JP5308958B2

JP5308958B2 - Work table and display device for display panel

Info

Publication number: JP5308958B2
Application number: JP2009185941A
Authority: JP
Inventors: 智昭久我
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2009-08-10
Filing date: 2009-08-10
Publication date: 2013-10-09
Anticipated expiration: 2029-08-10
Also published as: JP2011039244A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent displacement of a polarizing plate to a housing, in a worktable which is equipped with the polarizing plate. <P>SOLUTION: The worktable includes a box-shaped housing 34, having an inner space opened upward and a receiving part for receiving an object to be inspected around a rectangular opened part of the inner space; a backlight unit 36 disposed below the receiving part to emit light irradiating the object to be inspected; and the polarizing plate 38, placed in the passage of light advancing toward the object to be inspected from the backlight unit. The housing 34 has grooves, which are opened on the inner space side in the positions meeting one pair of facing sides of the rectangle and extend in the longitudinal direction of the other pair of sides, and respective edge parts in the positions meeting a pair of facing sides of the rectangle of the polarizing plate 38 are received in the grooves. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネル基板の点灯試験に用いるワークテーブル及び試験装置に関する。 The present invention relates to a work table and a test apparatus used for a lighting test of a display panel substrate such as a liquid crystal display panel.

液晶表示パネルは、一般に、完成したパネル基板の状態、液晶をガラス板の間に封入しかつ偏光板を備えたパネル基板の状態、液晶をガラス板の間に封入しているが、偏光板を備えていないパネル基板の状態等において、点灯試験をされる。 A liquid crystal display panel is generally a state of a completed panel substrate, a state of a panel substrate in which liquid crystal is enclosed between glass plates and provided with a polarizing plate, and a panel in which liquid crystal is enclosed between glass plates, but is not provided with a polarizing plate. A lighting test is performed on the condition of the substrate.

そのような試験装置の１つとして、上方に開放する内部空間を有しかつ被検査体を受ける受け部を内部空間の矩形の開放部の周りに備える、箱状のハウジングを備え、ハウジングの内部空間に、被検査体に照射する光を発生するバックライトユニットを配置したワークテーブルを用いたものがある（特許文献１）。 As one of such test apparatuses, a box-shaped housing having an internal space that opens upward and having a receiving portion that receives an object to be inspected around a rectangular open portion of the internal space is provided. There is one using a work table in which a backlight unit that generates light to irradiate an object to be inspected is arranged in a space (Patent Document 1).

上記の従来試験装置は、また、バックライトからの光がパネル基板に向けて通過することを許す導光板と、該導光板からパネル基板に向う光を拡散させる第１の光拡散シートと、該第１の光拡散シートからの光がパネル基板に向けて通過することを許す拡散板と、拡散板からパネル基板に向けう光を拡散させる第２の光拡散シートと、該第２の光拡散シートからの光がパネル基板に向けて通過することを許すガラス板とを、ハウジングの内部空間に重ね合わせた状態に配置している。 The conventional testing apparatus also includes a light guide plate that allows light from the backlight to pass toward the panel substrate, a first light diffusion sheet that diffuses light from the light guide plate toward the panel substrate, A diffusion plate that allows light from the first light diffusion sheet to pass toward the panel substrate; a second light diffusion sheet that diffuses light from the diffusion plate toward the panel substrate; and the second light diffusion. A glass plate that allows light from the sheet to pass toward the panel substrate is arranged in a state of being superimposed on the internal space of the housing.

しかし、上記の従来試験装置は、光を偏光させる偏光板を備えるパネル基板を試験する装置として構成されているにすぎないから、偏光板を備えないパネル基板の試験をすることができない。 However, since the above-described conventional test apparatus is merely configured as an apparatus for testing a panel substrate including a polarizing plate that polarizes light, the panel substrate that does not include a polarizing plate cannot be tested.

上記のことから、本発明者等は、種々の実験・研究をした結果、偏光板をワークテーブルの側に配置した試験装置を考案した。 From the above, the present inventors have devised a test apparatus in which a polarizing plate is arranged on the work table side as a result of various experiments and researches.

しかし、パネル基板を受けるハウジングに偏光板を単に配置するだけでは、パネル基板を交換するときに、ハウジングからのパネル基板の剥離に起因して偏光板に作用する負圧により、偏光板が、ハウジングから外れて、ハウジングひいてはパネル基板に対し変位してしまう。 However, when the polarizing plate is simply disposed in the housing that receives the panel substrate, when the panel substrate is replaced, the polarizing plate is moved into the housing by the negative pressure acting on the polarizing plate due to the peeling of the panel substrate from the housing. And will be displaced with respect to the housing and thus the panel substrate.

特開２００３−２４１６８１号公報JP 2003-241681 A

本発明の目的は、偏光板を備えるワークテーブルにおいて、ハウジングに対する偏光板の変位を防止することにある。 The objective of this invention is preventing the displacement of a polarizing plate with respect to a housing in a work table provided with a polarizing plate.

本発明に係るワークテーブルは、上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を前記内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジングと、前記被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニットと、前記バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板とを含む。 A work table according to the present invention includes an internal space that opens upward, and a box-shaped housing that includes a receiving portion that receives an object to be inspected around a rectangular open portion of the internal space, and irradiates the object to be inspected. A backlight unit positioned below the receiving portion and a polarizing plate disposed in a light path from the backlight unit toward the object to be inspected.

前記ハウジングは、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに、前記内部空間の側に開口して、前記矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝を有する。また、前記偏光板は、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を前記溝に受け入れられている。 The housing has a groove that opens on the inner space side and extends in the longitudinal direction of the other pair of opposite sides of the rectangle at each of the locations corresponding to the pair of opposite sides of the rectangle. . Moreover, the said polarizing plate has each edge part of the location corresponding to a pair of side which the said rectangle opposes received in the said groove | channel.

本発明に係るワークテーブルは、さらに、前記偏光板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記偏光板に入射する光を拡散させる光拡散板を含むことができる。 The worktable according to the present invention may further include a light diffusing plate that is disposed between the polarizing plate and the backlight unit and diffuses light incident on the polarizing plate.

本発明に係るワークテーブルは、さらに、前記光拡散板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記バックライトユニットからの光を前記光拡散板に入射させる導光板を含むことができる。 The work table according to the present invention may further include a light guide plate disposed between the light diffusing plate and the backlight unit and allowing light from the backlight unit to enter the light diffusing plate.

本発明に係る試験装置は、上記のようなワークテーブルと、該ワークテーブルに受けられた被検査体の電極に対向される先端針先をそれぞれ有する複数のプローブを備えるプローブ装置とを含む。 A test apparatus according to the present invention includes the work table as described above and a probe apparatus including a plurality of probes each having a tip needle tip that faces the electrode of an object to be inspected received by the work table.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記ワークテーブルに対向して前記被検査体からの光の通路に配置された第２の偏光板と、該第２の偏光板と前記ワークテーブルとを相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる移動機構とを含むことができる。 The test apparatus according to the present invention further includes a second polarizing plate disposed in a path of light from the object to be inspected facing the work table, the second polarizing plate, and the work table. And a moving mechanism that relatively moves in a direction away from each other.

本発明に係る試験装置は、さらに、前記矩形の対向する少なくとも一対の各辺に対応して配置された板状のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、前記プローブ装置を支持するプローブベースに対向する他のプローブベースに、前記プローブ装置に向けて延びる状態に、配置されたステーとを含むことができ、また前記第２の偏光板は、前記プローブ装置と前記ステーとに支持されていてもよい。 The test apparatus according to the present invention further includes a plate-like probe base disposed corresponding to at least one pair of opposing sides of the rectangle, wherein the probe base supports the probe apparatus on at least one probe base. And a stay arranged in a state of extending toward the probe device on another probe base facing the probe base that supports the probe device, and the second polarizing plate includes the second polarizing plate, It may be supported by the probe device and the stay.

前記プローブ装置は、さらに、前記プローブが左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる状態に配置されたプローブホルダと、該プローブホルダの左右方向の端面のそれぞれに配置されたカバーとを備えることができ、また前記カバー及び前記ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有することができる。 The probe device may further include a probe holder disposed in a state where the probe extends in the front-rear direction with an interval in the left-right direction, and a cover disposed on each of the end surfaces in the left-right direction of the probe holder. In addition, the cover and the stay may have a receiving portion for receiving the second polarizing plate.

上記の代わりに、本発明に係る試験装置は、さらに、前記矩形の辺に対応されて配置された板状の複数のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、対向する少なくとも一対のプローブベースに配置されて、対向する他のプローブベースに向けて延びるステーとを含むことができ、また各ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有することができる。 Instead of the above, the test apparatus according to the present invention further includes a plurality of plate-like probe bases arranged corresponding to the rectangular sides, and the probe apparatus supports the probe apparatus on at least one probe base. A base and a stay disposed on at least one pair of opposing probe bases and extending toward another opposing probe base, each stay having a receiving portion for receiving the second polarizing plate; be able to.

