JP5290322B2 - 走査干渉法を使用した表面構造の解析 - Google Patents
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Description
、未知の光学界面の複雑な反射率がその固有の特徴(個々の層の材料特性および厚さ)と、反射率、波長、入射角、および偏光状態を測定するために使用される光の3つの特性との両方に依るという事実に依存する。実際のところ、特性評価機器は、既知の範囲に亘るこれらのパラメータを変更することによってもたらされる反射率変動を記録する。
i)試験対象物をモデル化するための互いに異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号を受信し、走査干渉法信号を複数のモデル信号の各々と比較し(ここで、各モデル信号に対して、比較することは、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットを特定するために、走査干渉法信号とモデル信号の間の相関関数を算出することを有する)、そして、特定した表面高さオフセットに基づいて、近似した共通の表面高さに対する走査干渉法信号と、近似した共通の表面高さに対するモデル信号との間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出する;および
ii)異なるモデル信号のための各々のメリット値に基づいて、試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定する。
高さに対するモデル信号の間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することを有する。本方法は更に、異なる試験対象物位置の各々での異なるモデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、各試験対象物位置での一又は複数の試験対象物パラメータを判定することを有する。
幾つかの実施形態では、算出した相関関数は、走査干渉法信号の周波数領域表現およびモデル信号の周波数領域表現に基づきうる。
幾つかの実施形態では、特定された表面高さオフセットは、算出した相関関数におけるピークに対応しうる。ピークは、走査位置間の相関関数の補間によって判定されうる。
幾つかの実施形態では、位相差を判定することは、相関関数の位置を決めるピークでの相関関数の複素位相を判定することを有しうる。
幾つかの実施形態では、位相補正は、モデル信号をモデル化するために使用される表面高さと共通の表面高さに対応した走査干渉法信号の周波数領域表現を生成するために、走査干渉法信号の周波数領域表現に適用されうる。
分を除去することを有しうる。
位相補正は、干渉法スペクトルと、走査干渉法信号とモデル信号の間の表面高さオフセットから生じるモデルスペクトルとの間の位相差を除去することを有する。
幾つかの実施形態では、高さオフセット補正済メリット値を算出することは、周波数領域における注目領域に制限されうる。
幾つかの実施形態では、高さオフセット補正済メリット値を算出することは、ピーク位置での相関関数の複素位相に基づきうる。
幾つかの実施形態では、高さオフセット補正済メリット値を算出することは、走査干渉法信号の周波数領域表現またはモデル信号の周波数領域表現を規格化することに基づきうる。
幾つかの実施形態では、試験対象物パラメータを判定することは、各々のメリット値に基づいて複数の試験対象物パラメータを判定することを有しうる。
試験対象物パラメータを判定することは、一致モデル信号に基づきうる。
幾つかの実施形態では、本方法は更に、試験対象物パラメータを出力することを有しうる。
幾つかの実施形態では、複数の表面位置の走査干渉法信号は、画像化検出器上に複数の位置を画像化する走査干渉計を使用して得られる。
共通光源は、スペクトルコヒーレンス長を有することができ、光学経路長差は、走査干渉法信号を生成するためにスペクトルコヒーレンス長よりも大きい範囲に亘って変えられうる。
幾つかの実施形態では、本方法は更に、走査干渉法信号を取得するために使用される走査干渉計システムから生じた走査干渉法信号へのシステム的な寄与を明らかにすることを有しうる。本方法は更に、既知の特性を有した試験対象物を使用して走査干渉法システムのシステム的な寄与をキャリブレーションすることを有しうる。
