JP5305435B2 - Method for manufacturing hermetic seal parts - Google Patents

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Description

本発明は、例えば圧力センサ等に用いられ、導電性の基台とこの基台を貫通するリード線を備え、基台との絶縁を図りつつリード線を介してセンサ信号を取り出すことのできるハーメチックシール部品の製造方法に関する。 The present invention is used in, for example, a pressure sensor and the like, and includes a conductive base and a lead wire penetrating the base, and is capable of taking out a sensor signal through the lead wire while being insulated from the base. the seal portion gOODS process for the preparation of.

例えば圧力センサなどの高い気密性が要求されるセンサ類では、導電性材料であるステンレスの基台に開けられた貫通孔に信号線を挿通し、基台内のセンサ素子からの信号を得ると共に、絶縁と気密保持のために基台の貫通孔と信号線との間に介在した絶縁材（ガラス）を高温度で封着させてガラスハーメチックを施していることが多い。特に高い耐圧性の必要とされる高圧タイプの圧力センサなどでは、シール部を長く確保することにより耐圧性を高めている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
特公平３−７９８３６号公報（２頁、第１図） 特開平１１−１６０１７６号公報（段落（００３０）、（００３１）、図１） For example, in sensors that require high airtightness such as a pressure sensor, a signal line is inserted into a through-hole formed in a stainless steel base that is a conductive material, and signals from sensor elements in the base are obtained. In order to maintain insulation and hermeticity, glass hermetic is often applied by sealing an insulating material (glass) interposed between the through hole of the base and the signal line at a high temperature. In particular, in a high pressure type pressure sensor that requires high pressure resistance, the pressure resistance is improved by ensuring a long seal portion (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
Japanese Patent Publication No. 3-79836 (page 2, Fig. 1) Japanese Patent Laid-Open No. 11-160176 (paragraphs (0030) and (0031), FIG. 1)

ところで、ガラスハーメチックの方法には、ガラスの粉末にバインダを混ぜて円筒状に圧縮成型し、バインダを取り除きガラス同士を接着させるために仮焼成を行いタブレットを作成、さらに信号線（リード線）をこの円筒体に挿通して仮焼成を行なうことで、信号線の一部をガラスで覆ったいわゆる串刺し状の中間部材を作り、これをパッケージの貫通孔に挿入し、熱を加えてシールする方法がある。ところが、長いリングを作ることは全体に均一の加圧を行うことが非常に難しく、作った後も寸法公差、穴径の不均一の面で歩留まりが悪かった。   By the way, in the glass hermetic method, a glass powder is mixed with a binder, compression-molded into a cylindrical shape, pre-baked to remove the binder and bond the glasses together, and then a signal wire (lead wire) is formed. A method of making a so-called skewered intermediate member in which a part of the signal line is covered with glass by inserting through this cylindrical body and pre-baking, inserting it into the through hole of the package, and applying heat to seal There is. However, it is very difficult to produce a long ring with uniform pressure throughout, and even after the production, the yield is poor in terms of dimensional tolerance and uneven hole diameter.

また、長いガラス管を使って円筒状の部材を作る方法もあるが、これはいわゆる引きガラスと呼ばれるもので、職人がガラス管を熱を加えながら引き伸ばして所望の太さの細いガラス管を作る方法を利用している。即ち、この作業は手作業で行なうものであり、センサに開けられた非常に小さな穴の寸法に部材の寸法を合わせることは難しい。その結果、長いガラス管が穴の中で傾き、やはり焼成時に溶融ガラスが安定した部材の寸法を保ちながら貫通孔をシールすることができない場合があった。   There is also a method of making a cylindrical member using a long glass tube, but this is called so-called drawing glass, and a craftsman stretches the glass tube while applying heat to make a thin glass tube of the desired thickness. Use the method. That is, this operation is performed manually, and it is difficult to match the size of the member to the size of a very small hole opened in the sensor. As a result, the long glass tube may be inclined in the hole, and the molten glass may not be able to seal the through-hole while maintaining a stable dimension of the member during firing.

そして、上述したように長い円筒体のガラスを信号線に仮焼成するために、特許文献１に記載のような仮焼成用ガラスリング（以下、「ペレット」とする）を利用することが考えられている。このペレットを利用した方法は、中央部に挿通孔を有した外径の互いに等しい幾つかのペレットを並べてから信号線をこの挿通孔に挿通し、加熱して各ペレット同士及び各ペレットを信号線に仮焼成して中間組み立て体を形成するようになっている。ところがこの方法を実際に行うと、中間組み立て体をパッケージの貫通孔に本焼成する際にペレット間に気泡が発生し、これが閉じ込められて気泡が封着部に残留したハーメチックシール部品となり、品質上問題が生じていた。   Then, as described above, in order to temporarily fire a long cylindrical glass into a signal line, it is conceivable to use a temporarily firing glass ring (hereinafter referred to as “pellet”) as described in Patent Document 1. ing. In this method using pellets, several pellets having an outer diameter having an insertion hole in the center are arranged, and then a signal line is inserted into the insertion hole and heated to heat each pellet and each pellet to the signal line. Are temporarily fired to form an intermediate assembly. However, when this method is actually performed, bubbles are generated between the pellets during the main firing of the intermediate assembly into the package through-holes, which are trapped and become hermetic seal parts in which the bubbles remain in the sealed portion. There was a problem.

図１１は、この不具合を分かり易く説明した図である。中央部に挿通孔を有した外径の互いに等しいペレット９１１〜９１７の基台１０への封着は、ペレットの外周と基台１０の内周面の最も狭い箇所である溶着開始起点から始まる。図１１（ａ）の場合、ペレット９１１〜９１７をリード線９０９に仮焼成した中間組み立て体９００を基台１０の貫通孔１１に挿通した際、この中間組み立て体９００の倒れやペレット間の直径のばらつきにより、中間組み立て体９００の両端部のペレット９１１，９１７と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの隙間が小さいと、この両端部からガラスの溶着が開始する。即ち、互いに離間した溶着開始起点がリード線長手方向の離間した２箇所に形成されているので、これら２箇所の溶着開始起点でガラスが基台に溶着し始め、それぞれの溶着開始起点におけるガラスの表面張力の作用により、溶着開始起点間のガラスが各溶着開始起点に向かって引き寄せられる。その結果、溶着開始起点間に図１１（ｂ）に示すように気泡Ｘ１，Ｘ２が生じる。そのため、ガラスが基台１０の貫通孔１１に封着される際にガラス内部に気泡が残留形成したハーメチックシール部品となってしまい、品質上好ましくない。   FIG. 11 is a diagram explaining this problem in an easy-to-understand manner. Sealing of the pellets 911 to 917 having the same outer diameter with an insertion hole in the central portion to the base 10 starts from the welding start point that is the narrowest part of the outer periphery of the pellet and the inner peripheral surface of the base 10. In the case of FIG. 11A, when the intermediate assembly 900 obtained by temporarily firing the pellets 911 to 917 into the lead wire 909 is inserted into the through-hole 11 of the base 10, the intermediate assembly 900 falls or the diameter between the pellets is reduced. If the gap between the pellets 911 and 917 at both ends of the intermediate assembly 900 and the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10 is small due to variations, glass welding starts from both ends. That is, since the welding start points that are separated from each other are formed at two locations that are separated from each other in the longitudinal direction of the lead wire, the glass starts to weld to the base at these two welding start points, and the glass at each welding start point Due to the action of the surface tension, the glass between the welding start points is drawn toward each welding start point. As a result, bubbles X1 and X2 are generated between the welding start points as shown in FIG. Therefore, when the glass is sealed in the through hole 11 of the base 10, a hermetic seal part in which bubbles remain in the glass is formed, which is not preferable in terms of quality.

なお、この問題は、ペレットを信号線に仮焼成した場合にのみ生じるものではなく、前述したガラスの粉末にバインダを混ぜて円筒体を形成した場合や、引きガラスにより形成された円筒体にも同様に当てはまる。これは、この中間組み立て体を基台の貫通孔に挿通したときに、中間組み立て体の倒れにより中間組み立て体の例えば両端部など互いに離間した異なる二点において溶着開始起点が形成されることに起因する。   This problem does not only occur when pellets are pre-fired on signal lines, but also when a cylindrical body is formed by mixing a binder with the above-mentioned glass powder, or even when a cylindrical body is formed of drawn glass. The same applies. This is because, when this intermediate assembly is inserted into the through hole of the base, the welding start point is formed at two different points separated from each other such as both ends of the intermediate assembly due to the fall of the intermediate assembly. To do.

本発明の目的は、絶縁材の内部に気泡が残留形成されることのないハーメチックシール部品の製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method for producing it with no hermetic seal portion article bubbles are remaining formed in the insulating material.

