JP5285909B2 - イオンビームを調整する方法、システム、及びプログラム - Google Patents
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Description
(本発明の要約)
注入流量の見積もりは、数3に従って決定され、
調整システム
ここで、Iestは、注入流量(A)の見積もりであり、Ibeamは、合計のイオンビーム流量(A)であり、tarwidthは、イオンビームにさらされるターゲット(ウェハ)の幅(mm)であり、mおよびnは定数であり、aはターゲット(ウェハ)と線量制御ファラデーカップ173の間の距離であり、かつ、Wは、スポット・ビームの幅である。これに加えて、ビームプロファイラ226は、イオンビームプロファイルに基づいてスポット・ビームの中心を決定するように設定されている。特に、スポット・ビームの中心は、イオンビームプロファイルの下側の領域における、水平方向の幾何学的な中心によって決定される。
結論
Claims (22)
- イオン注入システムにおいてイオンビームを調整する方法であって、
前記イオンビームのイオンビームプロファイルを取得する段階と、
前記イオンビームプロファイルに基づいて前記イオンビームの注入流量の見積もりを最大化するように前記イオンビームの合計の流量および前記イオンビームのスポットの幅を同時に最適化し、注入流量を最大化するべく、前記イオン注入システムを調整する段階と
を備え、
前記注入流量の見積もりは、数1に従って決定され、
- 前記イオンビームプロファイルに基づいて前記注入流量を見積もる段階と、
前記イオンビームプロファイルに基づいて、前記イオンビームの前記スポットの幅および中心を決定する段階と
を更に備える請求項1に記載の方法。 - 前記調整する段階は、前記スポットの中心についてのフィードバックに基づいて望ましい前記イオンビームの進路に沿って前記イオンビームを位置づけるために、限界開口、マススリット、マニピュレータ、ソース・マグネット、事前分析マグネット、チャージ選択マグネットおよび分析マグネットのうち少なくとも1つを調整する段階を含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記調整する段階は、前記イオン注入システムの、ガスの流れ、イオン・ソース、ソース・マグネット、ソース・バイアス電圧、抑制電極、抽出電極、マニピュレータ・モーター、事前分析マグネット、チャージ選択マグネット、分析マグネット、加速器焦点電極、マススリット、プレスキャン抑制電極、水平スキャン板、ポストスキャン抑制電極、窒素(N2)流出、補正マグネット、限界開口の少なくとも1つを調整する段階を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記取得する段階は、注入室の中のプロファイラを横切って前記イオンビームをスキャンする段階を含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記スキャンする段階は、前記イオン注入システムの、水平スキャン板、補正マグネット、および、マグネティックスキャナの中から選択された1つのビームスキャナを用いて、前記イオンビームをスキャンする段階を含む、請求項5に記載の方法。
- 前記ビームスキャナをキャリブレートして前記イオンビームが前記プロファイラを横切るように位置づける段階を更に備える、請求項6に記載の方法。
- 前記スキャンする段階は、前記注入室の実質的な中心に前記プロファイラを位置づける段階を含む、請求項5から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記スキャンする段階は、前記イオンビームプロファイルを決定するために、前記イオンビームのスキャン方向に沿って、前記プロファイラを移動させる段階を含む、請求項5から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記プロファイラはファラデーカップを含む、請求項5から9のいずれか一項に記載の方法。
- イオン注入システムにおいてイオンビームを調整するためのシステムであって、
前記イオンビームのイオンビームプロファイルを取得する手段と、
前記イオンビームプロファイルに基づいて注入流量の見積もりを最大化するように前記イオンビームの合計の流量および前記イオンビームのスポットの幅を同時に最適化し、注入流量を最大化するべく前記イオン注入システムを調整する手段と
を備え、
前記注入流量の見積もりは、数2に従って決定され、
- 前記取得する手段は、
イオンビームプロファイルを決定し、
前記イオンビームプロファイルに基づいて注入流量を見積もり、
前記イオンビームプロファイルに基づいて前記イオンビームのスポットの幅およびスポットの中心を決定する、請求項11に記載のシステム。 - 前記調整する手段は、前記スポットの中心についてのフィードバックに基づいて望ましい前記イオンビームの進路に沿って前記イオンビームを位置づけるための、限界開口、マススリット、マニピュレータ、ソース・マグネット、事前分析マグネット、チャージ選択マグネットおよび分析マグネットのうち少なくとも1つを調整するための手段を含む、請求項11または12に記載のシステム。
- 前記取得する手段は、注入室の中のプロファイラを横切って前記イオンビームをスキャンする手段を含む、請求項11から13のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記プロファイラは、注入室の実質的に中心に位置づけられる、請求項14に記載のシステム。
- 前記スキャンする手段は、前記イオンビームプロファイルを決定するために、前記イオンビームのスキャン方向に沿って、前記プロファイラを移動させる手段を含む、請求項14または15に記載のシステム。
- コンピュータを、
イオン注入システムにおいて、イオンビームのイオンビームプロファイルを取得する手段と、
前記イオンビームプロファイルに基づいて前記イオンビームの注入流量の見積もりを最大化するように、前記イオンビームの合計の流量および前記イオンビームのスポットの幅を同時に最適化し、注入流量を最大化するべく前記イオン注入システムを調整する手段と、して機能させるためのプログラムであって、
前記注入流量の見積もりは、数3に従って決定され、
前記調整する手段は、前記イオン注入システムの、ガスの流れ、イオン・ソース、ソース・マグネット、ソース・バイアス電圧、抑制電極、抽出電極、マニピュレータ・モーター、事前分析マグネット、チャージ選択マグネット、分析マグネット、加速器焦点電極、加速器抑制電極、マススリット、プレスキャン抑制電極、水平スキャン板、ポストスキャン抑制電極、窒素(N 2 )流出、補正マグネット、限界開口の少なくとも1つを調整し、前記イオンビームが注入室内のプロファイラを横切ってスキャンするように、前記イオン注入システムの、水平スキャン板、補正マグネット、および、マグネティックスキャナの中から選択された1つのビームスキャナを調整する、
プログラム。 - 前記イオンビームプロファイルをフィードバックし、かつ、前記イオンビームプロファイルに基づいて注入流量を見積もる手段、および、前記イオンビームのスポットの幅および前記スポットの中心を前記イオンビームプロファイルに基づいて決定する手段を更に備える、請求項17に記載のプログラム。
- 前記調整する手段は、前記イオンビームの前記スポットの中心に基づいて望ましい前記イオンビームの進路に沿って前記イオンビームを位置づけるための、限界開口、マススリット、マニピュレータ、ソース・マグネット、事前分析マグネット、チャージ選択マグネットおよび分析マグネットのうち少なくとも1つを調整する手段を含む請求項18に記載のプログラム。
- 前記ビームスキャナをキャリブレートして前記イオンビームが前記プロファイラを横切るように位置づけるためのスキャン制御手段を更に備える、請求項17から19のいずれか一項に記載のプログラム。
- 前記スキャン制御手段は、注入室の実質的な中心に前記プロファイラを位置づける、請求項20に記載のプログラム。
- 前記スキャン制御手段は、前記イオンビームプロファイルを決定するために、前記イオンビームのスキャン方向に沿って、前記プロファイラを移動させる、請求項20または21に記載のプログラム。
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