着位置（パッケージの検査ユニット）
Ａ 基板の装填ユニット
Ｂ 基板の切断ユニット
Ｃ パッケージの検査ユニット
Ｄ パッケージの収容ユニット（トレイのユニット） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate cutting device 1a Device front surface 1b Device rear surface 2 Molded substrate 3 Cut substrate 4 Package 5 Tray (tray before accommodation, empty tray)
6 Good product tray (contained tray)
7 Defective product tray (contained tray)
8 Edge (tray)
9 Large storage (tray)
9a Partition wall 10 Small container (tray)
11 Good product tray (contained tray storage)
12 Defective product tray part (accommodated tray storage part)
13 Tray loading section before storage (empty tray loading section)
14 (Lower end) Tray placement position before storage (tray placement member)
15 Package accommodation position (tray placement member)
16 Tray detection position (tray placement member)
17 Tray detection mechanism (tray placement member)
18 Good quality tray stocker (accommodated tray storage)
19 Tray placement means 20 Defective product tray stocker (accommodated tray storage unit)
21 Pre-storage tray stocker (empty tray storage)
22 Tray Transport Mechanism 23 Tray Transport Mechanism Movement Area 24 Tray Locking Position (Tray Transport Mechanism)
25 Tray delivery position (tray transport mechanism)
26 Locking rotation part (tray transport mechanism)
27 Tray placement member 28 Vertical movement mechanism (tray placement member)
29 Reciprocating mechanism (tray placement member)
30 Placement surface (tray placement member)
31 Through-hole (tray placement member)
32 guide rail 33 guide section (slider)
34 (Upper) Housed tray placement position (tray placement member)
35 Lower end movement area (tray placement member)
36 Upper end movement area (tray placement member)
37 annular movement region (tray placement member)
41 Lift mechanism 42 Supporting part (supporting plate)
43 Support rod (lift mechanism)
44 Vertical movement (lift mechanism)
51 Housed tray push-up position (lift mechanism)
52 Tray transfer position before storage (lift mechanism)
53 Stored tray engagement position (lift mechanism)
54 Tray supply position before storage (lift mechanism)
55 Lower end position (lift mechanism)
91 Placed part of cut substrate (package inspection unit)
92 Package Inspection Mechanism (Package Inspection Unit)
93 Package Placement (Package Inspection Unit)
94 Package engagement mechanism (package inspection unit)
95 Package placement position (Package inspection unit)
96 Package attachment position (Package inspection unit)
A Substrate loading unit B Substrate cutting unit C Package inspection unit D Package accommodation unit (tray unit)

Claims (8)

成形済基板を切断した個々のパッケージをトレイに収容する基板の切断方法であって、
前記したトレイの整列状態を検知する工程と、
前記したトレイに前記したパッケージを収容する工程とを備えると共に、
前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージの収容位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージの収容位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする基板の切断方法。 A method of cutting a substrate in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray,
Detecting the alignment state of the trays;
And a step of accommodating the package described above in the tray described above,
A method of cutting a substrate, wherein the step of moving the tray containing the package from the package receiving position and the step of moving the detected tray to the package receiving position are performed simultaneously. . 成形済基板を切断した個々のパッケージをトレイに収容する基板の切断方法であって、
前記したトレイを載置したトレイ載置部材を２個、用意する工程と、
前記したトレイを載置したトレイ載置部材を移動させる上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域で、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を一方通行で各別に周回させる工程と、
前記した上端移動領域の中間部に前記したパッケージを収容する位置を設ける工程と、
前記した上端移動領域の一端側に前記したトレイを検知する位置を設ける工程と、
前記した上端移動領域の他端側に前記したパッケージを収容したトレイを取り出す位置を設ける工程と、
前記した下端移動領域の他端側に前記したトレイを供給する位置を設ける工程とを備えると共に、
前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージを収容する位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージを収容する位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする基板の切断方法。 A method of cutting a substrate in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray,
A step of preparing two tray placing members on which the trays are placed, and
A step of rotating the tray placing member on which the tray is placed individually in one way in an annular movement region including an upper end moving region and a lower end moving region for moving the tray placing member on which the tray is placed; ,
Providing a position for accommodating the above-described package in an intermediate portion of the above-described upper end movement region;
Providing a position for detecting the tray on the one end side of the upper end movement region described above;
A step of providing a position for taking out the tray containing the package on the other end side of the upper end moving region;
