JP5304660B2

JP5304660B2 - 液滴吐出装置

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Publication number: JP5304660B2
Application number: JP2010003457A
Authority: JP
Inventors: 永植安
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-01-09
Filing date: 2010-01-09
Publication date: 2013-10-02
Anticipated expiration: 2023-07-07
Also published as: JP2010179299A

Description

本発明は、基板等のワークの表面と、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドのノズル面との間のワークギャップを調整可能なギャップ調整装置、これに使用されるキャリブレーション用治具、およびギャップ調整装置を備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

このような液滴吐出装置では、ワークギャップを一定の値に保った状態でワークに対して機能液滴を吐出できるようにするため、ワークギャップを調整可能なギャップ調整手段が設けられている。このワークギャップは、機能液滴の飛行曲がりや着弾径等を精度良く管理するため、極力小さい値（例えば、０．１５ｍｍ〜０．３ｍｍ）に設定することが望ましい。したがって、従来のギャップ調整手段では、機能液滴吐出ヘッドの各角部に１つずつ距離センサを取り付け、各距離センサによるワークの表面との距離の測定値うち最小の測定値に基づいて、ノズル面とワークの表面との離間距離が設定したワークギャップを保持するように機能液滴吐出ヘッドをワークに対して離接させることにより、機能液滴吐出ヘッドのノズル面がワークの表面に接触するのを防止することが考えられている。だが実際には、複数の距離センサを、ノズル面に対して上下方向に均一に機能液滴吐出ヘッドに精度よく取り付けることは困難であるため、機能液滴吐出ヘッドに単一の距離センサを取り付け、その測定結果に基づいてワークギャップを調整している。（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００２−２７３９７４号公報（第３、５、６頁、第１、９図）

ところで、機能液滴吐出ヘッドは、その構造上のバラツキや組付け構造のバラツキに基づいて、キャリッジに対して傾いて搭載されていたり、交換時にノズル面の上下方向の位置が変更されたり、複数の機能液滴吐出ヘッドが相互に上下方向に位置ずれしてキャリッジに搭載されていたりすることから、ノズル面が上下方向に位置ずれしている場合がある。しかしながら、機能液滴吐出ヘッドに取り付けられた単一の距離センサでは、ノズル面の上下方向の位置ずれを正確に測定することができなかった。したがって、ワークギャップを極力小さい値に調整すると、ノズル面のうち下方に位置ずれしている箇所がワークの表面に接触するおそれがあった。

本発明は、ノズル面の上下方向の位置ずれを正確に測定することでワークギャップを極力小さい値に調整することができるギャップ調整装置、これに使用されるキャリブレーション用治具、およびギャップ調整装置を備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。

本発明の液滴吐出装置は、定盤と、定盤上に配設されるとともに、ワークをセットするワークテーブルと、ノズル面に複数のノズルが設けられるとともに、ワークテーブルに対して相対的に移動するヘッドと、定盤上に配設されるとともに、ノズル面の位置を測定するためのセンサと、ワークテーブルの表面の上下方向の位置をゼロ点としてワークの表面の位置を測定するワーク厚さ用センサと、センサの測定結果及びワーク厚さ用センサの測定結果に基づき、ワークの表面とノズル面との間のワークギャップを調整するギャップ調整装置と、を有し、センサ及びワーク厚さ用センサは、キャリブレーション用治具を用いてゼロ点補正する。
また、本発明の液滴吐出装置は、ワークをセットするワークテーブルと、ノズル面に複数のノズルが設けられるとともに、ワークテーブルに対して相対的に移動するヘッドと、ワークテーブルに配設されるとともに、ノズル面の位置を測定するためのセンサと、ワークテーブルの表面の上下方向の位置をゼロ点としてワークの表面の位置を測定するワーク厚さ用センサと、センサの測定結果及びワーク厚さ用センサの測定結果に基づき、ワークの表面とノズル面との間のワークギャップを調整するギャップ調整装置と、を有し、センサ及びワーク厚さ用センサは、キャリブレーション用治具を用いてゼロ点補正する。

この構成によれば、位置測定手段によりノズル面の複数の箇所に対する上下方向の位置をそれぞれ測定する。このため、複数の距離センサを機能液滴吐出ヘッドに取り付けた場合のように相互の上下方向の取付け精度が問題となることなく、ノズル面の上下方向の位置ずれを正確に測定することができる。そして、位置測定手段による複数の測定結果の最も近い位置とワークの表面との離間距離が設定したワークギャップとなるため、ノズル面がワークの表面に接触することがない。
なお、複数の位置測定手段を、上下方向に相互に精度よく配設可能な場合には、複数の位置測定手段によりノズル面の複数の箇所に対する上下方向の位置をそれぞれ測定するようにしてもよい。

この場合、ノズル面は、方形に形成され、ノズル面の複数の箇所は、少なくともノズル面の４隅となる４箇所を含むことが好ましい。

この構成によれば、ノズル面の４隅となる４箇所のうちの１箇所がノズル面のうち最も下方に位置する箇所であることから、位置測定手段により、ノズル面のうち最も下方に位置する箇所を確実に測定することができる。

これらの場合、ワークの厚さを計測するワーク厚さ計測手段を、さらに備え、制御手段は、ワーク厚さ計測手段により計測されたワーク厚さデータに応じて所定のワーク厚さデータを更新するデータ更新手段を、有することが好ましい。

この構成によれば、データ更新手段により、ワーク厚さ計測手段によって計測されたワーク厚さデータに基づいて所定のワーク厚さデータが更新され、制御手段により、更新された所定のワーク厚さデータに基づいて位置測定手段による複数の測定結果の最も近い位置とワークの表面との離間距離が演算される。このため、ワークの厚さに応じてワークギャップを微調整することができる。

これらの場合、ワークテーブルの表面との間で位置管理された第１測定基準面を有するキャリブレーション用治具を、さらに備え、位置測定手段は、第１測定基準面との上下方向の第１基準距離を測定し、制御手段は、第１基準距離に基づいて位置測定手段のゼロ点補正を行うことが好ましい。

