JP5312857B2 - Substrate cutting method and apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、所要複数個のIC等の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を個々のパッケージ(個片)に切断する基板の切断方法及びその装置の改良に関するものである。 The present invention relates to a substrate cutting method for cutting a molded substrate in which a plurality of required electronic parts such as ICs are collectively sealed with a resin material into individual packages (pieces) and an improvement of the apparatus. It is.
従来から、基板の切断装置を用いて、成形済基板の所要個所を切断機構(ブレード)にて切断することにより、個々のパッケージを形成することが行われているが、この基板の切断は、次のようにして行われている。 Conventionally, using a substrate cutting device, individual packages are formed by cutting a required portion of a molded substrate with a cutting mechanism (blade). It is done as follows.
即ち、まず、この切断装置の基板載置位置において、成形済基板を切断テーブルに供給セットして吸着固定すると共に、切断機構にて成形済基板に設定された切断線を切断して個々のパッケージを形成するようにしている。
次に、個々のパッケージを検査すると共に、パッケージの収容ユニットにおいて、検査済のパッケージ4をトレイ5に収容するようにしている。
即ち、良品パッケージ4を良品トレイ6に収容し、不良品パッケージ5を不良品トレイ7に収容するようにしている。
That is, first, at the substrate mounting position of this cutting apparatus, the molded substrate is supplied and set to the cutting table and sucked and fixed, and the cutting line set on the molded substrate is cut by the cutting mechanism to each package. To form.
Next, the individual packages are inspected, and the inspected
That is, the
また、従来から、図9(1)に示すような基板の切断装置(パッケージの収容ユニット101)が用いられると共に、図9(1)に示すパッケージの収容ユニット101には、パッケージ4を収容した収容済トレイ5(6、7)を収納するトレイ収納部となる良品トレイ部102と、不良品トレイ部103とが設けられ、更に、パッケージを収容する前の収容前トレイ(空トレイ)5を装填する収容前トレイ装填部104が設けられて構成されている。
また、図9(2)に示すように、良品トレイ部102には、トレイ装填部104からの収容前トレイ5を供給するトレイ供給位置105と、トレイ5の整列状態(トレイ5のずれ)を検知するトレイ検知位置106と、良品パッケージ4をトレイ5に収容する良品パッケージ収容位置107と、良品パッケージ4が満杯となった良品トレイ6(5)を収納する良品トレイ収納位置108とが設けられて構成されている。
また、図9(2)に示すように、トレイ供給位置105には、トレイ5を挟持固定する供給位置グリップ105がトレイ5の長手方向に2個、設けられると共に、良品パッケージ収容位置107には、トレイ供給位置105から良品パッケージ収容位置107に、供給位置グリップ105で挟持されたトレイ5を受け継いで挟持固定する収容位置グリップ110がトレイ5の長手方向に設けられて構成されている。
また、図9(2)に示すように、トレイ検知位置106には、トレイ供給位置105から良品パッケージ収容位置107にトレイ5を移送させるときに、(即ち、トレイ5の移送中に、)トレイ5の整列状態を検知するトレイ検知機構111が2個、固定された状態で設けられて構成されている。
なお、良品パッケージ収容位置107において、トレイ5にパッケージ4をパッケージ係着機構112で係着して収容することができるように構成されている。
従って、従来から、図9(2)に示すように、良品パッケージ収容位置107のトレイ5に良品パッケージ4が満杯になった場合、まず、トレイ装填部104からのトレイ5をトレイ供給位置105に供給して供給位置グリップ109でトレイ5を挟持し、次に、トレイ供給位置105から良品トレイ収容位置107に空のトレイ5を移送するようにしている。
また、このトレイ5の移送時に、トレイ検知位置106において、瞬間的ではあるが、2個のトレイ検知機構111にてトレイ5の整列状態(トレイ5のずれ)を検知するようにしている。
Conventionally, a substrate cutting device (package housing unit 101) as shown in FIG. 9 (1) is used, and the
Further, as shown in FIG. 9B, the
Further, as shown in FIG. 9B, the
Further, as shown in FIG. 9B, the
In addition, the non-defective package storage position 107 is configured so that the
Therefore, conventionally, as shown in FIG. 9 (2), when the
In addition, when the
しかしながら、前述したように、トレイ供給位置105から良品パッケージ収容位置107に、トレイ5を移送するとき、トレイ5を、供給位置グリップ109から収容位置グリップ110に持ち替えて受け継ぐことになるので、グリップ110(109)による挟持が不安定であってトレイ5に「ずれ」が発生し易く、トレイ5の整列状態を効率良く良好に設定することができない。
また、このとき、トレイガイド113にトレイ5を摺動させながら移動させることになるので、トレイ5に「ずれ」が発生し易い。
従って、パッケージ4を収容するトレイ5に発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイ5の整列状態を効率良く良好に設定することができないと云う弊害がある。
However, as described above, when the
At this time, the
Therefore, there is an adverse effect that the “displacement” generated in the
また、前述したように、2個の固定されたトレイ検知機構111にてトレイ5のずれ(トレイ5の整列状態)を検知した場合、トレイ5の移送中に、2個のトレイ検知機構111で、瞬間的に、「トレイ5のずれ(トレイ5の整列状態)」を検知することになるので、トレイ5の整列状態(ずれ)の検知精度が低くなり易い。
即ち、トレイ5のずれに対する検知精度が低くなって、トレイ5の整列状態を効率良く検知することができない。
従って、トレイ5の整列状態(ずれ)を高精度で効率良く検出することができないと云う弊害がある。
Further, as described above, when the displacement of the tray 5 (alignment state of the tray 5) is detected by the two fixed tray detection mechanisms 111, the two tray detection mechanisms 111 are moved during the transfer of the
That is, the detection accuracy with respect to the displacement of the
Therefore, there is an adverse effect that the alignment state (displacement) of the
また、前述したように、トレイ5にパッケージ4が満杯になった場合、収容前トレイ装填部104側から良品トレイ部102側にトレイ5を移送することになるため、トレイ5の交換に長時間を必要とすることになる。
このトレイ5の交換に長時間を必要とするために、パッケージ(製品)4を効率良く生産することができないと云う弊害がある。
Further, as described above, when the
Since the replacement of the
従って、本発明は、トレイに発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイの整列状態を効率良く良好に設定することを目的とする。
また、本発明は、トレイの整列状態(ずれ)を高精度で効率良く検出することを目的とする。
また、本発明は、パッケージを効率良く生産することを目的とするものである。
Therefore, an object of the present invention is to efficiently prevent “displacement” occurring in a tray and to set the tray alignment state efficiently and satisfactorily.
Another object of the present invention is to detect the alignment state (displacement) of the tray with high accuracy and efficiency.
Another object of the present invention is to efficiently produce a package.
