JP5304303B2 - 微細形状転写シートの製造装置および微細形状転写シートの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、微細形状転写シートの製造装置および微細形状転写シートの製造方法に関する。更に詳しくは、転写ムラを発生することのない微細形状転写シートの製造装置と微細形状転写シートの製造方法に関する。

従来、導光板、光拡散板、レンズ等の光学フィルムを製造する手段として、薄いフィルムなどのシート状基材の表面に、金型（スタンパー）の表面に設けた微細凹凸形状を転写するプレス成形方法が知られている（特許文献１、特許文献２）。
また、このようなプレス成形法では、特にシート状基材に対する金型（スタンパー）のプレス時に緩衝材の効果を有効に活用することができず、転写ムラを起こすことがあった。

このような観点にもとづいて、スタンパーと基材の間に緩衝材を介してプレスすることが提案されている（特許文献３）。
しかし、特許文献３の提案では、具体的な緩衝材として、物性などは検討されておらず、例えば、市販されているポリイミドフィルム、テフロン（登録商標）、シリコーンゴム、ＰＥＴフィルム、ポリエチレンフィルム、ＮＢＲ等を使用することが提案されているに止まり、これら市販されている材料を使用しても、プレスを繰り返す度に緩衝材の変形が起き、結果、緩衝材の厚みが減少し、転写ムラを引き起こすという問題は完全に解消されるわけではなかった。

特開２００５―１９９４５５号公報 特開２００５―３１０２８６号公報 特開２００４―２８８８０４号公報（段落００１８）

本発明の目的は、上述したような点に鑑み、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元し、その結果、シート状樹脂基材に転写ムラを発生することなく転写成形することのできる微細形状転写シートの製造装置と微細形状転写シートの製造方法を提供することにある。

上述した目的を達成する本発明の微細形状転写シートの製造装置は、微細形状が表面に形成された金型と、金型の表面にシート状の樹脂基材を押圧するプレート板と、該シート状の樹脂基材が挿入される位置とプレート板との間に設けられた緩衝材とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、緩衝材の後述する方法で測定するクッション量が５０μｍ以上かつ変形回復率が４０％以上であることを特徴とするものである。

また、本発明の微細形状転写シートの製造方法は、微細形状が表面に形成された金型の表面にシート状の樹脂基材を供給した後、緩衝材を介してプレート板によりシート状の樹脂基材を金型に押圧してシート状の樹脂基材の表面に微細形状を転写する微細形状転写シートの製造方法であって、緩衝材として、後述する方法で測定するクッション量が５０μｍ以上かつ変形回復率が４０％以上である緩衝材を用いることを特徴とするものである。

本発明によれば、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元し、シート状樹脂基材に転写ムラを引き起こすことなく転写成形することができる。

本発明の微細形状転写シートの製造装置を、シート状樹脂基材の幅方向から見た概略断面図である。 図１に示した本発明の装置を用いて、ロール状の連続フィルムを間欠成形する動作をシート状樹脂基材幅方向から見た概略断面図である。 図１に示した本発明の装置を用いて、ロール状の連続フィルムを間欠成形する動作をシート状樹脂基材幅方向から見た概略断面図であり、図２に示した動作に続く下流での動作を示したものである。 耐熱性、離型性を評価するための荷重をかける装置を正面から見た概略断面図である。

以下、更に詳しく本発明の微細形状転写シートの製造装置と微細形状転写シートの製造方法について説明する。

まず、本発明の微細形状転写シートの製造装置は、微細形状が表面に形成された金型と、金型の表面にシート状の樹脂基材を押圧するプレート板と、シート状の樹脂基材が挿入される位置とプレート板との間に設けられた緩衝材とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、緩衝材としてクッション量が５０μｍ以上かつ変形回復率が４０％以上である緩衝材を用いてなるものである。

また、本発明の微細形状シートの製造方法は、微細形状が表面に形成された金型の表面にシート状の樹脂基材を供給した後、緩衝材を介してプレート板により樹脂基材を金型に押圧して樹脂基材の表面に微細形状を転写する微細形状転写シートの製造方法であって、 緩衝材として、クッション量が５０μｍ以上かつ変形回復率が４０％以上である緩衝材を用いる方法である。

かかる構成及び方法を採用することにより、プレート板によりシート状樹脂基材を金型に押圧（プレス）してシート状樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元し、シート状樹脂基材に転写ムラを引き起こすことなく転写成形することができる。

本発明にかかる緩衝材は、そのクッション量が５０μｍ以上であることが必要である。ここで本発明におけるクッション量とは、標準測定子（Ｎｏ９０００３０）を取り付けたダイヤルゲージで緩衝材を押さえ、ダイヤルゲージ押さえ部分に荷重をかけないときの緩衝材の厚みをｄ０（μｍ）、５００ｇの荷重をかけたときの緩衝材の厚みをｄ５００（μｍ）として下記式で求められる値である。
・クッション量（μｍ）＝（ｄ０−ｄ５００）。

クッション量が５０μｍ以上であると、プレート板によりシート状樹脂基材を金型にプレスしてシート状樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、シート状樹脂基材に転写ムラを引き起こすことなく転写成形することができる。クッション量は、緩衝材自身の厚みムラ、プレート板の厚みムラ、微細形状を備えた金型の微細凹凸パターン深さと金型自身の厚みムラ、およびシート状樹脂基材の厚みムラの合計よりも大きくすることが好ましいことから、クッション量は好ましくは１４０μｍ以上である。また、クッション量の上限は特に規定するものではないが、厚み減少分が大きすぎると、いかに変形回復率が高くても元の状態近くの厚みを維持することが困難となる。

前記緩衝材は、その変形回復率が４０％以上であることが必要である。ここで、本発明における変形回復率とは、標準測定子（Ｎｏ９０００３０）を取り付けたダイヤルゲージで緩衝材を押さえ、ダイヤルゲージ押さえ部分に荷重をかけないときの緩衝材の厚みをｄ０（μｍ）、２５０ｇの荷重をかけたときの緩衝材の厚みをｄ２５０（μｍ）、２５０ｇの荷重をかけその荷重を開放してから１０秒後の緩衝材の厚みをｄ’２５０（μｍ）として下記式で求められる値のことである。
・変形回復率（％）=｛（ｄ’２５０−ｄ２５０）／（ｄ０−ｄ２５０）｝×１００。

変形回復率が４０％以上であると、プレート板によりシート状樹脂基材を金型にプレスしてシート状樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元する。これはつまるところ、緩衝材のクッション量がプレス前の状態近くまで復元することを意味する。その結果、プレスを繰り返し実施してもシート状樹脂基材に転写ムラを引き起こすことなく転写成形することができる。変形回復率は好ましくは５０％以上、より好ましくは６０％以上である。また、変形回復率の上限は緩衝材の厚みが完全に復元することであるから１００％である。

前記緩衝材は、５０μｍ以上のクッション量と４０％以上の変形回復率を有するために、その材質が、耐熱性基布の中間基材と、この中間基材の片側又は両側に積層された弾性体とで構成された複合シートと、この複合シートの少なくとも片面に積層された耐熱性及び離型性を有するフィルムとで構成されたものであることが好ましい。つまり、複合シートは「弾性体／中間基材」又は「弾性体／中間基材／弾性体」の構成であり、緩衝材はこの複合シートの少なくとも片面に耐熱性及び離型性を有するフィルムを積層した構成となる。このような構成の緩衝材は優れた緩衝性能、つまり、高いクッション量と高い変形回復率の両者を兼ね備えている数少ない材料であり好ましい。

緩衝材の構成としては、複合シートが「弾性体／中間基材／弾性体」で構成され、この複合シートの片面に耐熱性および離型性を有するフィルムが積層されている、つまり全体として「耐熱性および離型性を有するフィルム／弾性体／中間基材／弾性体」の構成が実用的にはより好ましい。中間基材である耐熱性基布の両側を弾性体で積層することにより、耐熱性基布の断片が飛散しにくいことから実用的により好ましい。さらに、耐熱性基布の断片飛散を防止するために複合シート「弾性体／中間基材／弾性体」の４辺エッジ部を例えば耐熱性を有するポリイミドテープ等でカバーすることも好ましい。この場合、テープを貼った部分が微細形状を転写する際に金型に接触しないよう、金型サイズの外になるようにする。

また、耐熱性および離型性を有するフィルムの主だった役割は、シート状樹脂基材をプレート板により押圧し、プレスを開放する際、シート状樹脂基材が金型から離脱し、プレート板に追従してしまうという問題を好適に回避することである。したがって、フィルムは、複合シートのシート状樹脂基材が挿入される位置側の片面に積層すればよく、両面に積層するよりも緩衝材のコストが下がるので好ましい。

本発明における複合シートの耐熱性基布の中間基材としては、例えば、耐熱性ナイロンなどが挙げられる。基布が「耐熱性」を有するかどうかは後述する試験により判定する。また「基布」とは、複合シートのベースとなる布地のことである。この基布に耐熱性がない場合、高温プレス時に弾性体のはみ出し等が発生するため、微細形状転写シートの製造時に転写ムラが発生してしまう。

かかる弾性体としては、フッ素ゴム、シリコンゴム、エチレンプロピレンゴム、イソブチレンイソプレンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴムなどが挙げられる。中でも、プレート板によりシート状樹脂基材を金型にプレスしてシート状樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、プレス板や金型を加熱する場合があるので、耐熱性などに優れるフッ素ゴムが特に好ましい。

耐熱性基布の中間基材と、中間基材の片側又は両側に積層された弾性体とで構成された複合シート材により、プレート板によりシート状樹脂基材を金型に押圧（プレス）してシート状樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、プレスを繰り返し実施した際に緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元し、シート状樹脂基材に転写ムラを引き起こすことなく転写成形することができる。上記複合シートとしては、例えば（株）金陽社製の型番Ｆ２００が例示できる。

プレート板によりシート状樹脂基材を金型に押圧する際、上記複合シートに積層し、シート状樹脂基材の非成形面と接する側へ設置される耐熱性及び離型性を有するフィルムとして、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）などのフッ素樹脂フィルムが挙げられる。ＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡで特に大きな有意差はなく、フッ素樹脂フィルムとしては、例えば東レフィルム加工（株）トヨフロンＦ（材質：ＦＥＰ）が例示できる。耐熱性及び離型性を有するフィルムにより、シート状樹脂基材をプレート板により押圧し、プレスを開放する際、シート状樹脂基材が金型から離脱し、プレート板に追従してしまうという問題を好適に回避することができる。さらに、シート状の樹脂基材の非成形面にプレート板を直接押圧したり、表面粗さの大きな緩衝材で押圧することで、シート状樹脂基材の非成形面に傷がついたり、プレート板や緩衝材の表面粗さが転写してしまうことを回避する効果も期待できる。

逆に、成形前のシート状樹脂基材の非成形面に擦れ傷等がある場合、これを外観上ならびに性能上問題のないものとするために、表面が粒子により粗面化された耐熱性および離型性を有する微細凹凸フィルムを使用することもできる。微細凹凸フィルムを使用することでシート状樹脂基材の非成形面側に微細凹凸形状を転写し、擦れ傷等を外観上目立たなくし、かつ性能も維持することができる。このような微細凹凸フィルムは、例えば、光学用ポリエステルフィルム（東レ製 ルミラー （登録商標） Ｕ４６、厚み１００μｍ）を用い、易接着面に市販のハードコート剤（ＪＳＲ製 デソライト （登録商標）Ｚ７５２８）にアクリル樹脂粒子（粒子径２．０μｍ 屈折率１．５３ 濃度：塗剤固形分中の３質量％）を添加したものをイソプロピルアルコールで固形分濃度３０質量％に希釈した塗料を、小径グラビアコーターで塗工し、８０℃で１分間乾燥後、紫外線１．０Ｊ／ｃｍ^２を照射して硬化させ、厚み３μｍの微細凹凸層を設けることで得られる。また、市販されている粒子等が入っていないシリコーン樹脂やアクリル樹脂等で架橋させた離型膜を有する離型コート付きフィルム等も使用することができる。例えば、離型コート付きポリエステルフィルム（東レフィルム加工（株）製 セラピール（登録商標）ＢＸ）が例示できる。

耐熱性及び離型性を有するフィルムは、いかなる合成樹脂（熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂）でも構わない。さらに熱可塑性樹脂からなる熱可塑性フィルムとその熱可塑性フィルムの表面にコーティング等、形成手段は問わず、熱硬化性樹脂からなる熱硬化性樹脂膜を形成しても良い。ただし、熱硬化性樹脂と比較し、熱可塑性樹脂が適度な柔軟性を有したり、選択できる点が多いことから、熱可塑性樹脂で構成された熱可塑性フィルムで有ることが好ましい。

