JP5274447B2 - ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 - Google Patents
ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5274447B2 JP5274447B2 JP2009507094A JP2009507094A JP5274447B2 JP 5274447 B2 JP5274447 B2 JP 5274447B2 JP 2009507094 A JP2009507094 A JP 2009507094A JP 2009507094 A JP2009507094 A JP 2009507094A JP 5274447 B2 JP5274447 B2 JP 5274447B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- alloy
- rotor
- stator
- strength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
- C22C21/12—Alloys based on aluminium with copper as the next major constituent
- C22C21/14—Alloys based on aluminium with copper as the next major constituent with silicon
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/02—Selection of particular materials
- F04D29/023—Selection of particular materials especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2300/00—Materials; Properties thereof
- F05D2300/10—Metals, alloys or intermetallic compounds
- F05D2300/17—Alloys
- F05D2300/173—Aluminium alloys, e.g. AlCuMgPb
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49316—Impeller making
- Y10T29/4932—Turbomachine making
- Y10T29/49325—Shaping integrally bladed rotor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
0.3〜0.7重量%のケイ素(Si)
最大で0.15重量%の鉄(Fe)
3.5〜4.5重量%の銅(Cu)
0.1〜0.5重量%のマンガン(Mn)
0.3〜0.8重量%のマグネシウム(Mg)
0.05〜0.15重量%のチタニウム(Ti)
0.1〜0.25重量%のジルコニウム(Zr)
0.3〜0.7重量%の銀(Ag)
最大で夫々0.05重量%であり最大で合計0.15重量%のその他の元素
残余重量%のアルミニウム(Al)
を有するAl−Cu−Mg−Mn鍛造用合金で鋳造して形成した複数のディスク又は剛体を夫々、機械加工又は熱融除し、溶体化−焼き鈍し・焼入れ・常温時効状態により、この状態でドイツ規格EN10002に準拠した引っ張り試験における破断時伸びを少なくとも14%の値となるように形成してから、次いで再成形する工程によって、所期の迎え角を成形した後、人工時効を行うことにより、前記Al−Cu−Mg−Mn鍛造用合金で形成されたローターブレードを有するターボ分子ポンプのローター又はステーターを製造するというものである。
合金AA 2016(特許文献5参照)で作製された円筒状の剛体から、ポンプの所望の段数だけ機械加工することにより、同心円状に重ね合わされたディスク状セグメントを、作製した。これにより、ハブ部に結合された複数の重なり合ったディスク状のリブからなる回転対称体を、得た。ここでのリブ厚さは、後述のブレード厚さに対応している。ここでは全てのリブディスクは、軸方向に、円周方向に沿ってハブ近傍まで一定間隔毎に細長い溝が設けられて、各ブレードセグメントが形成されている。
実施例1の材料で作製したAlシートから、次のように圧印によってステーターディスクを得た。
Claims (2)
- 下記成分
0.3〜0.7重量%のケイ素(Si)
最大で0.15重量%の鉄(Fe)
3.5〜4.5重量%の銅(Cu)
0.1〜0.5重量%のマンガン(Mn)
0.3〜0.8重量%のマグネシウム(Mg)
0.05〜0.15重量%のチタニウム(Ti)
0.1〜0.25重量%のジルコニウム(Zr)
0.3〜0.7重量%の銀(Ag)
最大で夫々0.05重量%であり最大で合計0.15重量%のその他の元素
残余重量%のアルミニウム(Al)
を有するAl−Cu−Mg−Mn鍛造用合金で鋳造して形成した複数のディスク又は剛体を夫々、機械加工又は熱融除し、溶体化−焼き鈍し・焼入れ・常温時効状態により、この状態でドイツ規格EN10002に準拠した引っ張り試験における破断時伸びを少なくとも14%の値となるように形成してから、次いで再成形する工程によって、所期の迎え角を成形した後、人工時効を行うことにより、前記Al−Cu−Mg−Mn鍛造用合金で形成されたローターブレードを有するターボ分子ポンプのローター又はステーターを製造する方法。 - エンボス加工、圧印加工、及びねじり加工から選ばれる前記再成形する工程によって、前記ローター又はステーターを作製することを特徴とする請求項1又は2に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006020100.0 | 2006-04-29 | ||
DE102006020100 | 2006-04-29 | ||
PCT/EP2007/054174 WO2007125106A2 (de) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | Verfahren zur herstellung von rotoren oder statoren einer turbomolekularpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009535551A JP2009535551A (ja) | 2009-10-01 |
JP5274447B2 true JP5274447B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=38221387
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009507094A Expired - Fee Related JP5274447B2 (ja) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 |
JP2009507092A Expired - Fee Related JP5274446B2 (ja) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | ターボ分子ポンプのローター又はステーター |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009507092A Expired - Fee Related JP5274446B2 (ja) | 2006-04-29 | 2007-04-27 | ターボ分子ポンプのローター又はステーター |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20090180890A1 (ja) |
EP (2) | EP2013483B1 (ja) |
JP (2) | JP5274447B2 (ja) |
CN (2) | CN101438063A (ja) |
DE (1) | DE502007003011D1 (ja) |
RU (2) | RU2435076C2 (ja) |