上述した課題を解決するために、本発明の請求項１に係るハーメチックシール部品の製造方法は、
導電性の基台と、前記基台に形成された貫通孔に挿通されるリード線と、前記基台と前記リード線間に介在し、焼成により前記基台とリード線間の絶縁を図る絶縁材とを有するハーメチックシール部品の製造方法において、
前記絶縁材は、焼成前に前記絶縁材の外周面と前記基台の貫通孔の内周面との間に隙間を有しており、焼成により前記基台の貫通孔と前記リード線に溶着することで前記ハーメチックシール部品を封着形成するようになっており、かつ焼成前の前記絶縁材の外周面と前記基台の貫通孔の内周面との間の間隔が最も狭い溶着開始起点が前記絶縁材の両端部のうち、何れか一方に１箇所だけ形成された絶縁材を用意し、
前記リード線が挿通され当該リード線の長手方向に対して位置決めされた前記絶縁材を基台の貫通孔に挿通し、
前記絶縁材を焼成することでハーメチックシール部品を製造することを特徴としている。 In order to solve the above-described problem, a method for manufacturing a hermetic seal component according to claim 1 of the present invention includes:
Conductive base, lead wire inserted through a through-hole formed in the base, insulation between the base and the lead wire, and insulation between the base and the lead wire by firing In a method of manufacturing a hermetic seal part having a material,
The insulating material has a gap between the outer peripheral surface of the insulating material and the inner peripheral surface of the through hole of the base before firing, and is welded to the through hole of the base and the lead wire by firing. The hermetic seal part is sealed and formed, and the welding start point having the smallest interval between the outer peripheral surface of the insulating material and the inner peripheral surface of the through hole of the base before firing is formed. Prepare an insulating material formed only at one of the two ends of the insulating material,
The lead wire is inserted and the insulating material positioned with respect to the longitudinal direction of the lead wire is inserted through the through hole of the base,
A hermetic seal part is manufactured by firing the insulating material .

絶縁材の焼成時に絶縁材の外周部と基台の内周面の間隔が最も狭い溶着開始起点が絶縁材のリード線長手方向に１箇所のみ設けられているので、絶縁材の焼成時にこの絶縁材の溶着開始起点からリード線長手方向に向かって絶縁材が基台に溶着していく。その結果、従来の欠点であった溶着開始起点がリード線の長手方向に２箇所以上生じて絶縁材の溶着時にこれらの溶着開始起点から生じる表面張力によって絶縁材を互いに引き寄せあって溶着開始起点と他の絶縁材の溶着部との間で気泡が残留形成されるような不具合を回避できる。
また、焼成前の絶縁材の外周面と基台の貫通孔の内周面との間の間隔が最も狭い溶着開始起点が絶縁材の両端部のうち、何れか一方に１箇所だけ形成されているので、リード線のワイヤーボンディング側端部と絶縁材の溶着開始起点との距離を正確に管理して、ガラスのワイヤーボンディング側端側における金めっき工程でのめっき液の残渣が残り難くなると共にリード線にワイヤーボンディングする際の条件管理が行い易くしたり、例えば窒素ガス雰囲気中においてハーメチックシール部品の基台の貫通孔へのガラスの封着を行う際に窒素ガスよりも重い酸化ガスなどの不純物を含むガスが絶縁材の下方に向かって抜けていくことで、ハーメチックシール部品に酸化ガスなどの不純物ガスが残留したりするのを防止する。 When the insulating material is baked, only one welding start point is provided in the longitudinal direction of the lead wire of the insulating material so that the distance between the outer peripheral portion of the insulating material and the inner peripheral surface of the base is the narrowest. The insulating material is welded to the base in the longitudinal direction of the lead wire from the welding start point of the material. As a result, there are two or more welding start points in the longitudinal direction of the lead wire, which was a conventional drawback, and the insulating materials are attracted to each other by the surface tension generated from these welding start points when welding the insulating material. It is possible to avoid such a problem that bubbles are left to be formed between the welded portions of other insulating materials.
In addition, the welding start point having the narrowest distance between the outer peripheral surface of the insulating material before firing and the inner peripheral surface of the through hole of the base is formed only at one of the two ends of the insulating material. As a result, the distance between the wire bonding side end of the lead wire and the welding start point of the insulating material is accurately managed, and the plating solution residue in the gold plating process on the wire bonding side end of the glass is less likely to remain. It is easier to manage the conditions when wire bonding to the lead wire, and for example, when sealing glass to the through hole of the base of the hermetic seal part in a nitrogen gas atmosphere, oxidizing gas heavier than nitrogen gas etc. Impurity gas such as oxidizing gas is prevented from remaining in the hermetic seal component by allowing the gas containing impurities to escape downward from the insulating material.

また、本発明の請求項２に係るハーメチックシール部品の製造方法は、請求項１に記載のハーメチックシール部品の製造方法において、
前記絶縁材は、圧縮形成され中央部に挿通孔が穿設された複数のリング状絶縁部材からなり、当該複数のリング状絶縁部材を直列に並べることで前記挿通孔が連続してリード線挿通孔を形成するようになっており、前記リード線挿通孔に前記リード線を挿通した状態で前記リング状絶縁部材を仮焼成することで、前記リード線と一体となった絶縁材を前記基台の貫通孔に挿通した際に前記絶縁材の外周面と前記基台の内周面との間の隙間が最も狭くなる溶着開始起点が前記絶縁材の両端部のうち、何れか一方に１箇所だけ形成されたことを特徴としている。 The manufacturing method of a hermetic seal component according to claim 2 of the present invention is the manufacturing method of a hermetic seal component as claimed in claim 1,
The insulating material is composed of a plurality of ring-shaped insulating members that are compressed and formed with insertion holes in the center, and the plurality of ring-shaped insulating members are arranged in series so that the insertion holes are continuously inserted into the lead wires. adapted to form a hole, the ring-shaped insulating member while inserting the lead wire to the lead wire insertion hole by pre-baking, the base of the became lead integral insulation of both end portions gap narrowest welding start origin of the insulating material between the outer peripheral surface of the front Symbol insulating material when inserted through the through hole and the base of the inner peripheral surface of either one 1 It is characterized by only the formation.

ペレットを用いることでガラスの粉末にバインダを混ぜて円筒状に圧縮成型した円筒体や、引きガラスによって形成した円筒体を用いる必要がなくなり、信号線にガラスを仮焼成した中間組み立て体の歩留まりを高めることができる。また、溶着開始起点を形成する大径のペレットを一個だけ備えることで溶着開始起点の形成場所を確実に管理することができる。   By using pellets, it is not necessary to use a cylindrical body formed by mixing glass powder with a binder and compression-molding into a cylindrical shape, or using a cylindrical body formed of drawn glass. Can be increased. In addition, the location where the welding start point is formed can be reliably managed by providing only one large-diameter pellet that forms the welding start point.

また、本発明の請求項３に係るハーメチックシール部品の製造方法は、請求項１又は請求項２に記載のハーメチックシール部品の製造方法において、
前記絶縁材の両端部のうち、前記リード線をワイヤーボンディングする端部側に前記溶着開始起点が備わっていることを特徴としている。 A method for manufacturing a hermetic seal component according to claim 3 of the present invention is the method for manufacturing a hermetic seal component according to claim 1 or 2 ,
Of the both end portions of the insulating material, the welding start point is provided on the end portion side where the lead wire is wire-bonded.

溶着開始起点が絶縁材の両端部のうちリード線のワイヤーボンディング側端部に形成されているので、リード線のワイヤーボンディング側端部と絶縁材の溶着開始起点との距離を正確に管理できる。その結果、基台にこれらの貫通孔が複数穿設され、各貫通孔にリード線が絶縁材を介して封着される場合に、リード線のワイヤーボンディング側端部と溶着開始起点との距離にばらつきが生じなくなる。これによって、ガラスのワイヤーボンディング側端側における金めっき工程でのめっき液の残渣が残り難くなると共に、リード線にワイヤーボンディングする際の条件管理が行い易くなる。   Since the welding start point is formed at the wire bonding side end of the lead wire in the both ends of the insulating material, the distance between the wire bonding side end of the lead wire and the welding start point of the insulating material can be accurately managed. As a result, when a plurality of these through-holes are drilled in the base and the lead wire is sealed in each through-hole via an insulating material, the distance between the wire bonding side end of the lead wire and the welding start point No variation occurs. This makes it difficult for the plating solution residue in the gold plating process on the wire bonding side end of the glass to remain, and facilitates condition management when wire bonding to the lead wire.

また、本発明の請求項４に係るハーメチックシール部品の製造方法は、請求項１又は請求項２に記載のハーメチックシール部品の製造方法において、
前記絶縁材の両端部のうち、当該絶縁材の焼成時に重力の作用方向と反対側の端部に前記溶着開始起点が備わっていることを特徴としている。 A method for manufacturing a hermetic seal component according to claim 4 of the present invention is the method for manufacturing a hermetic seal component according to claim 1 or 2 ,
Of the both end portions of the insulating material, the welding start point is provided at the end portion on the opposite side to the direction of gravity when the insulating material is baked.

溶着開始起点が、絶縁材の基台への溶着時においてリード線の長手方向において重力の作用方向と反対側の絶縁材の端部に形成されていることで、例えば窒素ガス雰囲気中においてハーメチックシール部品の基台の貫通孔へのガラスの封着を行う際に、窒素ガスよりも重い酸化ガスなどの不純物を含むガスが絶縁材の下方に向かって抜けていき、ハーメチックシール部品に酸化ガスなどの不純物ガスが残留するのを防止する。   The welding start point is formed at the end of the insulating material opposite to the direction of gravity in the longitudinal direction of the lead wire when the insulating material is welded to the base, so that, for example, in a nitrogen gas atmosphere, a hermetic seal When sealing the glass to the through hole of the component base, gas containing impurities such as oxidant gas heavier than nitrogen gas escapes downward from the insulating material, and oxidant gas etc. in the hermetic seal component This prevents the impurity gas from remaining.

本発明によると、絶縁材の内部に気泡が残留形成されることのないハーメチックシール部品の製造方法を提供することができる。 According to the present invention can provide a method for producing it with no hermetic seal portion article bubbles are remaining formed in the insulating material.

以下、本発明の各実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法について図面に基づいて説明する。なお、以下の説明に供する図面に関しては、基台及び本焼成用治具についてのみ断面（断面ハッチング）で示し、仮焼成ガラスについては側面から見た状態で示す。 Hereinafter, a manufacturing method of a hermetic seal portion article according to the embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, regarding the drawings provided for the following description, only the base and the main firing jig are shown in cross section (cross section hatching), and the pre-fired glass is shown as viewed from the side.