幾つかの実施形態では、コードは更に、線形位相項と、走査干渉法信号の周波数領域表現またはモデル信号の周波数領域表現とを補正するように構成されえ、線形位相項は、特定された表面高さオフセットに対応した傾斜を有し、位相補正に続く走査干渉法信号とモデル信号の間の類似点を定量化する。
幾つかの実施形態では、コードは更に、試験対象物の表面に関連した試験対象物パラメータマップを判定するように構成されうる。試験対象物パラメータマップは、高さパラメータ、薄膜パラメータ、および/または過小解像される表面特徴パラメータに基づきうる。
幾つかの実施形態では、光学系は、対象物の複数の表面位置の各々から干渉法信号を得るように構成された多素子検出器を備えることができ、プロセッサは、得られた干渉法信号に基づいて複数の表面位置の各々での試験対象物パラメータに関する情報を判定するように構成される。
とを有しうる。幾つかの実施形態では、表示パネルを形成することは、間隙を液晶材料で充填することを有する。
垂直に伝播する照明光110のそれらの部分に対応する。照明光110の他の部分は、最終的に対象物145および基準鏡135の他の箇所を照らし、それらは、次に、検出器165の対応箇所上に画像化される。
空間周波数の関数として振幅および位相情報の両方を有する。周波数領域における干渉法信号を解析する例は、「インターフェログラムの空間周波数解析による表面トポグラフィ測定のための方法および装置」と題するPeter de Grootの特許文献1に開示されており、その内容は、参照によってここに援用される。
K=4πβ/λ (2)
に応じて照明瞳を通過する光線の入射角Ψに対応し、ここで、β=cos(Ψ)は、入射角Ψの方向余弦であり、λは、光源の光学スペクトル内の波長のうちの1つである。フーリエ成分ρ(L,K)は、入射角Ψおよび波長λの特定の組合せによってどれくらいの干渉効果がもたらされるかを示し、式(2)によるフリンジ周波数Kを増加させる重み係数である。更にフーリエ成分ρ(L,K)値は、対象物表面およびシステムレベルの分散の複素位相情報特性を有する。走査白色光干渉ツールは、広範囲の非零フーリエ成分ρ(L,K)および強度データI(L,ζ)の対応するばらつきを有している。膜自由表面に対して、式(1)における構造的干渉は、零ζ走査位置近傍でのみ起こる。
π/λに亘る単一積分に比例する。
式(3)[つまり数2]に現われる方向余弦βは、式(2)にかかるフリンジ周波数Kおよび波数kの両方の関数であり、従って、積分の変数kにリンクされる。
次に、解析の数学的な記述が提供される。
項Kh(x,y)は、高さに依存した位相傾斜であり、該位相傾斜は、表面高さとは無関係に、表面構造のみに基づいて理論上予測されるフーリエ係数ρ(L,K)とフーリエ係数qex(x,y,K)との直接比較を複雑にするおそれがある。したがって、最初にコンピュータは、高さに依存しない部分ρex(x,y,K)だけを残して、qex(x,y,K)からその位相寄与を除去するようにh(x,y)を十分に推定する。
図7は、実験から得た干渉法信号およびモデル信号の相関量|J(x,y,L,ζ)|の例を示している。ピークは、「最良の」重複位置を表わしている。モデル信号が干渉法信号に正確に一致する場合、ピークは、局所的な表面高さにも対応する。
A(x,y,L)=arg{J[x,y,L,ζfine(x,y,L)]} (9)
複素位相Aは、信号が相関量に基づいて(つまり、信号形状に基づいて)可及的最良に並ぶ場合のモデル信号と干渉法信号の間の全体的なKに依存しない位相差に関係している。理想的なケースでは、モデル信号が機器または表面材料に関する任意の予期される位相シフトを有する場合、このように測定された複素位相A(x,y,L)は、正しい厚さLbestが特定されると零であるべきである。複素位相A(x,y,L)は、フィッティングを最適化するために自由変数として保存されうるが、コンピュータは、メリット関数においても複素位相A(x,y,L)を使用することによって、そのフィッティングの質を評価しうる。
qshiftを算出しうる。
ここで、ζfine(x,y,L)は、相関|J(x,y,L,ζ)|に対する補間された「最良の」一致走査位置であり、位相差A(x,y,L)は、式(9)から得られる。もしコンピュータが正しい厚さLbestを特定していれば、干渉法信号の位相シフトしたフーリエ係数は、次式のようになる。