本発明における耐熱性及び離型性を有するフィルムが、「耐熱性」や「離型性」を有するかどうかは後述する試験により判定する。このフィルムに耐熱性がない場合、高温プレスを繰り返す毎にフィルム表面劣化が生じ、微細形状転写シートの製造時において、シート状樹脂基材の非成形面に所望の表面形状を得ることが出来ない場合がある。また、このフィルムに離型性がない場合、微細形状転写シートの製造時において、シート状樹脂基材をプレート板により押圧し、プレスを開放する際、シート状樹脂基材が金型から離脱し、プレート板に追従してしまうという問題が多発し、結果、スループットが大幅に低下するので、製造コスト面等に悪影響を及ぼしてしまう。

耐熱性および離型性を有するフィルムの厚みは、５０μｍ〜５００μｍの範囲であることが好ましい。厚みが５００μｍより厚いと、複合シートによってプレスを繰り返し実施した際の緩衝材の厚み減少分を元の状態近くまでその都度復元させる役割を阻害する場合がある。耐熱性および離型性を有するフィルムの厚みは５０μｍ〜１５０μｍの範囲がより好ましい。ここで、「シート状樹脂基材の非成形面」とは、プレート板による押圧時に金型と接触する面（成形面）とは反対側の面のことである。

耐熱性基布の中間基材と弾性体とで構成された複合シートと耐熱性及び離型性を有するフィルムは、耐熱性を有する公知の接着剤によりラミネートしても良いし、ラミネートをせずに積層するだけでも効果は十分に発現する。 緩衝材を構成する中間基材の基布が「耐熱性」を有するかどうか、緩衝材を構成する複合シートに積層されたフィルムが「耐熱性」と「離型性」を有するかどうかは次の試験を行い判定する。同じ緩衝材を２枚用意し、耐熱性及び離型性を有するフィルム面々が重なるように２枚の緩衝材を重ね合わせる。つまり、重ね合わせた構成は、「複合シート（弾性体／中間基材／弾性体）／耐熱性及び離型性を有するフィルム／耐熱性及び離型性を有するフィルム／複合シート（弾性体／中間基材／弾性体）」となる。この状態で重ね合わせたものに１ＭＰａの荷重をかけながら、１５０℃×１時間保管する。荷重をかける装置としては、例えば、株式会社ＤＧエンジニアリング製、型番インキブロッキングテスターＤＧ−ＢＴ ＤＧ２０２０シリーズが挙げられる。

上記条件下で保管した２枚の緩衝材が密着せず、万一密着している場合でも、素手で軽くとれる程度であれば、複合シートに積層されたフィルムが「耐熱性」及び「離型性」を有していると判定する。複合シートに積層されたフィルムが「耐熱性」又は「離型性」を有していない場合、この試験によってフィルム同士が密着をおこし、２枚の緩衝材が簡単には剥がせなくなる。

また、上記条件下で試験を行った後のそれぞれの緩衝材の変形回復率が、試験前の変形回復率よりも２０％未満の低下であれば、中間基材の基布は「耐熱性」を有していると判断し、２０％以上の低下であれば、中間基材の基布は「耐熱性」を有していないと判断する（緩衝材の変形回復率の低下（％）＝試験前の緩衝材の変形回復率（％）−試験後の緩衝材の変形回復率（％））。

緩衝材は、その厚みが０．３ｍｍ〜５ｍｍの範囲であることが好ましい。緩衝材のクッション量は、緩衝材自身の厚みムラ、プレート板の厚みムラ、微細形状を備えた金型の微細凹凸パターン深さと金型自身の厚みムラ、およびシート状樹脂基材の厚みムラの合計よりも大きくすることが好ましく、さらに緩衝材の厚みが大きいほどそのクッション量も大きくなる点を考慮して、緩衝材の厚みは０．３ｍｍ以上であることが好ましい。また、緩衝材をプレート板に設置するハンドリング性を考慮すると、緩衝材の厚みは５ｍｍ以下が実現的であり、好ましい。緩衝材の厚みは、より好ましくは２．０〜２．５ｍｍである。

なお、緩衝材が耐熱性基布の中間基材と、中間基材の片側又は両側を被覆した弾性体とで構成された複合シートと耐熱性及び離型性を有するフィルムで構成されたものである場合、緩衝材の厚みとは中間基材と中間基材を被覆した弾性体である複合シートとフィルムとを合わせた厚みである。

本発明にかかる金型は、その転写面に微細なパターンを有するものである。金型にパターンを形成する方法としては、機械加工、レーザー加工、フォトリソグラフィ、電子線描画方法等がある。金型の材質としては、所望のプレス時の強度、パターン加工精度、フィルムの離型性が得られるものであればよく、例えば、ステンレス、ニッケル、銅等を含んだ金属材料、シリコーン、ガラス、セラミックス、樹脂、もしくは、これらの表面に離型性を向上させるための有機膜を被覆させたものが好ましく用いられる。金型の微細なパターンは、フィルム表面に付与したい微細な凹凸パターンに対応して形成されているものである。

本発明にかかるプレート板は、シート状樹脂基材を金型にプレスしてシート状樹脂基材の表面に微細形状を転写するに際し、シート状樹脂基材を金型方向へ押し付ける役割をするものである。プレート板のフィルム押圧面側の平面度は１０μｍ以下が好ましく、さらに好ましくは５μｍ以下である。また、シート状樹脂基材をプレスする際に、シート状樹脂基材を加熱・冷却できるように、プレート板には加熱・冷却制御ができる機能が付与されることもある。

