JP5288332B2 - リニアモータ、およびリニアモータの電機子 - Google Patents

Description

本発明は、例えば工作機械あるいは半導体製造装置等に搭載される３次元的に姿勢が変化する部位の駆動用モータとして用いられ、冷却構造をもつ電機子を備えるリニアモータに関する。

従来のリニアモータでは、高速、高出力の性能を満たそうとするとき、コイルの巻数を多くすることで対処されるのが一般的である。しかしながらこの場合、コイルの発熱量が増大し、その発熱量の増大がリニアモータの周囲に悪影響を及ぼす場合がある。このため、リニアモータに冷却構造を設ける事例が多い（例えば特許文献１〜４）。このような冷却構造を設けたリニアモータの一例を、図８及び図９を参照して説明する。

図８は、従来の円筒形リニアモータの電機子の正面図である。図９は、図８に示した電機子の側断面図であり、図９（ａ）は、図８に示される線ＡＡで切断した電機子を横から見たときの側断面図であり、図９（ｂ）は、図８に示される線ＢＢで切断した電機子を上から見たときの側断面図である。なお、図８及び図９に示したＯは、電機子の正面における中心を通る電機子の中心軸であり、後述する管路の中心軸である。また、図８及び図９に示したＯａは、後述する流入孔の中心軸であり、Ｏｂは、後述する流出孔の中心軸である。

図８及び図９において、電機子は、通電により磁気回路を構成し推力を発生させる中空コイル１、中空コイル１の空芯部（中空部）に置かれて一端が閉じられ、発熱した中空コイル１の熱伝達の媒体となる円筒形の管路２、管路２の他端を閉じるように管路２内に置かれ、冷却液（例えば水）を管路２内に流入させる流入孔３ａと、冷却液を管路２外に流出させる流出孔３ｂとが形成されたブロック３、一端が流出孔３ｂと固定接続されて管路２内に配置され、管路２内に流入した冷却液を回収し流出孔３ｂに排出する直線状のパイプ４、ブロック３の周囲に嵌め込まれ、冷却液の漏れを防止するＯリング５から構成される。
なお、図９（ｂ）に示されるように、流入孔３ａの中心軸Ｏａと流出孔３ｂの中心軸Ｏｂそれぞれは、管路２の中心軸Ｏと一致していない。

このように構成された電機子において、冷却液は、流入孔３ａから管路２内へ流入し、パイプ４を通じて流出孔３ｂから管路２外へ流出する。

特開２００１−２１８４４３号 実開平６−６２７８７号 ＤＥ１０１６３６２６ ＤＥ１００６２８２３

ここで、３次元的に姿勢が変化する部位に、図８及び図９に示したリニアモータが設置された場合、部位の動きに合わせてリニアモータの姿勢が変化するので、当然ながら、リニアモータの姿勢が電機子を横倒しにしたような姿勢になる場合もある。図１０は、横倒しになった図８に示した電機子の斜視図である。なお、図１０では、電機子の内部構造を見やすくするために、中空コイル１を図示していない。
図８及び図９に示したリニアモータが電機子を横倒しにしたような姿勢になった場合、直線状のパイプ４が流出孔３ｂと固定接続されており、また冷却液６の液位はパイプ４が設けられた位置を上限としてそれ以上は高くならないので、流出孔３ｂの位置に対応する量の冷却液６しか管路２内には残らない。図１０でいえば、管路２内の冷却液６の量は、管路２内容量の丁度半分に相当する量になってしまう。
このように、図８及び図９に示したリニアモータは、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合、流出孔３ｂの位置に対応する量の冷却液６しか管路２内に残らない状況があり、冷却性能が悪いという問題があった。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、冷却性能を従来よりも良くしたリニアモータの電機子、および当該電機子を備えるリニアモータを提供することを目的とする。