前記第２の偏光板を受ける受け部は、上向きの段部又は前記内部空間に開放する凹所を含むことができる。 The receiving portion that receives the second polarizing plate may include an upward stepped portion or a recess that opens to the internal space.

本発明においては、矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれにハウジングの内部空間の側に開口して矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝をハウジングに設け、矩形の対向する一対の辺に対応する偏光板の箇所のそれぞれの縁部をハウジングの溝に受け入れている。 In the present invention, the housing is provided with a groove extending in the longitudinal direction of the other pair of opposite sides of the rectangle that opens to the inner space side of the housing at each of the locations corresponding to the pair of opposite sides of the rectangle. The edge portions of the polarizing plate corresponding to a pair of opposing sides of the rectangle are received in the grooves of the housing.

このため、本発明によれば、パネル基板を交換するときに、ハウジングからのパネル基板の剥離に起因する負圧が偏光板に作用しても、偏光板はハウジングから外れない。その結果、偏光板はハウジングひいてはパネル基板に対し変位することを溝により防止される。 Therefore, according to the present invention, when the panel substrate is replaced, the polarizing plate does not come off the housing even if a negative pressure due to the peeling of the panel substrate from the housing acts on the polarizing plate. As a result, the polarizing plate is prevented from being displaced with respect to the housing and thus the panel substrate by the groove.

本発明に係る試験装置の一実施例を示す平面図である。It is a top view which shows one Example of the testing apparatus concerning this invention. 図１における２−２線に沿って得た図である。It is the figure obtained along the 2-2 line in FIG. 図１における３−３線に沿って得た断面図であって、テーブル移動機構を省略して示す。It is sectional drawing obtained along the 3-3 line in FIG. 1, Comprising: A table moving mechanism is abbreviate | omitted and shown. 図２に示すワークテーブルの拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the work table shown in FIG. 図３に示すワークテーブルの拡大断面図である。It is an expanded sectional view of the work table shown in FIG. プローブ装置の一実施例を示す正面図である。It is a front view which shows one Example of a probe apparatus. 図６に示すプローブ装置の平面図である。It is a top view of the probe apparatus shown in FIG. 図６に示すプローブ装置の右側面図である。It is a right view of the probe apparatus shown in FIG. 図６に示すプローブ装置を分解した断面図である。It is sectional drawing which decomposed | disassembled the probe apparatus shown in FIG. プローブ組立体の一実施例を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows one Example of a probe assembly. プローブ装置で用いる組み付け装置を分解した斜視図である。It is the perspective view which decomposed | disassembled the assembly | attachment apparatus used with a probe apparatus. 偏光板を受ける受け部の他の実施例を示す図である。It is a figure which shows the other Example of the receiving part which receives a polarizing plate. 本発明に係る試験装置の他の実施例を示す，図２又は図３と同様の断面図である。It is sectional drawing similar to FIG. 2 or FIG. 3 which shows the other Example of the testing apparatus based on this invention.

１０プローブユニット
１２表示用基板
１４表示用基板の電極
１６検査ステージ
１８プローブベース
２０プローブ装置
２２ステー
２４，３８偏光板
２６電気的配線具
３０テーブル移動機構
３２ワークテーブル
３４ハウジング
３４ａ内部空間
３４ｂ被検査体用の受け部
３４ｃ開放部
３４ｄ段部
３６バックライトユニット
４０光拡散板
４２導光板
４４偏光板を受ける溝
５０プローブ組立体
５２支持ブロック
５４連結ブロック
５６結合ブロック
５８組み付け装置
６０接続ブロック
６２プローブ
６４ブロック片
６６スリットバー
６８バー部材
７０カバー
７８，１４４，１４６偏光板の受け部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Probe unit 12 Display substrate 14 Display substrate electrode 16 Inspection stage 18 Probe base 20 Probe device 22 Stay 24, 38 Polarizing plate 26 Electrical wiring tool 30 Table moving mechanism 32 Work table 34 Housing 34a Internal space 34b Inspected object Receiving part 34c opening part 34d step part 36 backlight unit 40 light diffusing plate 42 light guide plate 44 groove for receiving polarizing plate 50 probe assembly 52 support block 54 connecting block 56 connecting block 58 assembly device 60 connecting block 62 probe 64 block Piece 66 Slit bar 68 Bar member 70 Cover 78, 144, 146 Receiving part of polarizing plate

［用語について］ [Terminology]

本発明においては、図２において、上下方向（被検査体に垂直の方向）を上下方向又はＺ方向といい、左右方向を左右方向又はＸ方向といい、紙背方向を前後方向又はＹ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。 In the present invention, in FIG. 2, the vertical direction (direction perpendicular to the object to be inspected) is referred to as the vertical direction or the Z direction, the horizontal direction is referred to as the horizontal direction or the X direction, and the paper back direction is referred to as the longitudinal direction or the Y direction. However, these directions differ depending on the posture of the test subject received by the work table.

それゆえに、本発明に係るプローブユニットは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。 Therefore, in the probe unit according to the present invention, the vertical direction (Z direction) in the present invention is actually in any direction, such as a state where the vertical direction is a vertical direction, a state where the vertical direction is reversed, or a state where the vertical direction is oblique. It is attached to the test device and used.

［実施例］ [Example]

図１から図１０を参照するに、試験装置１０は、偏光板を備えない未完成の液晶表示パネルのようなパネル基板を平板状の被検査体１２（図２から図５及び図８から図１０参照）とし、被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４（図２，８及び１０参照）を少なくとも長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交する方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ伸びる帯状の形状を有している。 Referring to FIGS. 1 to 10, the test apparatus 10 includes a panel substrate 12 such as an incomplete liquid crystal display panel that does not include a polarizing plate, and a plate-like object 12 (FIGS. 2 to 5 and FIGS. 8 to 8). 10) and used for lighting inspection of the object 12 to be inspected. The device under test 12 has a rectangular shape, and a plurality of electrodes 14 (see FIGS. 2, 8 and 10) are formed at a predetermined pitch on edges corresponding to at least two adjacent sides of the rectangle. ing. Each electrode 14 has a belt-like shape extending in a direction (X direction or Y direction) orthogonal to the edge where the electrode 14 is disposed.

試験装置１０は、被検査体１２を受ける検査ステージ１６と、長方形の各辺に対応して配置された板状のプローブベース１８と、隣り合う２つのプローブベース１８のそれぞれに左右（Ｘ）方向又は前後（Ｙ）方向に間隔をおいて配置された複数のプローブ装置２０と、残りの２つのプローブベース１８のそれぞれに前後方向又は左右方向に間隔をおいて配置された複数のステー２２と、プローブ装置２０及びステー２２に支持された偏光板２４と、各プローブ装置２０を被検査体１２のための試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続する電気的配線具２６とを含む。 The test apparatus 10 includes an inspection stage 16 that receives an object to be inspected 12, a plate-like probe base 18 that is arranged corresponding to each side of the rectangle, and two adjacent probe bases 18 in the left-right (X) direction. Or a plurality of probe devices 20 arranged at intervals in the front-rear (Y) direction, and a plurality of stays 22 arranged at intervals in the front-rear direction or the left-right direction on each of the remaining two probe bases 18; A polarizing plate 24 supported by the probe device 20 and the stay 22, and an electrical wiring tool 26 that connects each probe device 20 to an electrical circuit (not shown) that generates a test signal for the device under test 12. .

試験装置１０の本体フレーム（図示せず）は、被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より大きい矩形の開口２８ａ（図１及び２参照）を上部フレーム部２８に有する。 A main body frame (not shown) of the test apparatus 10 has a rectangular opening 28a (see FIGS. 1 and 2) similar to the inspection object 12 and larger than the inspection object 12, in the upper frame portion 28.

検査ステージ１６は、本体フレームの下部フレーム部（図示せず）に設置されたテーブル移動機構３０と、被検査体１２を受けるチャックトップすなわちワークテーブル３２とを備える。 The inspection stage 16 includes a table moving mechanism 30 installed in a lower frame portion (not shown) of the main body frame, and a chuck top, that is, a work table 32 that receives the object to be inspected 12.

テーブル移動機構３０は、ワークテーブル３２を、前後左右及び上下の３方向に移動させると共に、上下方向へ延びるθ軸線の周りに角度的に回転させる公知の装置である。 The table moving mechanism 30 is a known device that moves the work table 32 in three directions, front and rear, right and left, and up and down, and rotates it around the θ axis extending in the up and down direction.

ワークテーブル３２は、図２から図４に詳細に示すように、上方に開放する内部空間３４ａを備える四角い箱状のハウジング３４と、内部空間３４ａに配置されたバックライトユニット３６と、バックライトユニット３６から被検査体１２に向かう光の通路に配置された偏光板３８と、偏光板３８とバックライトユニット３６との間に配置された光拡散板４０と、光拡散板４０とバックライトユニット３６との間に配置された導光板４２とを含む。 As shown in detail in FIGS. 2 to 4, the work table 32 includes a rectangular box-shaped housing 34 having an internal space 34 a that opens upward, a backlight unit 36 disposed in the internal space 34 a, and a backlight unit. A polarizing plate 38 disposed in a light path from 36 to the object 12 to be inspected, a light diffusion plate 40 disposed between the polarizing plate 38 and the backlight unit 36, and the light diffusion plate 40 and the backlight unit 36. Light guide plate 42 disposed between the two.

