JP5300624B2 - プレーナ型アクチュエータ及び光走査装置 - Google Patents
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Description
周囲温度を検出する温度センサ等を設け、検出された周囲温度の変化に基づいて可動部の傾斜角度の測定値を補正することも考えられるが、そうすると、構成要素の増加や回路の複雑化を招くこととなり、コスト高となってしまうため好ましくない。
また、前記制御手段は、前記温度検出部によって検出された周囲温度に基づいて前記ブリッジ回路の出力値を補正する補正部をさらに備え、該補正部によって補正された出力値に基づいて前記駆動手段を制御するようにしてもよい。このようにすると、ブリッジ回路の出力値から周囲温度に起因する変動分を除外し、可動部の揺動動作に起因するブリッジ回路の出力値に基づいて駆動手段を制御することができる。
また、本発明による光走査装置によれば、制御手段は、周囲温度の変化に起因する変動分が除外されたブリッジ回路の出力値に基づいて駆動手段を制御できるので、可動部(ミラー)の揺動角度を精度よく検出でき、可動部(ミラー)を所望の角度で精度よく揺動させることができる。
図1は、本発明の第1実施形態によるプレーナ型アクチュエータの概略構成を示している。本実施形態によるプレーナ型アクチュエータ(以下単に「アクチュエータ」という)は、半導体製造技術を利用して製造される。
可動部7は、固定部3に対して所定の空隙を有して設けられている。一対のトーションバー5,5は、可動部7を挟むように形成されており、各トーションバー5は、対向する固定部3の内側面のほぼ中央部分と可動部7の側面のほぼ中央部分とを連結している。なお、固定部3、トーションバー5,5及び可動部7は、半導体基板から一体的に形成されている。
一方、第5ピエゾ抵抗素子R5は、トーションバー5,5から離れた固定部の所定位置に形成されている。
説明の便宜上、まず歪み検出用ピエゾ抵抗素子として機能する第1〜第4ピエゾ抵抗素子R1〜R4によって構成される基本ブリッジ回路について説明する。
図3に示すように、基本ブリッジ回路は、左上側から反時計回りに第1ピエゾ抵抗素子R1が配置された第1の辺と、第2ピエゾ抵抗素子R2が配置された第2の辺と、第4ピエゾ抵抗素子R4が配置された第3の辺と、第3ピエゾ抵抗素子R3が配置された第4の辺と、を有する。
したがって、本実施形態におけるアクチュエータ1においては、ブリッジ回路21の出力電圧Vo(さらに言えば、オフセット電圧Voff)をモニタすれば、周囲温度Tの変化を検知することができる。
外部の駆動電流供給源から駆動コイル7aに電流が供給されると磁界が発生し、発生した磁界と磁界発生部材11,11によって形成された静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生する。このローレンツ力によって可動部7をトーションバー5,5に軸回りに回転させる回転力が生じ、可動部7は、この回転力とトーションバー5,5の捩り抵抗力とがつり合う位置(角度)まで回動する。
また、第1〜第5ピエゾ抵抗素子R1〜R5によって構成されるブリッジ回路21は、可動部7の揺動角度に応じて、その出力電圧Voが変化する。このブリッジ回路21の一辺には、第1ピエゾ抵抗素子R1と第5ピエゾ抵抗素子R5とが直列接続されて配置され、他の三辺には、それぞれ第2〜第4ピエゾ抵抗素子R2〜R4のいずれかが配置されている。ここで、第5ピエゾ抵抗素子R5は、可動部7の揺動動作による応力の影響を受けない位置に形成されており、可動部7の揺動動作によっては抵抗値が変化せず、周囲温度が変化した場合に抵抗値が変化する。そして、可動部7の揺動動作の有無にかかわらず、周囲温度が変化して第5ピエゾ抵抗素子R5の抵抗値が変化すると、ブリッジ回路21のオフセット電圧も変化することになる。
また、ブリッジ回路21を構成する第1〜第5ピエゾ抵抗素子R1〜R5は同一のプロセスで形成できるので、従来のピエゾ抵抗素子を形成するプロセスに対し、新たなプロセスを追加したりプロセスの複雑化を招いたりすることもない。
図6は、第2実施形態による光走査装置の概略構成を示している。なお、上記第1実施形態によるアクチュエータ1の構成要素と同じものについては同一の符号を用い、これらについては詳細な説明を省略する。
可動部7の表面には、駆動コイル7aが形成されており、駆動コイル7aの端部は固定部3に形成された電極端子9,9に接続されている。一方、可動部7の裏面には、図中破線で示すように、光を反射するミラー7bが設けられている。ミラー7bは、例えばAl薄膜やAu薄膜などの金属薄膜で形成される。また、ミラー7bは、アクチュエータ1の製造工程において、例えば固定部3、トーションバー5,5及び可動部7の形成後、可動部7の裏面にスパッタリングや蒸着などによって形成される。
温度検出部37は、例えば図7に示すようなオフセット電圧Voffと周囲温度Tとの関係が示されたテーブルを格納している。そして、ブリッジ回路21の出力電圧Voを入力してオフセット電圧Voff(=(VoMAX−VoMIN)/2)を算出し、上記格納されたテーブルを検索して周囲温度Tを検出する。
Claims (5)
- 枠状の固定部の内側にトーションバーによって揺動可能に支持された可動部を有し、該可動部が揺動駆動されるプレーナ型アクチュエータであって、
前記固定部又は前記トーションバーに形成され、前記可動部の揺動角度に応じて出力値が変化するブリッジ回路を構成する複数のピエゾ抵抗素子を備え、
前記ブリッジ回路の四辺のうちのいずれか一辺に、前記可動部の揺動動作による応力の影響を受ける位置に形成されたピエゾ抵抗素子と、前記可動部の揺動動作による応力の影響を受けない位置に形成されたピエゾ抵抗素子と、が直列に接続されて配置されている、プレーナ型アクチュエータ。 - 前記複数のピエゾ抵抗素子は、前記可動部の揺動動作による応力の影響を受ける位置に形成された第1〜第4ピエゾ抵抗素子と、前記可動部の揺動動作による応力の影響を受けない位置に形成された第5ピエゾ抵抗素子と、を含み、
前記ブリッジ回路のいずれか一辺に、前記第1ピエゾ抵抗素子と前記第5ピエゾ抵抗素子とが直列に接続されて配置され、
前記ブリッジ回路の残りの三辺のそれぞれに、第2〜第4ピエゾ抵抗素子のいずれか1つが配置されている、請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。 - 枠状の固定部と、
前記固定部の内側にトーションバーによって揺動可能に支持され、光を反射するミラーが設けられた可動部と、