しかしながら、Lの他のすべての試験値に対して、コンピュータは、これがおよそのケースであるとだけ期待しうる。
スペクトルρ’(L,K)を示し、線(基のデータを示す)は、位相補正済の実験から得た係数q’shift(x,y,L,K)を示している。
ここで、添字Θは、この高さがコヒーレンスまたは信号形状効果に関係していることを示している。より精緻化された予測は、次式で与えられる。
帯域光源の組合せ;干渉計測顕微鏡対物(例えば、Michelson、Mirau、またはLinnik形状における油/水浸漬および固体浸漬の種類を有する);複数の波長での一連の測定;偏光していない光;および偏光した光(線形、円形、または構造化されたものを有する)。例えば、構造化された偏光は、例えば、偏光マスクを有することが可能であり、照明または画像化瞳の異なる部分に対して異なる偏光を生じさせ、その結果、表面の特徴によってもたらされる極性依存の光学的効果を見せる。干渉計は、上述した全体システムのキャリブレーションを有しうる。
幾つかの実施形態では、走査干渉法信号を生成するために使用される光の制限されたコヒーレンス長は、白色光源に基づくか、または、一般に、広帯域の光源に基づいている。他の実施形態では、光源は、単色であることが可能であり、制限されたコヒーレンス長は、試験対象物に光を向けるために高開口数(NA)を使用すること、および/または、試験対象物から光を受けることによってもたらされることがある。高NAは、光線を角度範囲に亘って試験面に接触させ、光学経路長差が走査される際に、記録された信号において異なる空間周波数成分を生成する。さらなる実施形態では、制限されたコヒーレンスは、両方の効果の組合せによってもたらされうる。
代替の構成は、干渉法システムの瞳面195でのまたはその近傍の開口、偏光子、波長フィルタ、または他の装置の使用を可能にすることがあり、その結果、静的または動的に様々な瞳面内の方位角、位置、偏光などを分離する。
複数のデータ取得を使用することによって複数の波長を適用または選択しうる。波長のフィルタリングは、分光手段、調整可能な波長干渉フィルタ、第2の干渉計、音響光学的な調整可能なフィルタ、順に動作する複数のレーザなどの切換え可能な光源、または任意の他の装置、または装置の組合せによって行なわれることが可能である。
先に議論したように、上記のシステムおよび方法は、様々な表面解析問題に適用されうる。或る典型的な用途の記述は以下の通りである。
上述したシステムおよび方法は、ツール固有の監視または処理フロー自体の制御に対して半導体処理において使用されうる。処理監視用途では、単一層/多層膜は、対応する処理ツールによってパターン化されていないSiウェハ(監視ウェハ)から成長、蒸着、研
磨、またはエッチング除去され、続いて、厚さおよび/または光学的性質は、ここに開示される走査誤差修正技術を利用する干渉法システムを使用して測定される。これらの監視ウェハの厚さ(および/または光学的性質)の平均のほかウェハの均一性は、関連する処理ツールが対象とされるスペックで動作しているか、または、再度対象とされるか、調整されるか、または製造使用のために取り出されるべきである否かを判定するために使用される。
チップメーカの間では、それは、チップの異なる部分間の電気配線を形成する所謂「デュアルダマシン銅」処理を使用することが一般的になっている。これは、適切な表面トポグラフィシステムを使用して効率的に特徴づけられることが可能な処理の一例である。デュアルダマシン処理は、6つ部分を持つと考えられることがある:(1)層間誘電体(ILD)蒸着(誘電体(ポリマーまたはガラスなど)の層がウェハ(複数の個々のチップを有する)の表面に蒸着される);(2)化学機械研磨(CMP)(誘電体層が、精密光学的リソグラフィに適した滑らかな表面を生成するように研磨される);(3)リソグラフィのパターン化および反応性イオンのエッチングステップの組合せ(複雑なネットワークが、ウェハ表面と平行に走る狭い溝と、溝の底から下側の(先に規定された)導電層に走る小さいビアとを含んで生成される);(4)銅溝およびビアの蒸着がもたらす金属蒸着ステップの組合せ;(5)誘電体蒸着ステップ(誘電体が銅溝およびビアに亘って適用される);および(6)最終CMPステップ(余分な銅が除去され、誘電体に囲まれた銅充填溝(および恐らくビアも)のネットワークを残す)。