前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、成形済基板を切断した個々のパッケージをトレイに収容する基板の切断方法であって、前記したトレイの整列状態を検知する工程と、前記したトレイに前記したパッケージを収容する工程とを備えると共に、前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージの収容位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージの収容位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする。 A substrate cutting method according to the present invention for solving the above-described technical problem is a substrate cutting method in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray, and the tray alignment state is detected. And a step of accommodating the package in the tray described above, a step of moving the tray accommodating the package from the package receiving position, and a package in which the detected tray is described. The step of moving to the storage position is simultaneously performed.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、成形済基板を切断した個々のパッケージをトレイに収容する基板の切断方法であって、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を2個、用意する工程と、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を移動させる上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域で、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を一方通行で各別に周回させる工程と、前記した上端移動領域の中間部に前記したパッケージを収容する位置を設ける工程と、前記した上端移動領域の一端側に前記したトレイを検知する位置を設ける工程と、前記した上端移動領域の他端側に前記したパッケージを収容したトレイを取り出す位置を設ける工程と、前記した下端移動領域の他端側に前記したトレイを供給する位置を設ける工程とを備えると共に、
前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージを収容する位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージを収容する位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする。
In addition, a substrate cutting method according to the present invention for solving the technical problem described above is a substrate cutting method in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray, and the tray is placed on the substrate. The above-described tray was placed in an annular movement region including a step of preparing two tray placement members, and an upper end movement region and a lower end movement region for moving the tray placement member on which the tray is placed. A step of rotating the tray mounting member separately in one way, a step of providing a position for housing the package in the middle portion of the upper end moving region, and detecting the tray on one end side of the upper end moving region. Providing a position for removing the tray containing the package on the other end side of the upper end moving area, and a step for providing the position on the other end side of the lower end moving area. Together and a step of providing a position for supplying the trays,
The step of moving the tray storing the package described above from the position of storing the package and the step of moving the detected tray to the position of storing the package are performed simultaneously.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断方法は、前記したトレイ搬送機構でトレイをリフト機構に引き渡して受け継ぐと共に、前記したリフト機構で下端移動領域における収容前トレイ載置位置にあるトレイ載置部材にトレイを載置して供給する工程を有することを特徴とする。 In addition, the substrate cutting method according to the present invention for solving the technical problem described above includes transferring the tray to the lift mechanism by the tray transport mechanism as described above and inheriting the tray before storage in the lower end movement region by the lift mechanism. It has the process of mounting and supplying a tray to the tray mounting member in a mounting position.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記した上端移動領域の収容済トレイ載置位置にある収容済トレイをリフト機構で押圧してトレイの収納部に収納することを特徴とする。 Further, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above includes a tray storage unit that presses the accommodated tray at the accommodated tray placement position of the above-described upper end movement region with a lift mechanism. It is characterized by being housed in.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、成形済基板を切断した個々のパッケージを収容したトレイを収納する収容済トレイのストッカを備える収容済トレイ収納部と、収容前トレイを収納した収容前トレイのストッカを備えた収容前トレイ装填部とを備えた基板の切断装置であって、前記した収容済トレイ収納部における収容済トレイのストッカと、前記した収容前トレイ装填部における収容前トレイのストッカとを前記した装置の上方位置に並設し、且つ、前記した装置における収容済トレイ収納部の下方位置に、前記したトレイを載置するトレイ載置手段を設けると共に、前記したトレイ載置手段を、前記したトレイを供給セットする貫通孔を有するトレイ載置部材と、前記したトレイ載置部材を上端位置と下端位置との間で上下動する上下動機構と、前記したトレイ載置部材と上下動機構とを装置前面と装置背面との間で往復移動させる往復移動機構とから構成し、前記した収容済トレイのストッカと前記したトレイ載置部材との間を前記した貫通孔を挿通した状態で上下動するリフト機構と、前記した収容前トレイのストッカから前記した収容前トレイを前記したリフト機構に搬送するトレイ搬送機構と、前記したトレイ載置部材に載置した収容前トレイを検知するトレイ検知機構とを備えたことを特徴とする。 A substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above includes an accommodated tray storage section including a stocker for an accommodated tray for accommodating a tray accommodating individual packages obtained by cutting a molded substrate. And a pre-accommodating tray loading unit that includes a pre-accommodating tray stocker that accommodates the pre-accommodating tray, and includes the stocked tray stocker in the accommodated tray accommodating unit described above. A tray placement unit in which the stocker of the pre-accommodating tray in the pre-accommodating tray loading unit is juxtaposed in the upper position of the above-described apparatus, and the above-described tray is placed below the accommodated tray storage unit in the above-described apparatus And a tray mounting member having a through hole for supplying and setting the tray, and the tray mounting member. A vertical movement mechanism that moves up and down between the position and the lower end position, and a reciprocation mechanism that reciprocates the tray mounting member and the vertical movement mechanism between the front surface of the apparatus and the rear surface of the apparatus. A lift mechanism that moves up and down in a state in which the through hole is inserted between the stocker of the accommodated tray and the tray mounting member, and a lift mechanism that describes the pre-accommodation tray from the stocker of the pre-accommodation tray. And a tray detection mechanism for detecting a pre-accommodating tray placed on the tray placement member.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記したトレイ載置部材が上端位置で移動する上端移動領域と、前記したトレイ載置部材が下端位置で移動する下端移動領域とを設けて構成し、更に、前記した上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域を設けて構成したことを特徴とする。 In addition, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above includes an upper end moving region in which the tray mounting member moves at the upper end position, and the tray mounting member moves at the lower end position. The lower end moving area is provided, and the annular moving area including the upper end moving area and the lower end moving area is further provided.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記した装置上方位置に並設した収容済トレイのストッカ及び収容前トレイのストッカと、装置下方位置に配置したトレイ載置手段における上端位置にあるトレイ載置部材との間に、トレイ搬送機構の移動領域を設けて構成したことを特徴とする。 Further, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above is arranged at the lower position of the apparatus, with the stocker of the accommodated tray and the stocker of the pre-accommodating tray arranged side by side above the apparatus. A moving region of the tray transport mechanism is provided between the tray mounting member and the tray mounting member at the upper end position of the tray mounting means.
また、前記した技術的課題を解決するための本発明に係る基板の切断装置は、前記したトレイ検知機構を、トレイ載置部材の移動方向と垂直方向となる方向に往復移動自在に設けて構成したことを特徴とする。 Further, the substrate cutting apparatus according to the present invention for solving the technical problem described above is configured such that the above-described tray detection mechanism is reciprocally movable in a direction perpendicular to the moving direction of the tray mounting member. It is characterized by that.
本発明によれば、トレイ載置部材(トレイ載置手段)にトレイセット部として設けられた貫通孔に、トレイの大収容部(皿部)を嵌装することにより、トレイ縁部をトレイ載置部材の載置面に載置した状態で縁部を係止することができるので、トレイに発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイの整列状態を効率良く良好に設定することができると云う優れた効果を奏する。 According to the present invention, the tray edge portion is mounted on the tray by fitting the large storage portion (dish portion) of the tray into the through-hole provided as the tray setting portion in the tray mounting member (tray mounting means). Since the edge portion can be locked in a state where it is placed on the placement surface of the placement member, it is possible to efficiently prevent the “displacement” that occurs in the tray, and to set the tray alignment state efficiently and satisfactorily. There is an excellent effect that can be done.
また、本発明によれば、上端トレイ検知位置において、Y方向に移動する収容前トレイ(空トレイ)をX方向に移動する検知機構で検知することができるので、トレイの整列状態(ずれ)を高精度で効率良く検出することができると云う優れた効果を奏する。 Further, according to the present invention, the pre-storage tray (empty tray) that moves in the Y direction can be detected by the detection mechanism that moves in the X direction at the upper end tray detection position. An excellent effect is that detection can be performed with high accuracy and efficiency.
また、本発明によれば、上端パッケージ収容位置において、トレイがパッケージで満杯になったときに、パッケージが満杯になったトレイをパッケージ収容位置の外部へ(即ち、上端収容済トレイ載置位置に)移動させると同時に、上端トレイ検知位置に待機させた空の検知済トレイ(収容前トレイ)を上端パッケージ収容位置に移動させることができるため、トレイ交換時間を効率良く短縮することができるので、パッケージの生産性を効率良く向上させることができる。 Further, according to the present invention, when the tray is filled with the package at the upper end package accommodation position, the tray full of the package is moved to the outside of the package accommodation position (that is, at the upper end accommodated tray placement position). ) Since the empty detected tray (pre-storage tray) waiting at the upper end tray detection position can be moved to the upper end package storage position simultaneously with the movement, the tray replacement time can be efficiently shortened. Package productivity can be improved efficiently.
まず、本発明に係る実施例を詳細に説明する。
図1は、本発明に係る基板の切断装置である。
図2、図3は、図1に示す装置に設けられたパッケージ収容ユニット(トレイのユニット)である。
図4は、図2、図3に示すユニットに設けられたトレイ載置手段である。
なお、図5(1)〜(3)は、トレイ載置手段にトレイ搬送機構にてトレイを搬送する動作の説明図である。
また、図6は、トレイ載置手段(トレイ載置部材)の動作(環状移動領域)を説明する図である。
また、図7(1)〜(2)は、パッケージを収容した収容済トレイをトレイストッカ(収容済トレイ収納部)に収納する動作の説明図である。
また、図8は、本発明に用いられるトレイの一例である。
First, embodiments according to the present invention will be described in detail.
FIG. 1 shows a substrate cutting apparatus according to the present invention.
2 and 3 show a package housing unit (tray unit) provided in the apparatus shown in FIG.
FIG. 4 shows tray mounting means provided in the unit shown in FIGS.
FIGS. 5A to 5C are explanatory diagrams of the operation of transporting the tray to the tray placing means by the tray transport mechanism.
Moreover, FIG. 6 is a figure explaining operation | movement (annular movement area | region) of a tray mounting means (tray mounting member).
FIGS. 7A and 7B are explanatory diagrams of the operation of storing the accommodated tray accommodating the package in the tray stocker (accommodated tray accommodating portion).
FIG. 8 is an example of a tray used in the present invention.
(本発明に係る基板の切断装置の全体構成について)
次に、本発明に係る基板の切断装置の全体的な構成について説明する。
即ち、図1に示すように、本発明に係る基板の切断装置1は、成形済基板2を装填する基板の装填ユニットAと、基板の装填ユニットAから移送された成形済基板2を切断済基板3(個々のパッケージ4)に切断(分離)する基板の切断ユニットBと、基板の切断ユニットBで切断された個々のパッケージ4を外観検査して良品と不良品とに選別するパッケージの検査ユニットCと、パッケージの検査ユニットCで検査選別されたパッケージ4を良品と不良品とに各別にトレイ5に収容するパッケージの収容ユニット(トレイのユニット)Dとから構成されている。
(Overall configuration of substrate cutting apparatus according to the present invention)
Next, the overall configuration of the substrate cutting apparatus according to the present invention will be described.