本発明の第１の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法は、図３（ｂ）に示すように、導電性の基台１０と、基台１０に形成された貫通孔１１に挿通されるリードピン（リード線）１０９と、基台１０とリードピン１０９間に介在し、基台１０とリードピン１０９間の絶縁を図る仮焼成ガラス（絶縁材）１１０を有している。そして、仮焼成ガラス１１０は、図１及び図２（ａ）に示すように、本焼成前に仮焼成ガラス１１０の外周面と貫通孔１１の内周面１１ａとの間に隙間を有しており、本焼成により基台１０の貫通孔１１に溶着することでハーメチックシール部品を封着形成するようになっている。 The manufacturing method of the hermetic seal component according to the first embodiment of the present invention is inserted through the conductive base 10 and the through hole 11 formed in the base 10 as shown in FIG. A lead pin (lead wire) 109 and a pre-fired glass (insulating material) 110 that is interposed between the base 10 and the lead pin 109 to insulate between the base 10 and the lead pin 109 are provided. The pre-fired glass 110 has a gap between the outer peripheral surface of the pre-fired glass 110 and the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 before the main firing as shown in FIGS. The hermetic seal component is sealed and formed by welding to the through hole 11 of the base 10 by the main firing.

また、本焼成前の仮焼成ガラス１１０の外周面と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの間の間隔が最も狭い溶着開始起点１１１ｓが仮焼成ガラス１１０のリードピン長手方向に１箇所だけ形成されている。そして、仮焼成ガラス１１０は、圧縮形成され中央部に挿通孔１１１ａ〜１１７ａが穿設された複数のペレット（リング状絶縁部材）１１１〜１１７を仮焼成したものからなる。具体的には、複数のペレット１１１〜１１７を直列に並べることで挿通孔１１１ａ〜１１７ａが連続してリードピン挿通孔１１１ａ〜１１７ａを形成し、リードピン挿通孔１１１ａ〜１１７ａにリードピン１０９を挿通した状態でペレット１１１〜１１７を例えば６００℃〜７００℃程度で仮焼成することで、リードピン１０９と一体となった仮焼成ガラス１１０を得る。なお、この仮焼成ガラス１１０を基台１０の貫通孔１１に挿通した際に仮焼成ガラス１１０の外周面と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの隙間が最も狭くなる溶着開始起点１１１ｓがペレット１１１〜１１７のリードピン長手方向に１箇所だけ形成されている。本実施形態では、仮焼成ガラス１１０の両端部のうち、この溶着開始起点１１１ｓは、仮焼成ガラス１１０の両端部のうちリードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａに備わっている。   Further, the welding start point 111 s having the narrowest distance between the outer peripheral surface of the pre-fired glass 110 before the main firing and the inner peripheral surface 11 a of the through hole 11 of the base 10 is located at one place in the lead pin longitudinal direction of the pre-fired glass 110. Only formed. The pre-fired glass 110 is formed by pre-baking a plurality of pellets (ring-shaped insulating members) 111 to 117 that are compressed and formed with insertion holes 111a to 117a in the center. Specifically, the plurality of pellets 111 to 117 are arranged in series so that the insertion holes 111a to 117a are continuously formed to form the lead pin insertion holes 111a to 117a, and the lead pin 109 is inserted into the lead pin insertion holes 111a to 117a. By temporarily firing the pellets 111 to 117 at, for example, about 600 ° C. to 700 ° C., a temporarily fired glass 110 integrated with the lead pins 109 is obtained. It should be noted that when this temporarily fired glass 110 is inserted into the through hole 11 of the base 10, the welding start point at which the gap between the outer peripheral surface of the temporarily fired glass 110 and the inner peripheral surface 11 a of the through hole 11 of the base 10 becomes the narrowest. 111s is formed in only one place in the longitudinal direction of the lead pins of the pellets 111-117. In the present embodiment, among the both ends of the calcined glass 110, the welding start point 111 s is provided on the wire bonding side end 109 a of the lead pin 109 among the both ends of the calcined glass 110.

図２は、このハーメチックシール部品を製造する製造方法をこれに用いる本焼成用治具５０（５１、５２）と共に示す断面図である。基台１０は、本実施形態の場合、例えば特許文献１（特公平３−７９８３６号公報）に示したようにステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる高さの比較的低い円柱体をなし、この両端面を貫通する貫通孔１１（図１参照）が基台１０の中心軸線周りに等間隔で８箇所（ここでは図示せず）穿設されている。貫通孔１１には、本実施形態の場合、リードピン１０９の形態をなすリード線が挿通されている。リードピン１０９には、それぞれが中心に挿通孔を有しリードピン１０９が各挿通孔１１１ａ〜１１７ａを貫通した状態で積層された厚さの比較的厚い複数の円板状のペレット１１１〜１１７が挿通されている。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing a manufacturing method for manufacturing the hermetic seal component together with main firing jigs 50 (51, 52) used therein. In the case of this embodiment, the base 10 is a cylindrical body having a relatively low height made of stainless steel (SUS) as shown in Patent Document 1 (Japanese Patent Publication No. 3-79836), for example. Through-holes 11 (see FIG. 1) penetrating through 8 are formed at equal intervals around the central axis of the base 10 (not shown here). In the case of this embodiment, a lead wire in the form of a lead pin 109 is inserted into the through hole 11. A plurality of relatively thick disk-shaped pellets 111 to 117 each having an insertion hole at the center and laminated with the lead pin 109 passing through the insertion holes 111a to 117a are inserted into the lead pins 109. ing.

なお、リードピン１０９の図中下端はハーメチックシール部品の製造後に金メッキされ、ハーメチックシール部品の製造後におけるワイヤーボンディング側端部１０９ａをなしている（図１及び図３参照）。また、複数のペレット１１１〜１１７のうち、リードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａに最も近いペレット１１１は、その外径が最も大きく、その外周面と基台１０の貫通孔１１の内周面との隙間が最も小さくなっている。そして、この径の大きいペレット１１１の外周部が仮焼成ガラス１１０の溶着開始起点１１１ｓとなっている（図１及び図３参照）。一方、その他のペレット１１２〜１１７は、溶着開始起点１１１ｓを外周部に有するこの大径のペレット１１１よりも小さい外径であって互いに等しい外径を有している。   Note that the lower end of the lead pin 109 in the drawing is gold-plated after manufacturing the hermetic seal component, and forms a wire bonding side end portion 109a after manufacturing the hermetic seal component (see FIGS. 1 and 3). Further, among the plurality of pellets 111 to 117, the pellet 111 closest to the wire bonding side end 109a of the lead pin 109 has the largest outer diameter, and the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the through hole 11 of the base 10 The gap is the smallest. And the outer peripheral part of the pellet 111 with this large diameter becomes the welding start point 111s of the temporary calcination glass 110 (refer FIG.1 and FIG.3). On the other hand, the other pellets 112 to 117 are smaller in outer diameter than the large-diameter pellet 111 having the welding start point 111s on the outer peripheral portion, and have the same outer diameter.

図１は、ペレット１１１〜１１７の挿通孔１１１ａ〜１１７ａにリードピン１０９を挿通し、仮焼成して複数のペレットが仮焼成ガラス１１０としてリードピン１０９に一体化した状態の中間組み立て体１００Ａを基台１０の貫通孔１１に挿入した状態を示し、図２は図１に加えて基台１０を本焼成用治具５０で挟んだ状態を示している。なお、そして、リードピン１０９の基台１０の端面からの突出量は、ワイヤーボンディング側端部１０９ａの方がこれと反対側端部よりも短くなっている。   FIG. 1 shows an intermediate assembly 100A in a state in which lead pins 109 are inserted into insertion holes 111a to 117a of pellets 111 to 117 and temporarily fired, and a plurality of pellets are integrated into the lead pins 109 as temporarily fired glass 110. FIG. 2 shows a state in which the base 10 is sandwiched between main firing jigs 50 in addition to FIG. The amount of protrusion of the lead pin 109 from the end surface of the base 10 is shorter at the wire bonding side end portion 109a than at the opposite end portion.

図２に示すように、基台１０を挟む本焼成用治具５１、５２（５０）は、それぞれカーボンでできた厚さの厚いプレート体からなり、リードピン１０９の基台１０からの突出部分が挿入されるリードピン収容穴５１ａ，５２ａが適所に形成されている。また、リードピン収容穴５１ａ，５２ａの内径は、図２に示すように、リードピン１０９の外径よりも比較的大きくなっている。これは、リードピン１０９と本焼成用治具５０であるカーボンとの線膨張係数を考慮したもので、仮焼成ガラス１１０の本焼成時にリードピン１０９の外周とカーボンからなる本焼成用治具５０の収容穴の内周面が一致するように寸法決めされている。なお、本焼成用治具５０には、ここでは詳細には示していないが、この本焼成用治具５０に対して基台１０を適所に位置決めする位置決め部が形成されている。   As shown in FIG. 2, the main firing jigs 51 and 52 (50) sandwiching the base 10 are each made of a thick plate body made of carbon, and the protruding portion of the lead pin 109 from the base 10 is formed. Inserted lead pin receiving holes 51a and 52a are formed at appropriate positions. Further, the inner diameters of the lead pin receiving holes 51a and 52a are relatively larger than the outer diameter of the lead pin 109 as shown in FIG. This is in consideration of the linear expansion coefficient between the lead pins 109 and the carbon that is the main firing jig 50, and the main firing jig 50 made of carbon and the outer periphery of the lead pins 109 during the main firing of the temporarily fired glass 110 is accommodated. The dimensions are determined so that the inner peripheral surfaces of the holes coincide. Although not shown in detail here, the main firing jig 50 is formed with a positioning portion for positioning the base 10 at an appropriate position with respect to the main firing jig 50.