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項１に記載の発明は、円筒状の中空コイルと、中空コイルの中空部に設けられ、一端が閉じた管路と、管路の他端を閉じるように設けられ、冷却液を管路内に流入させる流入孔と、当該冷却液を管路外に流出させる流出孔とが形成されたブロックと、管路内に設けられ、管路内に流入した冷却液を回収して流出孔に排出するパイプと、を備えるリニアモータの電機子において、流出孔は、管路の他端側から見て管路の中心軸近傍に形成され、パイプの一端は、パイプが中空コイルの巻回方向に回転自在となるように、流出孔と接続され、パイプの他端は、管路の他端側から見て管路の中心軸近傍より外径側に設けられ、パイプの他端近傍に配置されるようにパイプの外周に設けられた浮き袋を備えることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明は、管路の他端側から見たときに流出孔の中心軸に対してパイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されるようにパイプの外周に設けられた重りを備えることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明は、パイプの一部は、管路の他端側から見て管路の中心軸近傍より外径側であって、流出孔の中心軸に対してパイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置で対向するように通っており、重りは、パイプの一部の外周に設けられたことを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明は、円筒状の中空コイルと、中空コイルの中空部に設けられ、一端が閉じた管路と、管路の他端を閉じるように設けられ、冷却液を管路内に流入させる流入孔と、当該冷却液を管路外に流出させる流出孔とが形成されたブロックと、管路内に設けられ、管路内に流入した冷却液を回収して流出孔に排出するパイプと、を備えるリニアモータの電機子において、流出孔は、管路の他端側から見て管路の中心軸近傍に形成され、パイプの一端は、パイプが中空コイルの巻回方向に回転自在となるように、流出孔と接続され、パイプの他端は、管路の他端側から見て管路の中心軸近傍より外径側に設けられ、管路の他端側から見たときに流出孔の中心軸に対してパイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されるようにパイプの外周に設けられた重りを備えることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明は、パイプの一部は、管路の他端側から見て管路の中心軸近傍より外径側であって、流出孔の中心軸に対してパイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置で対向するように通っており、重りは、パイプの一部の外周に設けられたことを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明は、流出孔の中心軸が管路の中心軸と一致することを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明は、流出孔の中心軸が管路の中心軸と一致しないことを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明は、パイプの他端は、管路内における管路の一端側に設けられることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明は、パイプの一端の外周と流出孔の内周との間に設けられたベアリングを備えることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明は、パイプは、折れ曲がった形状を有することを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子と、電機子の中空コイルの外周を覆うように設けられた界磁子と、を備えることを特徴とするリニアモータに関するものである。

請求項１または請求項４に記載の発明によると、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、パイプの他端が常に流出孔よりも上部に位置することになるので、電機子の冷却性能を従来よりも良くすることができる。
請求項２、３、５に記載の発明によると、より確実に冷却性能を従来よりも良くすることができる。
請求項６、８に記載の発明によると、冷却性能をさらに良くすることができる。
請求項７に記載の発明によると、冷却液供給装置が流入孔および流出孔に取り付けやすくなる。

本発明の実施例１に係る円筒形リニアモータ電機子の正面図 従来の円筒形リニアモータ電機子の断面図 円筒形管路の斜視図 本発明の実施例２に係る円筒形リニアモータの電機子の正面図 図４に示した電機子の側断面図 図１及び図２に示した電機子における流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを中心軸Ｏと一致させないようにしたときの電機子の正面図 本発明のリニアモータの側断面図 従来の円筒形リニアモータの電機子の正面図 図８に示した電機子の側断面図 図８に示した電機子の斜視図

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。

図１は、本発明の実施例１に係る円筒形リニアモータの電機子の正面図である。図２は、図１に示した電機子の側断面図であり、図２（ａ）は、図１に示される線ＡＡで切断した電機子を横から見たときの側断面図であり、図２（ｂ）は、図１に示される線ＢＢで切断した電機子を上から見たときの側断面図である。なお、図１及び図２に示したＯは、電機子の正面における中心を通る電機子の中心軸であり、管路２の管路断面（電機子の正面から見たときの管路２の断面）の中心を通る管路２の中心軸でもある。また、図１及び図２に示したＯａは、後述する流入孔の中心軸であり、Ｏｂは、後述する流出孔の中心軸である。

