JP5306575B2 - 電子デバイス用試験装置及び電子デバイスの試験方法 - Google Patents
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図1参照
上記課題を解決するために、本発明は、テスター1の異常電位の検出を被測定対象電子デバイス3の特性測定と並行してモニターする機能を有する異常電位モニター回路を備えた電子デバイス用試験装置であって、前記異常電位モニター回路は、前記テスターの電源オン/オフの異常感知レベルと、前記特性試験時の絶対異常感知レベルとの両方をモニターできる機能を備え、前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、異常電位の検出ポイントと、試験用プログラム、及び、前記試験用プログラムの実行に伴うパターンカウントにリンクできる機能を有することを特徴とする。
例えば、プログラム上で時間を任意設定して、アラーム対象から外したり、或いは、システム上で時間や規格を超えたところ又はプログラムが次のstepに入ったところ等からは判定しない自動判断機能を設けることにより行う。
図2参照
本発明のIC試験装置は、テスター本体部を構成するテスターCPU11、テスターの異常電位をモニターする異常電位モニター回路20、異常電位モニター回路20に被測定対象電子デバイス(DUT)からの電圧変動を伝達するモニター端子12、テスターCPU11と異常電位モニター回路20とを接続するテスターバス13から構成される。
例えば、経験的に異常が発生し易いDUTの複数箇所のパッドに接続する試験ボードの測定ピンにモニター端子12から引き出されたモニター線路を接続する。
この2つのコンパレータ25,26の切り換えは、リレー等の切り換えスイッチ28を用いて電源オン/オフのタイミングで自動的に切り替えられる。
なお、遷移(Tr/Tf)時間は外部容量に依存するので、デッドバンドはこの外部容量の状態に応じて任意に設定する。
測定プログラムより異常検出レベルが設定され、プログラムの実行と同時に異常電位モニター回路20のコントローラ27を介して4つのコンパレータ23〜26に夫々上述の異常検出レベルが設定される。
このように、テスターCPU11と異常電位モニター回路20内の状態が相互に逐次情報が入り規格内にあるか否かの判定は異常電位モニター回路20内で実行される。
この時、モニターをスタートさせた時からプラグラムカウント数を保持するともに、”LaP Time Data 0”をスタートした時間とする。
図3参照
図3は、電源オンから電源オフの状態の異常電位の判定機能の説明図であり、まず、電源オンと同時に切り換えスイッチ28をコンパレータ25側に接続して、異常電位をモニターする。
なお、この時、絶対最大規格電圧VHIGH(最大定格+α)及び絶対最小規格電圧VLOW (最大定格−α)の検出機能は有効にしておく。
図4は、電源オフから電源オンの状態の異常電位の判定機能の説明図であり、まず、電源オフと同時に切り換えスイッチ28をコンパレータ26側に接続して、異常電位をモニターする。
なお、この時も、絶対最大規格電圧VHIGH(最大定格+α)及び絶対最小規格電圧VLOW (最大定格−α)の検出機能は有効にしておく。
次いで、異常電位モニター回路20を有効状態にしたのち、DC測定を開始するが、まず、DC測定の試験条件を設定し、測定を実行しながら、それと平行して異常電位のモニターを行う。
この時、DUTに印加する各種の発生パターン毎にPG(パターンジェネレータ)のスタートとストップを繰り返し、その都度、プログラムカウント数及びパターンカウント数を保持する。
図5は、アラーム情報の表示例であり、異常電圧が発生した箇所に集中して確認する事が可能となる。
例えば、電源がオン状態のラップタイムが3.000秒及び3.200秒の時点で、プログラムカウント数が#1A及び#FAの時に設定した電圧レベルVON-LOWを下回る異常電圧が検知されたことを示しており、この異常電圧の発生とプログラムカウント数が#1A及び#FA時の実行プログラムの内容を突き合わせることによって、異常電位の発生原因を究明することが可能になる。
再び、図1参照
(付記1) テスター1の異常電位の検出を被測定対象電子デバイス3の特性測定と並行してモニターする機能を有する異常電位モニター回路を備えた電子デバイス用試験装置であって、前記異常電位モニター回路は、前記テスターの電源オン/オフの異常感知レベルと、前記特性試験時の絶対異常感知レベルとの両方をモニターできる機能を備え、前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、異常電位の検出ポイントと、試験用プログラム、及び、前記試験用プログラムの実行に伴うパターンカウントにリンクできる機能を有することを特徴とする電子デバイス用試験装置。
(付記2) 前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、電源オン/オフ時の切り替えタイミングにより異常電位の判定レベルの切り替え機能を有することを特徴とする付記1に記載の電子デバイス用試験装置。
(付記3) 前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、少なくとも4つの比較器を有し、2つの比較器によって電源オン時ロー側感知レベルと電源オフ時ハイ側感知レベルを設定するとともに、他の2つの比較器によって絶対ハイ側感知レベルと絶対ロー側感知レベルを設定することを特徴とする付記2に記載の電子デバイス用試験装置。
(付記4) 前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、試験中に必然的に発生する異常電位の検出ポイントを無視し、本来の検出対象となる異常電位のみを抽出できる機能を有することを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1に記載の電子デバイス用試験装置。
(付記5) 前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、前記テスター1内に内蔵されていることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか1に記載の電子デバイス用試験装置。
(付記6) 前記テスター1の異常電位をモニターする機能が、前記テスター1外に外付けされていることを特徴とする付記1乃至付記4のいずれか1に記載の電子デバイス用試験装置。
(付記7) 前記テスター1の異常電位をモニターするためのモニター線路4を、試験治具2に設けたピンに接続してモニターすることを特徴とする付記1乃至付記6のいずれか1に記載の電子デバイス用試験装置。
(付記8) 付記1乃至付記7のいずれか1に記載の電子デバイス用試験装置を用いて、テスター1の異常電位の検出を被測定対象電子デバイス3の特性測定と並行してモニターすることを特徴とする電子デバイスの試験方法。
2 試験治具
3 被測定対象電子デバイス
4 モニター線路
11 テスターCPU
12 モニター端子
13 テスターバス
20 異常電位モニター回路
21 テスターバスインターフェイス
22 内部バス
23〜26 コンパレータ
27 コントローラ
28 切り換えスイッチ
Claims (4)