続いて、上述したハーメチックシール部品の製造方法をその作用と共に説明する。ペレット１１１〜１１７のリードピン１０９への仮焼成は上述した手順で行われる。より詳細には、最初に溶着開始起点１１１ｓを外周部に形成する大径のペレット１１１をその挿通穴１１１ａを介してリードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａに近い適所に位置決めし、この大径のペレット１１１に対して６個の互いに同径をなす小径のペレット１１２〜１１７が積層するように各ペレット１１２〜１１７の挿通孔１１２ａ〜１１７ａにリードピン１０９を挿通する。そして、このように仮組み付けしてリードピン１０９と複数のペレット１１１〜１１７を約６００℃〜７００℃で仮焼成する。   Next, a method for manufacturing the above-described hermetic seal component will be described together with its operation. The temporary firing of the pellets 111 to 117 to the lead pin 109 is performed according to the above-described procedure. More specifically, the large-diameter pellet 111 that first forms the welding start point 111s on the outer peripheral portion is positioned at an appropriate position near the wire bonding side end portion 109a of the lead pin 109 through the insertion hole 111a. The lead pins 109 are inserted into the insertion holes 112a to 117a of the pellets 112 to 117 so that six pellets 112 to 117 having the same diameter with each other are stacked on the pellet 111. Then, the lead pins 109 and the plurality of pellets 111 to 117 are temporarily fired at about 600 ° C. to 700 ° C. by temporarily assembling in this way.

この仮焼成において、ペレット同士及びペレット１１１〜１１７とリードピン１０９が溶着する。即ち、この時点でリードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａに近い側の端部のみが大径をなすペレット１１１〜１１７がリードピン１０９と一体化して中間組み立て体１００Ａを形成する。   In this temporary firing, the pellets 111 and 117 and the lead pins 109 are welded. That is, at this time, the pellets 111 to 117, in which only the end close to the wire bonding side end 109a of the lead pin 109 has a large diameter, are integrated with the lead pin 109 to form the intermediate assembly 100A.

次いで、この中間組み立て体１００Ａを基台１０の中心軸線周りに等間隔で多数（本実施形態では８個）形成された貫通孔１１に挿入する。この際、リードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａが、基台１０の一方の端面（図１においては下端面）から突出するように挿入する。   Next, the intermediate assembly 100 </ b> A is inserted into a large number (eight in this embodiment) of through-holes 11 formed at equal intervals around the central axis of the base 10. At this time, the wire bonding side end portion 109 a of the lead pin 109 is inserted so as to protrude from one end surface (the lower end surface in FIG. 1) of the base 10.

次いで、リードピン１０９の基台両端面から突出した部分が本焼成用治具５０の収容穴５１ａ，５２ａ（図２参照）に収容されるように本焼成用冶具５０で基台１０を挟み込む。そして、本焼成用治具５０を固定し、基台１０と一体にした状態で例えば約１０００℃程度の高温まで上げて本焼成を行う。   Next, the base 10 is sandwiched by the main firing jig 50 so that portions protruding from both end surfaces of the base of the lead pin 109 are accommodated in the accommodation holes 51 a and 52 a (see FIG. 2) of the main firing jig 50. Then, the main firing jig 50 is fixed, and the main firing is performed by raising the temperature to, for example, about 1000 ° C. while being integrated with the base 10.

この本焼成を行う際、仮焼成ガラス１１０の焼成時に仮焼成ガラス１１０の外周部と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａの間隔が最も狭い溶着開始起点１１１ｓが仮焼成ガラス１１０のリードピン長手方向に１箇所のみ設けられているので、仮焼成ガラス１１０の本焼成時にこの仮焼成ガラス１１０の溶着開始起点１１１ｓからリードピン長手方向に向かって仮焼成ガラス１１０が基台１０に溶着していく。より詳細には、溶着開始起点１１１ｓが基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａに最初に溶着し、この溶着開始起点１１１ｓから生じる表面張力によって仮焼成ガラス１１０を引き寄せていくので、仮焼成ガラス１１０と基台１０の貫通孔１１との隙間における気体が全て押し出され、溶着開始起点と他の仮焼成ガラス１１０の溶着部との間で気泡が残留形成することはない。   When performing the main firing, the welding start point 111s where the distance between the outer peripheral portion of the pre-fired glass 110 and the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10 is the lead pin of the pre-fired glass 110 when the pre-fired glass 110 is fired. Since only one place is provided in the longitudinal direction, the temporarily fired glass 110 is welded to the base 10 from the welding start point 111s of the temporarily fired glass 110 toward the longitudinal direction of the lead pin during the final firing of the temporarily fired glass 110. . More specifically, the welding start point 111s is first welded to the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10, and the temporarily fired glass 110 is drawn by the surface tension generated from this welding start point 111s. All the gas in the gap between the glass 110 and the through hole 11 of the base 10 is pushed out, and bubbles do not remain between the welding start point and the welded portion of the other pre-fired glass 110.

図３は、図１に示したハーメチックシール部品の製造方法の作用をより分かり易く説明する説明図である。図３から明らかなように、仮焼成ガラス１１０の溶着開始起点１１１ｓが基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａに最初に溶着する。そして、この部分の溶着で生じた表面張力により、仮焼成ガラス１１０の溶着開始起点１１１ｓに向かって引き寄せられながらこの溶着開始起点１１１ｓから基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａに沿って連続的に溶着していく。これに伴って、基台１０の貫通孔１１と仮焼成ガラス１１０の外周面との間の隙間にある窒素ガスや酸化ガスは図１中上方に押し出され、仮焼成ガラス１１０が基台１０の貫通孔内において封着ガラスとして本焼成した際にこの内部に気体が気泡として残留形成されるのを防止する。以上のようにして、封着ガラスに気泡が残留形成されていない高品質のハーメチックシール部品を製造することができる（図３（ｂ）と図１１（ｂ）を比較参照）。 Figure 3 is an explanatory diagram more understandable easily explain the effect of the manufacturing method of a hermetic seal portion article shown in FIG. As apparent from FIG. 3, the welding start point 111 s of the pre-fired glass 110 is first welded to the inner peripheral surface 11 a of the through hole 11 of the base 10. Then, the surface tension generated by the welding of this portion is continuously drawn along the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10 from the welding start starting point 111s while being drawn toward the welding starting start point 111s of the pre-fired glass 110. Will be welded. Along with this, nitrogen gas and oxidizing gas in the gap between the through hole 11 of the base 10 and the outer peripheral surface of the pre-baked glass 110 are pushed upward in FIG. When the main glass is fired as sealing glass in the through hole, gas is prevented from remaining as bubbles in the inside. As described above, a high-quality hermetic seal part in which no bubbles remain in the sealing glass can be manufactured (refer to FIG. 3B and FIG. 11B for comparison).

また、溶着開始起点１１１ｓが仮焼成ガラス１１０の両端部のうちリードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａに形成されているので、リードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａと仮焼成ガラス１１０の溶着開始起点１１１ｓとの距離を正確に管理できる。その結果、基台１０にこれらの貫通孔１１が複数穿設され、各貫通孔１１にリードピン１０９が溶融した仮焼成ガラスを介して封着される場合に、リードピン１０９のワイヤーボンディング側端部１０９ａと溶着開始起点１１１ｓとの距離にばらつきが生じなくなる。これによって、リードピン１０９にワイヤーボンディングを行うにあたって、各ガラスのワイヤーボンディング側端側における金めっき工程でのめっき液の残渣が残り難くなると共に、リードピン１０９にワイヤーボンディングを行うにあたっての条件管理が行い易くなる。   Further, since the welding start point 111 s is formed at the wire bonding side end portion 109 a of the lead pin 109 among the both ends of the calcined glass 110, the welding start point of the wire bonding side end portion 109 a of the lead pin 109 and the calcined glass 110 is formed. The distance from 111s can be managed accurately. As a result, when a plurality of these through holes 11 are drilled in the base 10 and the lead pins 109 are sealed in the respective through holes 11 via the temporarily fired glass, the wire bonding side end portion 109a of the lead pin 109 is sealed. No variation occurs in the distance between the welding start point 111s and the welding start point 111s. As a result, when wire bonding is performed on the lead pin 109, it is difficult to leave a residue of the plating solution in the gold plating process on the wire bonding side end side of each glass, and it is easy to manage conditions for performing wire bonding to the lead pin 109. Become.

続いて、本発明の第２の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法について説明する。なお、上述した第１の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法と同等の構成については、図面に対応する符号を付してその詳細な説明を省略する。 Next, a method for manufacturing the hermetic seal portion article according to a second embodiment of the present invention. Note that the first embodiment same structure as the manufacturing method of a hermetic seal portion article according to the above, detailed explanation thereof will be denoted by the code corresponding to the drawings.