図１及び図２において、電機子は、中空コイル１、管路２、Ｏリング５、ブロック７、ベアリング８、Ｃリング９、支持板１０、パイプ１１、重り１２、浮き袋１３から構成される。電機子は、固定子または可動子のいずれかである。
中空コイル１は、円筒状であり、通電により磁気回路を構成し、推力を発生させる。管路２は、円筒形状を有し、一端が閉じられて中空コイル１の空芯部（中空部）に置かれる。管路２は、発熱した中空コイル１の熱伝達の媒体となる。
ブロック７は、管路２の他端を閉じるように管路２内に配置される。ブロック７には、冷却液を管路２内に流入させる流入孔７ａと、冷却液を管路２外に流出させる流出孔７ｂとが形成される。実施例１では、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂは中心軸Ｏと一致しており、流入孔７ａの中心軸Ｏａは、中心軸Ｏと一致していない。Ｏリング５は、ブロック７の周囲に嵌め込まれ、冷却液の漏れを防止する。
パイプ１１は、折れ曲がった形状を有し、管路２内に配置される。パイプ１１は、管路２内に流入した冷却液を回収して流出孔７ｂに排出することにより、冷却液の流れを作り出す。パイプ１１の一端は、流出孔７ｂと接続され、パイプ１１の他端は、管路２の他端側（図１に示す管路２の正面側）から見て管路２の中心軸Ｏよりも外径側に設けられる。実施例１では、パイプ１１の他端は、管路２の正面側から見て管路２内の最上端部に配置され、管路２の側面側から見て管路２の一端側（図２の左側）の管路２内に配置される。また、実施例１では、パイプ１１の一部が、管路２の正面側から見たときに流出孔７ｂの中心軸Ｏｂに対してパイプ１１の他端と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されている。つまり、パイプ１１の一部が、管路２の正面側から見て管路２内の最下端部に配置されている。
ベアリング８は、パイプ１１の一端の外周と流出孔７ｂの内周との間に設けられ、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを回転軸としてパイプ１１を回転させる機能を持つ。パイプ１１の回転方向は、中空コイル１の巻回方向である。Ｃリング９は、パイプ１１の一端とベアリング８とを止めるように、パイプ１１の一端の外周に配置される。支持板１０は、パイプ１１がブロック７から抜けなくなるように、ブロック７の管路２内側に配置される。

重り１２は、管路２の正面側から見たときに流出孔７ｂの中心軸Ｏｂに対してパイプ１１の他端側と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されるようにパイプ１１の外周に設けられる。つまり、重り１２は、管路２の正面側から見て流出孔７ｂの中心軸Ｏｂより下側（パイプ１１の他端側とは反対側）に存在するパイプ１１の外周に設けられる。実施例１では、管路２内の最下端部に配置されたパイプ１１の一部の外周に設けられている。
浮き袋１３は、パイプ１１の他端近傍のパイプ１１の外周に設けられる。つまり、浮き袋１３は、管路２の正面側から見て流出孔７ｂの中心軸Ｏｂより上側（パイプ１１の他端側）に存在するパイプ１１の外周に設けられる。実施例１では、管路２内の最上端部に配置されたパイプ１１の外周に設けられている。
このように構成された電機子において、冷却液は、流入孔７ａから管路２内へ流入し、パイプ１１を通じて流出孔７ｂから管路２外へ流出する。

ここで、パイプ１１は、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを回転軸として回転自在である。また、パイプ１１には、管路２内の下端部に配置された重り１２と、管路２内の上端部に配置された浮き袋１３とが設けられる。これらにより、図３に示すように、リニアモータの姿勢が変化して電機子が横倒しになっても、パイプ１１の他端は、常に管路２内の上端部に存在することになる。図３は、横倒しになった図１に示した電機子の斜視図である。パイプ１１の他端は、図３に示すように、常に流出孔７ｂよりも上部に存在するので、流出孔３ｂの位置に対応する量の冷却液６しか管路２内に残らなかった従来よりも、多くの冷却液６を管路２内に残すことができる。その結果、従来よりも、電機子の冷却性能を良くすることができる。