この構成によれば、位置測定手段を新設または交換した場合であっても、位置測定手段のゼロ点補正が行われるため、位置測定手段が配設された上下方向の位置により位置測定手段の測定結果が影響されることがない。

この場合、位置測定手段は、レーザ光を用いたノズル面用距離センサであって、第１測定基準面は、ノズル面に対するレーザ光の反射率と略等しい反射率を有することが好ましい。

この構成によれば、ノズル面用距離センサによる測定結果が、測定面に対するレーザ光の反射率による影響を受けることがなく、ノズル面と第１測定基準面とを同一条件下で測定することができる。このため、ノズル面用距離センサによるノズル面の複数の箇所との距離の測定結果に対して、正確なゼロ点補正を行うことができる。

これらの場合、キャリブレーション用治具は、ワークテーブルの表面との間で位置管理された第２測定基準面を、さらに有し、ワーク厚さ計測手段は、第２測定基準面との上下方向の第２基準距離を測定し、制御手段は、第２基準距離に基づいてワーク厚さ計測手段のゼロ点補正を行うことが好ましい。

この構成によれば、ワーク厚さ計測手段を新設または交換した場合であっても、ワーク厚さ計測手段のゼロ点補正が行われるため、ワーク厚さ計測手段が配設された上下方向の位置によりワーク厚さ計測手段の測定結果が影響されることがない。

この場合、ワーク厚さ計測手段は、レーザ光を用いたワーク厚さ用距離センサであって、第２測定基準面は、ワークの表面に対するレーザ光の反射率と略等しい反射率を有することが好ましい。

この構成によれば、ワーク厚さ用距離センサによる測定結果が、測定面に対するレーザ光の反射率による影響を受けることがなく、ワークの表面と第２測定基準面とを同一条件下で測定することができる。このため、ワーク厚さ用距離センサによるワークの表面との距離の測定結果に対して、正確なゼロ点補正を行うことができる。

これらの場合、キャリブレーション用治具は、ワークテーブルに貫通形成した取付穴に配設されていることが好ましい。

この構成によれば、測定基準面をワークテーブルの表面から所定の距離に配設するのを容易に行うことができる。

本発明のキャリブレーション用治具によれば、上記のギャップ調整装置に備えられることを特徴とする。

この構成によれば、測定対象面に対するレーザ光の反射率と略等しいレーザ光の反射率を有する第１測定基準面と第２測定基準面とを有することで、ノズル面用距離センサおよびワーク厚さ用距離センサの両方のゼロ点補正を正確に行うことができる。例えば、ノズル面を構成するノズルプレートが黒色のステンレス板で、ワークが石英のガラス基板のときに、キャリブレーション用治具の第１測定基準面を黒色のステンレス板で、第２測定基準面を石英ガラスで構成する。

本発明の液滴吐出装置は、上記したギャップ調整装置を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ワークギャップを極力小さい値に調整することができるギャップ調整装置を備えているため、機能液滴の飛行曲がりや着弾径等が精度良く管理された状態で、ワークに対し機能液の吐出を行うことができる。

この場合、機能液滴吐出ヘッドを保守するための保守装置と、機能液滴吐出ヘッドを保守装置に対して上下方向に移動させ、かつ、保守装置とノズル面との上下方向の距離を調整するＺ軸移動手段と、をさらに備え、昇降手段は、キャリッジに搭載されると共に、Ｚ軸移動手段を兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、Ｚ軸移動手段を昇降手段が兼ねていることで、昇降手段とは別に、保守動作において機能液滴吐出ヘッドを保守装置に対して昇降させるための手段をさらに備える必要がない。したがって、液滴吐出装置全体の構造を単純化することができる。

これらの場合、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させて描画を行う描画動作時において、機能液滴吐出ヘッドをワークに対して互いに直交する方向に相対的に移動させるＸ軸テーブルおよびＹ軸テーブルを、さらに備え、ギャップ測定系移動機構は、キャリッジを介して機能液滴吐出ヘッドをワークの表面に平行な一方向に移動させる移動手段と、キャリッジに搭載されると共に、キャリッジをその軸心を中心に回転させることにより機能液滴吐出ヘッドをワークの表面に平行な平面内において回転させる回転手段と、を有し、移動手段は、Ｙ軸テーブルを兼ねていることが好ましい。

この構成によれば、Ｙ軸テーブルを兼ねている移動手段と、回転手段とからギャップ測定系移動機構が構成されていることで、移動手段とは別に、描画動作において機能液滴吐出ヘッドをワークに対して移動させるための手段をさらに備えることなく、ノズル面の複数の箇所を容易に位置測定手段に臨ませることができる。したがって、液滴吐出装置全体の構造を単純化することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッド間の混色を防止する等の目的に応じて適切なワイピング動作を行うことができる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ(Surface-conduction Electoron-Emitter Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。実施形態に液滴吐出装置の正面図である。実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。実施形態に係るヘッドユニットの平面図である。実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの斜視図である。実施形態に係るメインキャリッジの斜視図である。実施形態に係るキャリッジ本体の斜視図である。実施形態に係るヘッド回転機構の正面図である。実施形態に係るヘッド昇降機構の正面図である。実施形態に係る吐出検査ユニット、共通支持フレームおよびノズル面用距離センサの斜視図である。実施形態に係るギャップ調整装置の模式図である。（ａ）実施形態に係るキャリブレーション用治具の斜視図、（ｂ）実施形態に係るキャリブレーション用治具の断面図である。カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。ＰＤＰ装置である表示装置の要部分解斜視図である。ＦＥＤ装置である表示装置の要部断面図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、例えば、有機ＥＬ装置（詳細は後述する）等の、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造装置に適用され、機能液滴吐出ヘッドを用い、そのノズル面とワークである基板の表面との間のワークギャップを調整した状態で、基板に発光材料等の機能液を吐出する描画動作を行い、有機ＥＬ装置の発光機能を為すＲ・Ｇ・Ｂ３色の発光層および正孔注入層を形成するものである。