That is, as shown in FIG. 1, a
従って、まず、基板の装填ユニットAに装填された成形済基板1を基板の切断ユニットBに移送して切断済基板3(個々のパッケージ4)に切断することができるように構成されている。
次に、パッケージの検査ユニットCにおいて、基板の切断ユニットBで切断された個々のパッケージ4を検査して選別すると共に、パッケージの収容ユニット(トレイのユニット)Dにおいて、パッケージ4を良品と不良品とに各別にトレイ5に収容することができるように構成されている。
また、本発明に係る基板の切断装置1においては、前述した各ユニットA・B・C・Dがこの順で互いに着脱自在に直列状態にて連結して装設することができるように構成されている。
なお、図1に示す基板の切断装置1において、1aは装置前面であり、1bは装置後面である。
Therefore, the molded
Next, in the package inspection unit C, the
Further, the
In the
(トレイの構成について)
ここで、図8を用いて、本発明に用いられるパッケージ4を収容するトレイ5の一例を説明する。
例えば、図8に示すトレイ5には、トレイ外周囲に形成された係止用の縁部8と、トレイ内部に設けられ且つパッケージ4を所要数個にて収容する大収容部(皿部)9とが設けられて構成されている。
また、大収容部(皿部)9には、パッケージ4の収容位置として、仕切壁9aで小部屋に仕切られ且つ個々のパッケージ4を個別に収容する小収容部(ポケット)10が所要数個、設けられて構成されている。
従って、空のトレイ(パッケージを収容する前の収容前トレイ)5にパッケージ4を収容して満杯にすることにより、パッケージ4を収容した収容済トレイ(良品トレイ6、不良品トレイ7)となるものである。
(About tray configuration)
Here, an example of the
For example, the
The large accommodating portion (dish portion) 9 has a required number of small accommodating portions (pockets) 10 that are partitioned into small rooms by a partition wall 9a and individually accommodate the
Therefore, by storing the
(パッケージの検査ユニットの構成について)
即ち、図1に示すように、パッケージの検査ユニットCには、基板の切断ユニットBで切断された切断済基板3(個々のパッケージ4)を載置する切断済基板の載置部91と、切断済基板の載置部91に載置した個々のパッケージ4を検査するパッケージ検査機構92(カメラ)と、パッケージ検査機構92で検査した個々のパッケージ4を所要配置にて各別に載置するパッケージ載置部93と、パッケージ載置部93に載置したパッケージ4を係着してトレイ5に搬送するパッケージ係着機構94とが設けられて構成されている。
また、パッケージ載置部93は、パッケージ載置位置95とパッケージ係着位置96との間を往復移動することができるように構成されている。
即ち、まず、基板の切断ユニットBで切断された切断済基板3(個々のパッケージ4)を切断済基板の載置部91に載置すると共に、パッケージ検査機構92で切断済基板の載置部91に載置した個々のパッケージ4(切断済基板3)を検査し、次に、パッケージ載置位置95において、パッケージ載置部93における所要位置に個々のパッケージ4を各別に載置し、個々のパッケージ4を載置したパッケージ載置部93をパッケージ係着位置96に移動させるようにしている。
従って、パッケージ係着位置96において、パッケージ載置部93に載置した個々のパッケージ4をパッケージ係着機構94で係着することにより、パッケージの収容ユニットD側にパッケージ4を搬送し、パッケージ4をトレイ5(良品トレイ6、不良品トレイ7)の小収容部10に各別に収容することができるように構成されている。
(About the configuration of the package inspection unit)
That is, as shown in FIG. 1, the package inspection unit C includes a cut substrate mounting portion 91 for mounting the cut substrates 3 (individual packages 4) cut by the substrate cutting unit B; A package inspection mechanism 92 (camera) for inspecting
Further, the package mounting portion 93 is configured to be able to reciprocate between the package mounting position 95 and the
That is, first, the cut substrate 3 (individual package 4) cut by the substrate cutting unit B is placed on the cut substrate mounting portion 91, and the cut substrate mounting portion is mounted by the
Accordingly, the
(パッケージの収容ユニットの構成について)
パッケージの収容ユニット(トレイのユニット)Dには、パッケージの検査ユニットCで検査されたパッケージ4を収容する収容済トレイ収納部と、収容前トレイ5を収納した収容前トレイ装填部とが設けられて構成されている。
即ち、図1、図2に示すように、パッケージの収容ユニット(トレイのユニット)Dには、パッケージの検査ユニットCで良品であると検査されたパッケージ4をパッケージ係着機構94で搬送してトレイ5(良品トレイ6)に収容する良品トレイ部11と、パッケージの検査ユニットCで不良品であると検査されたパッケージ4をパッケージ係着機構94で搬送してトレイ5(不良品トレイ7)に収容する不良品トレイ部12と、収容前トレイ(空トレイ)5を装填する収容前トレイ装填部13とが設けられて構成されている。
また、図1、図2の図例に示すように、パッケージの検査ユニットC側からX方向に、
良品トレイ部11、不良品トレイ部12、収容前トレイ装填部13の順に配置されて構成されている。
また、後述するように、収容前トレイ装填部13から良品トレイ部11と不良品トレイ部12とに各別に収容前トレイ(空トレイ)5を搬送して供給することができるように構成されている。
また、後述するように、良品トレイ部11において、良品パッケージ4を収容した良品トレイ6(5)を収納することができるように構成されている。
また、不良品トレイ部12において、不良品パッケージ4を収容した不良品トレイ7(5)を収納することができるように構成されている。
従って、収容前トレイ装填部13から良品トレイ部11に空トレイ5を搬送供給すると共に、パッケージ係着機構94で良品パッケージ4をトレイ5に収容して良品パッケージ4を(満杯に)収容した良品トレイ6を得ることができるように構成されている。
また、収容前トレイ装填部13から不良品トレイ部12に空トレイ5を搬送供給すると共に、パッケージ係着機構94で不良品パッケージ4をトレイ5に収容して不良品パッケージ5を(満杯に)収容した不良品トレイ7を得ることができるように構成されている。
なお、図1、図2に示すように、パッケージの収容ユニット(トレイのユニット)Dにおける良品トレイ部11(或いは、不良品トレイ部12)には、Y方向であって、装置前面1a側から装置背面1b側に、後述するように、(下端)収容前トレイ載置位置14〔或いは、(上端)収容済トレイ載置位置34〕と、(上端)パッケージ収容位置15と、(上端)トレイ検知位置16とが(平面的に)この順序で配置されて構成されている。
(About the package housing unit configuration)
The package storage unit (tray unit) D is provided with a stored tray storage unit that stores the
That is, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the package receiving unit (tray unit) D transports the
Moreover, as shown in the example of FIG. 1 and FIG. 2, from the inspection unit C side of the package in the X direction,
The non-defective
Further, as will be described later, the pre-container tray (empty tray) 5 can be conveyed and supplied separately from the pre-container
Further, as will be described later, the non-defective
Further, the defective
Accordingly, the
In addition, the
As shown in FIGS. 1 and 2, the non-defective product tray 11 (or defective product tray 12) in the package accommodation unit (tray unit) D is in the Y direction from the apparatus front surface 1a side. On the apparatus rear surface 1b side, as will be described later, (lower end) pre-storage tray mounting position 14 [or (upper end) stored tray mounting position 34], (upper end)
(収容済トレイ収納部について)
また、前述したように、良品トレイ部11と不良品トレイ部12とは、パッケージ4を収容した収容済トレイ(良品トレイ6、不良品トレイ7)を収納する収容済トレイ収納部11、12であって、基本的な構造は同じである。
(About the stored tray storage)
Further, as described above, the non-defective
(トレイの検知機構について)
また、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)の装置背面1b側におけるトレイ検知位置16には、トレイ5の整列状態(トレイ5のずれ)を検知するトレイ検知機構17が、(水平面におけるY方向とは直角方向となる)X方向に、往復移動自在に設けられて構成されている。
従って、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)のトレイ検知位置16において、トレイ検知機構16にてトレイ5の整列状態(トレイ5のずれ)を検知することができるように構成されている。
また、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)のパッケージ収容位置15において、トレイ検知機構17によるトレイ5の検知結果に基づいて、パッケージ係着機構94で、トレイ5におけるパッケージ4の収容位置(例えば、パッケージの小収容部10)に、パッケージ4を収容することができるように構成されている。
なお、後述するように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)の収容前トレイ載置位置14に、収容前トレイ(空トレイ)5を収容前トレイ装填部13から供給することができるように構成されている。
(Tray detection mechanism)
Further, a
Therefore, the
Further, at the
As will be described later, the pre-container tray (empty tray) 5 can be supplied from the pre-container
また、図3に示すように、パッケージの収容ユニットDにおいて、良品トレイ部11には、その上方位置側に良品トレイ6を収容する良品トレイのストッカ(良品トレイの収納部)18が設けられて構成されると共に、その下方位置側にトレイ5(6)を載置するトレイ載置手段19が2組にて設けられて構成されている。
また、不良品トレイ部12には、良品トレイ部11と同様に、その上方位置側に不良品トレイ7を収容する不良品トレイのストッカ(不良品トレイの収納部)20が設けられと共に、その下方位置側にトレイ5(7)を載置するトレイ載置手段19が2組(或いは1組)にて設けられて構成されている。
また、収容前トレイ装填部13において、良品トレイのストッカ18と不良品トレイのストッカ20と同じ高さ位置となる上方位置に、空トレイ(パッケージ収容前のトレイ)5を収納した収容前トレイのストッカ(収容前トレイの収納部)21が設けられて構成されている。
また、良品トレイのストッカ18(収容済トレイの収納部)と、不良品トレイのストッカ20(収容済トレイの収納部)と、収容前トレイのストッカ21(空トレイの収納部)とはX方向に並んだ状態で設けられて構成されている。
また、パッケージの収容ユニットDには、収容前トレイのストッカ21からの収容前トレイ5を係止し且つ良品トレイ部11(不良品トレイ部12)側に収容前トレイ(空トレイ)5を搬送するトレイ搬送機構22が設けられて構成されている。
Further, as shown in FIG. 3, in the package accommodation unit D, the good
In addition, the defective
In the pre-accommodating
The non-defective tray stocker 18 (accommodated tray storage section), the defective tray stocker 20 (accommodated tray storage section), and the pre-accommodated tray stocker 21 (empty tray storage section) are in the X direction. It is provided and arranged in a state of being aligned.