以上のように、実施例１によれば、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、冷却性能を従来よりも良くしたリニアモータの電機子を提供することができる。
また、実施例１では、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂは中心軸Ｏと一致している。このため、パイプ１１の他端を管路内空間の最上端部に配置することができるので、電機子の冷却性能を最も良くすることができる。
また、実施例１では、パイプ１１の外周に重り１２と浮き袋１３とが設けられている。このため、リニアモータの姿勢が変化しても、その変化に対して、より迅速にパイプ１１の他端を管路内空間の最上端部に移動させることができる。また、浮き袋１３によって、重り１２の振り子運動を低減させることもできる。
また、実施例１では、パイプ１１の一部が管路２の正面から見て管路２内の最下端部に配置されており、その一部の外周に重り１２が配置されている。このため、重り１２がもつ、パイプ１１の他端を常に管路２内の最上端部に移動させる機能を、最大化することができる。

なお、実施例１では、パイプ１１の外周に重り１２と浮き袋１３とを設けていたが、いずれか一方のみ設けてもよい。この場合であっても、パイプ１１の他端は、常に流出孔３ｂの位置よりも上部に存在することになるので、従来よりも電機子の冷却性能を良くすることができる。

図４は、本発明の実施例２に係る円筒形リニアモータの電機子の正面図である。図５は、図４に示した電機子の側断面図であり、図５（ａ）は、図４に示される線ＡＡで切断した電機子を横から見たときの側断面図であり、図５（ｂ）は、図４に示される線ＢＢで切断した電機子を上から見たときの側断面図である。なお、図４及び図５に示したＯは、電機子の正面における中心を通る電機子の中心軸であり、管路２の管路断面（電機子の正面から見たときの管路２の断面）の中心を通る管路２の中心軸でもある。また、図４及び図５に示したＯａは、流入孔７ａの中心軸であり、Ｏｂは、流出孔７ｂの中心軸である。

実施例２に係る円筒形リニアモータの電機子は、図１及び図２に示した電機子に対して、パイプ１１がパイプ１５に入れ代わった点のみ異なる。以下、異なる点を中心に説明する。

パイプ１５は、パイプ１１に対し、一部が管路２の正面側から見て管路２内の最下端部に配置されていない点で異なる。それ以外は、パイプ１１と同様である。
重り１２は、管路２の正面側から見て流出孔７ｂの中心軸Ｏｂより下側（パイプ１１の他端側とは反対側）に存在するパイプ１１の外周に設けられる。浮き袋１３は、管路２内の最上端部に配置されたパイプ１１の外周に設けられている。
このように構成された電機子において、冷却液は、流入孔７ａから管路２内へ流入し、パイプ１５を通じて流出孔７ｂから管路２外へ流出する。

ここで、パイプ１５は、パイプ１１と同様、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを回転軸として回転自在である。また、パイプ１５には、管路２内の下端部に配置された重り１２と、管路２内の上端部に配置された浮き袋１３とが設けられる。これらにより、実施例１と同様、従来よりも、電機子の冷却性能を良くすることができる。

以上のように、実施例２によれば、実施例１と同様、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、電機子の冷却性能を従来よりも良くしたリニアモータを提供することができる。
また、実施例２では、実施例１と同様、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂは中心軸Ｏと一致している。このため、実施例１と同様、パイプ１５の他端を管路２内の最上端部に配置することができるので、電機子の冷却性能を最も良くすることができる。
また、実施例２では、実施例１と同様、パイプ１５の外周に重り１２と浮き袋１３とが設けられている。このため、実施例１と同様、リニアモータの姿勢が変化しても、その変化に対して、より迅速にパイプ１５の他端を管路２内の最上端部に移動させることができる。また、浮き袋１３によって、重り１２の振り子運動を低減させることもできる。