まず、本実施形態の液滴吐出装置について説明する。図１ないし図３に示すように、実施形態の液滴吐出装置１は、機能液滴吐出ヘッド８１を搭載した描画装置１１と、機能液滴吐出ヘッド８１の保守等に用いる各種の装置からなるメンテナンス装置１２（保守装置）とを備えている。また、液滴吐出装置１は、チャンバ装置２内に収容されており、描画動作を含む一連の製造工程を、チャンバ装置２で構成するドライエアーの雰囲気中で行うようにしている。

描画装置１１は、床上に設置した架台２１と、架台２１上に設置した石定盤２２と、石定盤２２上に設置したＸ軸テーブル２３およびこれに直交するＹ軸テーブル２４と、Ｘ軸テーブル２３に移動自在に搭載された吸着テーブル２５（ワークテーブル）と、Ｙ軸テーブル２４に吊設するように設けたメインキャリッジ２６（キャリッジ）と、メインキャリッジ２６に搭載したヘッドユニット２７と、吸着テーブル２５上にセットされたワークＷの表面とヘッドユニット２７に搭載された機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３との間のワークギャップを調整するギャップ調整装置２８と、を備えている。描画装置１１には、この他にも、ヘッドユニット２７（機能液滴吐出ヘッド８１）の位置認識を行うヘッド認識カメラ２９や、ワークＷの位置認識を行うためのワーク認識カメラ３０、ワークＷに吐出した機能液滴の描画結果を観察するための描画観察カメラ３１、真空ポンプ３４（後述する）を駆動させるための吸引用スイッチユニット３２等の各種装置が備えられている。

また、描画装置１１は、チャンバ装置２の外部に別置きとして、描画装置１１に機能液を供給する機能液供給装置３３、および吸着テーブル２５に連なるワークＷ吸着用の真空ポンプ３４を備えている。そして、液滴吐出装置１には、図外のホスト・コンピュータ３が接続されており、ホスト・コンピュータ３により、描画装置１１およびメンテナンス装置１２の統括制御が行われている。

機能液供給装置３３は、後述する３個の機能液滴吐出ヘッド８１に、それぞれＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を供給するものであり、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液タンク（図示省略）と、機能液タンクを収容するケース４１と、ケース４１を支持する装置架台４２とを有している。装置架台４２には、回収した機能液を貯留する機能液回収タンクや洗浄液を貯留する洗浄液タンク（図示省略）と、各装置を駆動・制御するための圧縮エアー（ドライエアー）を供給する圧縮エアー供給装置３５とが組み込まれている。なお、図示は省略するが、３個の機能液タンクから延びる機能液チューブや、圧縮エアー供給装置３５から延びるエアーチューブは、一箇所にまとめられ、チャンバ装置２の後部から描画装置１１に取り込まれる。

吸着テーブル２５は、Ｘ軸テーブル２３のθテーブル６１（後述する）に支持されており、上記の真空ポンプ３４に連なる真空チューブ（図示省略）が接続され、そのエアー吸引によってセットされたワークＷが平坦度を維持するように、すなわちワークＷの表面がＸ・Ｙ平面と平行になるように、これを吸着している。また、詳細は後述するが、吸着テーブル２５の表面には、その厚さ方向（上下方向）に貫通した取付穴５１が設けられており、取付穴５１には、ギャップ調整装置２８のキャリブレーション用治具１８３が配設されている。

Ｘ軸テーブル２３は、石定盤２２上に直接設置されており、上記の吸着テーブル２５を支持するθテーブル６１と、θテーブル６１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ（図示省略）と、θテーブル６１および吸着テーブル２５を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダに併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸テーブル２３では、Ｘ軸リニアモータの駆動により、θテーブル６１および吸着テーブル２５等からなるセットテーブル６３が、Ｘ軸エアースライダを案内にしてＸ軸方向に移動する。

なお、Ｘ軸エアースライダ、Ｘ軸リニアモータおよびＸ軸リニアスケールは、Ｘ軸に対して平行に配設されており、Ｘ軸ボックス６２内に収容されている。また、θテーブル６１には、上記のヘッド認識カメラ２９が固定されており、吸着テーブル２５に対して、ヘッドユニット２７の位置を補正可能となっている。

Ｙ軸テーブル２４は、石定盤２２に立設されたスタンド付のＹ軸フレーム７１に載置されており、Ｘ軸テーブルを跨ぐようにしてＸ軸テーブル２３に直交する方向に延在している。Ｙ軸フレーム７１にスライド自在に支持され、メインキャリッジを支持するＹ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダを介して、ヘッドユニット２７をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸エアースライダに併設したＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を有している。

そして、Ｙ軸テーブル２４は、これに搭載したヘッドユニット２７（機能液滴吐出ヘッド８１）を、Ｘ軸テーブル２３の直上部に位置する描画エリアと、後述するギャップ調整装置２８のノズル面用距離センサ１８１の直上部やメンテナンス装置１２の各ユニットの直上部との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル２４は、吸着テーブル２５にセットしたワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット２７を描画エリアに臨ませ、ワークギャップの微調整を行う場合には、ヘッドユニット２７をノズル面用距離センサ１８１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド８１の機能回復や吐出検査を行う場合には、ヘッドユニット２７をメンテナンス装置１２の各ユニットに臨ませる。

なお、Ｙ軸フレーム７１には、Ｙ軸エアースライダの他に、カメラ用エアースライダ（図示省略）がスライド自在に支持されており、カメラ用エアースライダには、上記のワーク認識カメラ３０および描画観察カメラ３１が固定されている。カメラ用エアースライダとＹ軸スライダは、独立して移動可能に構成されており，Ｙ軸リニアモータの駆動により、ワーク認識カメラ３０および描画観察カメラは、メインキャリッジ２６とは独立にＹ軸方向に移動する。

