JP5284288B2 - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
磁気抵抗効果素子は、基板上に第1の絶縁層を介して形成され、前記磁気抵抗効果素子は、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出された延出領域とを備え、素子部上及び延出領域上には、第2の絶縁層が形成されており、
凹形状のコンタクトホールが、前記第2の絶縁層及び前記延出領域を連続して貫くとともに、前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達して形成されており、
前記延出領域の先端部は、前記コンタクトホールの周囲を囲む形状で形成されており、前記コンタクトホールには電極パッドが形成され、前記延出領域の内側側面と前記電極パッドの側面とが電気的に接続されており、
前記素子部と前記延出領域とが外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した同じ積層構成にて一体形成されていることを特徴とするものである。これにより、従来に比べて、電極パッドと素子部との接続の安定化を図ることが可能となる。
前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子は、基板上に第1の絶縁層を介して形成され、前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子は、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出された延出領域とを備え、前記素子部上及び前記延出領域上には、第2の絶縁層が形成されており、
少なくとも磁気抵抗効果素子及び固定抵抗素子の一方は、前記素子部と前記延出領域とが同じ積層構成で一体形成され、さらに凹形状のコンタクトホールが、前記第2の絶縁層及び前記延出領域を連続して貫くとともに、前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達して形成されており、前記延出領域の先端部は、前記コンタクトホールの周囲を囲む形状で形成されており、前記コンタクトホールには電極パッドが形成され、前記延出領域の内側側面と前記電極パッドの側面とが電気的に接続されていることを特徴とするものである。これにより、従来に比べて、電極パッドと素子部との接続の安定化を図ることが可能となる。
基板上の第1の絶縁層上に、前記磁気抵抗効果素子を、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出した延出領域とを備える形状で形成し、このとき、前記延出領域の先端に幅が広がった電極部を形成し、前記素子部と前記延出領域とを、外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した同じ積層構成にて一体形成する工程、
前記素子部上及び前記延出領域上に第2の絶縁層を形成する工程、
オーバーエッチングにより、前記絶縁層及び前記延出領域に連続して貫くとともに前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達する凹形状のコンタクトホールを形成し、このとき、前記コンタクトホールを前記電極部の領域内にて、前記コンタクトホールの周囲に前記電極部の一部が残されるように形成する工程、
前記コンタクトホールに電極パッドを形成し、このとき、前記電極パッドの表面を外部に露出させるとともに、前記電極パッドの側面と前記電極部の内側側面とを電気的に接続する工程、
を有することを特徴とするものである。
基板上の第1の絶縁層上に、前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子を、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出した延出領域とを備える形状で形成し、このとき、前記延出領域の先端に幅が広がった電極部を形成し、少なくとも前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子の一方の前記素子部と前記延出領域とを同じ積層構成で一体形成する工程、
前記素子部上及び前記延出領域上に第2の絶縁層を形成する工程、
オーバーエッチングにより、前記素子部と前記延出領域とを同じ積層構成で一体形成した素子の前記延出領域及び前記絶縁層に連続して貫くとともに前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達する凹形状のコンタクトホールを形成する工程、
前記コンタクトホールに電極パッドを形成し、このとき、前記電極パッドの表面を外部に露出させるとともに、前記電極パッドの側面と前記電極部の内側側面とを電気的に接続する工程、
を有することを特徴とするものである。
本発明では、前記延出領域の先端に幅が広がった電極部を形成し、前記コンタクトホールを前記電極部の領域内に形成し、このとき、前記コンタクトホールの周囲に前記電極部の一部が残されるように形成し、前記コンタクトホールに形成された前記電極パッドの側面と前記電極部の内側側面とを電気的に接続することが好ましい。これにより従来に比べて、より効果的に、電極パッドと素子部との接続の安定化を図ることが可能である。
図5に示すように、固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)と同一方向から外部磁場Y1が作用してフリー磁性層36の磁化方向(F方向)が外部磁場Y1方向に向くと、固定磁性層34の固定磁化方向(P方向)とフリー磁性層36の磁化方向(F方向)とが平行に近づき電気抵抗値が低下する。
固定抵抗素子4,5も図9ないし図11に示す製造工程に準じて形成できる。
2、3 磁気抵抗効果素子
4、5固定抵抗素子
6 ブリッジ回路
7 入力端子
8 グランド端子
9 差動増幅器
10 外部出力端子
11 集積回路
12 素子部
13 延出領域
13a 電極部
14 出力取り出し部
16 基板
17、18 絶縁層
19 コンタクトホール
21 電極パッド
33 反強磁性層
34 固定磁性層
35 非磁性層
36 フリー磁性層
37 保護層
Claims (6)
- 磁気抵抗効果素子を備える磁気センサであって、