図４は、本発明の第２の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法を説明する断面図である。本発明の第２の実施形態に係るハーチックシール部品は、導電性の基台１０と、基台１０に形成された貫通孔１１に挿通されるリードピン（リード線）２０９と、基台１０とリードピン間に介在し、基台１０とリードピン間の絶縁を図る仮焼成ガラス（絶縁材）２１０とを有している。仮焼成ガラス２１０は、本焼成前に仮焼成ガラス２１０の外周面と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａ間に隙間を有しており、本焼成により基台１０の貫通孔１１に溶着することでハーメチックシール部品を封着形成するようになっている。 Figure 4 is a cross-sectional view for explaining a manufacturing method of a hermetic seal portion article according to a second embodiment of the present invention. The hermetic seal component according to the second embodiment of the present invention includes a conductive base 10, lead pins (lead wires) 209 inserted through through holes 11 formed in the base 10, A temporary fired glass (insulating material) 210 is interposed between the lead pins to provide insulation between the base 10 and the lead pins. The pre-baked glass 210 has a gap between the outer peripheral surface of the pre-fired glass 210 and the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10 before the main baking. The hermetic seal part is formed by welding.

そして、本焼成前の仮焼成ガラス２１０の外周面と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの間隔が最も狭い溶着開始起点２１１ｓが仮焼成ガラス２１０のリードピン長手方向に１箇所だけ形成されている。そして、仮焼成ガラス２１０は、圧縮形成され中央部に挿通孔が穿設された複数のペレット（リング状絶縁部材）２１１〜２１７からなり、複数のペレット２１１〜２１７を直列に並べることで挿通孔が連続してリードピン挿通孔（図４では図示せず）を形成し、ペレット２１１〜２１７のリードピン挿通孔にリードピン２０９を挿通して仮焼成することで、リードピン２０９と一体となった仮焼成ガラス２１０からなる中間組み立て体を形成する。   Then, the welding start point 211 s having the narrowest distance between the outer peripheral surface of the pre-fired glass 210 before the main firing and the inner peripheral surface 11 a of the through hole 11 of the base 10 is formed at one place in the longitudinal direction of the lead pins of the pre-fired glass 210. Has been. The pre-fired glass 210 is composed of a plurality of pellets (ring-shaped insulating members) 211 to 217 formed by compression and having a through hole formed in the central portion, and the plurality of pellets 211 to 217 are arranged in series to form the insertion hole. Continuously forms lead pin insertion holes (not shown in FIG. 4), passes the lead pins 209 through the lead pin insertion holes of the pellets 211 to 217, and temporarily fires, thereby pre-baking glass integrated with the lead pins 209. An intermediate assembly consisting of 210 is formed.

なお、仮焼成ガラス２１０を基台１０の貫通孔１１に挿通した際に仮焼成ガラスの外周面と基台１０の内周面との間の隙間が最も狭くなる溶着開始起点２１１ｓが仮焼成ガラス２１０のリードピン長手方向に１箇所だけ形成されている。本実施形態では、第１の実施形態と異なり、この溶着開始起点２１１ｓは、仮焼成ガラス２１０の両端部のうち、リードピン２０９をワイヤボンディングする端部と反対側の端部側に備わっている。   Note that the welding start point 211s at which the gap between the outer peripheral surface of the pre-baked glass and the inner peripheral surface of the base 10 becomes the narrowest when the pre-fired glass 210 is inserted into the through hole 11 of the base 10 is the pre-baked glass. One lead pin 210 is formed in the longitudinal direction. In the present embodiment, unlike the first embodiment, the welding start point 211 s is provided on the end side opposite to the end where the lead pins 209 are wire-bonded out of the both ends of the pre-fired glass 210.

本発明の第２の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法がこのような構成を有することで、第１の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法と同等の作用を発揮する。具体的には、仮焼成ガラス２１０の本焼成を行う際、仮焼成ガラス２１０の外周部と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの間隔が最も狭い溶着開始起点２１１ｓが仮焼成ガラス２１０のリードピン長手方向に１箇所のみ設けられているので、仮焼成ガラス２１０の本焼成時にこの仮焼成ガラス２１０の溶着開始起点２１１ｓからリードピン長手方向に向かって仮焼成ガラス２１０が基台１０に溶着していく。その結果、従来のように溶着開始起点がリードピン長手方向に２箇所以上生じて仮焼成ガラスの溶着時にこれらの溶着開始起点から生じる表面張力によって仮焼成ガラスを互いに引き寄せあって溶着開始起点と他の仮焼成ガラスの溶着部との間で気泡が残留形成されるような不具合を発生するのを回避する。 When the method for manufacturing a hermetic seal component according to the second embodiment of the present invention has such a configuration, the same effect as the method for manufacturing the hermetic seal component according to the first embodiment is exhibited. Specifically, when performing the main firing of the pre-fired glass 210, the welding start point 211s having the smallest distance between the outer peripheral portion of the pre-fired glass 210 and the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10 is the pre-fired glass. Since only one place is provided in the longitudinal direction of the lead pin 210, the temporarily fired glass 210 is welded to the base 10 from the welding start point 211s of the temporarily fired glass 210 toward the longitudinal direction of the lead pin during the final firing of the temporarily fired glass 210. I will do it. As a result, there are two or more welding start points in the longitudinal direction of the lead pin as in the prior art, and when the pre-fired glass is welded, the pre-fired glass is attracted to each other by the surface tension generated from these welding start points, It is possible to avoid the occurrence of a problem that bubbles are left to be formed between the pre-fired glass and the welded portion.

一方、第２の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法は、第１の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法と異なり、溶着開始起点２１１ｓが仮焼成ガラス２１０の基台１０への溶着時においてリードピン２０９の長手方向において重力の作用方向と反対側の仮焼成ガラス２１０の端部２０９ｂに形成されていることで、窒素ガス雰囲気中において仮焼成ガラス２１０を基台１０の貫通孔１１に封着する際に、窒素ガスよりも重い酸化ガスが仮焼成ガラス２１０の下方に向かって抜けていき、ハーメチックシール部品に不純物である酸化ガスが残留するのを防止する。 On the other hand, the manufacturing method of the hermetic seal component according to the second embodiment is different from the manufacturing method of the hermetic seal component according to the first embodiment, in which the welding start point 211 s is when the pre-fired glass 210 is welded to the base 10. In the longitudinal direction of the lead pin 209, the end portion 209b of the calcined glass 210 opposite to the direction of the action of gravity is formed so that the calcined glass 210 is sealed in the through hole 11 of the base 10 in a nitrogen gas atmosphere. At the time of wearing, the oxidizing gas heavier than the nitrogen gas escapes downward from the pre-fired glass 210, thereby preventing the oxidizing gas that is an impurity from remaining in the hermetic seal component.

続いて、上述した本発明の第１及び第２の実施形態の変形例並びに参考例について説明する。なお、上述の各実施形態と同等の構成については、図面に対応する符号を付して詳細な説明を省略し、異なる構成についてのみ図面に基づいて説明する。 Subsequently, modified examples and reference examples of the first and second embodiments of the present invention described above will be described. In addition, about the structure equivalent to each above-mentioned embodiment, the code | symbol corresponding to drawing is attached | subjected, detailed description is abbreviate | omitted, and only a different structure is demonstrated based on drawing.

本発明の第１及び第２の実施形態の第１変形例は、第１の実施形態に対応する変形例である。本発明の第１変形例は、図５に示すように、ペレット３１１〜３１３を有しており、これらのペレット３１１〜３１３は、仮焼成ガラス３１０の本焼成時に基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの間で溶着開始起点３１１ｓを形成する大径のペレット３１１の上にこれより径の小さい第２ペレット３１２が重なり、第２ペレット３１２の上にこれより更に径の小さい第３ペレット３１３が重なった状態の仮焼成ガラス３１０がリードピン３０９に仮焼成されている。   The first modification of the first and second embodiments of the present invention is a modification corresponding to the first embodiment. As shown in FIG. 5, the first modification of the present invention has pellets 311 to 313, and these pellets 311 to 313 are formed in the through holes 11 of the base 10 during the main firing of the temporarily fired glass 310. A second pellet 312 having a smaller diameter overlaps with a large-diameter pellet 311 forming a welding start point 311 s with the inner peripheral surface 11 a, and a third pellet having a smaller diameter than the second pellet 312. The pre-fired glass 310 with the pellets 313 overlapped is pre-fired on the lead pins 309.

即ち、リードピン３０９のワイヤーボンディング側端部３０９ａに近い仮焼成ガラス３１０の端部の径が最も大きく、これよりもリードピン３０９のワイヤーボンディング側端部３０９ａと離れる方向に向かうに従って仮焼成ガラス３１０の径が小さくなっている。このような構成を有するリードピン３０９に仮焼成した仮焼成ガラス３１０を基台１０の貫通孔１１に挿入し、本焼成用治具で挟んで本焼成しても第１の実施形態と同等の効果が得られる。   That is, the diameter of the end portion of the pre-fired glass 310 close to the wire bonding side end portion 309a of the lead pin 309 is the largest, and the diameter of the pre-fired glass 310 increases toward the direction away from the wire bonding side end portion 309a of the lead pin 309. Is getting smaller. Even if the pre-fired glass 310 pre-fired on the lead pin 309 having such a configuration is inserted into the through hole 11 of the base 10 and sandwiched between the main firing jigs, the same effect as in the first embodiment is obtained. Is obtained.

