JP5281192B2 - 真空バルブ - Google Patents
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Description
真空容器と、
前記真空容器内で接離可能に対向して配置された一対の電極と、
前記一対の電極が対向する対向面の背面側に配置された補強板と、
前記電極と前記補強板との間に設けられた、前記電極の変形吸収部材とを備えた真空バルブにおいて、
前記変形吸収部材は、前記電極の背面側に形成された突起部であることを特徴とする。
また、この発明の第2の観点に係る真空バルブは、
真空容器と、
前記真空容器内で接離可能に対向して配置された一対の電極と、
前記一対の電極が対向する対向面の背面側に配置された補強板と、
前記電極と前記補強板との間に設けられた、前記電極の変形吸収部材とを備えた真空バルブにおいて、
前記変形吸収部材は、リング形状であることを特徴とする。
図1は本発明の実施の形態1に係る真空バルブの断面図、図2(a)(b)はこの真空バルブの固定側電極周辺の拡大平面図及び拡大断面図、図3は固定側電極を背面側から投影した図である。図1において、1はアルミナセラミックス等からなる絶縁円筒で、2は絶縁円筒1の一方の端部開口部を覆う固定側端板、3は絶縁円筒1の他方の端部開口部を覆う可動側端板で、固定側端板2、可動側端板3は、それぞれ絶縁円筒1の端面にろう付けにより同軸上に取り付けられている。
図4(a)(b)は本発明の実施の形態2に係る真空バルブの固定側電極周辺の拡大平面図及び拡大断面図である。本実施の形態に係る真空バルブは電極周辺の部品以外は実施の形態1と同等であるため、この部分以外の説明については省略する。実施の形態1においては固定側電極5の接触部5dの背面側に突起部5eを形成していたが、本実施の形態においては、固定側電極5とは別部材のリング12を固定側電極5の背面側であって、固定側電極5と補強板11との間に配設している点が異なっている。
また、リング(変形吸収部材)12b、12dは、スリット5aの背面側に幅の狭い部分12c、あるいは厚みの薄い部分12eが形成され、電極5の羽根部分5bと固定されない部分の抵抗値が羽根部分5bと固定された部分の抵抗値と比べて大きいため、隣接する羽根部分5bを渡る漏れ電流の低減を図って、アーク電流に作用する駆動力低下を抑制することにより、遮断性能改善を図ることができる。
2 固定側端板
3 可動側端板
5 固定側電極
5a スリット
5b 羽根部分
5d 接触部
5e 突起部(変形吸収部材)
6 可動側電極
8 ベローズ
10 補強板
11 補強板
12 リング(変形吸収部材)
12a リング(変形吸収部材)
12b リング(変形吸収部材)
12c 幅の狭い部分
12d リング
12e 厚みの薄い部分
Claims (4)
- 真空容器と、
前記真空容器内で接離可能に対向して配置された一対の電極と、
前記一対の電極が対向する対向面の背面側に配置された補強板と、
前記電極と前記補強板との間に設けられた、前記電極の変形吸収部材とを備えた真空バルブにおいて、
前記変形吸収部材は、前記電極の背面側に形成された突起部であることを特徴とする真空バルブ。 - 真空容器と、
前記真空容器内で接離可能に対向して配置された一対の電極と、
前記一対の電極が対向する対向面の背面側に配置された補強板と、
前記電極と前記補強板との間に設けられた、前記電極の変形吸収部材とを備えた真空バルブにおいて、
前記変形吸収部材は、リング形状であることを特徴とする真空バルブ。 - 前記電極は、外形がスパイラル形状又は円形形状であってスリットを設けて周方向に伸びる羽根部分が形成されたことを特徴とする請求項2に記載の真空バルブ。
- 前記変形吸収部材は、前記電極の前記羽根部分と固定されない部分の抵抗値が前記羽根部分と固定された部分の抵抗値と比べて大きいことを特徴とする請求項3に記載の真空バルブ。
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