WO (2) | WO2007125106A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109996964A (zh) * | 2016-12-16 | 2019-07-09 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、用于其的定子柱及其制造方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009015652A1 (de) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Light Style Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Gebrauchsproduktes aus Aluminium und danach hergestelltes Produkt |
CN102465890A (zh) * | 2010-11-04 | 2012-05-23 | 致扬科技股份有限公司 | 改良的涡轮分子泵的定子结构及其制造方法 |
JP5879181B2 (ja) | 2011-06-10 | 2016-03-08 | 株式会社神戸製鋼所 | 高温特性に優れたアルミニウム合金 |
US20130084190A1 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | General Electric Company | Titanium aluminide articles with improved surface finish and methods for their manufacture |
US9011205B2 (en) * | 2012-02-15 | 2015-04-21 | General Electric Company | Titanium aluminide article with improved surface finish |
DE102012222230A1 (de) | 2012-12-04 | 2014-06-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
ES2642118T5 (es) | 2015-03-27 | 2020-12-30 | Fuchs Kg Otto | Aleación de Al-Cu-Mg-Li así como producto de aleación fabricado a partir de la misma |
CN104847684A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-08-19 | 张金荣 | 一种车辆用耐腐蚀水泵 |
CN105958671A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-09-21 | 无锡新大力电机有限公司 | 一种新型电机定子 |
GB2552793A (en) * | 2016-08-08 | 2018-02-14 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2923632A1 (de) * | 1979-06-11 | 1980-12-18 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zur herstellung eines schaufelkranzes fuer den rotor einer tubomolekularpumpe und mit schaufelkraenzen dieser art ausgeruesteter rotor |
SU1152308A1 (ru) * | 1983-09-23 | 1990-05-15 | A D Anishin | Способ изготовления лопаточного диска турбомолекулярного насоса |
JPS61215492A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ−ボ分子ポンプの翼の製造方法 |
JPS6361798A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Hitachi Ltd | 多段一体羽根車 |
DE4239391C2 (de) * | 1991-11-27 | 1996-11-21 | Electro Chem Eng Gmbh | Gegenstände aus Aluminium, Magnesium oder Titan mit einer mit Fluorpolymeren gefüllten Oxidkeramikschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung |
JPH06173934A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-21 | Jidosha Buhin Kogyo Kk | アルミ製プロペラシャフト構造 |
DE4300274A1 (de) * | 1993-01-08 | 1994-07-14 | Leybold Ag | Vakuumpumpe mit Rotor |
DE19627921A1 (de) * | 1996-07-11 | 1998-01-15 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Wuchten eines Rotors sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Rotor |
IT1293907B1 (it) * | 1997-05-28 | 1999-03-11 | Varian Spa | Procedimento di fresatura di rotori di pompe turbomolecolari con inglobamento in resina del particolare da fresare. |
DE10053664A1 (de) * | 2000-10-28 | 2002-05-08 | Leybold Vakuum Gmbh | Mechanische kinetische Vakuumpumpe |
DE10163864A1 (de) * | 2001-12-22 | 2003-07-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Beschichtung von Gegenständen |
DE10210404A1 (de) * | 2002-03-08 | 2003-09-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Herstellung des Rotors einer Reibungsvakuumpumpe sowie nach diesem Verfahren hergestellter Rotor |
AU2002368060A1 (en) * | 2002-06-29 | 2004-01-19 | Firma Otto Fuchs | Al/cu/mg/ag alloy with si, semi-finished product made from such an alloy and method for production of such a semi-finished product |
FR2842212B1 (fr) * | 2002-07-11 | 2004-08-13 | Pechiney Rhenalu | Element de structure d'avion en alliage a1-cu-mg |
ITTO20020770A1 (it) * | 2002-09-06 | 2004-03-07 | Varian Spa | Metod0 per fabbricare rotori di pompe da vuoto e prodotti |
ITTO20030420A1 (it) * | 2003-06-05 | 2004-12-06 | Varian Spa | Metodo per la realizzazione di statori per pompe da vuot0 e statori cosi' ottenuti |
JP4183177B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2008-11-19 | 住友軽金属工業株式会社 | 延性に優れた熱処理型アルミニウム合金接合材 |
GB0314692D0 (en) * | 2003-06-25 | 2003-07-30 | Boc Group Plc | Improvements in turbomolecular pumps |
-
2007
- 2007-04-27 EP EP07728629A patent/EP2013483B1/de active Active