図３及び４に示すように、ハウジング３４及びその内部空間３４ａは、全体的に立方体の形状を有しており、また被検査体１２を受ける矩形の受け部３４ｂを内部空間３４ａの矩形の開放部３４ｃの周りに備える。 As shown in FIGS. 3 and 4, the housing 34 and its internal space 34a have a generally cubic shape, and the rectangular receiving portion 34b for receiving the device under test 12 is opened to the rectangular shape of the internal space 34a. Provided around the part 34c.

内部空間３４ａは、バックライトユニット３６が配置された第１の空間と偏光板３８、光拡散板４０及び導光板４２が配置された第２の空間とにより形成されている。第１の空間は第２の空間より小さくされている。これにより、内部空間３４ａは、導光板４２が載置された上向きの段部３４ｄを有する。 The internal space 34a is formed by a first space in which the backlight unit 36 is disposed and a second space in which the polarizing plate 38, the light diffusion plate 40, and the light guide plate 42 are disposed. The first space is smaller than the second space. Thus, the internal space 34a has an upward step portion 34d on which the light guide plate 42 is placed.

ハウジング３４及び受け部３４ｂは、いずれも被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より僅かに大きい矩形の平面形状を有する。これに対し、内部空間３４ａ、第１及び第２の空間並びに段部３４ｄは、いずれも被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より僅かに小さい矩形の平面形状を有する。 Both the housing 34 and the receiving portion 34 b have a rectangular planar shape that is similar to the device under test 12 and is slightly larger than the device under test 12. On the other hand, the internal space 34 a, the first and second spaces, and the step portion 34 d are all similar to the device under test 12 and have a rectangular planar shape slightly smaller than the device under test 12.

ハウジング３４は、また、上方に開放する吸着溝（図示せず）を受け部３４ｂの対向する一対の縁部のそれぞれに有する。各吸着溝は、対応する辺の長手方向に延びており、また被検査体１２を解除可能に真空的に吸着するために、図示しない真空源に連通されている。しかし、そのような吸着溝を設けなくてもよい。 The housing 34 also has a suction groove (not shown) that opens upward at each of a pair of opposing edges of the receiving portion 34b. Each suction groove extends in the longitudinal direction of the corresponding side, and communicates with a vacuum source (not shown) to vacuum-suck the object 12 to be inspected. However, it is not necessary to provide such an adsorption groove.

バックライトユニット３６は、図示の例では、例えば特許文献１に記載されているように、被検査体１２に照射する光を発生する白色蛍光管のような複数の光源を備えた公知の装置である。しかし、四角筒状のハウジング３４とバックライトユニット３６とを別個の独立した装置として製作し、ハウジング３４をバックライトユニット３６上に配置してもよい。 In the illustrated example, the backlight unit 36 is a known device including a plurality of light sources such as a white fluorescent tube that generates light to be irradiated on the object 12 as described in Patent Document 1, for example. is there. However, the rectangular tubular housing 34 and the backlight unit 36 may be manufactured as separate and independent devices, and the housing 34 may be disposed on the backlight unit 36.

偏光板３８、拡散板４０及び導光板４２は、いずれも被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より僅かに小さい矩形の平面形状を有する。導光板４２は、下面の縁部を段部３４ｄに受けられている。拡散板４０及び偏光板３８は、それぞれ、導光板４２及び拡散板４０に載置されている。 The polarizing plate 38, the diffusion plate 40, and the light guide plate 42 are all similar to the inspection object 12 and have a rectangular planar shape slightly smaller than the inspection object 12. In the light guide plate 42, the edge of the lower surface is received by the step 34d. The diffusion plate 40 and the polarizing plate 38 are mounted on the light guide plate 42 and the diffusion plate 40, respectively.

バックライトユニット３６からの光は、導光板４２により拡散板４０に導かれ、拡散板４０により拡散されて偏光板３８に入射し、偏光板３８により偏光作用を受け、その後被検査体１２に照射される。 Light from the backlight unit 36 is guided to the diffusion plate 40 by the light guide plate 42, diffused by the diffusion plate 40, enters the polarizing plate 38, receives a polarization action by the polarizing plate 38, and then irradiates the inspection object 12. Is done.

ハウジング３４は、また、内部空間３４ａの側に開口する溝４４（図３及び５参照）を矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに有する。各溝４４は、コ字状の断面形状を有しており、また対応する辺の長手方向に連続して延びている。 The housing 34 also has a groove 44 (see FIGS. 3 and 5) that opens to the side of the internal space 34a at each of locations corresponding to a pair of opposing sides of a rectangle. Each groove 44 has a U-shaped cross-sectional shape and continuously extends in the longitudinal direction of the corresponding side.

各溝４４は、図示の例では、前後方向に離間する一対の辺のそれぞれに設けられているが、左右方向に離間する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに設けてもよいし、また矩形の辺に対応する箇所のそれぞれに設けてもよい。 In the illustrated example, each groove 44 is provided on each of a pair of sides that are separated in the front-rear direction. However, each groove 44 may be provided on each of the locations that correspond to the pair of sides that are separated in the left-right direction. You may provide in each of the location corresponding to this edge | side.

偏光板３８は、前後の縁部を溝４４に嵌め込まれている。これにより、被検査体１２の交換時に、ハウジング３２に対する被検査体１２の剥離に起因する負圧が偏光板３８に作用しても、偏光板３８はハウジング３４から外れない。その結果、偏光板３８はハウジング２４ひいては被検査体１２に対し変位することを溝４４により防止される。 The polarizing plate 38 is fitted in the groove 44 at the front and rear edges. As a result, the polarizing plate 38 does not come off the housing 34 even when a negative pressure resulting from the peeling of the device 12 to be inspected with respect to the housing 32 acts on the polarizing plate 38 during replacement of the device 12 to be inspected. As a result, the polarizing plate 38 is prevented from being displaced with respect to the housing 24 and thus the object to be inspected 12 by the groove 44.

プローブベース１８は、一部が開口２８ａに突出する状態に、上部フレーム部２８に取り付けられている。各プローブベース１８は、左右方向又は前後方向に間隔をおいた複数の配線通し穴１８ａを有する。各配線通し穴１８ａには、電気的配線具２６が下方から上方に挿し通されている。 The probe base 18 is attached to the upper frame portion 28 so that a part of the probe base 18 protrudes into the opening 28a. Each probe base 18 has a plurality of wiring through holes 18a spaced in the left-right direction or the front-rear direction. An electrical wiring tool 26 is inserted through each wiring through hole 18a from below to above.

図示の例では、全てのプローブベース１８が複数の配線通し穴１８ａを有しているが、プローブ装置２０が取り付けられたプローブベース１８にだけ配線通し穴１８ａを設けてもよい。 In the illustrated example, all the probe bases 18 have a plurality of wiring through holes 18a. However, the wiring through holes 18a may be provided only in the probe base 18 to which the probe device 20 is attached.

図２及び３並びに図６から図１０に示すように、各プローブ装置２０は、プローブ組立体５０と、プローブ組立体５０を支持する支持ブロック５２と、支持ブロック５２を支持する連結ブロック５４と、支持ブロック５２の下側（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に支持されて、プローブ組立体５０を支持ブロック５２に支持させる結合ブロック５６と、結合ブロック５６を支持ブロック５２の下側に組み付ける組み付け装置５８と、支持ブロック５２の下側に取り付けられた接続ブロック６０とを含む。 As shown in FIGS. 2 and 3 and FIGS. 6 to 10, each probe device 20 includes a probe assembly 50, a support block 52 that supports the probe assembly 50, a connection block 54 that supports the support block 52, and A coupling block 56 supported on the lower side of the support block 52 (one side in the Z direction) to support the probe assembly 50 on the support block 52, and an assembly in which the coupling block 56 is assembled to the lower side of the support block 52 The device 58 includes a connection block 60 attached to the underside of the support block 52.

プローブ組立体５０は、図６から図１０に詳細に示すように、導電性材料により製作された複数のプローブ６２を、ブロック片６４の下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー６６に、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に配置している。 As shown in detail in FIGS. 6 to 10, the probe assembly 50 includes a pair of slits in which a plurality of probes 62 made of a conductive material are assembled to the lower surface of the block piece 64 at intervals in the front-rear direction. The bar 66 is disposed in a state extending in the front-rear direction with an interval in the left-right direction.