図１に、かかる本発明の微細形状転写シートの製造装置の一例を、シート状樹脂基材の幅方向から見た概略断面図を示す。
図１に示すように、本発明の微細形状転写シートの製造装置１は、プレスユニット１０と、離型ユニット２０と、ヒーターユニット３０と、冷却ユニット４０と、巻出ユニット５０、巻取ユニット６０から構成される。巻出ユニット５０でロール状に巻き取られたシート状樹脂基材２が、巻き出されて、プレスユニット１０で金型３の微細凹凸形状が転写形成され、巻取ユニット６０によりロール状に巻き取られる。巻出ユニット５０と巻取ユニット６０は、上記のシート状樹脂基材の搬送装置である。プレスユニット１０は、加圧プレート（上）１４ａが支柱１１をガイドにして昇降移動できるように、プレスシリンダー１２に連結されている。支柱１１はフレーム（上）１６ａとフレーム（下）１６ｂに挟まれるように配設されている。加圧プレート（上）１４ａの下面には温調プレート（上）１５ａが取り付けられている。一方、加圧プレート（下）１４ｂの上面には温調プレート（下）１５ｂが取り付けられている。各温調プレートには、それぞれ、加熱ユニット３０、冷却ユニット４０が配管、配線等を介して接続されている。そして、金型３は温調プレート（下）１５ｂの上側表面に取り付けられて、下側温調プレートを介して、加熱、冷却制御される。そして温調プレート（上）１５ａが本発明にかかるプレート板として機能する。なお、金型３は温調プレート（上）１５ａの下面に取り付けられてもよい。この場合には、温調プレート（下）１５ｂが本発明にかかるプレート板として機能する。プレスシリンダーは図示しない油圧ポンプとオイルタンクに接続されており、油圧ポンプにより加圧プレート（上）１４ａの昇降動作および、加圧力の制御を行う。また、本実施形態では油圧方式のプレスシリンダーを適用しているが、加圧力を制御できる機構であれば、いかなるものでもよい。圧力範囲は０．１ＭＰａ〜２０ＭＰａの範囲で制御できることが好ましく、さらに好ましくは、１ＭＰａで〜１０ＭＰａの範囲で制御できることが好ましい。プレスシリンダーの昇圧速度は０．０１ＭＰａ／ｓ〜１ＭＰａ／ｓの範囲で制御できることが好ましく、さらに好ましくは、０．０５ＭＰａ／ｓ〜０．５ＭＰａ／ｓの範囲で制御できることが好ましい。また、シート状樹脂基材にある程度の厚みムラがあっても全面でムラなく成形できるように、温調プレート（下）１５ｂの上側表面に金型３が取り付けられている場合には、温調プレート（上）１５ａとシート状樹脂基材２の間に緩衝材１７を設置する。また、温調プレート（上）１５ａの下側表面に金型３が取り付けられている場合には、温調プレート（下）１５ｂとシート状樹脂基材２の間に緩衝材１７を設置する。 該緩衝材１７としては、変形回復率が４０％以上、クッション量が５０μｍ以上のものを用いる。例えば、耐熱性基布の中間基材と、中間基材の片側又は両側に積層された弾性体とで構成された複合シートと、この複合シートの少なくとも片面に積層された耐熱性及び離型性を有するフィルムとで構成されたものを用いる。

緩衝材１７として、変形回復率が４０％以上、クッション量が５０μｍ以上のものを用いることにより、プレスされる際に、プレスを繰り返し実施しても緩衝材の厚み減少分が元の状態近くまでその都度復元し、基材に転写ムラを引き起こすことなく転写成形することができる。

次に、上記の離型装置たる離型ユニット２０について説明する。図１に示したように、離型ユニットは剥離ロール２１と補助ロール２２から構成され、剥離ロール２１には図示しない剥離ロール回転手段が接続されて、指定の回転数で回転制御される。剥離ロール回転手段は、回転数を制御できるものであればよいが、回転量を厳密に制御できるようにサーボモータがより好ましい。また、剥離ロール２１が回転しながら、金型３の表面に略平行にスムーズに移動できるように、直動用の案内ガイド等が加圧プレート（下）１４ｂの上面に取り付けられている。

一方、補助ロール２２は、剥離ロール２１の外表面に沿うように旋回できるように、上記の補助ロール移動手段たる補助ロール旋回手段が接続されている。補助ロール旋回手段は電磁モータ、空圧を利用したアクチュエータ等、補助ロールを剥離ロールの周辺でその外周に沿って昇降移動させうるものであればいかなるものでもよい。そして、補助ロールの両端はロール軸心を中心に自在に回転できるように取り付けられている。

実際にシート状樹脂基材を金型表面から離型し、さらに、次に成形するシート状樹脂基材の供給動作を説明する。

離型動作前は、巻取側端位置で補助ロール２２を剥離ロール２１のほぼ上方まで移動させる。その後、剥離ロール回転手段により剥離ロールを回転させる。剥離ロールは回転とともに、金型３の表面に沿ってシート状樹脂基材巻出側へ直進移動し、同時に金型に貼り付いたシート状樹脂基材を剥離ロールに抱きつかせながら離型していく。金型の全領域でシート状樹脂基材の離型が完了すると、剥離ロールが回転しないようにブレーキをかけながら、下流側にある搬送駆動ロールを回転させてシート状樹脂基材を引っ張る。すると、剥離ロールと補助ロールにシート状樹脂基材が抱きついた状態で、剥離ロールと補助ロールのユニットがシート状樹脂基材巻取側へ直進移動する。

剥離ロールが巻取側の端位置まで戻ったら、補助ロール旋回手段により、補助ロールを剥離ロールのほぼ下方に旋回移動させて、シート状樹脂基材を開放する。上記の剥離動作は剥離ロールの回転速度に依存し、剥離速度はロールの周速とほぼ同速度で行える。そのため、厳密に剥離動作を制御することが可能となり、あらゆる成型材料、条件に対してもスムーズな剥離条件を容易に作り出すことができる。

また、離型ユニットの別の実施形態について説明する。上記で説明した構成に加えて、剥離ロールにリニアモーター、電磁シリンダー、空圧シリンダー等の剥離ロール直動手段を連結する。シート状樹脂基材を剥離する場合は、剥離ロール回転手段に一定トルクを保持させながら、剥離ロール直動手段を駆動して、離型ユニットを巻出側へ移動させながら剥離を行う。剥離動作が完了すれば、上記と同様に剥離ロールの回転を止めた状態で、下流側にある搬送駆動ロールを回転させて、シート状樹脂基材を引っ張る。

次に、加熱ユニット３０について説明する。加熱ユニット３０は温調プレート（上）、（下）１５ａ、１５ｂをアルミ合金とし、プレート内に鋳込んだ電熱ヒーターにより制御するものが良い。また、温調プレート内に鋳込んだ銅あるいはステンレス配管、もしくは、機械加工により加工した穴の内部に温調された熱媒体を流すことにより加熱制御するものでもよい。さらには両者を組み合わせた装置構成でもよい。

熱媒体としてはバーレルサーム（松村石油（株））、ＮｅｏＳＫ−ＯＩＬ（綜研テクニックス（株））等が良く、また、１００℃以上に加熱された水を循環させてもよい。そして、効率良く伝熱ができるように、配管内部のレイノズル数が１．０×１０^４〜１２×１０^４の範囲になることが好ましい。

