JP5278034B2 - 基板保持装置、露光装置、露光方法、デバイス製造方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXを示す概略構成図である。図1において、露光装置EXは、マスクMKを保持して移動可能なマスクステージ1と、基板Wを保持して移動可能な基板ステージ2と、マスクMKを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMKのパターンの像を基板Wに投影する投影光学系PLと、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置3とを備えている。
次に、第2実施形態について図9、図10を参照して説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図9,10に示す基板Wは、図4を参照して説明した基板Wと同一である。
次に、第3実施形態について図11を参照して説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図11に示す基板Wは、図4を参照して説明した基板Wと同一である。
次に、第4実施形態について図12を参照して説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図12に示す基板Wは、図4を参照して説明した基板Wと同一である。第4実施形態に係るプレート部材T4は、図9等に示した第2実施形態にプレート部材T2の変形例であり、第1面41bの下方に第3面43bが形成されている点で、上述の第2実施形態のプレート部材T2と異なる。
次に、第5実施形態について図13を参照して説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。図13に示す基板Wは、図4を参照して説明した基板Wと同一である。
次に、第6実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第7実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
Claims (33)
- 液体を介して露光光で露光される基板を保持する基板保持装置であって、
開口と、
前記開口内で前記基板を保持するための保持面を有する第1保持部と、を備え、
前記開口を規定するエッジ部の少なくとも一部は、第1面と、前記第1面の上方に設けられた前記第1面と非平行な第2面とを有し、
前記第2面は、前記第1面と前記第2面との境界部から、上に向かって、かつ前記開口の中心に対して外側に向かって延び、
前記第1面と前記第2面の境界部は、前記第1保持部に保持された前記基板の表面とほぼ同じ高さ、もしくは前記基板の表面より高い基板保持装置。 - 前記第1面の下方に形成され、前記第1面と非平行な第3面を有し、
前記第3面は、前記第1面と前記第3面との境界部から、下に向かって、かつ前記開口の中心に対して外側に向かって延びる請求項1記載の基板保持装置。 - 前記第3面は、前記液体に対して撥液性である請求項2記載の基板保持装置。
- 前記第3面は、面取り処理によって形成される請求項2又は3記載の基板保持装置。
- 前記第1面は、前記保持面に対してほぼ垂直である請求項1〜4のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 前記第1面は、前記第1面と前記第2面の境界部から、下に向かって、かつ前記開口の中心に対して外側に向かって延びる請求項1〜4のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 前記第1保持部の保持面と垂直な軸と前記第2面とがなす角度は、前記軸と前記第1面とがなす角度より大きい請求項6記載の基板保持装置。
- 前記第1保持部の保持面と垂直な方向に関して、前記第1面は前記第2面より大きい請求項6又は7記載の基板保持装置。
- 前記第1面と前記第2面とがなす角度は90度以上である請求項6〜8のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 前記保持面とほぼ平行な第4面を有し、
前記第2面と前記第4面の境界部は、前記第1面と前記第2面との境界部よりも上方にあり、前記第4面は、前記第2面と前記第4面との境界部から前記開口の中心に対して外側に向かって延びる請求項1〜9のいずれか一項記載の基板保持装置。 - 前記第4面は、前記液体に対しては撥液性である請求項10記載の基板保持装置。
- 液体を介して露光光で露光される基板を保持する基板保持装置であって、
開口と、
前記開口内で前記基板を保持するための保持面を有する第1保持部と、を備え、
前記開口を規定するエッジ部の少なくとも一部は、第1面と、前記第1面の上方に設けられた第2面とを有し、
前記第2面は、前記第1面と前記第2面との境界部から、上に向かって、かつ前記開口の中心に対して外側に向かって延び、
前記第1面が、前記第1面と前記第2面との境界部から、下に向かって、かつ前記開口の中心に対して外側に向かって延び、
前記第1面と前記第2面とがなす角度は90度以上である基板保持装置。 - 前記第1保持部の保持面と垂直な軸と前記第2面とがなす角度は、前記軸と前記第1面とがなす角度より大きい請求項12記載の基板保持装置。
- 前記第1保持部の保持面と垂直な方向に関して、前記第1面は前記第2面より大きい請求項12又は13記載の基板保持装置。
- 前記保持面とほぼ平行な第4面を有し、
前記第2面と前記第4面の境界部は、前記第1面と前記第2面との境界部よりも上方にあり、前記第4面は、前記第2面と前記第4面の境界部から前記開口の中心に対して外側に向かって延び請求項12〜14のいずれか一項記載の基板保持装置。 - 前記第4面は、前記液体に対して撥液性である請求項15記載の基板保持装置。
- 前記第4面は、前記第1保持部に保持された前記基板の表面とほぼ同じ高さである請求項15又は16記載の基板保持装置。
- 前記第1面は、前記液体に対して撥液性である請求項1〜17のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 前記第2面は、前記液体に対して撥液性である請求項1〜18のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 前記第1保持部は、前記基板の側面と前記第1面の少なくとも一部とがギャップを介して対向するように、前記基板を保持する請求項1〜19のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 前記基板の側面は、前記液体に対して撥液性の撥液領域を含み、
前記第1面の少なくとも一部は、前記撥液領域と対向する請求項20記載の基板保持装置。 - 前記第1面は、前記第1保持部に保持された前記基板の側面に沿うように設けられている請求項20又は21記載の基板保持装置。
- 前記基板の側面は、前記基板の表面とほぼ垂直な垂直領域と、前記垂直領域の上端と前記基板の表面とを結ぶ上方領域と、前記垂直領域の下端と前記基板の裏面とを結ぶ下方領域とを含み、
前記第1保持部は、前記基板の表面が前記保持面とほぼ平行となるように前記基板を保持する請求項20〜22のいずれか一項記載の基板保持装置。 - プレート部材をリリース可能に保持する第2保持部をさらに備え、
前記プレート部材を前記第2保持部で保持することによって、前記第1保持部の周囲に前記開口が設けられる請求項1〜23のいずれか一項記載の基板保持装置。 - 前記プレート部材は、前記開口を有する請求項24記載の基板保持装置。
- 前記第2面は、面取り処理によって形成される請求項1〜25のいずれか一項記載の基板保持装置。
- 液体を介して露光光で露光される基板を保持する基板保持装置であって、
開口と、
前記開口内で前記基板を保持するための保持面を有する第1保持部と、を備え、
前記開口を規定するエッジ部の少なくとも一部は、第1斜面部と、前記第1斜面の上方に設けられた第2斜面部とを有し、
前記第1斜面部は、前記第1保持部に保持された前記基板から離れるにつれて低くなり、
前記第2斜面部は、前記第1保持部に保持された前記基板から離れるにつれて高くなり、
前記第1保持部の保持面と垂直な方向に関して、前記第1斜面部は前記第2斜面部より大きく、
前記第1斜面部と前記第2斜面部とがなす角度は90度以上である基板保持装置。 - 前記保持面に垂直な軸に対して前記第1斜面部がなす角度は、前記軸と前記第2斜面部とがなす角度より小さい請求項27記載の基板保持装置。
- 前記第1斜面部、及び第2斜面部は、前記液体に対して撥液性である請求項27又は28記載の基板保持装置。
- 請求項1〜29のいずれか一項に記載の基板保持装置を備え、
前記基板保持装置に保持された基板を液体を介して露光する露光装置。 - 請求項30記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項1〜29のいずれか一項記載の基板保持装置に基板を保持することと、
前記基板保持装置に保持された前記基板に液体を介して露光光を照射することと、を含む露光方法。 - 請求項32記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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