磁気抵抗効果素子は、基板上に第1の絶縁層を介して形成され、前記磁気抵抗効果素子は、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出された延出領域とを備え、素子部上及び延出領域上には、第2の絶縁層が形成されており、
凹形状のコンタクトホールが、前記第2の絶縁層及び前記延出領域を連続して貫くとともに、前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達して形成されており、
前記延出領域の先端部は、前記コンタクトホールの周囲を囲む形状で形成されており、前記コンタクトホールには電極パッドが形成され、前記延出領域の内側側面と前記電極パッドの側面とが電気的に接続されており、
前記素子部と前記延出領域とが外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した同じ積層構成にて一体形成されていることを特徴とする磁気センサ。 - 外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と、磁気抵抗効果素子と出力取り出し部を介して直列接続され外部磁場に対して電気抵抗値が変動しない固定抵抗素子とを備える磁気センサであって、
前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子は、基板上に第1の絶縁層を介して形成され、前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子は、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出された延出領域とを備え、前記素子部上及び前記延出領域上には、第2の絶縁層が形成されており、
少なくとも磁気抵抗効果素子及び固定抵抗素子の一方は、前記素子部と前記延出領域とが同じ積層構成で一体形成され、さらに凹形状のコンタクトホールが、前記第2の絶縁層及び前記延出領域を連続して貫くとともに、前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達して形成されており、前記延出領域の先端部は、前記コンタクトホールの周囲を囲む形状で形成されており、前記コンタクトホールには電極パッドが形成され、前記延出領域の内側側面と前記電極パッドの側面とが電気的に接続されていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記素子部はミアンダ形状で形成されている請求項1又は2に記載の磁気センサ。
- 磁気抵抗効果素子を備える磁気センサの製造方法において、
基板上の第1の絶縁層上に、前記磁気抵抗効果素子を、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出した延出領域とを備える形状で形成し、このとき、前記延出領域の先端に幅が広がった電極部を形成し、前記素子部と前記延出領域とを、外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した同じ積層構成にて一体形成する工程、
前記素子部上及び前記延出領域上に第2の絶縁層を形成する工程、
オーバーエッチングにより、前記絶縁層及び前記延出領域に連続して貫くとともに前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達する凹形状のコンタクトホールを形成し、このとき、前記コンタクトホールを前記電極部の領域内にて、前記コンタクトホールの周囲に前記電極部の一部が残されるように形成する工程、
前記コンタクトホールに電極パッドを形成し、このとき、前記電極パッドの表面を外部に露出させるとともに、前記電極パッドの側面と前記電極部の内側側面とを電気的に接続する工程、
を有することを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 外部磁場に対して電気抵抗値が変動する磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子と、磁気抵抗効果素子と出力取り出し部を介して直列接続され外部磁場に対して電気抵抗値が変動しない固定抵抗素子とを備える磁気センサの製造方法において、
基板上の第1の絶縁層上に、前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子を、平面視にて、素子部と、前記素子部の端部から引き出した延出領域とを備える形状で形成し、このとき、前記延出領域の先端に幅が広がった電極部を形成し、少なくとも前記磁気抵抗効果素子及び前記固定抵抗素子の一方の前記素子部と前記延出領域とを同じ積層構成で一体形成する工程、
前記素子部上及び前記延出領域上に第2の絶縁層を形成する工程、
オーバーエッチングにより、前記素子部と前記延出領域とを同じ積層構成で一体形成した素子の前記延出領域及び前記絶縁層に連続して貫くとともに前記第1の絶縁層内の途中位置にまで到達する凹形状のコンタクトホールを形成する工程、
前記コンタクトホールに電極パッドを形成し、このとき、前記電極パッドの表面を外部に露出させるとともに、前記電極パッドの側面と前記電極部の内側側面とを電気的に接続する工程、
を有することを特徴とする磁気センサの製造方法。 - 前記素子部をミアンダ形状で形成する請求項4又は5に記載の磁気センサの製造方法。
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---|---|---|---|---|
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05102321A (ja) * | 1991-06-13 | 1993-04-23 | Sony Corp | 多層配線形成方法 |
JP2001267654A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Nippon Seiki Co Ltd | 磁気ヘッド |
JP2007333587A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Tokai Rika Co Ltd | センサ装置 |
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