に露出されうる。基板表面の界面510は、元の状態のままである。装置の性能および均一性は、決定的に表面506の平面化の監視に依存している。研磨速度、そして従って、研磨後に残る銅(および誘電体)の厚さは、研磨条件(パッド圧力および研磨スラリー組成など)のほか、銅および周囲の誘電体領域の局所的な詳細構成(つまり、幾何学的配置、近接性、および形状)に強く且つ複雑な方法で依存することを理解することは重要である。従って、銅要素502に亘る表面506の部分は、表面506の他の部分とは異なる速度でエッチングされるおそれがある。加えて、一旦、銅要素502の界面508が露出されると、誘電体および銅要素は、異なるエッチング速度を呈するおそれがある。
多くのマイクロエレクトロニクスの用途では、フォトリソグラフィは、基板(例えば、シリコンウェハ)上に重なるフォトレジスト層をパターン化するために使用される。図15Aおよび図15Bを参照して、対象物30は、基板(例えば、ウェハ32)および被覆層(例えば、フォトレジスト層34)を備えている。対象物30は、異なる屈折率の材料
間で生じるように複数の界面を備えている。例えば、対象物周囲界面38は、フォトレジスト層34の外表面39が対象物30を囲む環境(例えば、液体、空気、他のガス、真空)と接触するところと規定される。基板層界面36は、ウェハ32の表面35とフォトレジスト層34の底面37との間に規定される。ウェハの表面35は、複数のパターン化された表面29を有しうる。これらの表面のうちの幾つかは、基板の隣接した部分と同一の高さを有しているが、異なる屈折率を有している。他の表面は、基板の隣接した部分に対して上方または下方へ延びることが可能である。従って、基板層界面36は、フォトレジストの外表面の下に重なる複雑で変化するトポグラフィを呈することがある。
よび幾何学的配置は、部分集合内の箇所421〜423の位置に基づいて判定されうる。画像化される部分集合の空間特性の判定は、光で部分集合を照らすために干渉計を使用すること、および、照らされた部分集合を反射した光を有する干渉信号を検出することを有しうる。幾つかの実施形態では、複数の部分集合は、複数の干渉信号を得るために光によって同時に画像化される。各干渉信号は、部分集合の一又は複数の空間特性を示している。このように、干渉信号は、複数の部分集合に亘る対象物のトポグラフィを示す画像を作成するために使用されうる。部分集合のフォトリソグラフィ中に、ウェハは、複数の干渉信号から判定される際に、個々の部分集合のトポグラフィに基づいて配置される。従って、各部分集合は、フォトリソグラフィ装置に対して最適な焦点のために配置されうる。
図16Aおよび図16Bを参照して、構造1050は、はんだバンプ処理中に生成された構造の典型的である。構造1050は、基板1051と、はんだによって非可溶性となった領域1002と、はんだによって可溶性となった領域1003とを備えている。領域1002は、外表面1007を有している。領域1003は、外表面1009を有している。従って、界面1005は、領域1002と基板1001の間に形成される。
ここに開示される干渉法システムおよび方法は、例えば液晶ディスプレイ(LCD)などの平面パネルディスプレイの製造において使用されうる。
。LCDの特定の構造は変化することがあるが、多くの種類のLCDが同様のパネル構造を利用している。図17Aを参照して、例えば、幾つかの実施形態では、LCDパネル450は、縁シール454によって接続された2つのガラス板452,453を有する幾つかの層からなっている。ガラス板452および453は、液晶材料で充填される間隙464によって分離されている。偏光子456および474は、ガラス板453および452の外表面にそれぞれ適用される。LCDに一体化されたとき、偏光子のうちの1つは、ディスプレイの光源(例えば、図示しないバックライト)からの光を偏光するために動作し、他の偏光子は、分析器として作用し、偏光子の透過軸に平行に偏光された光のその成分だけを透過させる。
渉法技術は、ハーフトーン領域におけるフォトレジストパターンの厚さプロファイルを監視するために使用されうる。加えて、本技術は、これらの表面のオーバーレイおよび限界寸法の両方を判定するために使用されうる。