また、鋳込みヒーター、カートリッジヒーター等にする場合は、温調プレートを分割制御できることが好ましい。

温調プレートは昇温中、降温中、一定温調中のすべてにおいて、レンジで１０℃以内、さらに好ましくは５℃以内の温度分布におさまることが好ましい。

また、金型に直接、熱媒配管ラインを加工し、金型を直接温調するようにしてもよい。

次に、冷却ユニット４０について説明する。冷却ユニットは温調プレート（上）（下）１５ａ、１５ｂに鋳込んだ銅あるいはステンレス配管、もしくは機械加工により加工した穴の内部に温調された冷媒体を流すことにより冷却制御する。

冷媒体としては、水が最適であるが、エチレングリコール溶液などでもよい。温度は１０℃〜５０℃の範囲が好ましく、効率良く伝熱できるように、配管内でのレイノズル数が１．０×１０^４〜１２×１０^４の範囲になることが好ましい。

シート状樹脂基材搬送装置たる巻出ユニット５０、巻取ユニット６０について説明する。巻出ユニット５０は巻出ロール回転手段５１と、搬送ロール５２ａ〜５２ｄと、引出バッファ部５３と、シート状樹脂基材固定部５４から構成される。巻取ユニット６０は巻取ロール回転手段６１と、搬送ロール６２ａ〜６２ｃと、巻取バッファ部６３と、搬送駆動ロール６４と、シート状樹脂基材固定部６５から構成される。

引出バッファ部５３、巻取バッファ部６３はそれぞれボックス５５、６６とこれらに接続された吸引排気手段５６、６７から構成される。吸引排気手段５６、６７は真空ポンプ等、エアーを吸引、排気できるものであれば良く、ボックス内のエアーを排気することにより、ボックス内に挿入されたシート状樹脂基材の表裏面で圧力差を与えることにより、一定の張力を付与するとともにボックス内でシート状樹脂基材を弛ませて保持する。ボックス内に挿入されるシート状樹脂基材の長さは、シート状樹脂基材を成形する前後で間欠的に搬送するシート状樹脂基材長さ分が適当である。さらに、ボックス５５、６６内にはセンサー５７ａ、５７ｂ、６８ａ、６８ｂが取り付けられている。センサーは所定位置でシート状樹脂基材を検知できるものであればよい。上記した離型ユニットによりシート状樹脂基材が離型、搬送されて、ボックス内でセンサー検知位置からシート状樹脂基材が外れたときに、上下流の巻出ロール回転手段５１、あるいは巻取ロール回転手段６１を駆動して、シート状樹脂基材を巻き出し、あるいは巻き取り、常に、ボックス内で所定位置にシート状樹脂基材を張ったり、弛ましておくことができる。

また、シート状樹脂基材固定部５４、６５は表面に吸引孔が形成された平板であることが好ましいが、さらに、クリップでシート状樹脂基材を挟む機構のもの、あるいは、これらを組み合わせたものでもよい。

シート状樹脂基材固定部５４、６５はプレス動作を行うときは両方とも作動させる。そして、シート状樹脂基材を離型するときはシート状樹脂基材固定部５４を作動させてシート状樹脂基材を固定し、シート状樹脂基材固定部６５が開放させることが好ましい。また、シート状樹脂基材を供給するときはシート状樹脂基材固定部５４、６５を両方とも開放することが好ましい。

搬送駆動ロール６４は図示しないがモータ等の回転駆動手段に連結されて、シート状樹脂基材搬送時にはニップロール６４ａが搬送駆動ロール６４に近接し、シート状樹脂基材を挟み、搬送駆動ロール６４にてトルク制御を行いながらシート状樹脂基材を一定張力のもとで搬送する。

次に本発明にかかる微細形状転写用シートのシート状樹脂基材２について説明する。本微細形状転写用シートのシート状樹脂基材は、熱可塑性樹脂を主体とした薄板状物であればよく、後述する成形用の熱可塑性樹脂（以下、成形用熱可塑性樹脂）からなる単層体、支持体の片面に成形用熱可塑性樹脂を積層した２層積層体、支持体の一方の面に成形用熱可塑性樹脂を他方の面に成形用熱可塑性樹脂とは異なる樹脂を積層した３層積層体、支持体の両面に成形用熱可塑性樹脂を積層した３層積層体等がある。単層体は製膜上のハンドリング等に優れている。２層積層体は成形用熱可塑性樹脂を配した面とは反対側の面に易滑性、耐摩擦性などの表面特性や、機械的強度、耐熱性を付与することができる。また、高価な成形用熱可塑性樹脂の使用を減らせるので単層体と比較してコストも抑えられる。３層積層体は支持体の両面に樹脂が積層されるので成形後のカールが防止できる点から好ましい。特に支持体の両面に成形用熱可塑性樹脂を積層した３層積層体の場合、両面の樹脂の特性が同じであるからカールの防止が容易となり好ましい。また、成形用熱可塑性樹脂からなる単層体や、２層積層体又は３層積層体における成形面の成形用熱可塑性樹脂からなる層には、本発明の効果を阻害しない範囲において成形用熱可塑性樹脂以外の成分が含まれていてもよい。また、シート状樹脂基材の厚さは、好ましくは０．０１〜３ｍｍの範囲、より好ましくは０．０１〜１ｍｍの範囲である。０．０１ｍｍ未満では成形するのに厚みが十分でない場合があり、３ｍｍを超えると基材の剛性により搬送が難しくなる場合がある。

本発明にかかる成形用熱可塑性樹脂は、ガラス転移温度Ｔｇが好ましくは４０〜１８０℃、より好ましくは５０〜１６０℃、さらに好ましくは５０〜１２０℃、最も好ましくは、７０〜１００℃の熱可塑性樹脂である。ガラス転移温度Ｔｇが４０℃未満であると成形品の耐熱性が低くなり形状が経時変化する場合がある。また、１８０℃を上回ると成形温度を高くせざるを得ないものとなりエネルギー的に非効率であり、またフィルムの加熱／冷却時の体積変動が大きくなりフィルムが金型に噛み込んで離型できなくなったり、また離型できたとしてもパターンの転写精度が低下したり、部分的にパターンが欠けて欠点となる場合がある。成型用熱可塑性樹脂は、好ましくはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２、６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などの熱可塑性樹脂からなるものである。これらの中で共重合するモノマー種が多様であり、かつ、そのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から、特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂から主として形成されていることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂が５０質量％以上からなることがさらに好ましい。