Providing a position for supplying the tray described above on the other end side of the lower end movement region described above,
The step of moving the tray containing the package from the position for containing the package and the step of moving the detected tray to the position for containing the package are performed simultaneously. Cutting method. トレイ搬送機構でトレイをリフト機構に引き渡して受け継ぐと共に、前記したリフト機構で下端移動領域における収容前トレイ載置位置にあるトレイ載置部材にトレイを載置して供給する工程を有することを特徴とする請求項２に記載の基板の切断方法。   The tray transport mechanism has a step of handing over and transferring the tray to the lift mechanism, and a step of placing and supplying the tray to the tray placement member at the tray placement position before accommodation in the lower end movement region by the lift mechanism. The method for cutting a substrate according to claim 2. 上端移動領域の収容済トレイ載置位置にある収容済トレイをリフト機構で押圧してトレイの収納部に収納することを特徴とする請求項２に記載の基板の切断装置。   3. The substrate cutting device according to claim 2, wherein the accommodated tray at the accommodated tray mounting position in the upper end movement area is pressed by a lift mechanism and is accommodated in the tray accommodating portion. 成形済基板を切断した個々のパッケージを収容したトレイを収納する収容済トレイのストッカを備える収容済トレイ収納部と、収容前トレイを収納した収容前トレイのストッカを備えた収容前トレイ装填部とを備えた基板の切断装置であって、
前記した収容済トレイ収納部における収容済トレイのストッカと、前記した収容前トレイ装填部における収容前トレイのストッカとを前記した装置の上方位置に並設し、且つ、前記した装置における収容済トレイ収納部の下方位置に、前記したトレイを載置するトレイ載置手段を設けると共に、前記したトレイ載置手段を、前記したトレイを供給セットする貫通孔を有するトレイ載置部材と、前記したトレイ載置部材を上端位置と下端位置との間で上下動する上下動機構と、前記したトレイ載置部材と上下動機構とを装置前面と装置背面との間で往復移動させる往復移動機構とから構成し、前記した収容済トレイのストッカと前記したトレイ載置部材との間を前記した貫通孔を挿通した状態で上下動するリフト機構と、前記した収容前トレイのストッカから前記した収容前トレイを前記したリフト機構に搬送するトレイ搬送機構と、前記したトレイ載置部材に載置した収容前トレイを検知するトレイ検知機構とを備えたことを特徴とする基板の切断装置。 An accommodated tray storage unit that includes a stocker for an accommodated tray that accommodates a tray that accommodates individual packages obtained by cutting molded substrates, and a pre-accommodation tray loading unit that includes a stocker for a pre-accommodation tray that accommodates a pre-accommodation tray. A substrate cutting apparatus comprising:
The stocker for the accommodated tray in the above-described accommodated tray storage unit and the stocker for the pre-accommodation tray in the pre-accommodation tray loading unit are juxtaposed in the upper position of the above-described apparatus, and the accommodated tray in the above-described apparatus A tray mounting means for mounting the above-described tray is provided at a position below the storage portion, and the tray mounting member includes a tray mounting member having a through hole for supplying and setting the tray. A vertical movement mechanism that moves the mounting member up and down between an upper end position and a lower end position; and a reciprocating movement mechanism that reciprocates the tray mounting member and the vertical movement mechanism between the apparatus front surface and the apparatus rear surface. A lift mechanism configured to move up and down in a state in which the through hole is inserted between the stocker of the accommodated tray and the tray mounting member, and the tray before accommodation A substrate transporting mechanism comprising: a tray transporting mechanism that transports the above-mentioned pre-accommodating tray from the stocker to the above-described lift mechanism; and a tray detection mechanism that detects the pre-accommodating tray placed on the above-described tray mounting member. Cutting device. トレイ載置部材が上端位置で移動する上端移動領域と、前記したトレイ載置部材が下端位置で移動する下端移動領域とを設けて構成し、更に、前記した上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域を設けて構成したことを特徴とする請求項５に記載の基板の切断装置。   An upper end moving area in which the tray placing member moves at the upper end position and a lower end moving area in which the tray placing member moves at the lower end position are provided, and the upper end moving area and the lower end moving area are further provided. 6. The substrate cutting device according to claim 5, wherein an annular moving region is provided. 装置上方位置に並設した収容済トレイのストッカ及び収容前トレイのストッカと、装置下方位置に配置したトレイ載置手段における上端位置にあるトレイ載置部材との間に、トレイ搬送機構の移動領域を設けて構成したことを特徴とする請求項５に記載の基板の切断装置。   The movement area of the tray transport mechanism between the stocker of the stored tray and the stocker of the tray before storage arranged in the upper position of the apparatus and the tray placing member at the upper end position of the tray placing means arranged in the lower position of the apparatus. The substrate cutting device according to claim 5, wherein the substrate cutting device is provided. トレイ検知機構を、トレイ載置部材の移動方向と垂直方向となる方向に往復移動自在に設けて構成したことを特徴とする請求項５に記載の基板の切断装置。   6. The substrate cutting apparatus according to claim 5, wherein the tray detection mechanism is provided so as to be reciprocally movable in a direction perpendicular to the moving direction of the tray mounting member.
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