各プローブ６２は、図１０に示すように、矩形をした板状の針主体部６２ａと、針主体部６２ａの前端から前方へ一体的に伸びる先端領域６２ｂと、針主体部６２ａの後端から後方へ一体的に伸びる後端領域６２ｃと、先端領域６２ｂの先端から下方に曲げられた先端針先６２ｄと、後端領域６２ｃの後端から上方に曲げられた後端針先を６２ｅとを備えるブレードタイプの針とされている。先端針先６２ｄ及び後端針先６２ｅは、三角形に形成されて、先鋭にされている。 As shown in FIG. 10, each probe 62 includes a rectangular plate-like needle main portion 62a, a tip region 62b that integrally extends forward from the front end of the needle main portion 62a, and a rear end of the needle main portion 62a. A rear end region 62c extending integrally rearward, a front end needle tip 62d bent downward from the front end of the front end region 62b, and a rear end needle tip 62e bent upward from the rear end of the rear end region 62c. It is a blade type needle provided. The leading end needle tip 62d and the trailing end needle tip 62e are formed in a triangular shape and sharpened.

プローブ６２は、それらの針主体部６２ａを対向させた状態にスリットバー６６に配置されており、また針主体部６２ａを貫通するバー部材６８が、その両端部を一対のカバー７０に支持され、各カバー７０がブロック片６４に取り付けられることより、ブロック片６４に組み付けられている。 The probe 62 is disposed on the slit bar 66 in a state where the needle main body portions 62a are opposed to each other, and a bar member 68 penetrating the needle main body portion 62a is supported by a pair of covers 70 at both ends thereof. Each cover 70 is assembled to the block piece 64 by being attached to the block piece 64.

ブロック片６４及び各スリットバー６６は、いずれも、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、左右方向に長い角柱状の形状を有する。 Each of the block piece 64 and each slit bar 66 has a prismatic shape that is long in the left-right direction by an electrically insulating ceramic, synthetic resin, or the like.

各スリットバー６６は、電気絶縁性の材料により角柱状の形状に製作されており、またブロック片６４の前部下面又は後部下面に左右方向へ伸びる状態に装着されている。各スリットバー６６は、図１０に示すように、これの長手方向（左右方向）に所定の間隔をおいて前後方向へ伸びかつ下方に開放する複数のスリット７２を下面に有する。 Each slit bar 66 is manufactured in a prismatic shape from an electrically insulating material, and is attached to the front lower surface or the rear lower surface of the block piece 64 so as to extend in the left-right direction. As shown in FIG. 10, each slit bar 66 has a plurality of slits 72 on the lower surface that extend in the front-rear direction and open downward at a predetermined interval in the longitudinal direction (left-right direction).

バー部材６８は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。しかし、バー部材６８は、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。 In the illustrated example, the bar member 68 has a circular cross-sectional shape, and is formed of a hard electrically insulating material such as ceramic. However, the bar member 68 may be formed by coating a conductive material with an electrically insulating material, or may have another cross-sectional shape such as a rectangle such as a rectangle or a hexagon. Good.

各プローブ６２は、針主体部６２ａの厚さ方向を左右方向とし、かつ先端針先６２ｄ及び後端針先６２ｅをそれぞれブロック片６４から前方及び後方へ突出させた状態に、スリットバー６６に並列的に配置されており、また先端領域６２ｂ及び後端領域６２ｃをスリットバー６６のスリット７２に嵌合させている。 Each probe 62 is arranged in parallel with the slit bar 66 so that the thickness direction of the needle main body 62a is the left-right direction, and the front end needle tip 62d and the rear end needle tip 62e protrude forward and backward from the block piece 64, respectively. The front end region 62b and the rear end region 62c are fitted to the slit 72 of the slit bar 66.

各カバー７０は、その前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、ブロック片６４の左右方向における端部に螺合された複数のねじ部材７４（図８参照）により、ブロック片６４の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。 Each cover 70 passes through a portion spaced in the front-rear direction, and a plurality of screw members 74 (see FIG. 8) screwed to the end portions of the block pieces 64 in the left-right direction, Removably attached to the side in the direction.

各カバー７０は、また、複数の位置決めピン７６（図８参照）により、ブロック片６４に対し位置決められている。各位置決めピン７６は、ブロック片６４の左右方向における端部に、該端部から左右方向へ突出する状態に取り付けられており、また両カバー７０に差し通されている。 Each cover 70 is positioned with respect to the block piece 64 by a plurality of positioning pins 76 (see FIG. 8). Each positioning pin 76 is attached to an end portion of the block piece 64 in the left-right direction so as to protrude from the end portion in the left-right direction, and is passed through both covers 70.

各カバー７０の下半前端部は、ブロック片６４及びスリットバー６６より前方へ突出しており、これにより偏光板２４を受ける上向きの受け部７８（図３及び８参照）が各カバー７０の前端部に形成されている。 The lower half front end portion of each cover 70 protrudes forward from the block piece 64 and the slit bar 66, whereby an upward receiving portion 78 (see FIGS. 3 and 8) that receives the polarizing plate 24 is a front end portion of each cover 70. Is formed.

バー部材６８は、その端部を内側の各カバー７０に設けられた貫通穴（図示せず）に挿入されている。これにより、バー部材６８は、カバー７０と共に、ねじ部材７４及び位置決めピン７６により、ブロック片６４に取り付けられて、位置決めされている。 The end of the bar member 68 is inserted into a through hole (not shown) provided in each cover 70 inside. Thereby, the bar member 68 is attached to the block piece 64 and positioned by the screw member 74 and the positioning pin 76 together with the cover 70.

図１０に示すように、前側のスリットバー６６及び各プローブ６２は、それぞれ、後方に突出する凸部９０及び前方に開放された凹部９２を後端部及び前端部に備える。凸部９０及び凹部９２は、コ字状の断面形状を有すると共に、互いに嵌合されている。 As shown in FIG. 10, the front slit bar 66 and each probe 62 include a convex portion 90 projecting rearward and a concave portion 92 opened forward, respectively, at the rear end portion and the front end portion. The convex portion 90 and the concave portion 92 have a U-shaped cross-sectional shape and are fitted to each other.

また、凸部９０及び凹部９２は、それぞれ、下方（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に位置する下縁部及び上縁部９０ａ及び９２ａと、上方（Ｚ方向における他方の側）に位置する上縁部及び下縁部９０ｂ及び９２ｂとを有する。 Moreover, the convex part 90 and the recessed part 92 are respectively located in the lower edge part and the upper edge parts 90a and 92a which are located below (one side in the Z direction) and the upper part (the other side in the Z direction). It has upper and lower edges 90b and 92b.

凸部９０の下縁部９０ａと凹部９２の上縁部９２ｂとは下方に向いており、凸部９０の上縁部９０ｂと凹部９２の下縁部９２ａとは上方に向いている。凹部９２の上縁部９２ａは、後方側ほど低くされている。これにより、凹部９２の奥底部下側に付加的な凹部９２ｃが形成されている。 The lower edge portion 90a of the convex portion 90 and the upper edge portion 92b of the concave portion 92 face downward, and the upper edge portion 90b of the convex portion 90 and the lower edge portion 92a of the concave portion 92 face upward. The upper edge 92a of the recess 92 is lowered toward the rear side. As a result, an additional recess 92 c is formed below the bottom of the recess 92.

プローブ組立体５０は、また図９に示すように、左右方向に間隔をおいた複数の位置決めピン９４（図には、その１つを示す）を含む。各位置決めピン９４は、ブロック片６４に取り付けられており、またブロック片６４から上方へ延びている。 As shown in FIG. 9, the probe assembly 50 also includes a plurality of positioning pins 94 (one of which is shown in the figure) spaced in the left-right direction. Each positioning pin 94 is attached to the block piece 64 and extends upward from the block piece 64.

各位置決めピン９４は、さらに、結合ブロック５６に設けられた位置決め穴（図示せず）に嵌合されて、その位置決め穴と共に、プローブ組立体５０を結合ブロック５６に対して位置決めている。 Each positioning pin 94 is further fitted into a positioning hole (not shown) provided in the coupling block 56 to position the probe assembly 50 with respect to the coupling block 56 together with the positioning hole.

上記とは逆に、位置決めピン９４を結合ブロック５６に設け、位置決め穴をブロック片６４に設けてもよい。 On the contrary, the positioning pin 94 may be provided in the coupling block 56 and the positioning hole may be provided in the block piece 64.

各プローブ６２は、凸部９０及び凹部９２が相互に嵌合され、かつバー部材６８がプローブ６２を貫通し、さらに先端領域６２ｂ及び後端領域６２ｃがスリット７２に嵌合された状態に、スリットバー６６に配置される。 Each probe 62 has a slit 90 in a state in which the convex portion 90 and the concave portion 92 are fitted to each other, the bar member 68 passes through the probe 62, and the front end region 62 b and the rear end region 62 c are fitted to the slit 72. Located on the bar 66.

各プローブ６２は、また、そのようなスリットバー６６が、ねじ部材、接着剤等により、ブロック片６４に上記のように組み付けられると共に、カバー７０がブロック片６４に上記のように組み付けられることにより、ブロック片６４に組み付けられて、保持される。 Each probe 62 has such a slit bar 66 assembled to the block piece 64 as described above by a screw member, an adhesive, or the like, and the cover 70 is assembled to the block piece 64 as described above. The block piece 64 is assembled and held.