次に、微細形状転写シートの製造装置１による一連のシート状樹脂基材の成形動作について説明する。図２と図３は、本発明の装置を用いて、ロール状の連続シート状樹脂基材を間欠成形する動作をシート状樹脂基材幅方向から見た概略断面図であり、以下に説明するプロセス（Ａ）〜（Ｋ）の流れで成形するものである。

（Ａ）あらかじめ、金型３をプレスユニット１０にセットした後、シート状樹脂基材２を巻出ユニット５０にセットし、シート状樹脂基材２の巻出部を引き出し、ガイドロールを経由し、プレスユニット内の金型の表面に沿わせ、さらに、離型ユニット２０を経由して、巻取ユニット６０で巻き取る（図２（ａ）参照）。

（Ｂ）次に、加熱ユニットを作動させて、温調プレート（上）１５ａ、温調プレート（下）１５ｂをともに成型温度まで上昇させる。

（Ｃ）プレスユニット１０を作動させて、温調プレート（上）１５ａを下降させて、金型３の表面と温調プレート（上）との間にシート状樹脂基材を挟むようにプレスする。このとき、シート状樹脂基材固定部５４および６５を作動させてシート状樹脂基材を固定しておく。温度、プレス圧力昇圧速度、加圧時間等の条件は、シート状樹脂基材の材質、転写形状、特に凹凸のアスペクト比等に依存する。概ね、成形温度は１００〜１８０℃、プレス圧力は１〜１０ＭＰａ、成形時間が１秒〜６０秒、昇圧速度は０．０５ＭＰａ／ｓ〜１ＭＰａ／ｓの範囲で設定される（図２（ｂ）参照）。

（Ｄ）加熱しながらのプレスを完了した後、冷却ユニットを作動させて、温調プレート（上）１５ａ、温調プレート（下）１５ｂを降温させる。なお、冷却中もプレス加圧を継続していることが好ましい。冷却温度は金型表面の温度がシート状樹脂基材を離型するのに十分に冷却されるように設定される。例えば、金型３の表面温度がシート状樹脂基材のガラス転移点以下まで冷却を行うのが良い。

（Ｅ）冷却完了後、プレス圧力を開放して、温調プレート（上）１５ａを離型ユニット２０がプレス装置内を水平移動させるのに十分なスペースを確保できる位置まで上昇させる（図２（ｃ）参照）。

（Ｆ）温調プレート（上）１５ａが上昇を完了した後、シート状樹脂基材固定部６５を開放して、補助ロール旋回手段を駆動して、補助ロール２２を剥離ロール２１の上部まで旋回移動させて、シート状樹脂基材２を剥離ロール２１、補助ロール２２に抱きつかせる（図２（ｄ）参照）。

（Ｇ）その後、剥離ロール２１をシート状樹脂基材表面で２３ａの方向に回転させる。剥離ロール２１は、シート状樹脂基材表面との摩擦力により回転と同時に２３ｂの方向に移動する。移動はプレス装置の加圧プレートに設けた剥離ロール直動ガイドに案内されながら移動する。この時に、金型表面に密着したシート状樹脂基材が良好に離型される（図３（ｅ）参照）。

（Ｈ）金型３の巻出側端部まで剥離が完了すると、剥離ロールの回転を停止する（図３（ｆ）参照）。

（Ｉ）その後、剥離ロールが回転しないようにブレーキをかけて、シート状樹脂基材固定部５４を開放して、搬送駆動ロール６４を回転させることにより、剥離ロール２１と補助ロール２２が相対位置を維持したまま、巻取側へ移動する。このとき、巻出側から新しいシート状樹脂基材を引き出すとともに、成形したシート状樹脂基材は巻取側に送り出される（図３（ｇ）参照）。

（Ｊ）シート状樹脂基材の引き出しが終わると、シート状樹脂基材固定部５４でシート状樹脂基材を固定した後、補助ロールがもとの位置まで旋回して戻り、シート状樹脂基材固定部６５でシート状樹脂基材を固定する。新しいシート状樹脂基材が供給されることにより、あらかじめ引出バッファ部５３で弛ましてあったシート状樹脂基材が巻き取り側に引き出されるが、センサー５７ｂによりシート状樹脂基材が検知する位置まで、巻出ロール回転手段を作動させて、巻出ロールから新たなシート状樹脂基材が引出バッファ部に供給される。一方、成型が完了したシート状樹脂基材が送り出されると、送り出された長さ相当のシート状樹脂基材は、一時的に巻取バッファ部６３で保留され、センサー６８ａでシート状樹脂基材を検知しなくなるまで、すなわち、新たに溜まった分の長さ相当のシート状樹脂基材を、巻取ロール回転手段を作動させて巻き取る（図３（ｈ）参照）。

（Ｋ）シート状樹脂基材の離型が完了すると同時に、またはその直前から温調プレート（上）（下）の加熱を開始する。そして、プレスユニット１０を作動させて、温調プレート（上）をシート状樹脂基材の上面付近まで下降させておく。

昇温が完了した後にプレス成形を行い、上述した（Ｃ）からの動作を繰り返す。

上記の（Ｆ）〜（Ｈ）の動作により、スムーズな離型動作を間欠式シート状樹脂基材の成形サイクルに組み込むことが可能となり、離型跡の少ない高品質な成形フィルムを生産できる。 また、上記の（Ｉ）の動作により、次サイクルで成形するシート状樹脂基材を素早くプレスユニット内に供給することができるので、高い生産性で間欠的シート状樹脂基材成形を実現できる。そして、両者のシート状樹脂基材の離型動作、供給動作を組み合わせることにより、高品質な成形フィルムを高い生産性で生産できる。

（１）変形回復率の測定法
ダイヤルゲージ（三豊製作所製）に標準測定子（Ｎｏ９０００３０）を取り付け、ダイヤルゲージスタンド（Ｎｏ７００１ＤＧＳ−Ｍ）に設置する。ダイヤルゲージ押さえ部分に荷重をかけないときの緩衝材の厚みをｄ０、２５０ｇの荷重をかけたときの緩衝材の厚みをｄ２５０、２５０ｇの荷重をかけ、その荷重を開放してから１０秒後の緩衝材の厚みをｄ’２５０として下記式で求める。尚、測定値は、３個の緩衝材をそれぞれ１回ずつ測定した値の平均値として求めた。
・変形回復率（％）=｛（ｄ’２５０−ｄ２５０）／（ｄ０−ｄ２５０）｝×１００。