Further, the
また、前述したように、パッケージの収容ユニットDの上方位置において、良品トレイのストッカ18と不良品トレイのストッカ20と収容前トレイのストッカ21とからなるストッカの配置グループがX方向に並んだ状態で構成されている(図3を参照)。
また、パッケージの収容ユニットDの下方位置において、良品トレイ部11のトレイ載置手段19と、不良品トレイ部12のトレイ載置手段19とからトレイ載置手段の配置グループが形成されて構成されている(図3を参照)。
更に、図3に示すように、パッケージの収容ユニットDにおける上方位置と下方位置との間となる中間位置には、即ち、ストッカの配置グループとトレイ載置手段の配置グループとの間には、トレイ搬送機構22がX方向に往復移動するトレイ搬送機構の移動領域23がX方向に設けられて構成されている。
また、トレイ搬送機構22の移動領域23において、収容前トレイ装填部13の収容前トレイのストッカ21の下方側には、トレイ搬送機構のトレイ係止位置24が設定されて構成されると共に、良品トレイ部11と不良品トレイ部12とには各別にトレイ搬送機構のトレイ引渡位置25が設定されて構成されている。
In addition, as described above, in the upper position of the package accommodation unit D, the stocker arrangement group including the
Further, an arrangement group of tray placing means is formed from the tray placing means 19 of the non-defective
Further, as shown in FIG. 3, in the intermediate position between the upper position and the lower position in the package storage unit D, that is, between the stocker placement group and the tray placement means placement group, A tray transport
Further, in the moving
即ち、まず、収容前トレイのストッカ21から収容前トレイ(空トレイ)5を下方向に押し出すことにより、トレイ搬送機構22の移動領域23におけるトレイ係止位置24において、トレイ搬送機構22にトレイ5を載置した状態で係止供給することができるように構成されている〔図5(1)を参照〕。
また、次に、後述するように、良品トレイ部11において、トレイ搬送機構の移動領域23におけるトレイ引渡位置25で、トレイ搬送機構22にてトレイ載置手段19側にトレイ5をリフト機構41(42)に引き継いで供給することができるように構成されている〔図5(2)を参照〕。
また、更に、後述するように、不良品トレイ部12において、トレイ搬送機構22の移動領域23におけるトレイ引渡位置25で、トレイ搬送機構22にてトレイ載置手段19側にトレイ5をリフト機構41(42)に引き継いで供給することができるように構成されている。
That is, first, the pre-storage tray (empty tray) 5 is pushed downward from the
Next, as described later, in the
Further, as will be described later, in the defective
(トレイ搬送機構の構成について)
即ち、図3に示すように、トレイ搬送機構22には、収容前トレイのストッカ21から供給されたトレイ5をその縁部8で係止した状態で載置する係止回動部26が設けられて構成されている。
また、図5(2)に示すように、トレイ搬送機構のトレイ引渡位置25において、トレイ搬送機構22の係止回動部26を下方向から外方向に回動することにより、係止したトレイ5を解放し、後述するように、トレイ載置手段19側のリフト機構41(における支受部42)にリフト機構の収容前トレイ受継位置52で受け継ぐことができるように構成されている。
(About the configuration of the tray transport mechanism)
That is, as shown in FIG. 3, the
Further, as shown in FIG. 5 (2), at the
(トレイ載置手段の構成について)
図4に示すように、トレイ載置手段19には、トレイ5(6、7)を載置するトレイ載置部材27と、トレイ載置部材27を上下動するトレイ載置部材の上下動機構28と、トレイ載置部材27とトレイ載置部材の上下動機構28とをY方向に往復移動させるトレイ載置部材の往復移動機構29と、トレイ載置部材27の載置面(上面)30に設けられたトレイの係止具(図示なし)とが設けられて構成されている。
また、トレイ載置部材27には、トレイ大収容部(皿部)9を嵌装した状態で、トレイ5(6、7)を載置するトレイセット部となる貫通孔31が設けられて構成されている。
このとき、トレイ縁部8はトレイ載置部材27の載置面(上面)30に係止された状態にて構成されている。
従って、トレイ5(6、7)をトレイ載置部材27の載置面(トレイセット部)30に係止具で係止した状態で供給セットして載置することができるように構成されている。
(About the configuration of the tray mounting means)
As shown in FIG. 4, the tray placing means 19 includes a
In addition, the
At this time, the
Accordingly, the tray 5 (6, 7) is configured to be supplied and set in a state where the tray 5 (6, 7) is locked to the mounting surface (tray setting portion) 30 of the
なお、トレイ載置部材の往復移動機構29として、例えば、LMガイド(登録商標)の構成を用いることができる。
即ち、トレイ載置部材の往復移動機構29には、ガイドレール32と、トレイ載置手段本体19に設けられたガイド部(スライダー)33と、トレイ載置手段本体19をY方向に往復駆動する駆動部(図示なし)とが設けられて構成されている。
従って、ガイド部(トレイ載置手段本体)33をガイドレール32上で往復移動させることができるように構成されている。
なお、図3に示すように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、前述したように、下方位置側に設けられた2組のトレイ載置手段19について、向かって左側にガイドレール32があるものを左側トレイ載置手段19(19a)とし、向かって右側にガイドレール32があるものを右側トレイ載置手段19(19b)とするものである。
In addition, as the
That is, the tray mounting
Accordingly, the guide portion (tray placing means main body) 33 can be reciprocated on the
As shown in FIG. 3, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), as described above, the two sets of tray mounting means 19 provided on the lower position side are guide rails on the left side. The one having 32 is the left tray placing means 19 (19a), and the one having the
また、トレイ5(6、7)をトレイ載置部材27の載置面30に係止載置した状態で、トレイ載置部材27(載置面30)を、上下動機構28を用いて、トレイ載置部材の上端位置と下端位置との間を上下動することができるように構成されている。
即ち、往復移動機構29にて、下端位置の高さを保持した状態で、装置前面1a(トレイ載置位置14)側から装置背面1b側に(Y方向に)、トレイ載置部材27(トレイ載置手段19)を移動させることができるように構成されている。
なお、この下端位置における装置背面1b側の上端位置側は、トレイ検知位置17となるものである。
従って、装置背面1b側において、上下動機構28を用いて、トレイ載置部材27を下端位置から上端位置に上動させることができる。
また、往復移動機構29にて、上端位置の高さを保持した状態で、装置背面1b(トレイ検知位置17)側から装置前面1a側に(Y方向に)、トレイ載置部材27(トレイ載置手段19)を移動させることができるように構成されている。
このとき、上端位置における装置背面1b側と装置前面1a側との間に設けられたパッケージ収容位置15において、トレイ5に検査済パッケージ4を収容することができるように構成され、パッケージ4を収容した収容済トレイ6、7を形成することができる。
また、この上端位置における装置前面1a側は、収容済トレイ載置位置34となり、この収容済トレイ載置位置34の下端位置側は、収容前トレイ載置位置14となるものである。
従って、装置前面1a側において、上端の収容済トレイ載置位置34にあるトレイ載置部材27は、収容済トレイ6、7をリフト機構41(42)にて上動させて取り除かれた後、上端位置から下端位置に下動して収容前トレイ載置位置14で停止することになる。
また、更に、この収容前トレイ載置位置14で、リフト機構41(42)にて収容前トレイ(空トレイ)5を載置することになる。
Further, in a state where the tray 5 (6, 7) is locked and placed on the
That is, the tray mounting member 27 (tray) is moved from the apparatus front surface 1a (tray mounting position 14) side to the apparatus rear surface 1b side (in the Y direction) with the
The upper end position side of the apparatus rear surface 1b side at this lower end position is the
Therefore, the
Further, with the
At this time, the
Further, the apparatus front surface 1 a side at the upper end position is the accommodated
Therefore, on the apparatus front surface 1a side, after the
Further, the pre-storage tray (empty tray) 5 is mounted by the lift mechanism 41 (42) at the pre-storage
即ち、前述したように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、トレイ載置部材27(における載置面30)の下端位置の高さを保持した状態で、Y方向に装置前面1a側が装置背面1b側にトレイ載置部材27(トレイ載置手段19)を移動させる下端移動領域35が設けられて構成されている。
また、前述したように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、トレイ載置部材27(における載置面30)の上端位置の高さを保持した状態で、Y方向に装置背面1b側が装置前面1a側にトレイ載置部材27(トレイ載置手段19)を移動させる上端移動領域36が設けられて構成されている。
従って、装置前面1a側で下動したトレイ載置部材27は、下端移動領域35を装置前面1a側から装置背面1b側に移動し、装置背面1b側で上動して上端移動領域36を装置背面1b側から装置前面1a側に移動することができるように構成されている(Box動作)。
なお、上端移動領域35及び下端移動領域36は、前述したトレイ搬送機構22の移動領域23の下方位置にあるものである。
また、後述するように、リフト機構41(42)にて下端移動領域35の収容前トレイ載置位置14にあるトレイ載置部材27に収容前トレイ5を載置することができように構成されると共に、リフト機構41(42)にて上端移動領域36の収容済トレイ載置位置34にあるトレイ載置部材27に収容済トレイ(良品トレイ6、不良品トレイ7)を押し上げることにより、収容済トレイの収納部(良品トレイのストッカ18、不良品トレイのストッカ20)に収納することができるように構成されている。
That is, as described above, in the non-defective product tray unit 11 (defective product tray unit 12), the height of the lower end position of the tray mounting member 27 (the mounting surface 30) is maintained in the Y direction in the apparatus front surface 1a. The lower
Further, as described above, in the non-defective product tray section 11 (defective product tray section 12), the height of the upper end position of the tray mounting member 27 (the mounting surface 30) is maintained in the Y direction in the apparatus rear surface 1b. The upper
Accordingly, the
The upper
Further, as will be described later, the lift mechanism 41 (42) is configured so that the
(トレイ載置部材によるトレイBox動作について)