図４に示すように、ヘッドユニット２７は、３個の機能液滴吐出ヘッド８１と、機能液滴吐出ヘッド８１を位置決め固定するための３個の装着開口８３が横並びに形成されたヘッドプレート８２と、を備えている。３個の機能液滴吐出ヘッド８１は、上記のＲ・Ｇ・Ｂ３色の発光層６１７ｂを形成するための３種類の機能液に対応させたものであり、それぞれの機能液滴吐出ヘッド８１に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の発光層６１７ｂを形成する機能液が１種類ずつ対応するようになっている。また、ヘッドユニット２７は、メインキャリッジ２６に対し着脱自在に保持されている。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド８１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方（図５では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。各接続針９２は、配管アダプタ（図示省略）を介して、機能液タンクから延びる機能液チューブに接続されており、機能液滴吐出ヘッド８１は、各接続針９２から機能液の供給を受けるようになっている。

ヘッド本体９４は、２連のポンプ部１０１（ピエゾ圧電素子）と、共晶メッキ（黒色）が施されたステンレス板からなり、ノズル面１０３を有する方形のノズルプレート１０２と、で構成されている。ノズル面１０３には、多数（１８０個）のノズル１０５からなるノズル列１０４が２列形成されている。そして、機能液滴吐出ヘッド８１は、ポンプ部１０１の作用によりノズル１０５から機能液を吐出するようになっている。なお、ノズル面１０３がワークＷの表面に対して傾いてメインキャリッジ２６（キャリッジ本体１１１）に搭載されている場合、ノズル面１０３の４隅となる４箇所の測定箇所１０６のうちの１箇所がノズル面１０３のうち最も下方に位置する箇所となる。詳細は後述するが、各機能液滴吐出ヘッド８１の４箇所の測定箇所１０６（計１２箇所）について、ギャップ調整装置２８のノズル面用距離センサ１８１により上下方向の位置が測定される。

図６に示すように、メインキャリッジ２６は、上記のヘッドユニット２７を着脱自在に搭載するキャリッジ本体１１１と、キャリッジ本体１１１を吊設するように保持したヘッド調整機構１１２と、停電時など装置の非常停止時に、ヘッドユニット２７が自身の重みで下がることを防止するため、３本の引張りばね１１４を有するヘッドバランス機構１１３と、で構成されている。メインキャリッジ２６は、Ｙ軸テーブル２４に移動自在に取り付けられているが、Ｙ軸テーブル２４への取付け姿勢を調整するための上下一対の姿勢調整ねじ１１６を有する姿勢調整機構１１５により、ヘッドプレート８２に搭載された機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３の平行度を全体として調整することができるようになっている。

図７に示すように、キャリッジ本体１１１は、ヘッドユニット２７を吊設支持するヘッドホルダ１２１と、ヘッドホルダ１２１の上部に配設された一対のあおり調整機構１２２と、を備えている。

一対のあおり調整機構１２２は、それぞれあおり調整ねじ１２３を有しており、このあおり調整ねじ１２３を上下させることにより、ヘッドホルダ１２１の支持姿勢（あおり）が調整される。すなわち、一対のあおり調整機構１２２により、ヘッドホルダ１２１に搭載された３個の機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３の平行度を全体として調整することができるようになっている。

ヘッド調整機構１１２は、キャリッジ本体１１１を吊設支持し、キャリッジ本体１１１を介してヘッドユニット２７を回転させるヘッド回転機構１３１（回転手段）と、ヘッド回転手段を吊設支持し、ヘッド回転機構１３１を介して、ヘッドユニット２７を昇降させるヘッド昇降機構１３２（Ｚ軸移動手段）と、を備えている。

ヘッド回転機構１３１は、ヘッドユニット２７を、メインキャリッジ２６の軸心であるθ軸を中心に回転させることにより、Ｘ・Ｙ平面内（ワークＷの表面と平行な面内）における機能液滴吐出ヘッド８１の向きを自在に変更させるものであり、ワークＷの種類に合わせて、ノズル１０５のノズル間隔や機能液滴の塗布密度を調節する場合や、ギャップ調整装置２８のノズル面用距離センサ１８１に対応させて、機能液滴吐出ヘッド８１の向きを変更する場合等に用いられる。

図８に示すように、ヘッド回転機構１３１は、ヘッドホルダ９３を吊下げるように支持する吊設部材１４１と、吊設部材１４１を回転自在に支持するヘッド支持フレーム１４２と、吊設部材１４１を介し、ヘッドホルダ９３に搭載されたヘッドユニット２７（機能液滴吐出ヘッド８１）を回転させるためのヘッド回転モータ１４３と、ヘッド回転モータ１４３の動力を吊設部材１４１に伝達する動力伝達機構１４４と、を備えており、動力伝達機構１４４を介して、吊設部材１４１をθ軸を中心に回転させる。そして、ヘッドユニット２７は、その軸心がθ軸と一致するように、キャリッジ本体１１１に搭載されているため、この吊設部材１４１の回転により、ヘッドユニット２７がその軸心を中心に回転する。

このように、ヘッド回転機構１３１は、ヘッド昇降機構１３２とキャリッジ本体１１１とを相互に連結すると共に、キャリッジ本体１１１を介してヘッドユニット２７をＸ・Ｙ平面内において正逆回転させる。これにより、ヘッドユニット２７の初期位置決め段階において、ヘッドユニット２７をθ軸方向に位置補正することができる。また、詳細は後述するが、ヘッド回転機構１３１は、機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３の四隅となる４箇所を、ギャップ調整装置２８のノズル面用距離センサ１８１に臨ませるときにも使用される。なお、ヘッド支持フレーム１４２には、アーム部材１４５を介して、ギャップ調整装置２８のワーク厚さ用距離センサ１８２（後述する）が取り付けられている。