即ち、仮焼成ガラス３１０の外周部を基台１０の貫通孔１１の内周面の間隔が最も狭い溶着開始起点３１１ｓを仮焼成ガラス３１０のリードピン長手方向に１箇所のみ設けられているので、仮焼成ガラス３１０を基台１０に本焼成する際、仮焼成ガラス３１０の溶着開始起点３１１ｓからリードピン長手方向に向かって仮焼成ガラス３１０が基台１０に溶着していく。その結果、従来の欠点である溶着開始起点がリードピン長手方向に２箇所以上生じて仮焼成ガラスの溶着時にこれらの溶着開始起点から生じる表面張力によって仮焼成ガラスを互いに引き寄せあって溶着開始起点と他の仮焼成ガラスの溶着部との間で気泡が残留形成されるような不具合を回避できる。 That is, since the outer peripheral portion of the calcined glass 310 is provided only one place an inner peripheral surface narrowest welding start origin 311s spacing of the lead pin longitudinal calcination glass 3 10 of the through-hole 11 of the base 10 When the temporarily fired glass 310 is fired on the base 10, the temporarily fired glass 310 is welded to the base 10 from the welding start point 311 s of the temporarily fired glass 310 in the lead pin longitudinal direction. As a result, there are two or more conventional welding start points in the longitudinal direction of the lead pin, and when the pre-fired glass is welded, the pre-fired glass is attracted to each other by the surface tension generated from these welding start points, and the welding start point and others Thus, it is possible to avoid a problem that bubbles are left to be formed between the pre-fired glass and the welded portion.

また、溶着開始起点３１１ｓが仮焼成ガラス３１０の両端部のうちリードピン３０９のワイヤーボンディング側端部３０９ａに形成されているので、リードピン３０９のワイヤーボンディング側端部３０９ａと仮焼成ガラス３１０の溶着開始起点３１１ｓとの距離を正確に管理できる。その結果、基台１０にこれらの貫通孔１１が複数穿設され、各貫通孔１１にリードピン３０９が仮焼成ガラス３１０を介して封着される場合に、リードピン３０９のワイヤーボンディング側端部３０９ａと溶着開始起点３１１ｓとの距離にばらつきが生じなくなる。これによって、各ガラス３１０のワイヤーボンディング側端側における金めっき工程でのめっき液の残渣が残り難くなると共に、リードピン３０９にワイヤーボンディングする際の条件管理が行い易くなる。   Further, since the welding start point 311 s is formed at the wire bonding side end 309 a of the lead pin 309 among the both ends of the pre-fired glass 310, the welding start start point of the wire bonding side end 309 a of the lead pin 309 and the pre-fired glass 310. The distance to 311s can be managed accurately. As a result, when a plurality of these through holes 11 are formed in the base 10 and the lead pins 309 are sealed in the respective through holes 11 via the pre-fired glass 310, the wire bonding side end portions 309a of the lead pins 309 and There is no variation in the distance from the welding start point 311s. This makes it difficult to leave a plating solution residue in the gold plating step on the wire bonding side end of each glass 310 and facilitates condition management when wire bonding to the lead pin 309 is performed.

続いて、本発明の第１及び第２の実施形態の第２変形例について説明する。この第２変形例においては、図６に示すように仮焼成ガラス４１０の本焼成時に基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの間で溶着開始起点４１１ｓを形成する大径のペレット４１１がリードピン４０９のワイヤーボンディング側端面に対して最も遠くに位置し、この大径のペレット４１１よりも径の小さいペレット４１２がこの下側に位置し、更に径の小さいペレット４１３がペレット４１２が下側に位置するように、各ペレット４１１〜４１３がリードピン４０９に仮焼成されている。即ち、リードピン４０９のワイヤーボンディング側から遠い端部の径が最も大きく、これよりもリードピン４０９のワイヤーボンディング側端部（図中下方端部）に向かうに従ってその径が小さくなっている。   Then, the 2nd modification of the 1st and 2nd embodiment of this invention is demonstrated. In this second modification, as shown in FIG. 6, a large-diameter pellet 411 that forms a welding start point 411 s with the inner peripheral surface 11 a of the through hole 11 of the base 10 during the final firing of the temporarily fired glass 410. Is located farthest from the end surface of the lead pin 409 on the wire bonding side, the pellet 412 having a smaller diameter than the large-diameter pellet 411 is located below, and the pellet 413 having a smaller diameter is located below the pellet 412. The pellets 411 to 413 are pre-fired on the lead pins 409 so as to be positioned at the positions. That is, the diameter of the end portion of the lead pin 409 far from the wire bonding side is the largest, and the diameter becomes smaller toward the wire bonding side end portion (lower end portion in the figure) of the lead pin 409.

このような構成を有するリードピン４０９に仮焼成した仮焼成ガラス４１０を基台１０の貫通孔１１に挿入し、本焼成用治具５０で挟んで本焼成しても第２の実施形態と同等の効果が得られる。   Even if the pre-fired glass 410 pre-fired on the lead pin 409 having such a configuration is inserted into the through-hole 11 of the base 10 and sandwiched between the main-fired jigs 50, it is the same as in the second embodiment. An effect is obtained.

即ち、仮焼成ガラス４１０を基台１０に本焼成する際、仮焼成ガラス４１０の本焼成時に仮焼成ガラス４１０の外周部と基台１０の内周面の間隔が最も狭い溶着開始起点４１１ｓが仮焼成ガラス４１０のリードピン長手方向に１箇所のみ設けられているので、仮焼成ガラス４１０の本焼成時にこの仮焼成ガラス４１０の溶着開始起点４１１ｓからリードピン長手方向に向かって仮焼成ガラス４１０が基台１０に溶着していく。その結果、従来の欠点である溶着開始起点がリードピンの長手方向に２箇所以上生じて仮焼成ガラスの溶着時にこれらの溶着開始起点から生じる表面張力によって仮焼成ガラスを互いに引き寄せあって溶着開始起点と他の仮焼成ガラスの溶着部との間で気泡が残留形成されるような不具合を回避する。   That is, when the temporarily fired glass 410 is fired on the base 10, the welding start point 411 s where the distance between the outer peripheral portion of the temporarily fired glass 410 and the inner peripheral surface of the base 10 is the smallest when the temporarily fired glass 410 is fired. Since only one place is provided in the longitudinal direction of the lead pin of the calcined glass 410, the temporary calcined glass 410 is the base 10 from the welding start point 411s of the temporarily calcined glass 410 toward the longitudinal direction of the lead pin when the calcined glass 410 is finally baked. Welding to. As a result, there are two or more welding start points in the longitudinal direction of the lead pin, which is a conventional defect, and when the pre-fired glass is welded, the pre-fired glass is attracted to each other by the surface tension generated from these welding start points. It avoids the problem that air bubbles remain and form between the other pre-fired glass welds.

また、溶着開始起点４１１ｓが、仮焼成ガラス４１０の基台１０への溶着時にリードピン長手方向において重力の作用方向と反対側の仮焼成ガラス４１０の端部に形成されていることで、例えば窒素ガス雰囲気中において仮焼成ガラス４１０を本焼成する際に、窒素ガスよりも重い酸化ガスが仮焼成ガラスの下方に向かって抜けていき、ハーメチックシール部品に不純物である酸化ガスが残留するのを防止する。   In addition, since the welding start point 411s is formed at the end of the pre-fired glass 410 on the opposite side of the direction of gravity in the longitudinal direction of the lead pin when the pre-fired glass 410 is welded to the base 10, for example, nitrogen gas When the pre-fired glass 410 is baked in the atmosphere, the oxidizing gas heavier than the nitrogen gas escapes downward from the pre-fired glass, thereby preventing the oxidizing gas that is an impurity from remaining in the hermetic seal component. .

なお、上述した変形例の代わりに、図７に示すような第１参考例も考えられる。この第３変形例は、５個のペレット５１１〜５１５がリードピン５０９に仮焼成されており、この５個のペレット５１１〜５１５のうち、真ん中のペレット５１１の径が最も大きく、このペレット５１１に接する第２及び第３ペレット５１２，５１３が真ん中のペレット５１１よりも径が小さく、この第２、第３ペレット５１２，５１３に接する第４、第５ペレット５１４，５１５がこれら第２、第３ペレット５１２，５１３よりも更に径が小さい状態でリードピン５０９に仮焼成されている。これによって、この真ん中のペレット５１１の外周部が基台１０の貫通孔１１との間で溶着開始起点５１１ｓを形成している。 A first reference example as shown in FIG. 7 can be considered instead of the above-described modification. In the third modified example, five pellets 511 to 515 are pre-fired on the lead pin 509, and the diameter of the middle pellet 511 is the largest among the five pellets 511 to 515 and is in contact with the pellet 511. The second and third pellets 512 and 513 are smaller in diameter than the middle pellet 511, and the fourth and fifth pellets 514 and 515 in contact with the second and third pellets 512 and 513 are the second and third pellets 512. , 513 are temporarily fired onto the lead pins 509 in a state of a smaller diameter. As a result, the outer periphery of the middle pellet 511 forms a welding start point 511 s with the through hole 11 of the base 10.

この第１参考例がこのような構成を有していても、本発明の主要な作用を発揮できる。即ち、仮焼成ガラス５１０を基台１０に本焼成する際、仮焼成ガラス５１０の焼成時に仮焼成ガラス５１０の外周部と基台１０の内周面の間隔が最も狭い溶着開始起点５１１ｓが仮焼成ガラス５１０のリードピン長手方向に１箇所のみ設けられているので、仮焼成ガラス５１０の焼成時にこの仮焼成ガラス５１０の溶着開始起点からリードピン長手方向に向かって仮焼成ガラス５１０が基台１０に溶着していく。その結果、従来の欠点である溶着開始起点がリードピンの長手方向に２箇所以上生じて仮焼成ガラスの溶着時にこれらの溶着開始起点から生じる表面張力によって仮焼成ガラスを互いに引き寄せあって溶着開始起点と他の仮焼成ガラスの溶着部との間で気泡が残留形成されるような不具合を回避できる。 Even if the first reference example has such a configuration, the main effects of the present invention can be exhibited. That is, when the temporarily fired glass 510 is fired on the base 10, the welding start point 511 s where the distance between the outer peripheral portion of the temporarily fired glass 510 and the inner peripheral surface of the base 10 is the smallest when the temporarily fired glass 510 is fired. Since only one place is provided in the longitudinal direction of the lead pin of the glass 510, the temporarily fired glass 510 is welded to the base 10 from the welding start point of the temporarily fired glass 510 toward the longitudinal direction of the lead pin when the temporarily fired glass 510 is fired. To go. As a result, there are two or more welding start points in the longitudinal direction of the lead pin, which is a conventional defect, and when the pre-fired glass is welded, the pre-fired glass is attracted to each other by the surface tension generated from these welding start points. It is possible to avoid such a problem that bubbles remain and form between the other pre-fired glass welds.