即ち、図6に示すように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、まず、下端移動領域35の装置前面1a側における下端の収容前トレイ載置位置14で空トレイ5を一方のトレイ載置部材27に供給セットすると共に、下端移動領域35で、収容前トレイ5を載置したトレイ載置部材27を、上端のパッケージ収容位置15にあるトレイ5(6、7)を載置した他方のトレイ載置部材27の下方位置を通過させて、下端移動領域35の装置背面1b側に移動させ、上端移動領域36にあるトレイ検知位置16にまで上動させることができる。
次に、上端のトレイ検知位置16において、トレイ検知機構17で一方のトレイ載置部材27に載置した収容前トレイ5を検知して待機させる。
更に、上端移動領域36において、パッケージ収容位置15で、他方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5に良品パッケージ(不良品パッケージ)4が満杯に収容されると、満杯になった収容済トレイ6、7を装置前面1a側となる上端の収容済トレイ載置位置34に移動させる。
このとき、同時に、上端移動領域36において、上端トレイ検知位置16から上端パッケージ収容位置15に一方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5を移動させ、引き続いて、トレイ5に良品パッケージ(検査済パッケージ)4を収容することができる。
従って、次に、後述するように、上端の収容済トレイ載置位置34における収容済トレイ6、7をリフト機構41(42)で上動させることにより、良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)内に良品トレイ6(不良品トレイ7)を押し上げて収納することができる。
(Tray Box operation by tray mounting member)
That is, as shown in FIG. 6, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), first, the
Next, at the
Further, in the upper
At the same time, the
Therefore, as will be described later, the stored
(Box動作の作用について)
即ち、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、上端移動領域36のパッケージ収容位置15でトレイ5に良品パッケージ(不良品パッケージ)4を収容することができる。
また、パッケージ収容位置15でのパッケージ収容時に、上端移動領域36のトレイ検知位置16において、トレイ検知機構17で他のトレイ5を検知して待機させることができるように構成されている。
即ち、パッケージ収容位置15でトレイ5(6、7)が満杯となった場合、満杯のトレイ(良品トレイ6、不良品トレイ7)をパッケージ収容位置15から収容済トレイ載置位置34に移動させ、同時に、検知済トレイ5をトレイ検知位置16からパッケージ収容位置15に移動させることができる。
このため、2個のトレイ載置部材27にて、検知済トレイ5を連続してパッケージ収容位置15に供給することができる(所謂、ダブルトレイ供給方式)。
従って、(従来例に示す、トレイがパッケージで満杯になったときに、トレイの装填部からトレイを供給する構成に比べて、)本発明は、パッケージ収容位置15において、トレイ5がパッケージ4で満杯になったときに、パッケージ4が満杯になったトレイ6、7をパッケージ収容位置15から(その外部に)移動させ(退出させ)、これと同時に、空の検知済トレイ5をパッケージ収容位置15(の内部)に移動させる(進出させる)ことができる。
このとき、トレイ5を直ちに交換することができるため、交換時間を効率良く短縮することができるので、パッケージ4の生産性を効率良く向上させることができる。
(About the action of Box operation)
That is, in the non-defective tray unit 11 (defective product tray unit 12), the non-defective product package (defective product package) 4 can be accommodated in the
Further, when the package is accommodated at the
That is, when the trays 5 (6, 7) are full at the
For this reason, the detected
Accordingly, the present invention (as compared to the configuration shown in the conventional example in which the tray is supplied from the tray loading unit when the tray is filled with the package), the
At this time, since the
また、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、2組のトレイ載置手段19(2個のトレイ載置部材27)は、2組とも、装置前面1a側から装置背面1b側に移動する往路は下端領域35で移動し、装置背面1b側から装置前面1a側に移動する復路は上端領域36を移動すると云う一方通行の環状移動であるため、時間的にずらせて移動させれば、互いに衝突することを効率良く防止することができる。
即ち、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、トレイ5(6、7)を載置したトレイ載置部材27(トレイ載置手段19)を移動させる上端移動領域35と下端移動領域36とを含む(上下方向となる垂直面での)環状移動領域37(Box動作する移動領域)を形成することができる。
この環状移動領域37おいて、2個のトレイ載置部材27(トレイ5)の夫々を一方通行で各別に(衝突することなく)周回させることができるように構成されている。
図6に示す図例では、環状移動領域37において、トレイ載置部材27(トレイ5)は右回り(時計回り)での一方通行の周回である。
なお、環状移動領域37において、トレイ載置部材27(トレイ5)は、右回りとは反対回りとなる左回りでの一方通行の周回を採用してもよい。
Further, in the non-defective tray portion 11 (defective product tray portion 12), the two sets of tray mounting means 19 (two tray mounting members 27) are moved from the apparatus front face 1a side to the apparatus rear face 1b side. The forward path to be moved in the
That is, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), the upper
In the
In the example shown in FIG. 6, in the
In the
更に、本発明において、一方のトレイ載置部材27(検知済トレイ5)を上端移動領域36で装置背面1b側から装置前面1a側に移動させてパッケージ収容位置15に停止させると共に、検査済パッケージ4をトレイ5に収容する。
このとき、他方のトレイ載置部材27(収容前トレイ5)を下端移動領域35で装置前面1a側から装置背面1b側に移動させて上動させ、トレイ検知位置16に停止させて検知して待機させることができる。
このため、2つのトレイ載置部材27は上下位置で異なる移動領域35、36を移動することになり、互いに正面衝突することを効率良く防止することができる。
Further, in the present invention, one tray mounting member 27 (detected tray 5) is moved from the apparatus back surface 1b side to the apparatus front surface 1a side in the upper
At this time, the other tray mounting member 27 (the pre-accommodating tray 5) is moved upward from the apparatus front surface 1a side to the apparatus rear surface 1b side in the lower
For this reason, the two
(トレイ検知機構の検知動作による作用について)
前述したように、トレイ5のずれ(トレイ5の整列状態)を検知するトレイ検知機構17は、トレイ検知位置16において、X方向に往復移動することができるように構成されている。
また、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、検知前トレイ5はY方向に移動するように構成されている。
従って、トレイ5をY方向に(例えば、間欠的に)移動させながら、トレイ検知機構17をX方向に走査することができる。
このため、(従来例に示すような、固定された2個の検知機構で移動するトレイを検知する構成に比べて、トレイ検知機構17をX方向に走査することができるので、トレイ5の整列状態(ずれ)を高精度で効率良く検出することができる。
(About the effect of the detection operation of the tray detection mechanism)
As described above, the
Further, in the good product tray unit 11 (defective product tray unit 12), the
Therefore, the
For this reason, the
〔トレイ載置手段のトレイセット部(貫通孔)の作用について〕
前述したように、トレイ載置手段19のトレイ載置部材27にはトレイセット部として貫通孔31が設けられて構成されている(図3を参照)。
即ち、前述したように、トレイ5の大収容部(皿部)9を貫通孔31に嵌装することができるように構成されると共に、トレイの縁部8をトレイ載置部材27の載置面30に係止することができるように構成されている。
従って、この状態で、トレイ載置部材27を上下動し、且つ、Y方向に往復移動することができるように構成されている。
このため、(従来例に示すように、トレイの供給セット時に、グリップで受け渡するためにトレイが不安定となって「ずれ」易くなる構成に比べて、)トレイ5を効率良く安定して供給セットすることができるので、トレイ5に発生する「ずれ」を効率良く防止し得て、トレイ5の整列状態を効率良く良好に設定することができる。
[About the action of the tray setting part (through hole) of the tray mounting means]
As described above, the
That is, as described above, the large accommodating portion (dish portion) 9 of the
Accordingly, in this state, the
Therefore, as shown in the conventional example, the
(リフト機構の構成について)
図例に示すように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、2組のトレイ載置手段17におけるトレイ載置部材27の貫通孔31の下方位置には、トレイ5(6、7)を支受した状態で上下動するリフト機構(リフター)41が設けられて構成されている。
また、リフト機構41には、トレイ5(6、7)を支受する支受部(支受板)42と、支受部(支受板)42を下方から支持する支持棒43と、支持棒43を介して支受部42を上下動する支受部の上下動部44とが設けられて構成されている。
従って、リフト機構41において、トレイ5(6、7)を支受部(支受板)41に支受した状態で、支持棒43を介して支受部(支受板)42を上下動部44で上下動することができるように構成されている。
また、支受部(支受板)42は、トレイ載置部材27の貫通孔31を下方から上方に挿通することができるように構成されている。
このとき、支受部(支受板)42を支持した支持棒43は貫通孔31を挿通した状態にある。
従って、トレイ載置部材27の貫通孔31を下方から上方に貫通して上方に位置した支受部(支受板)42がトレイ5(6、7)を支受(載置)した状態で、支受部(支受板)42を上下動させることができるように構成されている。
更に、トレイ載置部材27(貫通孔31)の上方を含む所要位置で支受部(支受板)42を停止することができるように構成されている。
なお、通常、リフト機構41の支受部(支受板)42は、トレイ載置部材27(貫通孔31)の下方位置に位置して停止している。
(About the structure of the lift mechanism)
As shown in the figure, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), the tray 5 (6, 7) is positioned below the through
The
Therefore, in the
The support portion (support plate) 42 is configured to be able to pass through the through
At this time, the
Accordingly, in a state in which the tray 5 (6, 7) is supported (placed) by the support portion (support plate) 42 that passes through the through-
Further, the support portion (support plate) 42 can be stopped at a required position including above the tray mounting member 27 (through hole 31).