本実施形態では、ヘッドユニット２７に搭載された機能液滴吐出ヘッド８１の姿勢がＹ軸方向に対して平行となる位置を所定のヘッド基準位置として、ヘッドユニット２７がメインキャリッジ２６に取り付けられており、ヘッドユニット２７を、この所定のヘッド基準位置である０°から±９０°の範囲で回動させるようになっている。

ヘッド昇降機構１３２は、ヘッド回転機構１３１およびキャリッジ本体１１１を介してヘッドユニット２７を昇降させるものであり、メンテナンス装置１２の各ユニットに対応させて、機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３を適切な所定の高さ位置に調節する他、ワークギャップを微調整する昇降手段としても用いられる。

図９に示すように、ヘッド昇降機構１３２は、ヘッド回転機構１３１を支持する左右一対の支持ブロック１５１と、左右一対の支持ブロック１５１を上下方向にスライド自在に支持する昇降ブロック１５２と、支持ブロック１５１の移動を案内する左右一対のヘッド昇降ガイド１５３と、昇降ブロック１５２に螺合したヘッド昇降ボールねじ１５４と、ヘッド昇降ボールねじ１５４の一端に連結したヘッド昇降モータ１５５（ブレーキ付サーボモータ）と、で構成されている。そして、ヘッド昇降モータ１５５が正逆回転すると、昇降ブロック１５２を介して支持ブロック１５１が昇降し、ヘッドユニット２７（機能液滴吐出ヘッド８１）が上下方向に移動するようになっている。

以上に述べたように、ヘッドプレート８２に搭載された３個の機能液滴吐出ヘッド８１は、キャリッジ本体１１１およびヘッド調整機構１１２を介して、Ｙ軸テーブルによりＹ軸方向に移動可能となっている。そして、姿勢調整機構１１５およびあおり調整機構１２２により、機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３の平行度を全体として調整することができるようになっている。一方、各機能液滴吐出ヘッド８１は、その構造上のバラツキや組付け構造のバラツキに基づいて、ヘッドプレート８２に対して傾いて搭載されていたり、交換時にノズル面１０３の上下方向の位置が変更されたり、３個の機能液滴吐出ヘッド８１が相互に上下方向に位置ずれしてヘッドプレート８２に搭載されていたりすることから、ノズル面１０３が上下方向に位置ずれしている。そのため、例えばワークＷを吸着テーブル２５にセットする毎に、ギャップ調整装置２８によりノズル面１０３の上下方向の位置ずれを正確に測定することで、ノズル面１０３がワークＷの表面に接触することを防止している（詳細は後述する）。

ここで、描画装置１１の一連の動作について簡単に説明する。まず、機能液を吐出する前の準備として、ワークＷにワーク認識カメラ３０を臨ませ、吸着テーブル２５にセットされたワークＷの位置補正を行うと共に、ヘッド認識カメラ２９およびヘッドユニット２７を移動させてヘッド認識カメラ２９にヘッドユニット２７を臨ませ、ヘッド認識カメラ２９により、ヘッドユニット２７の位置補正を行う。

次に、ギャップ調整装置２８により、ワークギャップを微調整する（詳細は後述する）。また、ヘッド回転機構１３１により、ヘッドユニット２７を回転させて、ノズル列１０４の列方向がＹ軸方向に対して平行になるように機能液滴吐出ヘッド８１の向きを調整する。

続いて、Ｘ軸テーブル２３が、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させる。ワークＷの往動と同期して、機能液滴吐出ヘッド８１が選択的に駆動され、ワークＷに対する機能液の選択的な吐出動作が行われる。ワークＷが一往動すると、Ｙ軸テーブル２４は、メインキャリッジ２６を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、Ｘ軸テーブル２３により、ワークＷを復動させると共に、これと同期して機能液滴吐出ヘッド８１の選択的な駆動を行う。ワークＷの一復動が終了すると、Ｙ軸テーブル２４により、メインキャリッジ２６を副走査させる。そしてこれを、数回繰り返すことで、ワークＷの端から端まで（全領域）の描画が行われる。

一方、メンテナンス装置１２は、図１に示すように、機能液滴吐出ヘッド８１から予備吐出された機能液を受けるためのフラッシングユニット１６１と、機能液滴吐出ヘッド８１のポンプ吸引を行う吸引ユニット１６２と、機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３に付着する汚れを払拭するためのワイピングユニット１６３と、機能液滴吐出ヘッド８１から吐出される機能液の吐出状態を検査するための吐出検査ユニット１６４と、機能液滴吐出ヘッド８１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット１６５と、を備えている。フラッシングユニット１６１、吸引ユニット１６２、ワイピングユニットおよび吐出検査ユニット１６４は、Ｘ軸テーブル２３の図示の左側に配設され、重量測定ユニット１６５は、Ｘ軸テーブル２３の図示の右側に配設されている。そして、これら各ユニットは、Ｙ軸方向に移動するヘッドユニット２７の移動軌跡上に配設されており、Ｙ軸テーブル２４によるヘッドユニット２７の移動を利用して、ヘッドユニット２７に臨み、ヘッド昇降機構１３２によりノズル面１０３との距離が調整された後、保守に供するようになっている。なお、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシング用に、吸着テーブル２５の前後には、吐出前フラッシングユニット１６６，１６６がそれぞれ設けられている。

また、Ｘ軸テーブル２３の図示の左側には、吸引ユニット１６２および吐出検査ユニット１６４を支持する共通支持フレーム１７１がＸ軸テーブル２３と横並びに設置されている。図１０に示すように、共通支持フレーム１７１は、石定盤２２上に設置したベース部１７２と、ベース部１７２の長手方向の一端に立設したスタンド部１７３とを有しており、ベース部１７２は吐出検査ユニット１６４を載置し、スタンド部１７３は吸引ユニット１６２を支持する吸引ユニット支持台１７４を載置している。なお、吸引ユニット支持台１７４には、Ｙ軸方向に延びたセンサ支持部材１７５を介して、平面視長方形のノズル面用距離センサ１８１が配設されている。