結合ブロック５６は、図９に示すように、プローブ組立体５０が配置された下向き段部９６を有する。下向き段部９６は、結合ブロック５６の下部の前端部を左右方向へ延びている。 As shown in FIG. 9, the coupling block 56 has a downward step 96 in which the probe assembly 50 is disposed. The downward step portion 96 extends in the left-right direction at the front end portion of the lower portion of the coupling block 56.

プローブ組立体５０は、結合ブロック５６の貫通穴９７（図得９参照）を上方から下方に貫通して、ブロック片６４に設けられた雌ねじ穴９８に螺合された頭付きのねじ部材１００により、位置決めピン９４が前記した位置決め穴に挿入された状態に、下向き段部９６に維持されている。 The probe assembly 50 passes through a through hole 97 (see FIG. 9) of the coupling block 56 downward from above and is screwed with a screw member 100 with a head that is screwed into a female screw hole 98 provided in the block piece 64. The positioning pin 94 is maintained in the downward stepped portion 96 in a state inserted in the positioning hole.

図においては、隣り合うプローブ６２が左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ６２の配列ピッチは小さい。プローブ６２の数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバー６６のスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体１２の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。 In the figure, the adjacent probes 62 are shown to be spaced apart in the left-right direction, but the arrangement pitch of the probes 62 is actually small. The number of probes 62, the thickness dimension and the arrangement pitch, and the number of slits of the slit bar 66, the arrangement pitch and the width dimension differ depending on the type of the inspected object 12, particularly the arrangement pitch and width dimension of the electrodes.

プローブ組立体５０は、両スリットバー６６を上記した状態にブロック片６４に取り付けた状態で、各プローブ６２の両端部をスリットバー６６のスリット７２に挿し込むと共に、凸部９０及び凹部９２を嵌合させ、バー部材６８をプローブ６２とカバー７０とに挿し通し、その後カバー７０をねじ部材７４及び位置決めピン７６でブロック片６４に取り付けることにより、組み立てることができる。 In the probe assembly 50, the both ends of each probe 62 are inserted into the slits 72 of the slit bar 66 with the both slit bars 66 attached to the block piece 64 in the above-described state, and the convex portions 90 and the concave portions 92 are fitted. The bar member 68 is inserted into the probe 62 and the cover 70, and then the cover 70 is attached to the block piece 64 with the screw member 74 and the positioning pin 76.

一方のカバー７０は、両スリットバー６６をブロック片６４に取り付けた後に、ブロック片６４に取り付けてもよい。 One cover 70 may be attached to the block piece 64 after the two slit bars 66 are attached to the block piece 64.

プローブ組立体５０の分解は、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。プローブ６２の交換は、上記と逆の作業を実行して、元のプローブを新たなプローブに変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。 The disassembly of the probe assembly 50 can be performed by performing the reverse operation. The replacement of the probe 62 can be performed by performing the reverse operation to the above, changing the original probe to a new probe, and then performing the same operation as described above.

結合ブロック５６へのプローブ組立体５０の組み付けは、位置決めピン９４（図９及び１０参照）を結合ブロック５６の前記した位置決め穴に差し込んだ状態で、ねじ部材１００を、結合ブロック５６の貫通穴９７に上方から下方に通して、ブロック片６４の前記した雌ねじ穴に螺合させることにより、行うことができる。 The assembly of the probe assembly 50 to the coupling block 56 is performed by inserting the screw member 100 into the through hole 97 of the coupling block 56 with the positioning pin 94 (see FIGS. 9 and 10) inserted into the positioning hole of the coupling block 56. It can be performed by passing through the above from below and screwing it into the female screw hole of the block piece 64.

結合ブロック５６からのプローブ組立体５０の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。 Removal of the probe assembly 50 from the coupling block 56 can be performed by performing the reverse operation.

この実施例においては、ブロック片６４とスリットバー６６とは、複数のプローブ６２を左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びるように並列的に配置したプローブホルダを構成している。 In this embodiment, the block piece 64 and the slit bar 66 constitute a probe holder in which a plurality of probes 62 are arranged in parallel so as to extend in the front-rear direction at intervals in the left-right direction.

図８及び９に示すように、支持ブロック５２は、板状の２つ支持部５２ａ及び５２ｂによりＬ字状の形状を有する。連結ブロック５４は、プローブベース１８に取り付けられる主体部５４ａと、主体部５４ａの上部から前方へ伸びる延長部５４ｂとにより、逆Ｌ字状の形状を有する。 As shown in FIGS. 8 and 9, the support block 52 has an L shape by two plate-like support portions 52 a and 52 b. The connection block 54 has an inverted L-shape by a main part 54a attached to the probe base 18 and an extension part 54b extending forward from the upper part of the main part 54a.

図示の例では、支持ブロック５２は結合ブロック５６と共に第１の支持体を形成しており、また連結ブロック５４は第２の支持体を形成しており、さらにプローブ組立体５０を結合ブロック５６に組み付ける組み付け具として作用する。 In the illustrated example, the support block 52 forms a first support with the coupling block 56, and the connection block 54 forms a second support, and the probe assembly 50 is connected to the coupling block 56. Acts as an assembly tool.

支持ブロック５２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる一対のガイドレール１０２と、両ガイドレール１０２の間を上下方向へ延びるガイド１０４とにより連結ブロック５４の主体部５４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト１０６により連結ブロック５４の延長部５４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。 The support block 52 has a pair of guide rails 102 extending in the vertical direction at intervals in the left-right direction, and a guide 104 extending in the vertical direction between the guide rails 102, and is provided on the front surface of the main portion 54 a of the connection block 54 in the vertical direction. It is connected to the extension part 54b of the connection block 54 by a bolt 106 so that the position in the vertical direction can be adjusted.

両ガイドレール１０２及びガイド１０４は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール１０２は、支持ブロック５２の支持部５２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド１０４は、両ガイドレール１０２がガイド１０４に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール１０４の間に配置されており、また連結ブロック５４の主体部５４ａの前端面に取り付けられている。 Both guide rails 102 and guides 104 are a linear rail and a linear guide, respectively. Both guide rails 102 are attached to the rear end surface of the support portion 52 a of the support block 52. On the other hand, the guide 104 is disposed between the guide rails 104 in the left-right direction so that the both guide rails 102 can move in the vertical direction with respect to the guide 104, and the main portion 54a of the connecting block 54 is provided. It is attached to the front end face.

ボルト１０６は、連結ブロック５４の延長部５４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック５２に形成されたねじ穴１０８に螺合されている。支持ブロック５２は、図６に示すように、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね１１０により下方に付勢されている。 The bolt 106 penetrates the extension portion 54 b of the connection block 54 from the upper side to the lower side, and is screwed into a screw hole 108 formed in the support block 52. As shown in FIG. 6, the support block 52 is urged downward by a pair of compression coil springs 110 arranged at intervals in the left-right direction.

各圧縮コイルばね１１０は、連結ブロック５４の延長部５４ｂの上に複数のねじ部材１１１（図７参照）により取り付けられた板状のばね押え１１２と、支持ブロック５２の支持部５２ａとの間に、連結ブロック５４の延長部５４ｂを上下方向に貫通する状態に、配置されている。これにより、ねじ穴１０８へのボルト１０６のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック５２ひいてはプローブ組立体５０の高さ位置を調整することができる。 Each compression coil spring 110 is disposed between a plate-shaped spring retainer 112 attached by a plurality of screw members 111 (see FIG. 7) on the extension portion 54 b of the connection block 54 and the support portion 52 a of the support block 52. The extending portion 54b of the connecting block 54 is arranged in a state of penetrating in the vertical direction. Thereby, the height position of the support block 52 and the probe assembly 50 can be adjusted by adjusting the screwing amount of the bolt 106 into the screw hole 108.

ばね押え１１２は、ドライバーやレンチのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト１０６の回転量を調整する貫通穴１１２ａを有する。これにより、ばね押え１１２を連結ブロック５４から取り外すことなく、支持ブロック５２ひいてはプローブ組立体５０の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。 The spring retainer 112 has a through hole 112a for adjusting the amount of rotation of the bolt 106 by inserting the tip of a tool such as a screwdriver or a wrench from above. As a result, the height position of the support block 52 and thus the probe assembly 50 can be adjusted without removing the spring retainer 112 from the connection block 54, so that the height position adjustment operation is facilitated.

連結ブロック５４は、図８及び９に示すように複数のボルト１１６によりプローブベース１８に取り外し可能に取り付けられている。各ボルト１１６は、連結ブロック５４の主体部５４ａを上方から下方に貫通しており、またプローブベース１８に形成されたねじ穴１１８に螺合されている。 The connecting block 54 is detachably attached to the probe base 18 by a plurality of bolts 116 as shown in FIGS. Each bolt 116 passes through the main body 54 a of the connection block 54 from the top to the bottom, and is screwed into a screw hole 118 formed in the probe base 18.