（２）クッション量の測定法
ダイヤルゲージ（三豊製作所製）に標準測定子（Ｎｏ９０００３０）を取り付け、ダイヤルゲージスタンド（Ｎｏ７００１ＤＧＳ−Ｍ）に設置する。ダイヤルゲージ押さえ部分に荷重をかけないときの緩衝材の厚みをｄ０、５００ｇの荷重をかけたときの緩衝材の厚みをｄ５００として下記式で求める。尚、測定値は、３個の緩衝材をそれぞれ１回ずつ測定した値の平均値として求めた。
クッション量（μｍ）＝（ｄ０−ｄ５００）。

（３）耐熱性、離型性の評価方法
緩衝材を２枚用意し、耐熱性及び離型性を有するフィルム面々が重なるように２枚の緩衝材を重ね合わせる。
つまり、重ね合わせた構成は、「複合シート（弾性体／中間基材／弾性体）／耐熱性及び離型性を有するフィルム／耐熱性及び離型性を有するフィルム／複合シート（弾性体／中間基材／弾性体）」となる。

この状態で重ね合わせたフィルムに１ＭＰａの荷重をかけながら、１５０℃×１時間保管する。荷重をかける装置４としては、株式会社ＤＧエンジニアリング製、型番インキブロッキングテスターＤＧ−ＢＴ ＤＧ２０２０シリーズ（図４）を使用した。まず、ステージ５上に上記２枚の緩衝材（５０ｍｍ×５０ｍｍサイズ）を重ね合わせ静置する。その２枚の緩衝材の上に、バネ上端にステンレス板８とバネ下端にステンレス直定規９がついた加重バネ６を載せ、加重ネジ７を時計回りに回転させる。バネ上端に設置されたステンレス板の下端とバネ下端に設置されたステンレス直定規の重なる部分の目盛りが、荷重換算表を参考にし、１ＭＰａかかるようにネジを回す。この状態で固定したものを１５０℃×１時間保管し、その後取り出し、ネジを反時計回りに回転させ荷重を開放し、２枚の緩衝材の密着を確認した。

〔実施例１〕
（１）金型サイズ：５００ｍｍ（シート状樹脂基材幅方向）×８００ｍｍ（シート状樹脂基材走行方向）×２０ｍｍ（厚み）。
（２）金型材質：銅。
（３）微細形状：ピッチ５０μｍ、凸部幅２５μｍ、凸部高さ５０μｍで、シート状樹脂基材走行方向から見たときの断面が矩形形状のものを使用した。
（４）プレス装置：最大３０００ｋＮまで加圧できるもので、加圧は油圧ポンプによってされる。プレス装置内にはアルミ合金製でサイズが７００ｍｍ（シート状樹脂基材幅方向）×１０００ｍｍ（シート状樹脂基材走行方向）の温調プレートが上下に２枚取り付けられ、それぞれ、加熱装置、冷却装置に連結されている。なお、金型は下側の温調プレート上面に取り付けられている。加熱装置は熱媒循環装置で、熱媒はバーレルサーム＃４００（松村石油（株）製）で、１５０℃に加熱したものを１００Ｌ／ｍｉｎの流量で流す。また、冷却装置は冷却水循環装置で、２０℃に冷却された水を１５０Ｌ／ｍｉｎの流量で流すものである。
（５）緩衝材：厚み２．０ｍｍの耐熱性基布の中間基材（耐熱性ナイロン）と、中間基材の両側に積層したフッ素ゴムとで構成された複合シート（（株）金陽社製 型番Ｆ２００）を準備した。この複合シートの片面に厚み１００μｍのフッ素樹脂フィルム（東レフィルム加工（株）型番：トヨフロンＦ）を積層して緩衝材とした。この緩衝材を、フッ素樹脂フィルム面とは反対側の面を向けて上側の温調プレートに貼り付けた。
（６）離型装置：図１に示したものと同じ構成で剥離ロールと補助ロールを組み合わせたものを使用した。
（７）シート状樹脂基材：厚みが１２０μｍ、層構成は２層構成〔成形層：低融点のポリエチレンテレフタレート（ガラス転移点：７５℃）４０μｍ、支持層：ポリエチレンテレフタレート８０μｍ）である。
（８）動作方法：上記の装置を用い、以下のように間欠的に成型を行った。あらかじめ、シート状樹脂基材を巻出装置から巻取装置までプレス装置を経由して通しておく。次に、温調プレートが上下ともに１１０℃となるまで加熱した後、上側プレートを下降させて、シート状樹脂基材のプレスを開始する。プレスは金型表面で７ＭＰａで、３０秒実施した。その後、プレスを継続したまま、温調プレートを上下ともに冷却する。各温調プレートが６０℃になったときに冷却を停止する。上下ともに冷却が完了すれば、プレスを開放する。上側プレートを上限まで上昇させ、離型装置を駆動して、シート状樹脂基材を離型する。
（９）上記の動作を繰り返し、１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であった。

〔実施例２〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：厚み２．０ｍｍの耐熱性基布の中間基材（耐熱性ナイロン）と、中間基材の両側に積層したフッ素ゴムとで構成された複合シート（（株）金陽社製 型番Ｆ２００）を準備した。この複合シートの片面に耐熱性および離型性を有する微細凹凸フィルムを積層し、下記製造方法で製造した微細凹凸フィルムの微細凹凸面が、シート状の樹脂基材が挿入される位置側に向けられるように上側の温調プレートに貼り付ける。
微細凹凸フィルム製造方法：光学用ポリエステルフィルム（東レ製 ルミラー （登録商標） Ｕ４６、厚み１００μｍ）を用い、易接着面に市販のハードコート剤（ＪＳＲ製 デソライト （登録商標） Ｚ７５２８）にアクリル樹脂粒子（粒子径２．０μｍ 屈折率１．５３ 濃度：塗剤固形分中の３質量％）を添加したものをイソプロピルアルコールで固形分濃度３０％に希釈した塗料を、小径グラビアコーターで塗工し、８０℃で１分間乾燥後、紫外線１．０Ｊ／ｃｍ^２を照射して硬化させ、厚み３μｍの微細凹凸層を設けることで得られる。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であった。

〔実施例３〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：上側の温調プレートに、厚み０．３０ｍｍのシリコンゴム（シバタ工業（株）製ＥＷ−５０）と厚み０．２５ｍｍの白色のＰＥＴフィルム（東レ（株） ルミラー（登録商標）Ｅ６ＳＬ）を積層し、ＰＥＴフィルム面が、シート状の樹脂基材が挿入される位置側に向けられるよう貼り付ける。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、端部のごく一部のみに転写ムラが見られるが、使用可能レベルと判断できる。

〔実施例４〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：厚み２．０ｍｍの耐熱性基布の中間基材（耐熱性ナイロン）と、中間基材の両側に積層したフッ素ゴムとで構成された複合シート（（株）金陽社製 型番Ｆ２００）を準備した。この複合シートの片面に厚み２００μｍのフッ素樹脂フィルム（東レフィルム加工（株）製 トヨフロン（登録商標）Ｆ）を積層して緩衝材とした。この緩衝材を、フッ素樹脂フィルム面とは反対側の面を向けて上側の温調プレートに貼り付けた。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、端部のごく一部のみに転写ムラが見られるが、使用可能レベルと判断できる。

〔実施例５〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：厚み２．０ｍｍの耐熱性基布の中間基材（耐熱性ナイロン）と、中間基材の両側に積層したフッ素ゴムとで構成された複合シート（（株）金陽社製 型番Ｆ２００）を準備した。この複合シートの片面に厚み７８μｍの離型ＰＥＴフィルム（東レフィルム加工（株）製 セラピール（登録商標）ＢＸ 片面無粒子シリコーン離型コートフィルム）の非離型コート面が複合シートと接するよう積層して緩衝材とした。この緩衝材を、離型フィルム面とは反対側の面を向けて上側の温調プレートに貼り付けた。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であった。

〔実施例６〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：厚み２．０ｍｍの耐熱性基布の中間基材（耐熱性ナイロン）と、中間基材の両側に積層したフッ素ゴムとで構成された複合シート（（株）金陽社製 型番Ｆ２００）を準備した。この複合シートの片面に厚み１００μｍのＰＥＴフィルム（東レ（株）製 ルミラー（登録商標）Ｔ６０）を積層して緩衝材とした。この緩衝材を、ＰＥＴフィルム面とは反対側の面を向けて上側の温調プレートに貼り付けた。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、全面均一な転写状態であったが、上記ＰＥＴフィルムにより、シート状樹脂基材をプレート板により押圧し、プレスを開放する際、シート状樹脂基材が金型から離脱し、プレート板に追従してしまうという問題が多発し、作成時間が非常に長くかかった。よって、スループットが大幅に低下するので、製造コスト面等に悪影響を及ぼすことが判った。

〔比較例１〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：上側の温調プレートに、厚み０．２５ｍｍの白色のＰＥＴフィルム（東レ（株）製 ルミラー（登録商標）Ｅ６ＳＬ）を貼り付ける。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、１０枚のうち２枚目以降において、端部以外にも多数の転写ムラが見られた。

〔比較例２〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：緩衝材：上側のプレート板に、厚み０．１８８ｍｍのＰＥＴフィルム（東レ（株）製 ルミラー（登録商標）Ｔ６０）を貼り付ける。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、１０枚のうち１枚目以降において、金型面内全域において転写ムラが見られた。

〔比較例３〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：上側の温調プレートに、厚み０．３０ｍｍのシリコンゴム（シバタ工業（株）製ＥＷ−５０）を貼り付ける。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、１０枚のうち２枚目以降において、端部以外にも多数の転写ムラが見られた。

〔比較例４〕
緩衝材を下記のものに変更する以外は、実施例１と同様にして評価を行った。
（１）緩衝材：上側の温調プレートに、比較例１で使用した白色のＰＥＴフィルム（東レ（株）製 ルミラー（登録商標）Ｅ６ＳＬ）を貼り付ける。
（２）１０枚の成型フィルムを作成した。成型面を目視で評価した結果、１０枚のうち１枚目以降において、金型面内全域において、転写ムラが見られた。

１：微細形状転写シートの製造装置
２：シート状樹脂基材
３：金型
４：荷重をかける装置
５：ステージ
６：加重バネ
７：加重ネジ
８：ステンレス板
９：ステンレス直定規
１０：プレスユニット
１１：支柱
１２：プレスシリンダー
１３：昇降ガイド
１４ａ、ｂ：加圧プレート（上）、（下）
１５ａ、ｂ：プレート板（温調プレート）（上）、（下）
１６：フレーム
１７：緩衝材
２０：離型ユニット
２１：剥離ロール
２２：補助ロール
３０：ヒーターユニット
４０：冷却ユニット
５０：巻出ユニット
５１：巻出ロール回転手段
５２ａ〜ｄ：ガイドロール
５３：引出バッファ部
５４：シート状樹脂基材固定部
５５：ボックス
５６：吸引排気手段
５７ａ、ｂ：センサー
６０：巻取ユニット
６１：巻取ロール回転手段
６２ａ〜ｄ：ガイドロール
６３：巻取バッファ部
６４：搬送駆動ロール
６５：シート状樹脂基材固定部
６６：ボックス
６７：吸引排気手段
６８ａ、ｂ：センサー

Claims (4)

1. 微細形状が表面に形成された金型と、該金型の表面にシート状の樹脂基材を押圧するプレート板と、該シート状の樹脂基材が挿入される位置と該プレート板との間に設けられた緩衝材とを含む微細形状転写シートの製造装置であって、
   該緩衝材の明細書中で定義するクッション量が５０μｍ以上かつ変形回復率が４０％以上である微細形状転写シートの製造装置。
2. 前記緩衝材が、耐熱性基布の中間基材と、該中間基材の片側又は両側に積層された弾性体とで構成された複合シートと、
   該複合シートの少なくとも片面に積層された耐熱性及び離型性を有するフィルムとで構成されており、
   該緩衝材の該耐熱性及び離型性を有するフィルム面が、前記シート状の樹脂基材が挿入される位置側に向けられている請求項１に記載の微細形状転写シートの製造装置。
3. 微細形状が表面に形成された金型の表面にシート状の樹脂基材を供給した後、緩衝材を介してプレート板により該シート状の樹脂基材を該金型に押圧して該シート状の樹脂基材の表面に微細形状を転写する微細形状転写シートの製造方法であって、
   該緩衝材として、明細書中で定義するクッション量が５０μｍ以上かつ変形回復率が４０％以上である緩衝材を用いる微細形状転写シートの製造方法。
4. 前記緩衝材として、
   耐熱性基布の中間基材と、該中間基材の片側又は両側に積層された弾性体とで構成された複合シートと、
   該複合シートの少なくとも片面に積層された耐熱性及び離型性を有するフィルムとで構成された緩衝材を用い、
   該緩衝材の該耐熱性及び離型性を有するフィルム面を、前記シート状の樹脂基材側に向ける請求項３に記載の微細形状転写シートの製造方法。

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