続いて、図１１および図１２を参照して、本実施形態のギャップ調整装置２８について詳細に説明する。ギャップ調整装置２８は、上記の吸引ユニット支持台１７４に配設され、ノズル面１０３の複数の箇所との距離を測定するノズル面用距離センサ１８１と、上記のヘッド支持フレーム１４２に取り付けられ、ワークの厚さを測定するワーク厚さ用距離センサ１８２と、上記の吸着テーブル２５に配設されたキャリブレーション用治具１８３と、を備えている。さらに、ギャップ調整装置２８は、ノズル面１０３の複数の測定箇所１０６をノズル面用距離センサ１８１に順に臨ませるように、機能液滴吐出ヘッド８１をワークＷの平面と平行な平面内において移動させるギャップ測定系移動機構と、機能液滴吐出ヘッド８１をワークＷに対して上下方向に移動させてワークギャップを微調整する昇降手段と、機能液滴吐出ヘッド８１をワークＷの表面に平行な平面内において回転させる回転手段と、ノズル面用距離センサ１８１の測定結果に基づき昇降手段を制御する制御手段と、を備え、上記のＹ軸テーブル２４およびヘッド回転機構１３１、ヘッド昇降機構１３２ホスト・コンピュータ３を、それぞれ移動手段および回転手段（ギャップ測定系移動機構）、昇降手段、制御手段として機能させている。なお、ノズル面用距離センサ１８１は、上下方向にキャリブレーション用治具１８３を挟んでヘッドユニット２７に対向するように配設されている。

ノズル面用距離センサ１８１は、吸着テーブル２５の表面の上下方向の位置をゼロ点とし、ノズル面１０３の４隅となる４箇所の測定箇所１０６、すなわち、３個の機能液滴吐出ヘッド８１について１２箇所の測定箇所１０６の上下方向の位置を測定するものであって、レーザ光の反射を利用して上記の各位置を精度よく測定する。また、ノズル面１０３の４隅となる４箇所の測定箇所１０６のうちの１箇所がノズル面１０３のうち最も下方に位置する箇所であることから、距離測定手段により、ノズル面１０３のうち最も下方に位置する箇所を確実に測定することができる。この測定結果はホスト・コンピュータ３に出力され、ホスト・コンピュータ３により複数の測定結果の最も近い位置が判定される。なお、測定箇所の個数や位置は任意であって、例えば、各機能液滴吐出ヘッド８１がメインキャリッジ２６（ヘッドプレート８２）に対して平行に精度よく搭載されている場合には、各ノズル面１０３の任意の１箇所の上下方向の位置を測定すればよい。

また、ノズル面用距離センサ１８１が新設または交換された場合等には、ノズル面用距離センサ１８１によりキャリブレーション用治具１８３の第１測定基準面１９２（後述する）との上下方向の第１基準距離の測定が行われる。この場合、第１測定基準面１９２とワークＷの表面との間の寸法は管理されており、この測定結果はホスト・コンピュータ３に出力され、ホスト・コンピュータ３により第１基準距離に基づいてノズル面用距離センサ１８１のゼロ点補正が行われる。したがって、ノズル面用距離センサ１８１を新設または交換した場合であっても、ノズル面用距離センサ１８１のゼロ点補正が行われるため、ノズル面用距離センサ１８１による測定結果が、測定面に対するレーザ光の反射率による影響を受けることがないため、ノズル面用距離センサ１８１によるノズル面１０３の複数の測定箇所１０６との距離の測定結果に対して、正確なゼロ点補正を行うことができる。

ノズル面用距離センサ１８１は、ヘッド回転機構１３１を駆動して、ノズル列の列方向がＹ軸方向と平行（所定のヘッド基準位置に対して＋９０°の位置）となるようにヘッドユニット２７を回転させ、各ノズル面１０３の一方の短辺側をノズル面用距離センサ１８１上に位置させる。次に、３個の機能液滴吐出ヘッド８１の各ノズル面１０３の４隅となる１２箇所の測定箇所１０６のうち、各ノズル面１０３の一方の短辺の両端となる６箇所の測定箇所１０６を、Ｙ軸テーブル２４によりノズル面用距離センサ１８１に順に臨ませ、６箇所の測定箇所１０６の上下方向の位置が測定される。続いて、ヘッド回転機構１３１により、ヘッドユニット２７をθ軸を中心に１８０°（所定のヘッド基準位置に対して−９０°の位置）回転させ、各ノズル面１０３の他方の短辺側をノズル面用距離センサ１８１上に位置させる。そして、１２箇所の測定箇所１０６のうち、各ノズル面１０３の他方の短辺の両端となる６箇所の測定箇所１０６を、Ｙ軸テーブル２４によりノズル面用距離センサ１８１に順に臨ませ、６箇所の測定箇所１０６の上下方向の位置が測定される。

このようにして、３個の機能液滴吐出ヘッド８１の各ノズル面１０３の４隅となる１２箇所の測定箇所１０６の上下方向の位置が測定される。したがって、複数のノズル面用距離センサ１８１を機能液滴吐出ヘッド８１に取り付けた場合のように相互の上下方向の取付け精度が問題となることなく、機能液滴吐出ヘッド８１のノズル面１０３の上下方向の位置ずれを正確に測定することができる。また、描画動作時やメンテナンス動作時に使用されるＹ軸テーブル２４およびヘッド回転機構により、ノズル面１０３の測定箇所１０６を容易に距離測定センサに臨ませることができるため、機能液滴吐出ヘッド８１をノズル面用距離センサ１８１に臨ませるための手段をさらに備える必要がなく、液滴吐出装置１全体の構造を単純化することができる。

