JP5278843B2 - 塗布装置及びそれを用いた塗布方法 - Google Patents
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(1)
塗布材料を貯留するとともに前記塗布材料を押し出すための加圧源と加圧バルブを介して接続する材料タンクと、
前記材料タンクと柔軟可動性のある材料供給配管と材料供給バルブを介して接続され前記材料タンクから塗布材料を吸入して材料吐出口から塗布材料を供給するポンプを備えるとともに空気抜きバルブを備えた材料供給部と、
前記材料供給部の吐出口に連設する材料供給口から塗布材料の供給を受け液溜を介してスリット状の開口部から塗布材料を吐出する塗布ヘッドと、
前記材料供給部の吐出口と前記液溜とを連絡する前記塗布ヘッド内の塗布材料の流路の圧力を測定する圧力計と、
前記塗布ヘッドを昇降させる塗布ヘッド昇降手段と、
前記材料供給部及び塗布ヘッド昇降手段の動作を制御する制御装置と、
からなる塗布装置であって、
前記圧力計の圧力値に基づき前記加圧バルブ、材料供給バルブ及び空気抜きバルブの開閉を制御し、前記材料吐出口から前記材料供給口に直接塗布材料を吐出し、塗布材料の吐出を精密に制御することを特徴とする塗布装置の構成とした。
(2)
(1)に記載の塗布装置の塗布ヘッドを降下させてポンプ供給量を多くし、塗布始端部でポンプ供給量を減らして塗布材料を塗布し、塗布終端部で塗布材料を吸い込みながら前記塗布ヘッドを上昇させることにより、塗布開始時の塗布ヘッド内圧力の遅れ及び塗布終了時の残圧を解消し、塗布始端部と塗布終端部の膜厚変動がない塗布膜を得ることを特徴とする塗布方法の構成とした。
1a 塗布ヘッド
2 ヘッドチャンバプレート
3 ヘッドプレート
4 スリット
5 液溜
6 材料供給口
7 開口部
8 圧力計
9 塗布材料
10 材料供給配管
11 材料供給バルブ
12 材料管路
13 材料タンク
14 加圧バルブ
15 加圧源
16 制御装置
17 塗布ヘッド昇降手段
18 保持テーブル移動手段
19 保持テーブル
20 被塗布対象
21 材料供給部
22 吸入空気抜き口
23 ケーシング
24 空気抜きバルブ
25 ロータ
26 ステータ
27 ステータケーシング
28 フレキシブルシャフト
29 メカニカルシール
30 材料吐出口
31 回転駆動機
32 材料供給ポンプ
33 ポンプ供給量
33a 起動吐出量
33b サックバック量
34 塗布ヘッド内圧力
34a 遅れ
34b 残圧
35 塗布ヘッド位置
35a 退避位置
35b 塗布位置
36 塗布膜厚さ
36a 塗布始端部
36b 塗布終端部
37 塗布装置
37a 塗布装置
38 防振台
39 塗布方法
39a 塗布方法
Claims (2)
- 塗布材料を貯留するとともに前記塗布材料を押し出すための加圧源と加圧バルブを介して接続する材料タンクと、
前記材料タンクと柔軟可動性のある材料供給配管と材料供給バルブを介して接続され前記材料タンクから塗布材料を吸入して材料吐出口から塗布材料を供給するポンプを備えるとともに空気抜きバルブを備えた材料供給部と、
前記材料供給部の吐出口に連設する材料供給口から塗布材料の供給を受け液溜を介してスリット状の開口部から塗布材料を吐出する塗布ヘッドと、
前記材料供給部の吐出口と前記液溜とを連絡する前記塗布ヘッド内の塗布材料の流路の圧力を測定する圧力計と、
前記塗布ヘッドを昇降させる塗布ヘッド昇降手段と、
前記材料供給部及び塗布ヘッド昇降手段の動作を制御する制御装置と、
からなる塗布装置であって、
前記圧力計の圧力値に基づき前記加圧バルブ、材料供給バルブ及び空気抜きバルブの開閉を制御し、前記材料吐出口から前記材料供給口に直接塗布材料を吐出し、塗布材料の吐出を精密に制御することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置の塗布ヘッドを降下させてポンプ供給量を多くし、塗布始端部でポンプ供給量を減らして塗布材料を塗布し、塗布終端部で塗布材料を吸い込みながら前記塗布ヘッドを上昇させることにより、塗布開始時の塗布ヘッド内圧力の遅れ及び塗布終了時の残圧を解消し、塗布始端部と塗布終端部の膜厚変動がない塗布膜を得ることを特徴とする塗布方法。
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JP2007168542A JP5278843B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 塗布装置及びそれを用いた塗布方法 |
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JP2007168542A JP5278843B2 (ja) | 2007-06-27 | 2007-06-27 | 塗布装置及びそれを用いた塗布方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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