図６，７，８，９及び１１を参照するに、組み付け装置５８は、結合ブロック５６に形成された凹所１２０と、凹所１２０に嵌合された連結部材１２２と、連結部材１２２を支持ブロック５２の下側に組み付けて支持ブロック５２に支持させる複数のねじ部材１２４（図６及び７参照）と、連結部材１２２の貫通穴１２５を上方から下方に貫通して、結合ブロック５６のねじ穴１２８に螺合されたねじ部材１２６とを含む。 Referring to FIGS. 6, 7, 8, 9, and 11, the assembly device 58 supports the recess 120 formed in the coupling block 56, the connecting member 122 fitted in the recess 120, and the connecting member 122. A plurality of screw members 124 (see FIGS. 6 and 7) assembled to the lower side of the block 52 and supported by the support block 52, and through the through holes 125 of the connecting member 122 from the upper side to the lower side, And a screw member 126 screwed to 128.

凹所１２０及び連結部材１２２は円形の横断面形状を有している。各ねじ部材１２４は、図６及び９に示すように、支持ブロック５２の支持部５２ｂを上方から下方に貫通して、連結部材１２２の雌ねじ穴１２３（図６及び１１参照）に螺合されている。 The recess 120 and the connecting member 122 have a circular cross-sectional shape. As shown in FIGS. 6 and 9, each screw member 124 passes through the support portion 52 b of the support block 52 from the top to the bottom, and is screwed into the female screw hole 123 (see FIGS. 6 and 11) of the connecting member 122. Yes.

図示の例では、ねじ穴１２８は、図８及び９に示すように、結合ブロック５６の主体部５６ａに変位不能に組み付けられたナット５６ｂであるが、図１１に示すように主体部５６ａに直接形成してもよい。 In the illustrated example, the screw hole 128 is a nut 56b that is non-displaceably assembled to the main portion 56a of the coupling block 56 as shown in FIGS. 8 and 9, but directly to the main portion 56a as shown in FIG. It may be formed.

組み付け装置５８は、連結部材１２２が前記したねじ部材により支持ブロック５２に取り付けられ、ねじ部材１２６が、連結部材１２２の貫通穴１２５を上から下方に貫通して、雌ねじ穴１２８に螺合されることにより、結合ブロック５６を支持ブロック５２の支持部５２ｂの下側に組み付けている。 In the assembling apparatus 58, the connecting member 122 is attached to the support block 52 by the screw member described above, and the screw member 126 passes through the through hole 125 of the connecting member 122 from below to be screwed into the female screw hole 128. Thus, the coupling block 56 is assembled to the lower side of the support portion 52 b of the support block 52.

組み付け装置５８は、また、凹所１２０と連結部材１２２が嵌合されていることにより、結合ブロック５６を支持ブロック５２に対し、左右方向及び前後方向により形成されるＸＹ面内における所定の位置に維持している。 The assembling device 58 also has the recess 120 and the connecting member 122 fitted to each other so that the coupling block 56 is positioned at a predetermined position in the XY plane formed in the left-right direction and the front-rear direction with respect to the support block 52. Is maintained.

図示の例では、組み付け装置５８は、さらに、結合ブロック５６に形成され、ＸＹ面内を延びて、凹所１２０に連通された凹所１３０と、連結部材１２２からＸＹ面内を延び、かつ凹所１３０に受け入られたピン部材１３２と、支持ブロック５２の支持部５２ｂの下面に形成され、かつ連結部材１２２の側に開放する一対の凹所１３４と、連結部材１２２上方に延びて、凹所１３４に受け入られた一対のピン部材１３６とを備える。 In the illustrated example, the assembling device 58 is further formed in the coupling block 56, extends in the XY plane, extends in the XY plane from the recess 130 that communicates with the recess 120, and extends in the XY plane. A pin member 132 received at the location 130, a pair of recesses 134 formed on the lower surface of the support portion 52b of the support block 52 and opened to the connection member 122 side, and extending upward above the connection member 122 to form a recess. And a pair of pin members 136 received at the place 134.

凹所１３０及びピン部材１３２は、ＸＹ面内においてねじ部材１２６より前方の位置を一方向（図示の例では、Ｘ方向）に延びている。これに対し、両凹所１３４及び両ピン部材１３６のそれぞれは、凹所１３０及びピン部材１３２が延びる方向と交差する方向、好ましくは直行する方向（図示の例では、Ｙ方向）に離間されている。 The recess 130 and the pin member 132 extend in one direction (X direction in the illustrated example) in front of the screw member 126 in the XY plane. On the other hand, both the recesses 134 and the both pin members 136 are separated from each other in a direction intersecting with the extending direction of the recesses 130 and the pin members 132, preferably in a direction orthogonal (Y direction in the illustrated example). Yes.

組み付け装置５８は、上記凹所１３０，１３４及びピン部材１３２，１３６により、結合ブロック５６を支持ブロック５２に対し、左右方向及び前後方向における所定の位置に維持していると共に、上下方向に延びるθ軸線の周りにおける所定の角度位置に維持している。 The assembling device 58 maintains the coupling block 56 at a predetermined position in the left-right direction and the front-rear direction with respect to the support block 52 by the recesses 130, 134 and the pin members 132, 136, and extends in the up-down direction. A predetermined angular position around the axis is maintained.

凹所１２０を支持ブロック５２に設け、連結部材１２２を結合ブロック５６にねじ止めしてもよい。また、凹所１３０，１３４と、ピン部材１３２，１３６とを上記と逆の部材に設けてもよい。 The recess 120 may be provided in the support block 52, and the connecting member 122 may be screwed to the coupling block 56. Moreover, you may provide the recesses 130 and 134 and the pin members 132 and 136 in the reverse member.

支持ブロック５２への結合ブロック５６の組み付けは、ピン部材１３６を対応する凹所１３４に位置させた状態で、連結部材１２２をねじ部材１２４により支持ブロック５２の下側に取り付け、次いで連結部材１２２を凹所１２０に勘合させると共に、ピン部材１３２を対応する凹所１３０に位置させた状態で、ねじ持部材１２６を結合ブロック５６の雌ねじ穴１２８に螺合することにより、行うことができる。 Assembling of the coupling block 56 to the support block 52 is performed by attaching the connecting member 122 to the lower side of the support block 52 with the screw member 124 with the pin member 136 positioned in the corresponding recess 134, and then connecting the connecting member 122. This can be performed by fitting the screw holding member 126 into the female screw hole 128 of the coupling block 56 in a state where the pin member 132 is positioned in the corresponding recess 130 while being fitted into the recess 120.

支持ブロック５２からの結合ブロック５６の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。 Removal of the connecting block 56 from the support block 52 can be performed by performing the reverse operation.

図６から図９を参照するに、接続ブロック６０は、支持ブロック５２の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック５６の後端部と支持ブロック５２との間に位置されている。接続ブロック６０は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材１４０（図８及び９参照）と、前後方向に間隔をおいた複数の位置決めピン１４２（図８及び９参照）とにより支持ブロック５２の下側に分離可能に取り付けられている。 6 to 9, the connection block 60 extends in the left-right direction below the support block 52, and is positioned between the rear end portion of the coupling block 56 and the support block 52. The connection block 60 includes a plurality of screw members 140 (see FIGS. 8 and 9) spaced in the left-right direction and a plurality of positioning pins 142 (see FIGS. 8 and 9) spaced in the front-rear direction. It is separably attached to the underside.

各ねじ部材１４０は、接続ブロック６０を下方から上方へ貫通して、支持ブロック５２に螺合されている。各位置決めピン１４２は、接続ブロック６０及び支持ブロック５２のいずれか一方に上下方向へ延びる状態に固定されて、接続ブロック６０及び支持ブロック５２の他方に設けられた位置決め穴に勘合されている。 Each screw member 140 passes through the connection block 60 from below to above and is screwed to the support block 52. Each positioning pin 142 is fixed to one of the connection block 60 and the support block 52 so as to extend in the vertical direction, and is fitted into a positioning hole provided in the other of the connection block 60 and the support block 52.

上記のプローブ装置２０において、支持ブロック５２と結合ブロック５６と接続ブロック６０とは第１の支持装置として作用し、連結ブロック５４は第２の支持装置として作用する。 In the probe device 20 described above, the support block 52, the coupling block 56, and the connection block 60 function as a first support device, and the connection block 54 functions as a second support device.

図２及び３を参照するに、各ステー２２は、Ｌ字状の形状を有しており、また対応するプローブベース１８に、これと対向する他のプローブベース１８に向けて延びる状態に配置されている。各ステー２２は、また、偏光板２４を受ける上向きの受け部１４４を有する。 Referring to FIGS. 2 and 3, each stay 22 has an L-shape, and is disposed on the corresponding probe base 18 so as to extend toward the other probe base 18 opposite thereto. ing. Each stay 22 also has an upward receiving portion 144 that receives the polarizing plate 24.