レーザは、異なる、同時に製造される構造(例えば、マイクロエレクトロニクス構造)の分離に備えて対象物をスクライビングするために使用されうる。分離の質は、スクライビング条件(例えば、レーザ焦点サイズ、レーザパワー、対象物の平行移動速度、スクライブ深さ)に関係している。本構造の表面の密度が大きいので、スクライブ線は、本構造の隣接した薄膜または層であることが可能である。薄膜または層に関連した界面は、干渉法がスクライブ深さを判定するために使用されるときに出現するフリンジを生成しうる。ここに記述される方法およびシステムは、そのような隣接した膜または層が存在する状態であってもスクライブ深さを判定するために使用されうる。
Claims (59)
- 試験対象物の表面構造を解析する解析方法であって、前記解析方法は、
前記試験対象物の或る位置から得られた走査干渉法信号を、前記試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と比較する比較ステップであって、前記比較ステップは、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の相関関数を算出することによって、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の表面高さオフセットを特定するオフセット特定サブステップと、特定した前記表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さである共通表面高さに対する前記走査干渉法信号と、前記共通表面高さに対する前記モデル信号との間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出するメリット値算出サブステップとを有することと;
異なる前記モデル信号に対する各々の前記高さオフセット補正済メリット値に基づいて、前記位置での試験対象物パラメータを判定するパラメータ判定ステップと
を有し、
前記走査干渉法信号の周波数領域表現を、干渉周波数領域表現とし、
前記モデル信号の周波数領域表現を、モデル周波数領域表現とし、
特定された前記表面高さオフセットに対応した傾斜を有する項を、線形位相項とすると、
前記メリット値算出サブステップは、
前記干渉周波数領域表現またはモデル周波数領域表現を、前記線形位相項を用いて補正することと;
前記線形位相項で補正することに続いて、前記走査干渉法信号と前記モデル信号との間の類似点を定量化することと
を有する、解析方法。 - 算出した前記相関関数は、前記干渉周波数領域表現と、前記モデル周波数領域表現とに基づく、
請求項1記載の解析方法。 - 前記相関関数を算出することは、前記干渉周波数領域表現と前記モデル周波数領域表現の積を走査座標領域に逆変換することを有する、
請求項2記載の解析方法。 - 特定された前記表面高さオフセットは、算出した前記相関関数におけるピークに対応する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記ピークは、走査位置間の前記相関関数の補間によって判定される、
請求項4記載の解析方法。 - 前記オフセット特定サブステップ(S280)は、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の位相差を判定することを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記位相差を判定することは、前記相関関数を位置決めするピークでの前記相関関数の複素位相を判定することを有する、
請求項6記載の解析方法。 - 前記線形位相項を補正することが前記走査干渉法信号の周波数領域表現に適用されることによって、前記モデル信号をモデル化するために使用される前記共通表面高さに対応した前記干渉周波数領域表現を生成する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記類似点を定量化することは、周波数領域において行なわれる、
請求項1記載の解析方法。 - 前記干渉周波数領域表現についての前記線形位相項を補正することは、スペクトル成分に線形位相係数exp(−iKζoffset)を乗じることを有し、
Kは、フリンジ周波数成分であり、
ζoffsetは、特定された前記表面高さオフセットである、
請求項1記載の解析方法。 - 前記干渉周波数領域表現についての前記線形位相項を補正することは、スペクトル成分に位相係数exp(iApeak)を乗じることを有し、
Apeakは、算出した前記相関関数のピークでの前記相関関数の複素位相である、
請求項1記載の解析方法。 - 前記干渉周波数領域表現についての前記線形位相項を補正することは、スペクトル内の位相変化の線形部分を除去することを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記線形位相項を補正することは、干渉法スペクトルとモデルスペクトルの間の位相差を除去することを有し、
前記位相差は、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の前記表面高さオフセットから生じる、
請求項1記載の解析方法。 - 前記メリット値算出サブステップは、前記走査干渉法信号の周波数領域表現と、前記モデル信号の周波数領域表現とに基づく、
請求項1記載の解析方法。 - 前記メリット値算出サブステップは、周波数領域における注目領域に制限されている、
請求項1記載の解析方法。 - 前記メリット値算出サブステップは、位相補正済の干渉法スペクトルとモデルスペクトルの間の最小二乗差に基づく、
請求項1記載の解析方法。 - 前記メリット値算出サブステップは、ピーク位置での前記相関関数の複素位相に基づく、
請求項1記載の解析方法。 - 前記メリット値算出サブステップは、ピーク位置での前記相関関数のピーク値に基づく、
請求項1記載の解析方法。 - 前記メリット値算出サブステップは、前記走査干渉法信号の周波数領域表現と前記モデル信号の周波数領域表現のうちいずれか1つを規格化することに基づく、
請求項1記載の解析方法。 - 前記モデル信号に対応した前記モデルパラメータは、1又は複数の薄膜厚さと、1又は複数の薄膜インデックスとを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記モデル信号に対応した前記モデルパラメータは、過小解像される表面特徴に関する1又は複数のパラメータを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 過小解像される前記表面特徴は、回折格子を規定する配列特徴である、
請求項21記載の解析方法。 - 前記パラメータ判定ステップは、各々の前記メリット値に基づいて複数の試験対象物パラメータを判定することを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 判定した前記試験対象物パラメータは、表面高さ、薄膜厚さ、および薄膜屈折率のうちの1又は複数に対応する、
請求項1記載の解析方法。 - 判定した前記試験対象物パラメータは、前記モデル信号に対する前記モデルパラメータのうちの1つに対応する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記パラメータ判定ステップは、前記高さオフセット補正済メリット値を比較することに基づいて一致モデル信号を特定することを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記パラメータ判定ステップは、前記一致モデル信号に基づく、
請求項26記載の解析方法。 - 前記パラメータ判定ステップは、ピークでの前記相関関数の複素位相に基づいた修正を
有する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記解析方法は更に、前記試験対象物パラメータを出力することを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記比較ステップと前記パラメータ判定ステップは、前記試験対象物の異なる表面位置に対応した複数の走査干渉法信号の各々に対して繰り返される、
請求項1記載の解析方法。 - 前記解析方法は更に、複数の前記表面位置に対して前記走査干渉法信号を得ることを有する、
請求項30記載の解析方法。 - 複数の前記表面位置に対する前記走査干渉法信号は、画像化検出器上の複数の位置を画像化する走査干渉計を使用して得られる、
請求項30記載の解析方法。 - 前記干渉法信号は、検出器上の基準光と干渉させるために前記試験対象物から出現する試験光を画像化することと、共通光源から、前記試験光と前記基準光の干渉部分に位置する前記検出器に向かう、光学経路長差を変更することとによって得られ、
前記試験光と前記基準光はそれぞれ、前記共通光源から導かれ、
前記干渉法信号は、前記光学経路長差が変わる際に、前記検出器によって測定される干渉強度に対応する、
請求項1記載の解析方法。 - 前記試験光と前記基準光はそれぞれ、前記試験光と前記基準光に対する中心周波数の5%を超えるスペクトル帯域幅を有している、
請求項33記載の解析方法。 - 前記共通光源は、スペクトルコヒーレンス長を有し、
前記光学経路長差は、前記走査干渉法信号を生成するために前記スペクトルコヒーレンス長よりも大きい範囲に亘って変えられる、
請求項33記載の解析方法。 - 前記試験光を前記試験対象物上に導き、且つ前記試験光を検出器に画像化するために使用される光学子は、0.8を超える、前記試験光のための開口数を規定している、
請求項33記載の解析方法。 - 前記解析方法は更に、前記走査干渉法信号を取得すべく使用される走査干渉計システムから発生する、前記走査干渉法信号へのシステム的な寄与を明らかにすることを有する、
請求項1記載の解析方法。 - 既知の特性を有する試験対象物を使用して前記走査干渉計システムの前記システム的な寄与をキャリブレーションすることをさらに有する請求項37記載の解析方法。
- 対象物の表面位置から走査干渉法信号を得るように構成された光学系と、プロセッサとを備える干渉計であって、
前記プロセッサは、
i)試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル
信号を受信し、前記走査干渉法信号を複数のモデル信号の各々と比較し、前記モデル信号と比較することは、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の表面高さオフセットを特定するために、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の相関関数を算出することと、特定した前記表面高さオフセットに基づいて、近似した共通の表面高さである共通表面高さに対する前記走査干渉法信号と、前記共通表面高さに対する前記モデル信号との間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出することとを有し、且つ
ii)異なる前記モデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、前記試験対象物の位置での試験対象物パラメータを判定する
ように構成されたコードを備え、
前記走査干渉法信号の周波数領域表現を、干渉周波数領域表現とし、
前記モデル信号の周波数領域表現を、モデル周波数領域表現とし、
特定された前記表面高さオフセットに対応した傾斜を有する項を、線形位相項とすると、
前記高さオフセット補正済メリット値を算出することは、前記線形位相項を用いて、前記干渉周波数領域表現または前記モデル周波数領域表現を補正することと、前記線形位相項で補正することに続いて、前記走査干渉法信号と前記モデル信号との間の類似点を定量化することとを有することを特徴とする、干渉計。 - 前記コードは、前記走査干渉法信号および前記モデル信号を周波数領域に変換し、変換した前記信号に基づいて前記相関関数を算出するようにさらに構成されている、
請求項39記載の干渉計。 - 前記プロセッサは更に、モデルパラメータに基づいて前記モデル信号のうちの1つを生成するように構成されたコードを有する、
請求項39記載の干渉計。 - 前記コードは更に、前記試験対象物の表面に関連した試験対象物パラメータマップを判定するように構成されている、
請求項39記載の干渉計。 - 前記試験対象物パラメータマップは、高さパラメータに基づく、
請求項42記載の干渉計。 - 前記試験対象物パラメータマップは、薄膜パラメータに基づく、
請求項42記載の干渉計。 - 前記試験対象物パラメータマップは、過小解像される表面特徴パラメータに基づく、
請求項42記載の干渉計。 - 前記プロセッサは、判定した前記試験対象物パラメータに関する情報を出力するようにさらに構成されている、
請求項39記載の干渉計。 - 前記光学系は、前記対象物の複数の表面位置の各々から干渉法信号を得るように構成された多素子検出器を備え、
前記プロセッサは、得られた前記干渉法信号に基づいて前記複数の表面位置の各々で試験対象物パラメータに関する情報を判定するように構成されている、