なお、実施例１では、パイプ１５の外周に重り１２と浮き袋１３とを設けていたが、いずれか一方のみ設けてもよい。この場合であっても、パイプ１５の他端は、常に流出孔３ｂの位置よりも上部に存在することになるので、従来よりも電機子の冷却性能を良くすることができる。

実施例１および２では、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂは中心軸Ｏと一致していたが、図８及び図９に示した従来のリニアモータと同様に、一致してなくてもよい。この場合のリニアモータの例を実施例３として図６を参照して説明する。図６は、図１及び図２に示した電機子における流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを中心軸Ｏと一致させないようにしたときの電機子の正面図である。

実施例３に係る円筒形リニアモータの電機子は、図１及び図２に示した電機子に対して、ブロック７がブロック２０に入れ代わり、パイプ１１がパイプ２１に入れ代わった点のみ異なる。以下、異なる点を中心に説明する。

ブロック２０は、管路２の他端を閉じるように管路２内に配置される。ブロック２０には、冷却液を管路２内に流入させる流入孔２０ａと、冷却液を管路２外に流出させる流出孔２０ｂとが形成される。実施例３では、流出孔２０ｂは中心軸Ｏの近傍に形成されているが、流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂは中心軸Ｏと一致せず、流入孔２０ａの中心軸Ｏａも、中心軸Ｏと一致していない。
パイプ２１は、折れ曲がった形状を有し、管路２内に流入した冷却液を回収して流出孔７ｂに排出することにより、冷却液の流れを作り出す。パイプ２１の一端は、流出孔２０ｂと接続され、パイプ２１の他端は、管路２の他端側（図６に示す管路２の正面側）から見て管路２の中心軸Ｏの近傍よりも外径側に設けられる。実施例３では、パイプ２１の他端は、管路２の正面側から見て流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂよりも管路２内の上部に配置され、管路２の側面側から見て管路２の一端側の管路２内に配置される。また、実施例３では、パイプ２１の一部が、管路２の正面側から見たときに流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂに対してパイプ２１の他端と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置される。つまり、パイプ２１の一部が、管路２の正面側から見て流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂよりも下部に配置されている。なお、パイプ２１の他端とパイプ２１の一部の位置は、パイプ２１が流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂを回転軸として回転自在となる位置に決定されている。

重り１２は、管路２の正面側から見たときに流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂに対してパイプ２１の他端側と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されるようにパイプ２１の外周に設けられる。つまり、重り１２は、管路２の正面側から見て流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂより下側（パイプ２１の他端側とは反対側）に存在するパイプ２１の外周に設けられる。実施例３では、管路２内の下部に配置されたパイプ２１の一部の外周に設けられている。
浮き袋１３は、パイプ２１の他端近傍のパイプ２１の外周に設けられる。つまり、浮き袋２３は、管路２の正面側から見て流出孔２０ｂの中心軸Ｏｂより上側（パイプ２１の他端側）に存在するパイプ２１の外周に設けられる。実施例３では、管路２内の上部に配置されたパイプ２１の外周に設けられている。

以上のように構成された実施例３に係るリニアモータであっても、実施例１と同様、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、電機子の冷却性能を従来よりも良くしたリニアモータを提供することができる。
また、流出孔７ｂの中心軸Ｏｂが中心軸Ｏと一致しないので、冷却液を電機子に供給、または冷却液を電機子から受け取る冷却液供給装置（図示なし）が、流入孔および流出孔に取り付けやすくなる。

なお、実施例３では、図１及び図２に示した電機子における流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを中心軸Ｏと一致させないようにした場合について説明したが、図４及び図５に示した電機子における流出孔７ｂの中心軸Ｏｂを中心軸Ｏと一致させないようにしても構わない。

本実施例では、実施例１〜３で説明したリニアモータの電機子を備えるリニアモータについて説明する。図７は、本発明のリニアモータの側断面図である。

図７に示すように、リニアモータは、実施例１〜３で説明したリニアモータの電機子３０と、中空コイル１の外周を覆うように設けられ、永久磁石などを含む界磁子４０とを備える。

