JP5287178B2 - 欠陥レビュー装置 - Google Patents
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Description
検査対象物の欠陥検出処理によって検出された複数の欠陥、及び当該欠陥の位置情報が登録されている欠陥検出データと、前記検査対象物の他の少なくとも1つの欠陥検出処理によって検出された複数の欠陥、及び当該欠陥の位置情報が登録されている他の欠陥検出データとを記憶する領域が確保された記憶装置と、
前記検査対象物の表面のうち、指令された位置情報により特定される位置の画像を取得する第1の撮像装置と、
前記第1の撮像装置を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記欠陥検出データの各々に登録されている欠陥の位置情報に基づいて、同一の欠陥が少なくとも2つの欠陥検出データに重複して登録されているか否かを判定し、重複して登録されていると認定される欠陥を重複欠陥と認定し、
前記欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を、前記第1の撮像装置により取得する際に、重複欠陥については、当該重複欠陥の位置の画像を重複して取得しない制御を行う欠陥レビュー装置。
前記制御装置は、
前記重複欠陥が1つの欠陥として登録されるように、前記複数の欠陥検出データを結合して、1つの結合データを作成し、該結合データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を前記第1の撮像装置により取得する付記1に記載の欠陥レビュー装置。
前記制御装置は、
1つの前記欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を前記第1の撮像装置により取得し、
2つ目以降の欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を取得する際には、画像を取得する前に、当該欠陥が重複欠陥か否かを判定し、重複欠陥である場合には、当該重複欠陥の位置情報で特定される位置の画像の取得を行わない付記1に記載の欠陥レビュー装置。
前記第1の撮像装置は、走査型電子顕微鏡であり、
さらに、検査対象物の表面のうち指令された位置情報により特定される位置の画像を取得する光学顕微鏡である第2の撮像装置を有し、
前記制御装置は、前記第1の撮像装置で取得された画像内に欠陥が発見されなかった位置の画像を、前記第2の撮像装置により取得し、
前記第1の撮像装置から取得された画像、及び前記第2の撮像装置から取得された画像に基づいて、欠陥種別を決定する付記1乃至3のいずれか1項に記載の欠陥レビュー装置。
前記第1の撮像装置は、観察座標系によって特定される位置の画像を取得し、
前記制御装置は、前記検査対象物に形成されているパターンの画像を取得し、前記検査対象物に固定された対象物座標系における該パターンの座標と、取得された該パターンの画像から求めた観察座標系における該パターンの座標とから、前記対象物座標系と前記観察座標系との第1の関係を求め、
前記第1の関係を適用して、前記欠陥検出データのいずれかに登録されている1つの欠陥を抽出し、抽出された欠陥の画像を取得し、取得された画像内における欠陥の位置に基づいて、前記第1の関係を補正する付記1乃至4のいずれか1項に記載の欠陥レビュー装置。
前記制御装置は、前記第1の関係を補正する際に、前記欠陥検出データに登録されている欠陥のうち局所的に群集するクラスタ欠陥を除外した残りの欠陥から1つの欠陥を抽出する付記5に記載の欠陥レビュー装置。
前記記憶装置は、前記第1の関係を補正する際に、抽出の対象となり得る欠陥が分布する領域の幅を記憶する抽出可能領域記憶部を含み、
前記制御装置は、前記第1の関係を補正する際に、前記検査対象物の外周を外側の縁とし、前記抽出可能領域記憶部に記憶されている幅を持つ環状の領域から、1つの欠陥を抽出し、該環状の領域内に欠陥が存在しない場合には、該検査対象物の外周線に最も近い欠陥を抽出する付記5または6に記載の欠陥レビュー装置。
前記制御装置は、前記第1の関係を補正する際に、1つの欠陥を抽出した後、抽出された欠陥を始点とし、前記検査対象物の中心を通過する半直線と、該検査対象物の外周線との交点に最も近い欠陥を、2番目の欠陥として抽出する付記5乃至7のいずれか1項に記載の欠陥レビュー装置。