カバー７０の受け部７８及びステー２２の受け部１４４は、いずれも、図示の例では上向きの段部である。しかし、受け部７８及び１４４の少なくとも一方は、図１２にその一例を示すように、前方に開放するコ字状の凹所や溝のような他の形状を有する受け部１４６であってもよい。 Each of the receiving portion 78 of the cover 70 and the receiving portion 144 of the stay 22 is an upward stepped portion in the illustrated example. However, at least one of the receiving portions 78 and 144 may be a receiving portion 146 having another shape such as a U-shaped recess or groove that opens forward as shown in FIG. .

図２を参照するに、試験装置１０は、また、プローブ装置２０が配置された各プローブベース１８の上に配置された板状の中継ベース１５０と、中継ベース１５０に載置された中継基板１５２とを含む。 Referring to FIG. 2, the test apparatus 10 also includes a plate-like relay base 150 disposed on each probe base 18 on which the probe apparatus 20 is disposed, and a relay substrate 152 placed on the relay base 150. Including.

中継ベース１５０は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース１８の上に取り付けられている。中継基板１５２は、それぞれがプローブ装置２０のプローブ６２に対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。 The relay base 150 is mounted on the probe base 18 with a plurality of screw members (not shown) in a state where the thickness direction is the vertical direction. The relay board 152 is a wiring board having a plurality of wirings (not shown) each corresponding to the probe 62 of the probe device 20.

中継基板１５２の配線は、プローブ装置２０毎に備えられた電気的配線具２６により、対応するプローブ６２に電気的に接続されている。 The wiring of the relay substrate 152 is electrically connected to the corresponding probe 62 by the electrical wiring tool 26 provided for each probe device 20.

図２，３，８及び９に示すように、各電気的配線具２６は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域１６０と、第１の配線領域１６０から後方へ延びるシート状の第２の配線領域１６２とに分けられている。 As shown in FIGS. 2, 3, 8, and 9, each electrical wiring tool 26 includes a plurality of wirings extending in the front-rear direction, and a sheet-like first wiring region extending rearward from the probe device 20. 160 and a sheet-like second wiring region 162 extending rearward from the first wiring region 160.

第１及び第２の配線領域１６０及び１６２は、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線１６４（図１０参照）及び複数の第２の配線（図示せず）を有する。 The first and second wiring regions 160 and 162 respectively include a plurality of first wirings 164 (see FIG. 10) and a plurality of second wirings (not shown) extending in the front-rear direction at intervals in the left-right direction. Have

第１の配線領域１６０は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第２の配線領域１６２は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。 The first wiring area 160 is a flexible printed wiring circuit (FPC), a tab (TAB), or a composite circuit sheet combining them, and the second wiring area 162 is a flexible printed wiring circuit (FPC). It is said that.

第１の配線領域１６０は、図９に示すように、固定板１６６により結合ブロック５６の下側に位置されており、また被検査体１２を駆動する集積回路１６８を中間領域に配置しており、さらに第１の支持装置の一部として作用する結合ブロック５６の下側を後方に延びている。 As shown in FIG. 9, the first wiring region 160 is positioned below the coupling block 56 by a fixing plate 166, and an integrated circuit 168 for driving the device under test 12 is disposed in the intermediate region. In addition, the lower side of the coupling block 56 acting as part of the first support device extends rearward.

図１０に示すように、第１の配線領域１６０の前端部は、第１の配線１６６の先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック５６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各プローブ６２の後端針先６２ｅは、第１の配線１６０の先端部に押圧されて電気的に接続される。 As shown in FIG. 10, the front end portion of the first wiring region 160 is maintained on the lower surface of the coupling block 56 so that the front end portion of the first wiring 166 is exposed downward. Thereby, in a state where the probe device 20 is assembled, the rear end needle tip 62e of each probe 62 is pressed against and electrically connected to the front end portion of the first wiring 160.

図８，９及び１０に示すように、第１の配線領域１６０の後端部は、結合ブロック５６の後端部において上方に折り返されて、第１の配線１６４の後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック５６の上面に維持されている。 As shown in FIGS. 8, 9 and 10, the rear end portion of the first wiring region 160 is folded upward at the rear end portion of the coupling block 56, and the rear end portion of the first wiring 164 is exposed upward. In this state, the upper surface of the coupling block 56 is maintained.

図８及び９に示すように、第２の配線領域１６２の先端部は、第１の配線領域１６０の折り返し部の上方に位置する状態に、及び第２の配線の先端部が下方となる状態に、接続ブロック６０の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線１６４の後端部と第２の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。 As shown in FIGS. 8 and 9, the tip of the second wiring region 162 is positioned above the folded portion of the first wiring region 160, and the tip of the second wiring is below. Further, the lower surface of the connection block 60 is maintained. Thereby, in a state where the probe device 20 is assembled, the rear end portion of the first wiring 164 and the front end portion of the second wiring are pressed and electrically connected to each other.

図１及び図２に示すように、第２の配線領域１６２は、対応するプローブベース１８の配線通し穴１８ａに下方から上方に通されて、そのプローブベース１８の上側に導かれ、またその後端に設けられたコネクタ１７０により、中継基板１５２に結合されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the second wiring region 162 is passed through the wiring through hole 18 a of the corresponding probe base 18 from below to be guided to the upper side of the probe base 18, and the rear end thereof. It is coupled to the relay substrate 152 by a connector 170 provided on the relay board 152.

コネクタ１７０は、電気的配線具２６の配線を介して、対応するプローブ装置２０のプローブ６２に接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板１５２の前記した配線に接続される。 The connector 170 includes a plurality of terminals connected to the probe 62 of the corresponding probe device 20 via the wiring of the electrical wiring tool 26. Those terminals are connected to the above-described wiring of the relay substrate 152.

中継基板１５２の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的配線具２６を介してプローブ６２に供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。 The wiring of the relay board 152 is connected to an electric circuit (not shown) that generates a test signal. The test signal is supplied from such an electric circuit to the probe 62 via the electric wiring tool 26 to drive (light up) the device under test 12.

図８及び９に示すように、エラストマ１７２は、接続ブロック６０の下側にあって、第１及び第２の配線領域１６０及び１６２の第１及び第２の配線の接触部に対応する箇所に配置されている。このため、エラストマ１７２、第１及び第２の配線領域１６０及び１６２は、結合ブロック５６及び接続ブロック６０が支持ブロック５２に組み付けられた状態において、圧縮変形される。これにより、第１及び第２の配線領域１６０及び１６２の第１及び第２の配線は、強く押圧されて、確実に接触する。 As shown in FIGS. 8 and 9, the elastomer 172 is located on the lower side of the connection block 60 at a position corresponding to the contact portion of the first and second wiring regions 160 and 162. Is arranged. For this reason, the elastomer 172 and the first and second wiring regions 160 and 162 are compressed and deformed in a state where the coupling block 56 and the connection block 60 are assembled to the support block 52. As a result, the first and second wirings in the first and second wiring regions 160 and 162 are strongly pressed and come into reliable contact.

プローブ組立体５０及び電気的配線具２６の交換は、結合ブロック５６を支持ブロック５２から分離した状態で行うことができる。また、プローブ６２の交換は、結合ブロック５６を支持ブロック５２から分離し、プローブ組立体５０を結合ブロック５６から分離した状態で行うことができる。さらに、電気的配線具２６の交換は、結合ブロック５６を支持ブロック５２から分離し、接続ブロック６０を支持ブロック５２から分離した状態で行うことができる。 The probe assembly 50 and the electrical wiring tool 26 can be replaced with the coupling block 56 separated from the support block 52. Further, the replacement of the probe 62 can be performed in a state where the coupling block 56 is separated from the support block 52 and the probe assembly 50 is separated from the coupling block 56. Furthermore, the electrical wiring tool 26 can be replaced in a state where the coupling block 56 is separated from the support block 52 and the connection block 60 is separated from the support block 52.

試験時、被検査体１２は、偏光板３８，２４の間に位置され、その状態で試験信号を受けて点灯される。 During the test, the device under test 12 is positioned between the polarizing plates 38 and 24, and is lit in response to the test signal.

試験装置１０は、上下に偏光板３８及び２４を配置しているから、特に、偏光板を備えない被検査体１２の目視点灯検査装置として好適である。この場合、試験装置１０は、被検査体１２を水平の状態で試験するように構成されていてもよいし、傾斜した状態で試験するように構成されていてもよい。 Since the test apparatus 10 has the polarizing plates 38 and 24 arranged on the upper and lower sides, it is particularly suitable as a visual lighting inspection apparatus for the inspected object 12 that does not include a polarizing plate. In this case, the test apparatus 10 may be configured to test the device under test 12 in a horizontal state, or may be configured to test in an inclined state.

後者の場合、試験装置１０は、図１及び図２における左方側及び右方側のいずれか一方（好ましくは、左方側）が上方となり、他方（好ましくは、右方側）が下方となる傾斜状態で被検査体１２を試験するように構成される。 In the latter case, the test apparatus 10 has either one of the left side and the right side (preferably the left side) in FIGS. 1 and 2 as the upper side, and the other (preferably the right side) as the lower side. The test object 12 is configured to be tested in an inclined state.