以上のように、実施例４によれば、３次元的に姿勢が変化する環境下で用いられた場合でも、電機子の冷却性能を従来よりも良くしたリニアモータを提供することができる。

１ 中空コイル
２ 管路
３、７、２０ ブロック
３ａ、７ａ、２０ａ 流入孔
３ｂ、７ｂ、２０ｂ 流出孔
４、１１、１５、２１ パイプ
５ Ｏリング
８ ベアリング
９ Ｃリング
１０ 支持板
１２ 重り
１３ 浮き袋

Claims (11)

1. 円筒状の中空コイルと、
   前記中空コイルの中空部に設けられ、一端が閉じた管路と、
   前記管路の他端を閉じるように設けられ、冷却液を前記管路内に流入させる流入孔と、当該冷却液を前記管路外に流出させる流出孔とが形成されたブロックと、
   前記管路内に設けられ、前記管路内に流入した冷却液を回収して前記流出孔に排出するパイプと、を備えるリニアモータの電機子において、
   前記流出孔は、前記管路の他端側から見て前記管路の中心軸近傍に形成され、
   前記パイプの一端は、前記パイプが前記中空コイルの巻回方向に回転自在となるように、前記流出孔と接続され、
   前記パイプの他端は、前記管路の他端側から見て前記管路の中心軸近傍より外径側に設けられ、
   前記パイプの他端近傍に配置されるように前記パイプの外周に設けられた浮き袋を備えることを特徴とするリニアモータの電機子。
2. 前記管路の他端側から見たときに前記流出孔の中心軸に対して前記パイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されるように前記パイプの外周に設けられた重りを備えることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータの電機子。
3. 前記パイプの一部は、前記管路の他端側から見て前記管路の中心軸近傍より外径側であって、前記流出孔の中心軸に対して前記パイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置で対向するように通っており、
   前記重りは、前記パイプの一部の外周に設けられたことを特徴とする請求項２に記載のリニアモータの電機子。
4. 円筒状の中空コイルと、
   前記中空コイルの中空部に設けられ、一端が閉じた管路と、
   前記管路の他端を閉じるように設けられ、冷却液を前記管路内に流入させる流入孔と、当該冷却液を前記管路外に流出させる流出孔とが形成されたブロックと、
   前記管路内に設けられ、前記管路内に流入した冷却液を回収して前記流出孔に排出するパイプと、を備えるリニアモータの電機子において、
   前記流出孔は、前記管路の他端側から見て前記管路の中心軸近傍に形成され、
   前記パイプの一端は、前記パイプが前記中空コイルの巻回方向に回転自在となるように、前記流出孔と接続され、
   前記パイプの他端は、前記管路の他端側から見て前記管路の中心軸近傍より外径側に設けられ、
   前記管路の他端側から見たときに前記流出孔の中心軸に対して前記パイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置に対向配置されるように前記パイプの外周に設けられた重りを備えることを特徴とするリニアモータの電機子。
5. 前記パイプの一部は、前記管路の他端側から見て前記管路の中心軸近傍より外径側であって、前記流出孔の中心軸に対して前記パイプの他端と円周方向に向かって略１８０°の位置で対向するように通っており、
   前記重りは、前記パイプの一部の外周に設けられたことを特徴とする請求項４に記載のリニアモータの電機子。
6. 前記流出孔の中心軸が前記管路の中心軸と一致することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子。
7. 前記流出孔の中心軸が前記管路の中心軸と一致しないことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子。
8. 前記パイプの他端は、前記管路内における前記管路の一端側に設けられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子。
9. 前記パイプの一端の外周と前記流出孔の内周との間に設けられたベアリングを備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子。
10. 前記パイプは、折れ曲がった形状を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子。
11. 前記請求項１〜５のいずれか１項に記載のリニアモータの電機子と、
    前記電機子の中空コイルの外周を覆うように設けられた界磁子と、を備えることを特徴とするリニアモータ。

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