Normally, the support portion (support plate) 42 of the
(リフト機構によるトレイ載置部材へのトレイ載置について)
即ち、図5(2)に示すように、トレイ搬送機構の移動領域23におけるトレイの引渡位置25において、トレイ搬送機構22で係止された収容前トレイ(空トレイ)5の大収容部9の底面を、リフト機構の収容前トレイ受継位置52にて、リフト機構41の支受部42で支受することができるように構成されている。
また、この状態で、トレイ搬送機構22の係止回動部26を回動して収容前トレイ5を解放することにより、収容前トレイ5を支受部42(の上面)のみで支受するように構成されている。
図5(3)に示すように、収容前トレイ5を支受部42で支受した状態で、支受部42を下動させることにより、下端移動領域35における装置前面1a側のトレイ載置位置14に存在するトレイ載置部材27の載置面30(貫通孔31)にトレイ5を供給セットすることができる。
このとき、支受部42は貫通孔31内或いはトレイ載置部材27の下方位置に位置することになる。
(Tray placement on tray placement member by lift mechanism)
That is, as shown in FIG. 5 (2), the
In this state, the
As shown in FIG. 5 (3), the tray mounting on the apparatus front surface 1 a side in the lower
At this time, the
即ち、図5(1)に示すように、まず、収容前トレイ装填部13における収容前トレイのストッカ21において、収容前トレイ5を下方向に押圧することにより、トレイ搬送機構の移動領域23におけるトレイ係止位置24にあるトレイ搬送機構22にトレイ5を供給セットする。
このとき、トレイ搬送機構22の係止回動部26にトレイの縁部8が係止されることになる。
次に、図5(2)に示すように、トレイ搬送機構の移動領域23における良品トレイ部11側の位置となるトレイ引渡位置25に、トレイ5を係止したトレイ搬送機構22を移動させる。
このとき、係止回動部26を回動してトレイ5を解放すると共に、トレイ搬送機構22で係止された収容前トレイ5を、収容前トレイ受継位置52にて、支受部42で支受することができる。
次に、図5(3)に示すように、トレイ5を支受した支受部42を下動させることにより、下端移動領域35における収容前トレイ載置位置14に存在するトレイ載置部材27の載置面30の貫通孔31にトレイ5を供給セットすることになる。
従って、トレイ搬送機構22とリフト機構41とで下端の収容前トレイ載置位置14に存在するトレイ載置部材27にトレイ5を供給セットすることができる。
That is, as shown in FIG. 5A, first, in the
At this time, the
Next, as shown in FIG. 5B, the
At this time, the
Next, as shown in FIG. 5 (3), the
Therefore, the
(リフト機構による良品トレイの良品トレイストッカへの収納について)
即ち、図7(1)に示すように、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、上端収容済トレイ載置位置34でトレイ載置部材27に載置された(パッケージ4が満杯となった)良品トレイ6(収容済トレイ)の大収容部9の底面を、リフト機構の収容済トレイ係着位置53で、リフト機構41の支受部42にて支受することができるように構成されている。
また、図7(2)に示すように、リフト機構41の支受部42を上動することにより、良品トレイ6を良品トレイのストッカ18に、リフト機構の収容済トレイ押上位置51から支受部42にて押し上げて収納することができるように構成されている。
(Storing non-defective trays into non-defective tray stockers by the lift mechanism)
That is, as shown in FIG. 7A, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), it is placed on the
Further, as shown in FIG. 7 (2), by moving the
即ち、図7(1)に示すように、まず、良品トレイ部11(不良品トレイ部12)において、上端収容済トレイ載置位置34に位置するトレイ載置部材27に載置された良品トレイ6(不良品トレイ7)を、支受部42(リフト機構41)で支受する。
次に、図7(2)に示すように、支受部42(リフト機構41)を上動して良品トレイ6(不良品トレイ7)を良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)に押し上げて収納することができる。
従って、リフト機構41にて良品トレイ6(不良品トレイ7)を上端収容済トレイ載置位置34のトレイ載置部材27から良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)に押し上げて収納することができる。
That is, as shown in FIG. 7A, first, in the non-defective product tray portion 11 (defective product tray portion 12), the good product tray placed on the
Next, as shown in FIG. 7 (2), the support portion 42 (lift mechanism 41) is moved up to replace the non-defective product tray 6 (defective product tray 7) with the non-defective product tray 18 (defective product stocker 20). Can be pushed up and stored.
Therefore, the non-defective product tray 6 (defective product tray 7) is pushed up by the
(リフト機構における支受部の上下方向の位置について)
次に、リフト機構41における支受部42(の上面)の位置について説明する。
即ち、図例に示すように、リフト機構41における支受部42で収容済トレイ6、7(の底面)をストッカ18、20内に押し上げる位置として、支受部42(の上面)の位置を、収容済トレイ押上位置51に設定することができる。
また、トレイ搬送機構の移動領域23におけるトレイ引渡位置25において、トレイ搬送機構22(係止回動部26)に係止されたトレイ5の底面をリフト機構41における支受部42で支受する位置として、支受部42(の上面)の位置を、収容前トレイ受継位置52に設定することができる。
また、上端収容済トレイ載置位置34におけるトレイ載置部材27に載置した収容済トレイ6、7(の底面)の位置を支受部42で支受する位置として、支受部42(の上面)の位置を、収容済トレイ係着位置53に設定することができる。
また、下端収容前トレイ載置位置14におけるトレイ載置部材27に載置した収容前トレイ5(の底面)の位置を支受部42で支受する位置として、支受部42(の上面)の位置を、収容前トレイ供給位置54に設定することができる。
また、支受部42(の上面)における通常の定位置として、支受部の下端位置55に設定することができる。
従って、支受部42(の上面)の位置は、下方から上方に向けて、支受部の下端位置55、収容前トレイ供給位置54、収容済トレイ係着位置53、収容前トレイ受継位置52、収容済トレイ押上位置51の順に配置されて構成されている。
(About the vertical position of the support in the lift mechanism)
Next, the position of the support part 42 (the upper surface thereof) in the
That is, as shown in the figure, the position of the support portion 42 (the upper surface) is set as a position where the received
In addition, at the
Further, the position of the accommodated
Further, the position of the pre-accommodating tray 5 (the bottom surface thereof) placed on the
Moreover, it can set to the
Accordingly, the position of the support part 42 (the upper surface thereof) is from the bottom to the top, the
(リフト機構における支受部の上下方向の動作について)
また、下端の収容前トレイ載置位置14におけるトレイ載置部材27に収容前トレイ5を供給する場合、まず、リフト機構41の支受部42(支持棒43)を支受部下端位置55から上動させて下端の収容前トレイ載置位置54におけるトレイ載置部材27の貫通孔31を挿通することにより、収容前トレイ受継位置52に支受部42を位置させてトレイ搬送機構22から収容前トレイ5を受け継ぐことになる。
次に、支受部42を収容前トレイ供給位置54に位置させることにより、トレイ載置部材27に収容前トレイ5を供給することができる。
(About the vertical movement of the support in the lift mechanism)
Further, when the
Next, the
また、上端の収容済トレイ載置位置34における良品トレイ6(不良品トレイ7)を良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)に収納する場合、まず、リフト機構41の支受部42を収容済トレイ係着位置53に位置させて、トレイ載置部材27の収容済トレイ6、7を係着する。
次に、収容済トレイ係着位置53から支受部42(支持棒43)をトレイ載置部材27の貫通孔31を挿通させることにより、支受部42を収容済トレイ押上位置51に位置させて良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)に良品トレイ6(不良品トレイ7)を押し上げて収納することができる。
Further, when the non-defective product tray 6 (defective product tray 7) at the upper end accommodated
Next, the
(本発明に係る基板の切断方法について)
本発明において、まず、パッケージの検査ユニットCにおいて、切断済基板2を検査して良品パッケージ4と不良品パッケージ4とに選別する。
次に、パッケージの収容ユニットDにおいて、良品トレイ部11におけるトレイ載置部材27の上端移動領域36における装置前面1aと装置背面1bとの中間部に形成されたパッケージ収容位置15に位置したトレイ5(一方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5)に、良品パッケージ4をパッケージ係着機構94にて係着した収容することができる。
