JP5294143B2 - 角速度センサ素子 - Google Patents
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Description
図1は第1実施形態に係る角速度センサ装置1の内部構成を分解して表す斜視図であり、図2は角速度センサ装置1のII―II線断面図である。
この角速度センサ素子2は、枠状の固定部21と、固定部21の枠内に配置され、伝達腕22、駆動腕23及び検出腕24(駆動系及び検出系の振動腕)を備えた素子部20と、素子部20の両側に配置され、固定部21と素子部20とを連結する一対の連結腕25(連結部)とを備えている。
図5に示すように、圧電素子30a,30bは、駆動腕23および検出腕24上に、絶縁層31と、下部電極32と、圧電体33と、上部電極34とをこの順に積層して形成されたものである。図4に示すように、各圧電素子30aと各圧電素子30bとは、互いに別体に形成されている。
第2実施形態に係る角速度センサ素子2は、連結腕25の形状以外は、第1実施形態と同様である。図9は、第2実施形態に係る角速度センサ素子2aの構成を示す上面図である。
第3実施形態に係る角速度センサ素子2bは、連結腕25の代わりに、固定部21及び素子部20とは異なる材料からなる接着剤26を用いた以外は、第1実施形態と同様である。図10は第3実施形態に係る角速度センサ素子2bの構成を示す上面図であり、図11は図10のXI-XI線断面図である。
Claims (6)
- 枠状の固定部と、
前記固定部の枠内に配置され、駆動系及び検出系の振動腕を備えた素子部と、
前記固定部に両端が連結された両持ち梁状に形成され、梁の途中において前記素子部に連結されており、かつ、前記素子部の両外側に配置された連結部と、
を有し、
前記素子部は、前記振動腕として、前記連結部に両端が固定された伝達腕と、前記伝達腕に連結された片持ち梁状の駆動腕と、前記駆動腕とは異なる位置において前記伝達腕に連結された片持ち梁状の検出腕と、を備える、
角速度センサ素子。 - 前記連結部の幅は、前記素子部の前記振動腕の幅より小さい、
請求項1記載の角速度センサ素子。 - 前記素子部の前記振動腕、前記固定部、及び前記連結部は、一体的に形成されている、
請求項1記載の角速度センサ素子。 - 前記連結部は、伝達腕から鉛直方向に直線状に延びる両持ち梁状である、
請求項1〜3のいずれか1項記載の角速度センサ素子。 - 前記固定部は、前記伝達腕、前記駆動腕、及び前記検出腕、並びに前記連結部に対して所定の間隔を設けて配置されている、
請求項1〜4のいずれか1項記載の角速度センサ素子。 - 前記連結部の両端が、前記枠状の前記固定部のうち前記伝達腕と平行に延在する一対の側辺に連結されている、
請求項1〜5のいずれか1項記載の角速度センサ素子。
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