前記可動部を揺動駆動する駆動手段と、
前記固定部又は前記トーションバーに形成された複数のピエゾ抵抗素子によって構成され、前記可動部の揺動角度に応じて出力値が変化するブリッジ回路と、
前記ブリッジ回路の出力値に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段と、
を備え、
前記ブリッジ回路の四辺のうちのいずれか一辺に、前記可動部の揺動動作による応力の影響を受ける位置に形成されたピエゾ抵抗素子と、前記可動部の揺動動作による応力の影響を受けない位置に形成されたピエゾ抵抗素子と、が直列に接続されて配置されている、光走査装置。 - 前記ブリッジ回路の出力値のオフセットに基づいて周囲温度を検出する温度検出手段を備える、請求項3に記載の光走査装置。
- 前記温度検出手段によって検出された周囲温度に基づいて前記ブリッジ回路の出力値を補正する補正部をさらに備え、
前記制御手段は、前記補正部で補正された出力値に基づいて前記駆動手段を制御する、
請求項4に記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009154888A JP5300624B2 (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | プレーナ型アクチュエータ及び光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009154888A JP5300624B2 (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | プレーナ型アクチュエータ及び光走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011013270A JP2011013270A (ja) | 2011-01-20 |
JP5300624B2 true JP5300624B2 (ja) | 2013-09-25 |
Family
ID=43592275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009154888A Active JP5300624B2 (ja) | 2009-06-30 | 2009-06-30 | プレーナ型アクチュエータ及び光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5300624B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101907467B1 (ko) * | 2011-10-10 | 2018-12-05 | 엘지전자 주식회사 | 센서의 온도 보상 기능을 포함하는 스캐닝 마이크로미러 및 온도 보상 방법 |
JP2014182227A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
JP2014182226A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | 光スキャナー、アクチュエーター、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ |
KR101870413B1 (ko) * | 2014-07-10 | 2018-06-26 | 주식회사 센플러스 | 마이크로 미러 제조방법 |
JP6606865B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-11-20 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及びその製造方法、光走査制御装置 |
JP6854674B2 (ja) * | 2017-03-13 | 2021-04-07 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ駆動装置、画像投影装置及び温度検出装置 |
CN111562667A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-08-21 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | Mems微镜的驱动控制方法、装置及计算机存储介质 |
CN113777775B (zh) * | 2021-08-24 | 2022-06-21 | 西安交通大学 | 一种高可靠性压电指向调节机构及其实现方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0770075B2 (ja) * | 1985-03-20 | 1995-07-31 | 株式会社東芝 | 光学的情報記録再生装置 |
JP2973272B2 (ja) * | 1994-05-10 | 1999-11-08 | オムロン株式会社 | 可変光学面及び光スキャニングシステム |
JP2006171182A (ja) * | 2004-12-14 | 2006-06-29 | Olympus Corp | 光偏向器 |
JP2007322466A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Canon Inc | 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 |
JP4973064B2 (ja) * | 2006-08-16 | 2012-07-11 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、投光装置、光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 |
-
2009
- 2009-06-30 JP JP2009154888A patent/JP5300624B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011013270A (ja) | 2011-01-20 |
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|
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