前記制御装置は、前記第1の関係を補正する際に、1番目及び2番目に抽出した欠陥のうち一方の欠陥と、前記検査対象物の中心とを通過する第1の直線に直交し、前記検査対象物の中心を通過する第2の直線と、該検査対象物の外周との2つの交点の各々に最も近い欠陥を、3番目及び4番目の欠陥として抽出する付記8に記載の欠陥レビュー装置。
検査対象物の表面の欠陥を、少なくとも2つの異なる検出条件で検出し、検出条件ごとに、検出された欠陥、及び当該欠陥の位置情報が登録された欠陥検出データを取得する工程と、
同一の欠陥が少なくとも2つの欠陥検出データに重複して登録されているか否かを判定し、重複して登録されていると認定される欠陥を重複欠陥とする工程と、
前記重複欠陥については、当該重複欠陥の位置の画像を重複して取得しないようにして、前記欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を取得する工程と
を有する欠陥レビュー方法。
前記欠陥検出データを取得した後、前記重複欠陥が1つの欠陥として登録されるように、前記複数の欠陥検出データを結合して、1つの結合データを作成する工程と、
前記画像を取得する工程において、前記結合データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を取得する付記10に記載の欠陥レビュー方法。
前記画像を取得する工程が、
1つの前記欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を取得する工程と、
2つ目以降の欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を取得する際には、画像を取得する前に、当該欠陥が重複欠陥か否かを判定し、重複欠陥である場合には、当該重複欠陥の位置情報で特定される位置の画像の取得を行わない工程と
を含む付記10に記載の欠陥レビュー方法。
前記画像を取得する工程において、走査型電子顕微鏡により画像を取得し、
さらに、
走査型電子顕微鏡で取得された画像内に欠陥が発見されなかった位置の画像を、光学顕微鏡により取得する工程と、
前記走査型電子顕微鏡による画像と、前記光学顕微鏡による画像とに基づいて、欠陥種別を決定する工程と
を含む付記10乃至12のいずれか1項に記載の欠陥レビュー方法。
前記画像を取得する工程が、
観察座標系によって位置を特定して、前記検査対象物に形成されているパターンの画像を取得し、前記検査対象物に固定された対象物座標系における該パターンの座標と、観察座標系における該パターンの座標とから、前記対象物座標系と前記観察座標系との第1の関係を求める工程と、
前記第1の関係を適用して、前記検査対象物上の1つの欠陥を抽出し、抽出された欠陥の画像を取得し、取得された画像内における欠陥の位置に基づいて、前記第1の関係を補正する工程と
を含む付記10乃至13のいずれか1項に記載の欠陥レビュー方法。
前記第1の関係を補正する際に、前記欠陥のうち局所的に群集するクラスタ欠陥を除外した残りの欠陥から1つの欠陥を抽出する付記14に記載の欠陥レビュー方法。
前記第1の関係を補正する際に、前記検査対象物の外周までの距離が第1の距離以下の欠陥から、1つの欠陥を抽出し、該第1の距離以下の欠陥が存在しない場合には、該検査対象物の外周線に最も近い欠陥を抽出する付記14または15に記載の欠陥レビュー方法。
前記第1の関係を補正する際に、1つの欠陥を抽出した後、抽出された欠陥を始点とし、前記検査対象物の中心を通過する半直線と、該検査対象物の外周線との交点に最も近い欠陥を、2番目の欠陥として抽出する付記14乃至16のいずれか1項に記載の欠陥レビュー方法。
前記第1の関係を補正する際に、1番目及び2番目に抽出した欠陥のうち一方の欠陥と、前記検査対象物の中心とを通過する第1の直線に直交し、前記検査対象物の中心を通過する第2の直線と、該検査対象物の外周との2つの交点の各々に最も近い欠陥を、3番目及び4番目の欠陥として抽出する付記17に記載の欠陥レビュー方法。
21 入力部
22 制御装置
24 出力部
25 走査型電子顕微鏡(SEM)
26 可動ステージ
27 電子ビーム源
29 光学顕微鏡
30 記憶装置
31A〜31C 欠陥検出データ記憶部
34 結合データ記憶部
35 抽出可能領域記憶部
40 検査対象ウエハ
41A〜41C 欠陥検出処理
42A〜42C 欠陥検出データ
44A〜44E チップ