- 2007-04-27 RU RU2008146813/06A patent/RU2435076C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-04-27 EP EP07728626.8A patent/EP2013482B1/de not_active Not-in-force
- 2007-04-27 CN CNA2007800155710A patent/CN101438063A/zh active Pending
- 2007-04-27 US US12/298,562 patent/US20090180890A1/en not_active Abandoned
- 2007-04-27 JP JP2009507094A patent/JP5274447B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-27 CN CNA2007800154027A patent/CN101432525A/zh active Pending
- 2007-04-27 WO PCT/EP2007/054174 patent/WO2007125106A2/de active Application Filing
- 2007-04-27 JP JP2009507092A patent/JP5274446B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-04-27 WO PCT/EP2007/054171 patent/WO2007125104A1/de active Application Filing
- 2007-04-27 RU RU2008146811/06A patent/RU2455529C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2007-04-27 DE DE502007003011T patent/DE502007003011D1/de active Active
- 2007-04-27 US US12/298,768 patent/US20100199495A1/en not_active Abandoned
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109996964A (zh) * | 2016-12-16 | 2019-07-09 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、用于其的定子柱及其制造方法 |
CN109996964B (zh) * | 2016-12-16 | 2022-01-14 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵、用于其的定子柱及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2455529C2 (ru) | 2012-07-10 |
EP2013483A2 (de) | 2009-01-14 |
EP2013482A1 (de) | 2009-01-14 |
EP2013482B1 (de) | 2014-11-05 |
RU2008146811A (ru) | 2010-06-10 |
WO2007125106A3 (de) | 2008-01-31 |
EP2013483B1 (de) | 2010-03-03 |
US20100199495A1 (en) | 2010-08-12 |
WO2007125106A2 (de) | 2007-11-08 |
WO2007125104A1 (de) | 2007-11-08 |
JP5274446B2 (ja) | 2013-08-28 |
CN101432525A (zh) | 2009-05-13 |
CN101438063A (zh) | 2009-05-20 |
RU2008146813A (ru) | 2010-06-10 |
US20090180890A1 (en) | 2009-07-16 |
JP2009535550A (ja) | 2009-10-01 |
JP2009535551A (ja) | 2009-10-01 |
RU2435076C2 (ru) | 2011-11-27 |
DE502007003011D1 (de) | 2010-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5274447B2 (ja) | ターボ分子ポンプのローター又はステーターの製造方法 | |
JP7171668B2 (ja) | チタン合金及びその製造方法 | |
US8888461B2 (en) | Material for a gas turbine component, method for producing a gas turbine component and gas turbine component | |
JP6200985B2 (ja) | α+γチタンアルミナイド合金から、往復ピストンエンジン及びガスタービン、特に航空エンジン用の高耐応力特性の部品を製造する方法 | |
JP5221350B2 (ja) | ニッケル合金及び直接時効熱処理方法 | |
EP1666618B1 (en) | Ni based superalloy and its use as gas turbine disks, shafts and impellers | |
JP6839401B1 (ja) | Ni基超耐熱合金及びNi基超耐熱合金の製造方法 | |
US20180023176A1 (en) | Method for manufacturing ni-based super-heat-resistant alloy | |
EP2894234B1 (en) | A nickel based alloy composition | |
US20160319400A1 (en) | Aluminum Casting Alloy with Improved High-Temperature Performance | |
JP2009215631A (ja) | TiAl基合金及びその製造方法並びにそれを用いた動翼 | |
KR20120043752A (ko) | 터보차저 및 이를 위한 압축기 휠 | |
EP3589760B1 (en) | A method for heat treatment of a nickel base alloy alloy 282 joined with an alloy 718 | |
JPH06330264A (ja) | 強度と靱性に優れたアルミニウム合金鍛造材の製造方法 | |
DE102010042889A1 (de) | Turboladerbauteil | |
US20170167265A1 (en) | Steam turbine, bucket, and method of making bucket | |
DE102006031965A1 (de) | Rotoren einer Turbomolekularpumpe | |
KR101807799B1 (ko) | Al-Si계 주조재 합금 및 그 제조방법 | |
RU2635595C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ ГАЗОТУРБИННЫХ ДВИГАТЕЛЕЙ ИЗ ТИТАНОВОГО ПСЕВДО -β - СПЛАВА С ЛИГАТУРОЙ Ti-Al-Mo-V-Cr-Fe | |
JP2844688B2 (ja) | Co基合金の製造方法 | |
WO2015040022A1 (de) | Legierungen von rotoren einer turbomolekularpumpe |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20091111 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120525 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121030 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130220 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130514 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |