JP5305948B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
上記基板受渡し装置は、
上下方向に駆動可能に設けられた第1の可動体及び第2の可動体と、
上記第1の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第1のアーム体と、
上記第2の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上記第1のアーム体と干渉することなく上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第2のアーム体と、
上記第1、第2の可動体の上下駆動及び上記第1、第2のアーム体の回動駆動を制御する制御手段を有してなり、
上記第1の高さ位置で水平状態にある一方のアーム体に上記基板を供給する搬送ロボットと、
上記第2の高さ位置に位置づけられる上記他方のアーム体に保持された基板を受けて上記処理部に搬送する基板搬送手段と、
を有し、
上記制御手段は、上記搬送ロボットから供給された基板を保持した上記一方のアーム体を上記第1の高さ位置から上記第2の高さ位置に下降駆動すると同時に、上記基板搬送手段に基板を受け渡した上記他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて上記第2の高さ位置から上記第1の高さ位置へ上昇駆動することを特徴とする基板処理装置にある。
上記基板受渡し装置は、
上下方向に駆動可能に設けられた第1の可動体及び第2の可動体と、
上記第1の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第1のアーム体と、
上記第2の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上記第1のアーム体と干渉することなく上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第2のアーム体と、
上記第1、第2の可動体の上下駆動及び上記第1、第2のアーム体の回動駆動を制御する制御手段を有してなり、
上記処理部で処理された基板を上記第2の高さ位置とほぼ同じ高さで受けて搬送しその基板が上記第1のアーム体と上記第2のアーム体とのどちらか一方の水平状態に回動したアーム体によって上記第2の高さ位置から第1の高さ位置に上昇させることができる位置に位置決めする基板搬送手段と、
この基板搬送手段から受けて上記第1のアーム体と第2のアーム体とのどちらか一方のアーム体によって上記第1の高さ位置に位置決めされた基板を搬出する搬送ロボットと、
を有し、
上記制御手段は、上記基板搬送手段によって位置決めされた基板を上記第2の高さ位置で受けた一方のアーム体を上記第1の高さ位置に上昇駆動すると同時に、上記第1の位置で上記搬送ロボットに基板を受け渡した他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて第1の高さ位置から第2の高さ位置へ下降させることを特徴とする基板処理装置にある。
Claims (5)
- 第1の高さ位置で供給された基板を、基板受け渡し装置を用いて上記第1の高さ位置より下方の第2の高さ位置で受け渡してから、この基板を処理する処理部に供給する基板処理装置であって、
上記基板受渡し装置は、
上下方向に駆動可能に設けられた第1の可動体及び第2の可動体と、
上記第1の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第1のアーム体と、
上記第2の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上記第1のアーム体と干渉することなく上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第2のアーム体と、
上記第1、第2の可動体の上下駆動及び上記第1、第2のアーム体の回動駆動を制御する制御手段を有してなり、
上記第1の高さ位置で水平状態にある一方のアーム体に上記基板を供給する搬送ロボットと、
上記第2の高さ位置に位置づけられる上記他方のアーム体に保持された基板を受けて上記処理部に搬送する基板搬送手段と、
を有し、
上記制御手段は、上記搬送ロボットから供給された基板を保持した上記一方のアーム体を上記第1の高さ位置から上記第2の高さ位置に下降駆動すると同時に、上記基板搬送手段に基板を受け渡した上記他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて上記第2の高さ位置から上記第1の高さ位置へ上昇駆動することを特徴とする基板処理装置。 - 処理部で処理された基板を、基板受け渡し装置を用いて第2の高さ位置から、この第2の高さ位置の上方の第1の高さ位置に上昇させて受け渡す基板処理装置であって、
上記基板受渡し装置は、
上下方向に駆動可能に設けられた第1の可動体及び第2の可動体と、
上記第1の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第1のアーム体と、
上記第2の可動体に設けられ上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置との間で上記第1のアーム体と干渉することなく上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第2のアーム体と、
上記第1、第2の可動体の上下駆動及び上記第1、第2のアーム体の回動駆動を制御する制御手段を有してなり、
上記処理部で処理された基板を上記第2の高さ位置とほぼ同じ高さで受けて搬送しその基板が上記第1のアーム体と上記第2のアーム体とのどちらか一方の水平状態に回動したアーム体によって上記第2の高さ位置から第1の高さ位置に上昇させることができる位置に位置決めする基板搬送手段と、
この基板搬送手段から受けて上記第1のアーム体と第2のアーム体とのどちらか一方のアーム体によって上記第1の高さ位置に位置決めされた基板を搬出する搬送ロボットと、
を有し、
上記制御手段は、上記基板搬送手段によって位置決めされた基板を上記第2の高さ位置で受けた一方のアーム体を上記第1の高さ位置に上昇駆動すると同時に、上記第1の位置で上記搬送ロボットに基板を受け渡した他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて第1の高さ位置から第2の高さ位置へ下降させることを特徴とする基板処理装置。 - 上記第1のアーム体と第2のアーム体は、それぞれ、基板を保持する一対の支持片が上下方向に所定間隔で離間して設けられ、
上記搬送ロボットにはそれぞれ基板を保持する一対の受け渡しアーム体が上下方向に所定間隔で設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 上記第1の可動体と第2の可動体は同一のリニアガイドに沿って上下方向に駆動可能に設けられていて、
上方に位置する一方の可動体には上記第1、第2のアーム体のうちの一方のアーム体が下方に突出して設けられ、下方に位置する他方の可動体には他方のアーム体が上方に突出して設けられていて、
上記第1のアーム体と第2のアーム体は、上記第1の可動体と第2の可動体が互いに干渉しない上下方向の駆動範囲内で上記第1の高さ位置と上記第2の高さ位置に位置決め可能であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 上記基板搬送手段は、所定間隔で配置された複数のローラ軸にそれぞれ複数のローラが設けられたローラコンベアであって、上記ローラ軸は、上下方向に駆動される上記第1、第2のアーム体と干渉しないようこれら第1、第2のアーム体に対して水平方向に位置をずらして配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009015595A JP5305948B2 (ja) | 2009-01-27 | 2009-01-27 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009015595A JP5305948B2 (ja) | 2009-01-27 | 2009-01-27 | 基板処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010177270A JP2010177270A (ja) | 2010-08-12 |
JP2010177270A5 JP2010177270A5 (ja) | 2013-04-25 |
JP5305948B2 true JP5305948B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=42707950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009015595A Active JP5305948B2 (ja) | 2009-01-27 | 2009-01-27 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5305948B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5707772B2 (ja) | 2010-08-06 | 2015-04-30 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子及びその製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3792868B2 (ja) * | 1997-03-10 | 2006-07-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP3711189B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2005-10-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送装置 |
-
2009
- 2009-01-27 JP JP2009015595A patent/JP5305948B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2010177270A (ja) | 2010-08-12 |
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