45 欠陥
45C クラスタ欠陥
46 円環状の領域
47 半直線
48 半直線47と外周との交点
50 半直線47に直交し、中心を通過する直線
51、52 直線50と外周との交点
Claims (4)
- 検査対象物の欠陥検出処理によって検出された複数の欠陥、及び当該欠陥の位置情報が登録されている欠陥検出データと、前記検査対象物の他の少なくとも1つの欠陥検出処理によって検出された複数の欠陥、及び当該欠陥の位置情報が登録されている他の欠陥検出データとを記憶する領域が確保された記憶装置と、
前記検査対象物の表面のうち、指令された位置情報により特定される位置の画像を取得する走査型電子顕微鏡および光学顕微鏡と、
前記電子顕微鏡および前記光学顕微鏡を制御して、該電子顕微鏡に対する前記検査対象物の位置関係を調整する位置合わせ処理と、該電子顕微鏡または該光学顕微鏡により該検査対象物の欠陥を撮像する撮像処理と、を実行する制御装置と
を有し、
前記位置合わせ処理において、前記制御装置は、
前記検査対象物に形成されているパターンの画像を取得し、前記検査対象物に固定された対象物座標系における該パターンの座標と、取得された該パターンの画像から求めた観察座標系における該パターンの座標と、から、前記対象物座標系と前記観察座標系との第1の関係を求め、
前記第1の関係を適用して、前記欠陥検出データのいずれかに登録されている1つの欠陥を1番目の欠陥として抽出し、
1番目の欠陥を始点とし、前記検査対象物の中心を通過する半直径と該検査対象物の外周との交点に最も近い1つの欠陥を2番目の欠陥として抽出し、
1番目および2番目の欠陥のうち一方の欠陥と前記検査対象物の中心とを通過する第1の直線と定義し、該第1の直線に直交し、前記検査対象物の中心を通過する第2の直線と定義したとき、該第2の直線と該検査対象物の外周との2つの交点各々に最も近い1つの欠陥をそれぞれ3番目および4番目の欠陥として抽出し、
1番目の欠陥〜4番目の欠陥の画像を前記電子顕微鏡により取得し、取得された画像内における1番目の欠陥〜4番目の欠陥の位置に基づいて、前記第1の関係を補正し、
前記撮像処理において、前記制御装置は、
前記欠陥検出データの各々に登録されている欠陥の位置情報に基づいて、同一の欠陥が少なくとも2つの欠陥検出データに重複して登録されているか否かを判定し、重複して登録されていると認定される欠陥を重複欠陥と認定し、
前記重複欠陥が1つの欠陥として登録されるように、前記複数の欠陥検出データを結合して、1つの結合データを作成し、該結合データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を前記電子顕微鏡により取得し、
前記電子顕微鏡で取得された画像内に欠陥が発見されなかった位置の画像を、前記光学顕微鏡により取得し、
前記電子顕微鏡から取得された画像、及び、前記光学顕微鏡から取得された画像に基づいて、欠陥種別を決定する、
欠陥レビュー装置。 - 前記制御装置は、前記撮像処理において、
1つの前記欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を前記電子顕微鏡により取得し、
2つ目以降の欠陥検出データに登録されている欠陥の位置情報で特定される位置の画像を取得する際には、画像を取得する前に、当該欠陥が重複欠陥か否かを判定し、重複欠陥である場合には、当該重複欠陥の位置情報で特定される位置の画像の取得を行わない請求項1に記載の欠陥レビュー装置。 - 前記制御装置は、前記位置合わせ処理において、前記第1の関係を補正する際に、前記欠陥検出データに登録されている欠陥のうち局所的に群集するクラスタ欠陥を除外した残りの欠陥から1番目の欠陥を抽出する請求項1または2に記載の欠陥レビュー装置。
- 前記記憶装置は、前記位置合わせ処理において、前記第1の関係を補正する際に、抽出の対象となり得る欠陥が分布する領域の幅を記憶する抽出可能領域記憶部を含み、
前記制御装置は、前記位置合わせ処理において、前記第1の関係を補正する際に、前記検査対象物の外周を外側の縁とし、前記抽出可能領域記憶部に記憶されている幅を持つ環状の領域から、1番目の欠陥を抽出し、該環状の領域内に欠陥が存在しない場合には、該検査対象物の外周線に最も近い欠陥を1番目の欠陥として抽出する請求項1〜3いずれか1項に記載の欠陥レビュー装置。
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