なお、ノズル面１０３の複数の測定箇所１０６をノズル面用距離センサ１８１に順に臨ませるためには、ノズル面用距離センサ１８１を吸着テーブル２５に配設し、機能液滴吐出ヘッド８１およびノズル面用距離センサ１８１の両方を移動させるようにしてもよい。また、複数のノズル面用距離センサ１８１を、複数の測定箇所に相当する位置に、上下方向に相互に精度よく配設し、複数のノズル面用距離センサ１８１により複数の測定箇所１０６に対する上下方向の位置をそれぞれ測定するようにしてもよい。

また、ノズル面用距離センサ１８１は、Ｘ軸方向に移動する吸着テーブル２５の移動軌跡上に位置するため、Ｘ軸テーブル２３による吸着テーブル２５の移動を利用して、キャリブレーション用治具１８３に臨むようになっている。

ワーク厚さ用距離センサ１８２は、吸着テーブル２５の表面の上下方向の位置をゼロ点とし、ワークＷの表面の位置を測定するものであり、レーザ光の反射を利用して上記の位置を精度良く計測する。この測定結果はホスト・コンピュータ３に出力され、ホスト・コンピュータ３によりワークＷの厚みが算出される。

また、ワーク厚さ用距離センサ１８２が新設または交換された場合等には、ノズル面用距離センサ１８１同様に、ワーク厚さ用距離センサ１８２によりキャリブレーション用治具１８３の第２測定基準面１９７（後述する）との上下方向の第２基準距離の測定が行われる。この場合、第２測定基準面１９７とワークＷの表面との間の寸法は管理されており、この測定結果はホスト・コンピュータ３に出力され、ホスト・コンピュータ３により第２基準距離に基づいてワーク厚さ用距離センサ１８２のゼロ点補正が行われる。

なお、上下方向の位置を測定・計測するには、本実施形態で用いたノズル面用距離センサ１８１やワーク厚さ用距離センサ１８２のようにレーザ光の反射を利用したもの（レーザ距離センサ）の他、画像認識によるセンサや受発光素子からなるフォトセンサ等、各種の測定手段を用いることができる。

図１２に示すように、キャリブレーション用治具１８３は、ノズル面用距離センサ１８１およびワーク厚さ用距離センサ１８２のゼロ点補正に用いられるものであって、ステンレス板からなる円板状の基準板１９１と、その上面に同心円状に形成された凹部１９３に嵌合され、石英ガラスからなる円板状のガラス板１９６と、を備えている。基準板１９１は、裏面側の周縁部が段部を介して薄肉に形成され、この段部の部分で半部を没入させるようにして取付穴５１（吸着テーブル２５の表面）に装着される。基準板１９１の裏面側は、第１測定基準面１９２を形成する部位であり、この裏面にはノズルプレート１０２と同様の共晶メッキ（黒色）が施されている。ガラス板１９６は、その表面が第２測定基準面１９７となっており、基準板１９１の表面と面一になるように凹部１９３に嵌め込まれている。凹部１９３の周囲に位置して、基準板１９１には４個のねじ穴１９５が周方向に均等間隔で形成されており、これらのねじ穴１９５に螺合する４個のねじ（図示省略）の座面により、ガラス板１９６を凹部１９３上に４箇所で固定するようになっている。

キャリブレーション用治具１８３は、第１測定基準面１９２が下方を向き、第２測定基準面が上方を向くように、取付穴５１に配設されている。また、第１測定基準面１９２は、吸着テーブル２５の表面から基準板１９１の厚さに相当する距離に位置管理され、第２測定基準面１９７は、吸着テーブル２５の表面からガラス板１９６の厚さに相当する距離に位置管理されている。この第１測定基準面１９２、第２測定基準面と吸着テーブル２５とのそれぞれの差分は、ホスト・コンピュータ３のデータに加味されている。

図１１において仮想線で示すように、基準板１９１の第１測定基準面１９２は、ノズル面用距離センサ１８１のゼロ点補正を行う際に基準となるものであって、ノズル面用距離センサ１８１により第１測定基準面１９２にレーザ光が照射され、第１基準距離の測定が行われる。この第１基準距離と、吸着テーブル２５の表面から第１測定基準面１９２までの距離（基準板１９１の厚さ）とから、吸着テーブル２５の表面の上下方向の位置がゼロ点となるようにゼロ点補正が行われる。基準板１９１は、ノズルプレート１０２と同様に共結メッキが施されたステンレス板からなるため、その第１測定基準面１９２は、ノズル面１０３に対するレーザ光の反射率と略等しい反射率を有している。したがって、ノズル面用距離センサ１８１による測定結果が、測定面に対するレーザ光の反射率による影響を受けることがなく、ノズル面１０３と第１測定基準面１９２とを同一条件下で測定することができ、ノズル面用距離センサ１８１によるノズル面１０３との距離の測定結果に対して、正確なゼロ点補正を行うことができる。

基準板１９１の第２測定基準面１９７は、第１測定基準面１９２と同様に、ワーク厚さ用距離センサ１８２のゼロ点補正を行う際に基準となるものであって、ワーク厚さ用距離センサ１８２により第２測定基準面１９７にレーザ光が照射され、第２基準距離の測定が行われる。第２測定基準面１９７はガラス板１９６に形成されているため、ワークＷ（石英のガラス基板）に対するレーザ光の反射率と略等しい反射率を有している。したがって、ワーク厚さ用距離センサ１８２による測定結果が、測定面に対するレーザ光の反射率による影響を受けることがなく、ワークＷの表面と第２測定基準面１９７とを同一条件下で測定することができ、ワーク厚さ用距離センサ１８２によるワークＷの表面との距離の測定結果に対して、正確なゼロ点補正を行うことができる。

図１１に示すように、ホスト・コンピュータ３は、ノズル面用距離センサ１８１およびワーク厚さ用距離センサ１８２の測定結果に基づいて、ヘッド昇降機構１３２の昇降動作を制御している。ノズル面用距離センサ１８１およびワーク厚さ用距離センサ１８２は、上述したように、吸着テーブル２５の表面の上下方向の位置をゼロ点とするものであって、その新設または交換時等において、ゼロ点調整が行われている。