- テスターの異常電位の検出を被測定対象電子デバイスの特性測定と並行してモニターする機能を有する異常電位モニター回路を備えた電子デバイス用試験装置であって、前記異常電位モニター回路は、前記テスターの電源オン/オフの異常感知レベルと、前記特性試験時の絶対異常感知レベルとの両方をモニターできる機能を備え、
前記テスターの異常電位をモニターする機能が、異常電位の検出ポイントと、試験用プログラム、及び、前記試験用プログラムの実行に伴うパターンカウントにリンクできる機能を有することを特徴とする電子デバイス用試験装置。 - 前記テスターの異常電位をモニターする機能が、電源オン/オフ時の切り替えタイミングにより異常電位の判定レベルの切り替え機能を有することを特徴とする請求項1に記載の電子デバイス用試験装置。
- 前記テスターの異常電位をモニターする機能が、試験中に必然的に発生する異常電位の検出ポイントを無視し、本来の検出対象となる異常電位のみを抽出できる機能を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子デバイス用試験装置。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の電子デバイス用試験装置を用いて、テスターの異常電位の検出を被測定対象電子デバイスの特性測定と並行してモニターすることを特徴とする電子デバイスの試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006049573A JP5306575B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 電子デバイス用試験装置及び電子デバイスの試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006049573A JP5306575B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 電子デバイス用試験装置及び電子デバイスの試験方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007225537A JP2007225537A (ja) | 2007-09-06 |
JP5306575B2 true JP5306575B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=38547483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006049573A Expired - Fee Related JP5306575B2 (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 電子デバイス用試験装置及び電子デバイスの試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5306575B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009264782A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Yokogawa Electric Corp | テストプログラム検査装置およびテストプログラム検査方法 |
JP6237482B2 (ja) | 2014-06-11 | 2017-11-29 | 三菱電機株式会社 | 測定装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0772224A (ja) * | 1993-09-03 | 1995-03-17 | Nec Yamaguchi Ltd | 半導体集積回路の検査装置 |
JP3461598B2 (ja) * | 1994-09-06 | 2003-10-27 | 株式会社アドバンテスト | 半導体試験装置の異常印加電圧検出回路 |
JPH08211125A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 入力保護装置 |
JPH0965645A (ja) * | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Advantest Corp | 電源保護回路 |
JPH09311880A (ja) * | 1996-05-22 | 1997-12-02 | Hitachi Ltd | 伝送線路ノイズ解析結果判定方法及び装置 |
JPH1068748A (ja) * | 1996-08-28 | 1998-03-10 | Ando Electric Co Ltd | Icテスタ用電源異常検出回路 |
JP2000046900A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Ando Electric Co Ltd | Ic試験装置 |
JP3610803B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2005-01-19 | カシオ計算機株式会社 | 回路検査装置及び回路検査方法 |
JP2002107414A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Advantest Corp | 半導体試験装置 |
JP2003167028A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Ando Electric Co Ltd | 電源装置及び半導体集積回路試験装置 |
JP2003167026A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Ando Electric Co Ltd | 試料用電源中継回路及び半導体試験装置 |
JP2003177827A (ja) * | 2001-12-12 | 2003-06-27 | Ando Electric Co Ltd | 異常信号禁止回路及び電源装置 |
JP2003333841A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-11-21 | Sharp Corp | スイッチング電源装置 |
JP4211326B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2009-01-21 | ヤマハ株式会社 | 半導体検査方法及び装置 |
JP2005249394A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の検査方法、半導体検査システムおよび半導体装置 |
JP2006014465A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Sharp Corp | スイッチング電源装置 |
-
2006
- 2006-02-27 JP JP2006049573A patent/JP5306575B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007225537A (ja) | 2007-09-06 |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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