JP5279817B2 - 試験装置および試験方法 - Google Patents
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Description
12/058,756 出願日 2008年03月30日
110 統合制御部
112 範囲情報格納部
120 試験モジュール
130 規格バス
140 試験セグメント
150 インターフェイス
160 群制御部
161 指示情報格納部
162 指示情報制御部
163 位置情報格納部
164 スイッチ
165 調停部
166 群内範囲情報格納部
167 フェイル・マッチ情報通知制御部
170 パターン生成部
171 指示情報一時格納部
172 基本パターンデータ格納部
173 パターン形成タイミング部
174 ドライバ
175 コンパレータ
176 比較部
177 結果格納部
180 内部バス
200 DUT
Claims (12)
- 被試験デバイスに与える試験パターンを生成する複数のパターン生成部のうち一群のパターン生成部を制御し、制御下にあるパターン生成部が発する信号を受けて制御信号を生成する群制御部と、
前記複数のパターン生成部のうち独立した一の被試験デバイスの試験に供されるパターン生成部の範囲を示す範囲情報を格納する範囲情報格納部と、
前記群制御部からの前記制御信号を受けて、前記信号を発した前記パターン生成部と共に前記一の被試験デバイスに前記試験パターンを与える他のパターン生成部を前記範囲情報に基づき判断し、前記制御信号に対する応答として、前記他のパターン生成部を制御する他の群制御部の動作を制御する統合制御部と、
を備えた試験装置。 - 前記パターン生成部は、前記試験パターンが前記被試験デバイスに与えられた場合に前記被試験デバイスからの出力として期待される期待値パターンと、前記試験パターンが与えられた前記被試験デバイスが実際に出力した出力パターンとを比較する比較部、を有し、
前記パターン生成部は、前記比較部における前記比較において前記期待値パターンと前記出力パターンとが一致しない場合に生成されるフェイル情報を前記信号として前記群制御部に通知し、
前記統合制御部は、前記群制御部からの前記制御信号としての前記フェイル情報を受けて、前記他の群制御部が制御する前記他のパターン生成部を停止させるよう前記他の群制御部を制御する、
請求項1に記載の試験装置。 - 前記フェイル情報を含む試験の結果を格納する、前記パターン生成部ごとの結果格納部を有し、
前記統合制御部は、前記群制御部からの前記フェイル情報を受けて、前記他の群制御部の制御下にあるパターン生成部に対応する前記結果格納部に前記フェイル情報を格納するよう前記他の群制御部を制御する、
請求項2に記載の試験装置。 - 前記統合制御部は、前記群制御部が制御する複数の前記パターン生成部の何れかが前記試験パターンを与える前記被試験デバイスの全てが試験を停止すべきである場合に、前記群制御部が制御するパターン生成部の全てを停止させるよう前記群制御部を制御する、
請求項2または3に記載の試験装置。 - 前記パターン生成部は、前記試験パターンに応答して前記被試験デバイスが出力した出力パターンが所定の条件を満足した場合に生成されるマッチ信号を前記信号として前記群制御部に通知し、
前記統合制御部は、前記群制御部からの前記マッチ信号を受けて、前記他の群制御部が制御する前記他のパターン生成部に前記所定の条件が満足された場合の所定の動作を実行させるよう前記他の群制御部を制御する、
請求項1から4のいずれか1項に記載の試験装置。 - 前記群制御部の制御下にある前記パターン生成部のうち独立した他の被試験デバイスの試験に供されるパターン生成部の範囲を示す群内範囲情報を格納する群内範囲情報格納部をさらに備え、
前記群制御部は、前記パターン生成部からの前記信号を受けて、前記信号を発した前記パターン生成部と共に前記他の被試験デバイスに前記試験パターンを与える前記群制御部の制御下にある他のパターン生成部を前記群内範囲情報に基づき判断し、前記信号に対する応答として、前記群制御部の制御下にある前記他のパターン生成部を制御する、
請求項1から5のいずれか1項に記載の試験装置。 - 複数のパターン生成部により、被試験デバイスに与える複数の試験パターンを生成するパターン生成段階と、
群制御部により、前記複数のパターン生成部のうち一群のパターン生成部を制御し、制御下にあるパターン生成部が発する信号を受けて制御信号を生成する群制御段階と、
前記複数のパターン生成部のうち独立した一の被試験デバイスの試験に供されるパターン生成部の範囲を示す範囲情報を格納する範囲情報格納段階と、
前記群制御段階で生成された前記制御信号を受けて、前記信号を発した前記パターン生成部と共に前記一の被試験デバイスに試験パターンを与える他のパターン生成部を前記範囲情報に基づき判断し、前記制御信号に対する応答として、前記他のパターン生成部を制御する他の群制御部の動作を制御する統括制御段階と、
を備えた試験方法。 - 前記パターン生成段階は、前記試験パターンが前記被試験デバイスに与えられた場合に前記被試験デバイスからの出力として期待される期待値パターンと、前記試験パターンが与えられた前記被試験デバイスが実際に出力した出力パターンとを比較する比較段階と、前記比較段階における前記比較において前記期待値パターンと前記出力パターンとが一致しない場合に生成されるフェイル情報を前記信号として前記群制御部に通知する段階と、を有し、
前記統括制御段階は、前記群制御段階における前記制御信号としての前記フェイル情報を受けて、前記他の群制御部が制御する前記他のパターン生成部を停止させるよう前記他の群制御部を制御する、
請求項7に記載の試験方法。 - 前記フェイル情報を含む試験の結果を格納する、前記パターン生成段階ごとの結果格納段階を有し、
前記統括制御段階は、前記群制御部からの前記フェイル情報を受けて、前記他の群制御部の制御下にあるパターン生成部に対応する結果格納部に前記フェイル情報を格納するよう前記他の群制御部を制御する、
請求項8に記載の試験方法。 - 前記統括制御段階は、前記群制御部が制御する複数の前記パターン生成部の何れかが前記試験パターンを与える前記被試験デバイスの全てが試験を停止すべきである場合に、前記群制御部が制御するパターン生成部の全てを停止させるよう前記群制御部を制御する、
請求項8または9に記載の試験方法。 - 前記パターン生成段階は、前記試験パターンに応答して前記被試験デバイスが出力した出力パターンが所定の条件を満足した場合に生成されるマッチ信号を前記信号として前記群制御部に通知し、
前記統括制御段階は、前記群制御部からの前記マッチ信号を受けて、前記他の群制御部が制御する前記他のパターン生成部に前記所定の条件が満足された場合の所定の動作を実行させるよう前記他の群制御部を制御する、
請求項7から10のいずれか1項に記載の試験方法。 - 前記群制御部の制御下にある前記パターン生成部のうち独立した他の被試験デバイスの試験に供されるパターン生成部の範囲を示す群内範囲情報を群内範囲情報格納部に格納する段階をさらに備え、
前記群制御段階は、前記パターン生成部からの前記信号を受けて、前記信号を発した前記パターン生成部と共に前記他の被試験デバイスに前記試験パターンを与える前記群制御部の制御下にある他のパターン生成部を、前記群内範囲情報に基づき判断し、前記信号に対する応答として、前記群制御部の制御下にある前記他のパターン生成部を制御する、
請求項7から11のいずれか1項に記載の試験方法。
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