JP5299037B2 - 検査用プローブ - Google Patents
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Description
請求項2記載の前記第一供給電極部は、配線の並設される方向に長い一枚の板状の導電板で形成され、前記導電板は、前記並設方向に沿ってガラス基板から離間するように傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の検査用プローブを提供する。
請求項3記載の発明は、前記検査対象の配線の他方側に並設される複数の配線に対して、検査信号を印加するための導電板からなる第二供給電極部を有し、前記第二供給電極部が、前記検査対象の配線から遠方に位置する配線との離間距離が徐々に長くなるように、前記並設方向に沿ってガラス基板から離間するように傾斜していることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査用プローブを提供する。
請求項4記載の発明は、前記導電板は、前記導電板のガラス基板近傍の側面に配置される遮蔽体を有し、前記遮蔽体は、ガラス基板と前記導電板の角部と結ぶ直線の傾斜面を有することを特徴とする請求項2に記載の検査用プローブを提供する。
請求項5記載の発明は、前記検出電極部、前記第一供給電極部と前記第二供給電極部は一体型に形成されていることを特徴とする請求項3に記載される検査用プローブを提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
本発明にかかる検査用プローブ1は、PDPやLCDなどの棒状に形成される導体部が複数並設されるガラス基板を検査対象として動作する。このため、このような検査対象の基板について具体的に説明する。
この支持部材5は、基盤検査装置に接続されるとともに、所定の移動機構に取り付けられて、被検査基板100上を移動するように設けられる。
以上が本発明にかかる検査用プローブの構成の説明である。
本検査用プローブを利用する場合、基板検査装置の移動機構に検査用プローブ1を接続する。この接続する場合には、電気的接続も実施されるが、例えば、基板検査装置の検査信号を供給する交流電源の正極側と第一供給電極部3を接続し、負極側を第二供給電極部4に接続する。なお、正負の極性が逆でも構わず特に限定されるものではない。
このように接続することにより、検査対象の配線の一方側には正極側の信号が印加され、他方側にも負極側の信号が印加されることになる。この場合、検査対象の配線が短絡していれば、どちらの検査信号(正極又は負極の信号)が検出されることになる。
図4(a)では、2つの検出電極部21,22を利用した場合が示されており、第一検出電極部21が配線101aからの検査信号を受信し、第二検出電極部22が配線101bからの検査信号を受信する。
この実施形態では、第一検出電極部21と第二検出電極部22の差分を出力するアンプ23が配置されており、第一検出電極部21と第二検出電極部22の差分を出力することで短絡箇所を発見しやすくしている。
第二供給電極部4は、配線101cに検査信号を印加することになるが、配線101cの上方に第二供給電極部4の角部(又は遮蔽体42の傾斜部)が位置するように設定される。この場合、検査対象の配線は、符号101aと101bが該当することになる。
なお、第一供給電極部3の遮蔽体32は、配線101dから紙面に向かって左側の配線(例えば、配線101b,配線101a)に影響を与えないように働き、第二供給電極部4の遮蔽体42は、配線101cから紙面に向かって右側の配線(例えば、配線101a、配線101b)に影響を与えないように働くことになる。
第二供給電極部4は、配線101cに検査信号を印加することになるが、配線101cの上方に第二供給電極部4の角部(又は遮蔽体42の傾斜部)が位置するように設定される。
この場合、検査対象の配線は符号101xで示される配線であり、第一供給電極部3は配線101zに検査信号を印加し、第二供給電極部4は配線101yに検査信号を印加するように働く。
なお、本実施形態の場合と上述の実施形態の場合と同様の箇所については、説明を省略する。
2・・・・検出電極部
3・・・・第一供給電極部
32・・・遮蔽体
4・・・・第二供給電極部
42・・・遮蔽体
100・・被検査基板
101・・配線
Claims (5)
- 検査対象となる棒状の配線が所定間隔を有して複数並設される基板を検査するための基板検査装置に備えられる検査用プローブであって、
検査対象となる配線と物理的に非接触で配置され、検査対象の配線と略同じ幅に形成されるとともに該配線と静電容量結合する検出電極部と、
前記検査対象の配線の一方側に並設される複数の配線に対して、検査信号を印加するための第一供給電極部を有し、
前記第一供給電極部は、前記一方側に並設される複数の配線に対して、前記検査対象の配線から遠方に位置する配線との離間距離が徐々に長くなることを特徴とする検査用プローブ。 - 前記第一供給電極部は、配線の並設される方向に長い一枚の板状の導電板で形成され、
前記導電板は、前記並設方向に沿ってガラス基板から離間するように傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の検査用プローブ。 - 前記検査対象の配線の他方側に並設される複数の配線に対して、検査信号を印加するための導電板からなる第二供給電極部を有し、
前記第二供給電極部が、前記検査対象の配線から遠方に位置する配線との離間距離が徐々に長くなるように、前記並設方向に沿ってガラス基板から離間するように傾斜していることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査用プローブ。 - 前記導電板は、前記導電板のガラス基板近傍の側面に配置される遮蔽体を有し、
前記遮蔽体は、ガラス基板と前記導電板の角部と結ぶ直線の傾斜面を有することを特徴とする請求項2に記載の検査用プローブ。 - 前記検出電極部、前記第一供給電極部と前記第二供給電極部は一体型に形成されていることを特徴とする請求項3に記載される検査用プローブ。
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