以上説明した各実施形態及びその変形例によると、複数のペレットを仮焼成してリードピンに仮焼成ガラスを溶着させた中間組み立て体を用いているので、特別な効果を有している。具体的には、従来のように長いガラス管を使ってリング状の部材を作る引きガラス方式の場合、職人がガラス管を熱を加えながら引き伸ばし、所望の太さの細いガラス管を作る必要があったが、この作業は手作業で行なうものであり、センサに開けられた非常に小さな穴の寸法に部材の寸法を合わせることは難しく、長いガラス管が穴の中で傾き、本焼成時に溶融ガラスが安定した部材の寸法を保ちながら貫通孔をシールすることが難しかったが、上述の各実施形態及びその変形例によると、このような不具合が生じるのを回避できる。   According to each embodiment and the modification described above, since an intermediate assembly in which a plurality of pellets are pre-fired and pre-fired glass is welded to a lead pin is used, it has a special effect. Specifically, in the case of a drawn glass system that uses a long glass tube to make a ring-shaped member as in the past, it is necessary for the craftsman to stretch the glass tube while applying heat to create a thin glass tube of the desired thickness. However, this work is done manually, and it is difficult to adjust the dimensions of the member to the dimensions of the very small hole opened in the sensor, and the long glass tube tilts in the hole and melts during the main firing. Although it has been difficult to seal the through-hole while maintaining the dimension of the member in which the glass is stable, according to each of the above-described embodiments and modifications thereof, it is possible to avoid such a problem.

なお、このように複数のペレットを用いる代わりに特殊な形状の仮焼成ガラスを用いても、本発明の上述した主要な作用を発揮し得る。具体的には、本発明の第３変形例として、図８に示すような断面台形形状を有し、リードピン６０９のワイヤーボンディング側端部６０９ａ側の端部が最も大きく、このワイヤーボンディング側端部６０９ａと離れるに従って縮径する異形円柱体の仮焼成ガラス６１０をリードピン６０９に仮焼成した中間組み立て体６００を用いても良い。 In addition, even if it uses the calcined glass of a special shape instead of using several pellets in this way, the main effect | action mentioned above of this invention can be exhibited. Specifically, as a third modification of the present invention, it has a trapezoidal cross section as shown in FIG. 8, and the end of the lead pin 609 on the wire bonding side end 609a side is the largest, and this wire bonding side end An intermediate assembly 600 may be used in which a calcined glass 610 having a deformed cylindrical shape that is reduced in diameter as the distance from 609a is temporarily calcined on the lead pin 609 is used.

このような形態によっても、上述の本発明の主要な作用効果を奏すると共に、本発明の第１の実施形態のように仮焼成ガラス６１０の大径部をなす溶着開始起点６１１が仮焼成ガラスの両端部のうちリードピン６０９のワイヤーボンディング側端部６０９ａに形成されているので、リードピ６０９ンのワイヤーボンディング側端部６０９ａと仮焼成ガラス６１０の溶着開始起点６１１との距離を正確に管理できる。その結果、基台１０にこれらの貫通孔１１が複数穿設され、各貫通孔１１にリードピン６０９が仮焼成ガラス６１０を介して封着される場合に、リードピン６０９のワイヤーボンディング側端部６０９ａと溶着開始起点との距離にばらつきが生じなくなる。これによって、ガラス６１０のワイヤーボンディング側端側における金めっき工程でのめっき液の残渣が残り難くなると共に、リードピン６０９にワイヤーボンディングする際の条件管理が行い易くなる。   Even with such a configuration, the above-described main operational effects of the present invention can be obtained, and the welding start point 611 that forms the large diameter portion of the temporarily fired glass 610 as in the first embodiment of the present invention is the temporary fired glass. Since it is formed at the wire bonding side end 609a of the lead pin 609 among the both ends, the distance between the wire bonding side end 609a of the lead pin 609 and the welding start point 611 of the pre-fired glass 610 can be managed accurately. As a result, when a plurality of these through holes 11 are formed in the base 10 and the lead pins 609 are sealed in the respective through holes 11 via the pre-fired glass 610, the wire bonding side end portions 609a of the lead pins 609 and The distance from the welding start point does not vary. This makes it difficult for the plating solution residue in the gold plating process on the wire bonding side end of the glass 610 to remain, and facilitates condition management when wire bonding to the lead pin 609 is performed.

また、図９に示す第４変形例のような仮焼成ガラス７１０を備えた中間組み立て体７００を用いても良い。この場合の仮焼成ガラス７１０は、リードピン７０９のワイヤーボンディング側端部７０９ａと反対側の仮焼成ガラス７１０の端部が最も大きく、このワイヤーボンディング側端部７０９ａに近づくに従って縮径する異形円柱体の仮焼成ガラス７１０であり、この仮焼成ガラス７１０をリードピン７０９に仮焼成して中間組み立て体７００を構成している。 Moreover, you may use the intermediate assembly body 700 provided with the temporary baking glass 710 like the 4th modification shown in FIG. The calcined glass 710 in this case is a deformed cylindrical body having a largest end of the calcined glass 710 opposite to the wire bonding side end 709a of the lead pin 709, and the diameter of the deformed cylindrical body decreasing as it approaches the wire bonding side end 709a. This is a temporarily fired glass 710, and this temporarily fired glass 710 is temporarily fired on the lead pins 709 to constitute an intermediate assembly 700.

このような形態によっても、上述の本発明の主要な作用効果を奏すると共に、本発明の第２の実施形態のように、溶着開始起点７１１が仮焼成ガラス７１０の基台１０への溶着時においてリードピン７０９の長手方向において重力の作用方向と反対側の仮焼成ガラス７１０の端部に形成されていることで、窒素ガス雰囲気中においてハーメチックシール部品の封着を行う際に、窒素ガスよりも重い酸化ガスが仮焼成ガラス７１０の下方に向かって抜けていき、ハーメチックシール部品に不純物である酸化ガスが残留しないようにできる。   Even in such a form, the main effects of the present invention described above can be obtained, and the welding start point 711 is welded to the base 10 of the pre-fired glass 710 as in the second embodiment of the present invention. It is heavier than nitrogen gas when sealing hermetic seal components in a nitrogen gas atmosphere because it is formed at the end of the pre-fired glass 710 opposite to the direction of gravity in the longitudinal direction of the lead pin 709. Oxidizing gas can escape downward from the pre-fired glass 710 so that the oxidizing gas that is an impurity does not remain in the hermetic seal component.

また、図１０に示す第２参考例のような仮焼成ガラス８１０を備えた中間組み立て体８００を用いても良い。この場合の仮焼成ガラス８１０は、上述した第１参考例に対応する形態であり、側面視菱形形状を有している。この第２参考例によっても、本発明の上述した主要な作用効果を発揮することが可能である。 Moreover, you may use the intermediate assembly body 800 provided with the temporary baking glass 810 like the 2nd reference example shown in FIG. The calcined glass 810 in this case is a form corresponding to the first reference example described above, and has a rhombus shape in side view. Also according to the second reference example, it is possible to exert the above-described main operational effects of the present invention.

具体的には、仮焼成ガラス８１０の外周部と基台１０の貫通孔１１の内周面１１ａとの間隔が最も狭い溶着開始起点８１１が仮焼成ガラス８１０のリードピン長手方向に１箇所のみ設けられているので、仮焼成ガラス８１０を基台１０に本焼成する際、仮焼成ガラス８１０の溶着開始起点からリードピン長手方向に向かって仮焼成ガラス８１０が基台１０に溶着していく。その結果、従来の欠点である溶着開始起点がリードピンの長手方向に２箇所以上生じて仮焼成ガラスの溶着時にこれらの溶着開始起点から生じる表面張力によって仮焼成ガラスを互いに引き寄せあって溶着開始起点と他の仮焼成ガラスの溶着部との間で気泡が残留形成されるような不具合を回避できる。   Specifically, the welding start point 811 having the narrowest distance between the outer peripheral portion of the pre-fired glass 810 and the inner peripheral surface 11a of the through hole 11 of the base 10 is provided only in one position in the lead pin longitudinal direction of the pre-fired glass 810. Therefore, when the pre-fired glass 810 is main-fired on the base 10, the pre-fired glass 810 is welded to the base 10 from the welding start point of the pre-fired glass 810 in the lead pin longitudinal direction. As a result, there are two or more welding start points in the longitudinal direction of the lead pin, which is a conventional defect, and when the pre-fired glass is welded, the pre-fired glass is attracted to each other by the surface tension generated from these welding start points. It is possible to avoid such a problem that bubbles remain and form between the other pre-fired glass welds.

以上の各実施形態及びその変形例では絶縁材にガラスを用いた。このガラスとしては、例えば硼珪酸ガラスやコバールガラスなどが挙げられるが、本発明の作用を発揮するものであれば他のガラスでも構わない。また、焼成により基台とリード線との間を絶縁できる材質であればガラス以外の何れの材質を用いても良い。   In each of the above embodiments and modifications thereof, glass is used as the insulating material. Examples of the glass include borosilicate glass and Kovar glass, but other glass may be used as long as it exhibits the function of the present invention. Further, any material other than glass may be used as long as the material can insulate between the base and the lead wire by firing.