このとき、装置背面1b側となる上端移動領域36のトレイ検知位置16に存在する他方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5を、トレイ検知機構17で検知することにより、検知済トレイ5を待機させることができる。
また、次に、上端パッケージ収容位置15のトレイ5にパッケージ4が満杯となったとき、満杯となったトレイ(良品トレイ6)を装置前面1a側となる上端収容済トレイ載置位置34に移動させる。
このとき、同時に、上端トレイ検知位置16における他方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5を上端パッケージ収容位置15に移動させることができる。
このため、上端パッケージ収容位置15において、トレイ5を短時間で効率良く交換することができる。
従って、トレイ5を短時間で効率良く交換することができるので、トレイ5にパッケージ4を効率良く収容し得て、パッケージ4を効率良く生産することができる。
(About the substrate cutting method according to the present invention)
In the present invention, first, in the package inspection unit C, the
Next, in the package housing unit D, the
At this time, the
Next, when the
At the same time, the
For this reason, the
Therefore, since the
また、本発明は、図6に示すように、トレイ5を載置したトレイ載置部材27(トレイ載置手段19)が、所謂、Box動作するものであり、2個のトレイ載置部材27(トレイ5)が衝突しないように、(垂直面で、)環状移動領域37を一方向通行で各別に移動(周回)する構成である。
即ち、本発明は、トレイ5を載置したトレイ載置部材27(トレイ載置手段19)を上端移動領域36で装置背面1b側から装置前面1a側に移動させて、トレイ載置部材27(トレイ5)を上端移動領域36から下端移動領域35に下動し、次に、トレイ載置部材27(トレイ5)を下端移動領域35で装置前面1a側から装置背面1b側に移動させて、トレイ載置部材27(トレイ5)を下端移動領域35から上端移動領域36に上動させることによって、トレイ載置部材27(トレイ5)を環状移動領域37で一方向通行で周回する構成である。
従って、上端移動領域36における装置前面1aと装置背面1bとの中間部に設けられたパッケージ収容位置15に位置する一方のトレイ載置部材27(トレイ5)の下方側を、即ち、下端移動領域35で装置前面1a側から装置背面1b側に、他方のトレイ載置部材27(トレイ5)が移動して通過することができるように構成されている。
このため、一方のトレイ載置部材27(トレイ5)と他方のトレイ載置部材27(トレイ5)とは、上下位置で衝突を回避することができるように構成されている。
Further, in the present invention, as shown in FIG. 6, the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) on which the
That is, according to the present invention, the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) on which the
Therefore, the lower side of one tray placement member 27 (tray 5) located at the
For this reason, one tray mounting member 27 (tray 5) and the other tray mounting member 27 (tray 5) are configured to be able to avoid collision at the vertical position.
また、本発明において、前述したように、上端移動領域36の装置背面1b側には、トレイ5の整列状態(ずれ)をトレイ検知機構17で検知するトレイ検知位置16が設けられて構成されている。
また、前述したように、トレイ検知機構17は、トレイ5の移動方向(Y方向)と直交する方向(X方向)に往復移動して検知することができるように構成されている。
即ち、従来例では、固定された2個の検知機構111でY方向に移動するトレイ5を検知するようにしていた。
しかしながら、本発明では、Y方向に移動するトレイ5を、X方向に移動する移動するトレイ検知機構17で検知することができるように構成したので、トレイ5の整列状態(ずれ)を高精度で効率良く検出することができる。
In the present invention, as described above, the
Further, as described above, the
That is, in the conventional example, the two detection mechanisms 111 that are fixed detect the
However, in the present invention, since the
また、本発明においては、トレイ載置部材27(トレイ載置手段19)にはトレイセット部として貫通孔31が設けられて構成されている。
この貫通孔31に、トレイ5の大収容部9(皿部)を嵌装することにより、トレイ縁部8をトレイ載置部材27の載置面30に載置した状態で縁部8を係止具で係止するようにしている。
即ち、トレイ5を貫通孔31に嵌装することができるので、トレイ5に発生する「ずれ(トレイ5の整列状態)」を効率良く防止し得て、トレイ5の整列状態を効率良く良好に設定することができる。
In the present invention, the tray mounting member 27 (tray mounting means 19) is configured by being provided with a through
By fitting the large accommodating portion 9 (dish portion) of the
That is, since the
また、本発明において、下端の収容前トレイ載置位置14にあるトレイ載置部材27に収容前トレイ5をリフト機構41で供給するには、まず、収容前トレイ装填部13において、収容前トレイのストッカ21から収容前トレイ5を下方向に押圧することにより、トレイ搬送機構22(係止回動部26)にトレイ係止位置24でトレイ5を係止する。
次に、トレイ搬送機構22のトレイ引渡位置25において、支受部42の収容前トレイ受継位置52で、上動して貫通孔31(下端位置のトレイ載置部材27)を挿通したリフト機構41(支受部42)にて、収容前トレイ5をトレイ搬送機構41から受け継ぐことができる。
また、次に、トレイ5を支受したリフト機構41(支受部42)を下動することにより、下端の収容前トレイ載置位置14において、収容前トレイ供給位置54で、トレイ載置部材27の貫通孔31にトレイ5の大収容部9を嵌装し且つトレイの縁部8を載置面30で係止し、トレイ載置部材27にトレイ5を供給セットすることができる。
In the present invention, in order to supply the
Next, at the
Next, by lowering the lift mechanism 41 (supporting portion 42) that supports the
また、本発明において、上端の収容前トレイ載置位置14にあるトレイ載置部材27から収容済トレイ5をリフト機構41で良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)に押し上げて収納するには、まず、上端の収容前トレイ載置位置34におけるトレイ載置部材27の貫通孔31をリフト機構41(支受部42)で挿通することにより、収容済トレイ係着位置53で収容済トレイ5を係着して上動させる。
次に、収容済トレイ押上位置51からリフト機構41(収容済トレイ6、7を係着した支受部42)を上動させることにより、収容済トレイ6、7を良品トレイのストッカ18(不良品トレイのストッカ20)に押し上げて収納することができる。
Further, in the present invention, the accommodated
Next, the lift mechanism 41 (the
(本発明の作用効果について)
即ち、本発明において、トレイ載置部材27(トレイ載置手段19)にトレイセット部として設けられた貫通孔31に、トレイ5の大収容部9(皿部)を嵌装することにより、トレイ縁部8をトレイ載置部材27の載置面30に載置した状態で縁部8を係止具で係止することができる。
従って、トレイ5を貫通孔31に効率良く嵌装することができるので、トレイ5に発生する「ずれ(トレイ5の整列状態)」を効率良く防止し得て、トレイ5の整列状態を効率良く良好に設定することができる。
(About the effect of this invention)
That is, in the present invention, the large accommodation portion 9 (dish portion) of the
Accordingly, since the
また、本発明においては、Y方向に移動するトレイ5を、X方向に移動する移動するトレイ検知機構17で検知することができるように構成したので、前述したような従来例に比べて、トレイ5の整列状態(ずれ)を高精度で効率良く検出することができる。
In the present invention, since the
また、本発明においては、上端パッケージ収容位置15において、一方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5でパッケージ4が満杯となったとき、満杯となったトレイ(良品トレイ6、不良品トレイ7)を装置前面1a側となる上端の収容済トレイ載置位置34に移動させることができる。
このとき、同時に、上端のトレイ検知位置16における他方のトレイ載置部材27に載置したトレイ5を上端のパッケージ収容位置15に移動させることができる。
従って、上端のパッケージ収容位置15において、検知済トレイ5を短時間で効率良く交換することができるので、トレイ5にパッケージ4を効率良く収容し得て、パッケージ4を効率良く生産することができる。
Further, in the present invention, when the
At the same time, the
Therefore, since the detected
本発明は、前述した実施例のものに限定されるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意且つ適宜に変更・選択して採用できるものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be arbitrarily changed and selected as needed within a range not departing from the gist of the present invention.