請求項39記載の干渉計。 - 試験対象物の表面構造を解析する解析方法であって、前記解析方法は、
前記試験対象物の複数の位置の各々に対して得られた走査干渉法信号を、前記試験対象物をモデル化するための異なるモデルパラメータに対応した複数のモデル信号の各々と比較する比較ステップであって、前記比較ステップは、前記走査干渉法信号の周波数領域表現である干渉周波数領域表現と、前記モデル信号の周波数領域表現であるモデル周波数領域表現とに基づいて、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の相関関数を算出することによって、前記走査干渉法信号と前記モデル信号の間の表面高さオフセットを特定する特定サブステップと、特定した前記表面高さオフセットに基づいて、共通の表面高さである共通表面高さに対する前記走査干渉法信号と、前記共通表面高さに対する前記モデル信号との間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出する算出サブステップとを有すること;
異なる前記試験対象物位置の各々での異なる前記モデル信号に対する各々のメリット値に基づいて、各試験対象物位置での1又は複数の試験対象物パラメータを判定する判定ステップと
を有し、
特定された前記表面高さオフセットに対応した傾斜を有する項を、線形位相項とすると、
前記算出サブステップは、前記干渉周波数領域表現または前記モデル周波数領域表現を、前記線形位相項を用いて補正することと、前記線形位相項で補正することに続いて、前記走査干渉法信号と前記モデル信号との間の類似点を定量化することとを有する、解析方法。 - 試験対象物の表面構造を解析する解析方法であって、前記解析方法は、
1組のモデル信号のうちの少なくとも1つのモデル信号に対して、共通の表面高さである共通表面高さに対する走査干渉法信号と、前記共通表面高さに対する前記モデル信号との間の類似点を表わす高さオフセット補正済メリット値を算出するメリット値算出ステップと;
前記高さオフセット補正済メリット値に基づいて、試験対象物パラメータを判定する判定ステップと
を有し、
前記メリット値算出ステップは、
前記走査干渉法信号と前記モデル信号の相関と、前記走査干渉法信号から導かれる情報と前記モデル信号から導かれる情報の相関とのうちいずれか1つを行なうことと;
前記相関に基づいて、前記干渉法信号の周波数領域表現と前記モデル信号の周波数領域との間の高さ依存位相傾斜を判定することと、前記干渉法信号と前記モデル信号の周波数領域表現のうちの少なくとも1つの係数の位相を、前記高さ依存位相傾斜を用いて補正することとを有することと
を備えることを特徴とする、解析方法。 - 表示パネルを作る処理であって、
前記表示パネルの構成要素を提供すること、
請求項1記載の解析方法を使用して、前記構成要素に関する情報を判定する情報判定ステップであって、前記構成要素は、前記試験対象物に対応し、前記情報は、前記試験対象物パラメータに基づくことと;
前記構成要素を使用して前記表示パネルを形成する表示パネル形成ステップと
を有する処理。 - 前記構成要素は、間隙によって互いに分離された一対の基板を備え、
前記情報は、前記間隙に関する情報を有する、
請求項50記載の処理。 - 前記表示パネル形成ステップは、前記情報に基づいて前記間隙を調整することを有する、
請求項51記載の処理。 - 前記表示パネル形成ステップは、前記間隙を液晶材料で充填することを有する、
請求項51記載の処理。 - 前記構成要素は、基板と該基板上のレジスト層とを備えている、
請求項50記載の処理。 - 前記情報は、前記レジスト層の厚さに関する情報を有する、
請求項54記載の処理。 - 前記レジスト層は、パターン化層であり、
前記情報は、前記パターン化層の寸法または表面のオーバーレイ誤差に関する情報を有する、
請求項54記載の処理。 - 前記表示パネル形成ステップは、前記レジスト層の下の材料層をエッチングすることを有する、
請求項54記載の処理。 - 前記構成要素は、スペーサを具備した基板を備え、
前記情報は、前記スペーサに関する情報を有する、
請求項50記載の処理。 - 前記表示パネル形成ステップは、前記情報に基づいて前記スペーサを修正することを有する、
請求項58記載の処理。
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