ノズル面用距離センサ１８１により３個の機能液滴吐出ヘッド８１について１２箇所の測定箇所１０６の上下方向の位置が測定され、その測定結果がホスト・コンピュータ３に送られる。ホスト・コンピュータ３は、１２個の測定結果から最小の測定値（最も近い測定箇所１０６との距離）を選択する。

また、ワークＷが吸着テーブル２５にセットされると、ワーク厚さ用距離センサ１８２によりワークＷの表面の上下方向の位置が測定され、その測定結果、すなわちワーク厚さデータがホスト・コンピュータ３に送られる。ホスト・コンピュータ３は、記憶されているワーク厚さデータを更新するデータ更新手段２０１を有しており、ワークＷがセットされる毎にワーク厚さデータが更新される。このため、ワークＷの厚さに応じてワークギャップを微調整することができる。

ホスト・コンピュータ３は、データ更新手段２０１により更新されたワーク厚さデータと、選択した最小の測定値とから、その最も近い測定箇所１０６とワークＷの表面との離間距離を演算する。そして、ホスト・コンピュータ３は、演算された離間距離が設定したワークギャップ（例えば、０．１５ｍｍ）となるように、ヘッド昇降機構１３２を駆動し、ヘッドユニット２７（ノズル面１０３）を昇降させて、ヘッドギャップが微調整される。したがって、ノズル面用距離センサ１８１による１２個の測定結果の最も近い位置とワークＷの表面との離間距離が設定したワークギャップとなるため、ノズル面１０３がワークＷの表面に接触することがない。
なお、ワークギャップを微調整するためには、ワークＷを上下させてもよく、ヘッドユニット２７およびワークＷの両者を上下させてもよい。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１３は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１４は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１）では、図１４（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１４（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１４（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド８１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ３）では、図１４（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド８１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド８１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ４）に移り、図１４（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、基板５０１を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ５００が得られる。

図１５は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１４に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１５において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド８１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド８１で行うことも可能である。

図１６は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１７は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１８は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。また、第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層１２０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロヘキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１９〜図２７を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１９に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２０に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２１に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド８１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル６３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。

図２２に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド８１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２３に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２４に示すように、各色のうちの何れか（図２４の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２５に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド８１を用い、図２６に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２７に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２８は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル６３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド８１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド８１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２９は、電子放出装置（ＦＥＤ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した素子膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび素子膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。素子膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、素子膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、素子膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

以上に述べたように、本発明のギャップ調整装置および液滴吐出装置によれば、ノズル面の上下方向の位置ずれを正確に測定することでワークギャップを極力小さい値に調整することができる。したがって、機能液滴の飛行曲がりや着弾径等を精度良く管理することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、機能液滴の飛行曲がりや着弾径等が精度良く管理された液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い高品質の電気光学装置や電子機器を提供することができる。

１液滴吐出装置、３ホスト・コンピュータ、１１描画装置、２３Ｘ軸テーブル、２４Ｙ軸テーブル、２５吸着テーブル、２６メインキャリッジ、２７ヘッドユニット、２８ギャップ調整装置、５１取付穴、８１機能液滴吐出ヘッド、８１３ノズル面、１０６測定箇所、１３１ヘッド回転機構、１３２ヘッド昇降機構、１８１ノズル面用距離センサ、１８２ワーク厚さ用距離センサ、１８３キャリブレーション用治具、１９２第１測定基準面、１９７第２測定基準面、２０１データ更新手段、Ｗワーク。

Claims

定盤と、
前記定盤上に配設されるとともに、ワークをセットするワークテーブルと、
ノズル面に複数のノズルが設けられるとともに、前記ワークテーブルに対して相対的に移動するヘッドと、
前記定盤上に配設されるとともに、前記ノズル面の位置を測定するためのセンサと、
前記ワークテーブルの表面の上下方向の位置をゼロ点として前記ワークの表面の位置を測定するワーク厚さ用センサと、
前記センサの測定結果及び前記ワーク厚さ用センサの測定結果に基づき、前記ワークの表面と前記ノズル面との間のワークギャップを調整するギャップ調整装置と、
を有し、
前記センサ及び前記ワーク厚さ用センサは、キャリブレーション用治具を用いてゼロ点補正する液滴吐出装置。
前記ワークテーブルにセットしたワークに対して描画する場合には、前記ヘッドを前記ワークテーブル上の描画領域に臨ませるとともに、前記ワークギャップを調整する場合には、前記ヘッドを前記センサに臨ませるＹ軸テーブルをさらに備える請求項１に記載の液滴吐出装置。
前記ヘッドを保守する保守装置をさらに備え、
前記Ｙ軸テーブルにより前記ヘッドを移動させる移動軌跡上に、前記保守装置及び前記センサが配設される請求項２に記載の液滴吐出装置。
前記センサは、前記移動軌跡上であって、前記描画領域と前記保守装置との間に配置される、請求項３に記載の液滴吐出装置。
前記センサは、レーザの反射を利用して前記ノズル面の位置を測定する請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
ワークをセットするワークテーブルと、
ノズル面に複数のノズルが設けられるとともに、前記ワークテーブルに対して相対的に移動するヘッドと、
前記ワークテーブルに配設されるとともに、前記ノズル面の位置を測定するためのセンサと、
前記ワークテーブルの表面の上下方向の位置をゼロ点として前記ワークの表面の位置を測定するワーク厚さ用センサと、
前記センサの測定結果及び前記ワーク厚さ用センサの測定結果に基づき、前記ワークの表面と前記ノズル面との間のワークギャップを調整するギャップ調整装置と、
を有し、
前記センサ及び前記ワーク厚さ用センサは、キャリブレーション用治具を用いてゼロ点補正する液滴吐出装置。