しかし、試験装置１０は、偏光板を備える被検査体１２の目視点灯検査装置としても用いることができる。この場合、偏光板を備えない被検査体１２の目視点灯検査の場合と同様に、被検査体１２は、偏光板３８，２４の間に位置されて、点灯される。しかし、この場合には、偏光板３８及び２４は、それぞれ、バックライトユニット３６からの光及び被検査体１２からの光を通過させる状態に維持されるか、ハウジング３２から取り外される。 However, the test apparatus 10 can also be used as a visual lighting inspection apparatus for the inspection object 12 including a polarizing plate. In this case, as in the case of the visual lighting inspection of the inspection object 12 that does not include the polarizing plate, the inspection object 12 is positioned between the polarizing plates 38 and 24 and is lit. However, in this case, the polarizing plates 38 and 24 are maintained in a state in which the light from the backlight unit 36 and the light from the device under test 12 are allowed to pass through or are removed from the housing 32, respectively.

試験装置１０は、ビデオカメラの出力信号を画像処理するいわゆる自動点灯検査にも適用することができる。自動点灯検査の場合も、被検査体１２は、一般に、水平の状態で試験される。しかし、被検査体１２を傾斜した状態で試験するようにしてもよい。 The test apparatus 10 can also be applied to a so-called automatic lighting inspection in which an output signal of a video camera is processed. Also in the case of the automatic lighting inspection, the inspection object 12 is generally tested in a horizontal state. However, the test object 12 may be tested in an inclined state.

自動点灯検査においては、一般に、偏光板をビデオカメラの側に配置しているから、上記実施例における上側の偏光板２４を設けなくてもよい。 In the automatic lighting inspection, since the polarizing plate is generally arranged on the video camera side, the upper polarizing plate 24 in the above embodiment may not be provided.

被検査体１２の交換時、ワークテーブル３２とプローブ装置２０とは、上下方向に大きく離間される。離間は、上記実施例においては、ワークテーブル３２をテーブル移動機構３０によりプローブ装置２０に対し変位させることにより行われる。しかし、プローブ装置２０を図示しない昇降機構のような適宜な機構によりワークテーブル３２に対し変位させることにより、ワークテーブル３２とプローブ装置２０とを離間させてもよい。 When the test object 12 is replaced, the work table 32 and the probe device 20 are greatly separated in the vertical direction. In the above embodiment, the separation is performed by displacing the work table 32 with respect to the probe device 20 by the table moving mechanism 30. However, the work table 32 and the probe device 20 may be separated by displacing the probe device 20 with respect to the work table 32 by an appropriate mechanism such as a lifting mechanism (not shown).

験装置１０及びワークテーブル３２は、矩形の対向する一対の辺に対応する偏光板３８の箇所のそれぞれの縁部をハウジング３４の溝４４に受け入れている。このため、被検査体１２の交換時に、上記した負圧が偏光板３８に作用する。 The test apparatus 10 and the work table 32 receive the respective edge portions of the polarizing plate 38 corresponding to a pair of opposite sides of the rectangle in the grooves 44 of the housing 34. For this reason, the negative pressure described above acts on the polarizing plate 38 when the inspection object 12 is replaced.

しかし、そのような負圧が拡散板２４に作用しても、上記したように偏光板３８がハウジング３４から外れないから、偏光板３８はハウジング３４ひいては被検査体１２に対し変位することを溝４４により防止される。 However, even if such negative pressure acts on the diffusion plate 24, the polarizing plate 38 does not come off the housing 34 as described above. 44.

偏光板２４を受ける受け部７０及び１４４をそれぞれプローブ装置２０及びステー２２に設ける代わりに、図１３に示すように、ステー２２を各プローブベース１８に設け、それらのステー２２に受け部１４４を設け、それらの受け部１４４に偏光板２４を支持させてもよい。 Instead of providing the receiving portions 70 and 144 for receiving the polarizing plate 24 on the probe device 20 and the stay 22, as shown in FIG. The polarizing plate 24 may be supported by the receiving portions 144.

ブレードタイプのプローブに代えて、金属細線により製作したニードルタイプのプローブ、各配線の一部をプローブとして用いるプローブ要素等、他のプローブを用いてもよい。 Instead of the blade-type probe, other probes such as a needle-type probe made of a fine metal wire, a probe element using a part of each wiring as a probe, or the like may be used.

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit described in the claims.

Claims

上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を前記内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジングと、前記被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニットと、前記バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板とを含み、
前記ハウジングは、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに、前記内部空間の側に開口しかつ対応する辺の長手方向に延在する溝を有し、
前記偏光板は、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を前記溝に受け入れられている、表示用パネル基板のためのワークテーブル。 A box-shaped housing provided with an internal space that opens upward, and a receiving portion that receives the object to be inspected around a rectangular open portion of the internal space, and so as to generate light that irradiates the object to be inspected. A backlight unit positioned below the receiving portion, and a polarizing plate disposed in a light path from the backlight unit toward the object to be inspected,
The housing has a groove that opens on the side of the internal space and extends in the longitudinal direction of the corresponding side at each of the locations corresponding to the pair of opposing sides of the rectangle,
The polarizing plate is a work table for a display panel substrate, wherein each edge of a portion corresponding to a pair of opposing sides of the rectangle is received in the groove.

さらに、前記偏光板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記偏光板に入射する光を拡散させる光拡散板を含む、請求項１に記載のワークテーブル。 The work table according to claim 1, further comprising a light diffusing plate that is disposed between the polarizing plate and the backlight unit and diffuses light incident on the polarizing plate.

さらに、前記光拡散板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記バックライトユニットからの光を前記光拡散板に入射させる導光板を含む、請求項２に記載のワークテーブル。 The work table according to claim 2, further comprising a light guide plate disposed between the light diffusing plate and the backlight unit and allowing light from the backlight unit to enter the light diffusing plate.

請求項１から３のいずれか一項に記載のワークテーブルと、該ワークテーブルに受けられた被検査体の電極に対向される先端針先をそれぞれ有する複数のプローブを備えるプローブ装置とを含む、表示用パネル基板のための試験装置。 A work table according to any one of claims 1 to 3, and a probe device including a plurality of probes each having a tip needle tip that is opposed to an electrode of an object to be inspected received by the work table. Test equipment for display panel substrates.

さらに、前記ワークテーブルに対向して前記被検査体からの光の通路に配置された第２の偏光板と、該第２の偏光板と前記ワークテーブルとを相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる移動機構とを含む、請求項４に記載の試験装置。 Furthermore, the second polarizing plate disposed in the light path from the object to be inspected facing the work table, and the second polarizing plate and the work table are relatively moved away from each other. The test apparatus according to claim 4, further comprising a moving mechanism that moves the test apparatus.

さらに、前記矩形の対向する少なくとも一対の各辺に対応して配置された板状のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、前記プローブ装置を支持するプローブベースに対向する他のプローブベースに、前記プローブ装置に向けて延びる状態に、配置されたステーとを含み、
前記第２の偏光板は、前記プローブ装置と前記ステーとに支持されている、請求項５に記載の試験装置。 Further, a plate-like probe base disposed corresponding to each of at least a pair of opposing sides of the rectangle, the probe base supporting the probe device on at least one probe base, and supporting the probe device A stay arranged in a state of extending toward the probe device on another probe base facing the probe base;
The test apparatus according to claim 5, wherein the second polarizing plate is supported by the probe apparatus and the stay.

前記プローブ装置は、さらに、前記プローブが左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる状態に配置されたプローブホルダと、該プローブホルダの左右方向の端面のそれぞれに配置されたカバーとを備え、
前記カバー及び前記ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有する、請求項６に記載の試験装置。 The probe device further includes a probe holder disposed in a state where the probe extends in the front-rear direction with a space in the left-right direction, and a cover disposed on each of the end surfaces in the left-right direction of the probe holder,
The test apparatus according to claim 6, wherein the cover and the stay have a receiving portion that receives the second polarizing plate.

さらに、前記矩形の辺に対応されて配置された板状の複数のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、対向する少なくとも一対のプローブベースに配置されて、対向する他のプローブベースに向けて延びるステーとを含み、
各ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有する、請求項５に記載の試験装置。 Further, a plurality of plate-like probe bases arranged corresponding to the rectangular sides, the probe base supporting the probe device on at least one probe base, and at least a pair of probe bases facing each other. And a stay extending toward another opposing probe base,
The test apparatus according to claim 5, wherein each stay has a receiving portion that receives the second polarizing plate.

前記第２の偏光板を受ける受け部は、上向きの段部又は前記内部空間に開放する凹所を含む、請求項７及び８のいずれか１項に記載の試験装置。 The test apparatus according to claim 7, wherein the receiving portion that receives the second polarizing plate includes an upward stepped portion or a recess that opens to the internal space.