また、以上の各実施形態及びその変形例においては信号線をリードピンとして紹介したが、必ずしもピン形状を有する必要はなく、リード線であっても良い。   In each of the above-described embodiments and modifications thereof, the signal line is introduced as a lead pin. However, the signal line does not necessarily have a pin shape and may be a lead wire.

また、基台の材質はステンレス鋼（ＳＵＳ）として紹介したが、導電性の材質であれば何れの材質を用いても良く、必ずしもこの材質に限定される必要はない。   Moreover, although the material of the base was introduced as stainless steel (SUS), any material may be used as long as it is a conductive material, and the material is not necessarily limited to this material.

本発明の第１の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法の中間工程の状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state of the intermediate process of the manufacturing method of the hermetic seal component which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法を説明する断面図である。It is a sectional view for explaining a manufacturing method of a hermetic seal portion article according to the first embodiment of the present invention. 図１に示したハーメチックシール部品の製造方法の作用を説明する説明図である。It is an explanatory view to explain a function of the manufacturing method of a hermetic seal portion article shown in FIG. 本発明の第２の実施形態に係るハーメチックシール部品の製造方法を説明する断面図である。It is a sectional view for explaining a manufacturing method of a hermetic seal portion article according to a second embodiment of the present invention. 本発明に係るハーメチックシール部品の製造方法の第１変形例を部分的に示す断面図である。A first modification of the manufacturing method of the hermetic seal portions article according to the present invention is a cross-sectional view partially showing. 本発明に係るハーメチックシール部品の製造方法の第２変形例を部分的に示す断面図である。A second modification of the manufacturing method of the hermetic seal portions article according to the present invention is a cross-sectional view partially showing. 本発明に係るハーメチックシール部品の製造方法の第１参考例を部分的に示す断面図である。A first reference example of a manufacturing method of a hermetic seal portion article according to the present invention is a cross-sectional view partially showing. 本発明に係るハーメチックシール部品の製造方法の第３変形例を部分的に示す断面図である。A third modification of the manufacturing method of a hermetic seal portion article according to the present invention is a cross-sectional view partially showing. 本発明に係るハーメチックシール部品の製造方法の第４変形例を部分的に示す断面図である。A fourth modification of the manufacturing method of the hermetic seal portions article according to the present invention is a cross-sectional view partially showing. 本発明に係るハーメチックシール部品の製造方法の第２参考例を部分的に示す断面図である。The second reference example of the manufacturing method of the hermetic seal portions article according to the present invention is a cross-sectional view partially showing. 従来のハーメチックシール部品の製造方法の不具合点を説明する説明図である。It is an explanatory diagram for explaining a problem point of the conventional method of manufacturing a hermetic seal portion products.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 基台
１１ 貫通孔
１１ａ 内周面
５０（５１、５２） 本焼成用治具
５１ａ，５２ａ リードピン収容穴
１００Ａ 中間組み立て体
１０９ リードピン（リード線）
１０９ａ ワイヤーボンディング側端部
１１０ 仮焼成ガラス（絶縁材）
１１１〜１１７ ペレット（リング状絶縁部材）
１１１ａ〜１１７ａ 挿通孔
１１１ｓ 溶着開始起点
２０９ リードピン（リード線）
２０９ｂ 端部
２１０ 仮焼成ガラス（絶縁材）
２１１〜２１７ ペレット（リング状絶縁部材）
２１１ｓ 溶着開始起点
３０９ リードピン
３０９ａ ワイヤーボンディング側端部
３１１ｓ 溶着開始起点
３１０ 仮焼成ガラス
３１１〜３１３ ペレット
４０９ リードピン
４１０ 仮焼成ガラス
４１１〜４１３ ペレット
４１１ｓ 溶着開始起点
５０９ リードピン
５１０ 仮焼成ガラス
５１１〜５１５ ペレット
５１１ｓ 溶着開始起点
６００ 中間組み立て体
６０９ リードピン
６０９ａ ワイヤーボンディング側端部
６１０ 仮焼成ガラス
６１１ 溶着開始起点
７００ 中間組み立て体
７０９ リードピン
７０９ａ ワイヤーボンディング側端部
７１０ 仮焼成ガラス
７１１ 溶着開始起点
８００ 中間組み立て体
８１０ 仮焼成ガラス
８１１ 溶着開始起点
９００ 中間組み立て体
９０９ リード線
９１１〜９１７ ペレット
Ｘ１，Ｘ２ 気泡 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Base 11 Through-hole 11a Inner peripheral surface 50 (51, 52) Main firing jig 51a, 52a Lead pin accommodation hole 100A Intermediate assembly 109 Lead pin (lead wire)
109a Wire bonding side end portion 110 Temporarily fired glass (insulating material)
111-117 Pellet (ring-shaped insulating member)
111a to 117a Insertion hole 111s Welding start point 209 Lead pin (lead wire)
209b End 210 Temporary baked glass (insulating material)
211-217 Pellet (ring-shaped insulating member)
211s Welding start point 309 Lead pin 309a Wire bonding side end 311s Welding start point 310 Tempered glass 311 to 313 Pellet 409 Lead pin 410 Tempered glass 411 to 413 Pellet 411s Welding start point 509 Lead pin 510 Temporary calcined glass 511 to 515 Pellet 511 Starting point 600 Intermediate assembly 609 Lead pin 609a Wire bonding side end 610 Tempered glass 611 Welding start point 700 Intermediate assembly 709 Lead pin 709a Wire bonding side end 710 Tempered glass 711 Welding start point 800 Intermediate assembly 810 Temporary calcined glass 811 Welding start point 900 Intermediate assembly 909 Lead wire 911 to 917 Pellet X1, X2 Bubble

Claims (4)

導電性の基台と、前記基台に形成された貫通孔に挿通されるリード線と、前記基台と前記リード線間に介在し、焼成により前記基台とリード線間の絶縁を図る絶縁材とを有するハーメチックシール部品の製造方法において、
前記絶縁材は、焼成前に前記絶縁材の外周面と前記基台の貫通孔の内周面との間に隙間を有しており、焼成により前記基台の貫通孔と前記リード線に溶着することで前記ハーメチックシール部品を封着形成するようになっており、かつ焼成前の前記絶縁材の外周面と前記基台の貫通孔の内周面との間の間隔が最も狭い溶着開始起点が前記絶縁材の両端部のうち、何れか一方に１箇所だけ形成された絶縁材を用意し、
前記リード線が挿通され当該リード線の長手方向に対して位置決めされた前記絶縁材を基台の貫通孔に挿通し、
前記絶縁材を焼成することでハーメチックシール部品を製造することを特徴とするハーメチックシール部品の製造方法。 Conductive base, lead wire inserted through a through-hole formed in the base, insulation between the base and the lead wire, and insulation between the base and the lead wire by firing In a method of manufacturing a hermetic seal part having a material,
The insulating material has a gap between the outer peripheral surface of the insulating material and the inner peripheral surface of the through hole of the base before firing, and is welded to the through hole of the base and the lead wire by firing. The hermetic seal part is sealed and formed, and the welding start point having the smallest interval between the outer peripheral surface of the insulating material and the inner peripheral surface of the through hole of the base before firing is formed. Prepare an insulating material formed only at one of the two ends of the insulating material,
The lead wire is inserted and the insulating material positioned with respect to the longitudinal direction of the lead wire is inserted through the through hole of the base,
A method for producing a hermetic seal part, comprising: firing the insulating material to produce a hermetic seal part. 前記絶縁材は、圧縮形成され中央部に挿通孔が穿設された複数のリング状絶縁部材からなり、当該複数のリング状絶縁部材を直列に並べることで前記挿通孔が連続してリード線挿通孔を形成するようになっており、前記リード線挿通孔に前記リード線を挿通した状態で前記リング状絶縁部材を仮焼成することで、前記リード線と一体となった絶縁材を前記基台の貫通孔に挿通した際に前記絶縁材の外周面と前記基台の内周面との間の隙間が最も狭くなる溶着開始起点が前記絶縁材の両端部のうち、何れか一方に１箇所だけ形成されたことを特徴とする、請求項１に記載のハーメチックシール部品の製造方法。   The insulating material is composed of a plurality of ring-shaped insulating members that are compressed and formed with insertion holes in the center, and the plurality of ring-shaped insulating members are arranged in series so that the insertion holes are continuously inserted into the lead wires. A hole is formed, and the ring-shaped insulating member is temporarily fired in a state in which the lead wire is inserted into the lead wire insertion hole, whereby an insulating material integrated with the lead wire is formed on the base. The welding start point at which the gap between the outer peripheral surface of the insulating material and the inner peripheral surface of the base becomes the narrowest when inserted through the through-hole of the insulating material is one at either end of the insulating material The method of manufacturing a hermetic seal part according to claim 1, wherein only the hermetic seal part is formed. 前記絶縁材の両端部のうち、前記リード線をワイヤーボンディングする端部側に前記溶着開始起点が備わっていることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のハーメチックシール部品の製造方法。 3. The method of manufacturing a hermetic seal component according to claim 1, wherein the welding start point is provided on an end portion side of the insulating material where the lead wire is wire-bonded. Law. 前記絶縁材の両端部のうち、当該絶縁材の焼成時に重力の作用方向と反対側の端部に前記溶着開始起点が備わっていることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のハーメチックシール部品の製造方法。 3. The welding start point is provided at an end of the insulating material opposite to the direction of gravity during the firing of the insulating material, according to claim 1 or 2. production how of a hermetic seal parts.
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