前記した実施例において、不良品トレイ部12にトレイ載置手段19を2組、設ける構成を例示したが、不良品トレイ部12にトレイ載置手段19を1組、設ける構成を採用することができる。
なお、この場合、検査されたパッケージ4が不良品となる場合がごく僅かであるため、1組のトレイ載置手段19で基板の切断装置を必要且つ十分に作動させることができる。
In the above-described embodiment, the configuration in which two sets of tray mounting means 19 are provided in the defective
In this case, since there are very few cases where the inspected
1 基板の切断装置
1a 装置前面
1b 装置後面
2 成形済基板
3 切断済基板
4 パッケージ
5 トレイ(収容前トレイ、空トレイ)
6 良品トレイ(収容済トレイ)
7 不良品トレイ(収容済トレイ)
8 縁部(トレイ)
9 大収容部(トレイ)
9a 仕切壁
10 小収容部(トレイ)
11 良品トレイ部(収容済トレイ収納部)
12 不良品トレイ部(収容済トレイ収納部)
13 収容前トレイ装填部(空トレイ装填部)
14 (下端)収容前トレイ載置位置(トレイ載置部材)
15 パッケージ収容位置(トレイ載置部材)
16 トレイ検知位置(トレイ載置部材)
17 トレイ検知機構(トレイ載置部材)
18 良品トレイのストッカ(収容済トレイの収納部)
19 トレイ載置手段
20 不良品トレイのストッカ(収容済トレイの収納部)
21 収容前トレイのストッカ(空トレイの収納部)
22 トレイ搬送機構
23 トレイ搬送機構の移動領域
24 トレイ係止位置(トレイ搬送機構)
25 トレイ引渡位置(トレイ搬送機構)
26 係止回動部(トレイ搬送機構)
27 トレイ載置部材
28 上下動機構(トレイ載置部材)
29 往復移動機構(トレイ載置部材)
30 載置面(トレイ載置部材)
31 貫通孔(トレイ載置部材)
32 カイドレール
33 ガイド部(スライダー)
34 (上端)収容済トレイ載置位置(トレイ載置部材)
35 下端移動領域(トレイ載置部材)
36 上端移動領域(トレイ載置部材)
37 環状移動領域(トレイ載置部材)
41 リフト機構
42 支受部(支受板)
43 支持棒(リフト機構)
44 上下動部(リフト機構)
51 収容済トレイ押上位置(リフト機構)
52 収容前トレイ受継位置(リフト機構)
53 収容済トレイ係着位置(リフト機構)
54 収容前トレイ供給位置(リフト機構)
55 下端位置(リフト機構)
91 切断済基板の載置部(パッケージの検査ユニット)
92 パッケージ検査機構(パッケージの検査ユニット)
93 パッケージ載置部(パッケージの検査ユニット)
94 パッケージ係着機構(パッケージの検査ユニット)
95 パッケージ載置位置(パッケージの検査ユニット)
96 パッケージ係着位置(パッケージの検査ユニット)
A 基板の装填ユニット
B 基板の切断ユニット
C パッケージの検査ユニット
D パッケージの収容ユニット(トレイのユニット)
DESCRIPTION OF
6 Good product tray (contained tray)
7 Defective product tray (contained tray)
8 Edge (tray)
9 Large storage (tray)
11 Good product tray (contained tray storage)
12 Defective product tray part (accommodated tray storage part)
13 Tray loading section before storage (empty tray loading section)
14 (Lower end) Tray placement position before storage (tray placement member)
15 Package accommodation position (tray placement member)
16 Tray detection position (tray placement member)
17 Tray detection mechanism (tray placement member)
18 Good quality tray stocker (accommodated tray storage)
19 Tray placement means 20 Defective product tray stocker (accommodated tray storage unit)
21 Pre-storage tray stocker (empty tray storage)
22
25 Tray delivery position (tray transport mechanism)
26 Locking rotation part (tray transport mechanism)
27 Tray placement member 28 Vertical movement mechanism (tray placement member)
29 Reciprocating mechanism (tray placement member)
30 Placement surface (tray placement member)
31 Through-hole (tray placement member)
32
34 (Upper) Housed tray placement position (tray placement member)
35 Lower end movement area (tray placement member)
36 Upper end movement area (tray placement member)
37 annular movement region (tray placement member)
41
43 Support rod (lift mechanism)
44 Vertical movement (lift mechanism)
51 Housed tray push-up position (lift mechanism)
52 Tray transfer position before storage (lift mechanism)
53 Stored tray engagement position (lift mechanism)
54 Tray supply position before storage (lift mechanism)
55 Lower end position (lift mechanism)
91 Placed part of cut substrate (package inspection unit)
92 Package Inspection Mechanism (Package Inspection Unit)
93 Package Placement (Package Inspection Unit)
94 Package engagement mechanism (package inspection unit)
95 Package placement position (Package inspection unit)
96 Package attachment position (Package inspection unit)
A Substrate loading unit B Substrate cutting unit C Package inspection unit D Package accommodation unit (tray unit)
Claims (8)
前記したトレイの整列状態を検知する工程と、
前記したトレイに前記したパッケージを収容する工程とを備えると共に、
前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージの収容位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージの収容位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする基板の切断方法。 A method of cutting a substrate in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray,
Detecting the alignment state of the trays;
And a step of accommodating the package described above in the tray described above,
A method of cutting a substrate, wherein the step of moving the tray containing the package from the package receiving position and the step of moving the detected tray to the package receiving position are performed simultaneously. .
前記したトレイを載置したトレイ載置部材を2個、用意する工程と、
前記したトレイを載置したトレイ載置部材を移動させる上端移動領域と下端移動領域とを含む環状移動領域で、前記したトレイを載置したトレイ載置部材を一方通行で各別に周回させる工程と、
前記した上端移動領域の中間部に前記したパッケージを収容する位置を設ける工程と、
前記した上端移動領域の一端側に前記したトレイを検知する位置を設ける工程と、
前記した上端移動領域の他端側に前記したパッケージを収容したトレイを取り出す位置を設ける工程と、
前記した下端移動領域の他端側に前記したトレイを供給する位置を設ける工程とを備えると共に、
前記したパッケージを収容したトレイを前記したパッケージを収容する位置から移動させる工程と、前記した検知されたトレイを前記したパッケージを収容する位置に移動させる工程とを同時に行うことを特徴とする基板の切断方法。 A method of cutting a substrate in which individual packages obtained by cutting a molded substrate are accommodated in a tray,
A step of preparing two tray placing members on which the trays are placed, and
A step of rotating the tray placing member on which the tray is placed individually in one way in an annular movement region including an upper end moving region and a lower end moving region for moving the tray placing member on which the tray is placed; ,
Providing a position for accommodating the above-described package in an intermediate portion of the above-described upper end movement region;
Providing a position for detecting the tray on the one end side of the upper end movement region described above;
A step of providing a position for taking out the tray containing the package on the other end side of the upper end moving region;
Providing a position for supplying the tray described above on the other end side of the lower end movement region described above,
The step of moving the tray containing the package from the position for containing the package and the step of moving the detected tray to the position for containing the package are performed simultaneously. Cutting method.
前記した収容済トレイ収納部における収容済トレイのストッカと、前記した収容前トレイ装填部における収容前トレイのストッカとを前記した装置の上方位置に並設し、且つ、前記した装置における収容済トレイ収納部の下方位置に、前記したトレイを載置するトレイ載置手段を設けると共に、前記したトレイ載置手段を、前記したトレイを供給セットする貫通孔を有するトレイ載置部材と、前記したトレイ載置部材を上端位置と下端位置との間で上下動する上下動機構と、前記したトレイ載置部材と上下動機構とを装置前面と装置背面との間で往復移動させる往復移動機構とから構成し、前記した収容済トレイのストッカと前記したトレイ載置部材との間を前記した貫通孔を挿通した状態で上下動するリフト機構と、前記した収容前トレイのストッカから前記した収容前トレイを前記したリフト機構に搬送するトレイ搬送機構と、前記したトレイ載置部材に載置した収容前トレイを検知するトレイ検知機構とを備えたことを特徴とする基板の切断装置。 An accommodated tray storage unit that includes a stocker for an accommodated tray that accommodates a tray that accommodates individual packages obtained by cutting molded substrates, and a pre-accommodation tray loading unit that includes a stocker for a pre-accommodation tray that accommodates a pre-accommodation tray. A substrate cutting apparatus comprising:
The stocker for the accommodated tray in the above-described accommodated tray storage unit and the stocker for the pre-accommodation tray in the pre-accommodation tray loading unit are juxtaposed in the upper position of the above-described apparatus, and the accommodated tray in the above-described apparatus A tray mounting means for mounting the above-described tray is provided at a position below the storage portion, and the tray mounting member includes a tray mounting member having a through hole for supplying and setting the tray. A vertical movement mechanism that moves the mounting member up and down between an upper end position and a lower end position; and a reciprocating movement mechanism that reciprocates the tray mounting member and the vertical movement mechanism between the apparatus front surface and the apparatus rear surface. A lift mechanism configured to move up and down in a state in which the through hole is inserted between the stocker of the accommodated tray and the tray mounting member, and the tray before accommodation A substrate transporting mechanism comprising: a tray transporting mechanism that transports the above-mentioned pre-accommodating tray from the stocker to the above-described lift mechanism; and a tray detection mechanism that detects the pre-accommodating tray placed on the above-described tray mounting member. Cutting device.
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