JP5273437B2 - イオンビーム注入装置用のワークピース移送システム及びその処理方法 - Google Patents
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Description
a)注入チャンバの内部領域と流体連通し、減圧するために選択的に脱気することが可能な内部領域を形成し、ワークピースを支持するために移動可能なロードロックサポート表面を有するロードロック装置と、
b)処理に先だって前記ロードロック装置の前記サポート表面からワークピースを取り上げ、処理中の位置にワークピースを保持し、処理後、前記ロードロック装置の前記サポート表面にワークピースを配置するためのワークピース受台と、処理に先だって前記サポート表面からワークピースを取り上げるために、前記ワークピース受台を前記ロードロックサポート表面の開口を通して移動させ、そして、処理の後で前記サポート表面上にワークピースを配置するためのサポートリンケージとを含み、ワークピースを前記注入チャンバの内部領域内で処理するために配置する、前記注入チャンバ内のワークピースサポートと、を備え、
前記ロードロックサポート表面は、前記ロードロック装置の内部領域内の非伸長位置と前記注入チャンバの内部領域内の伸長位置との間の移動経路に沿って移動し、かつワークピースが前記ロードロックサポート表面上に配置されるときにワークピースと整合する開口を含み、
前記ロードロック装置は、積み重ねられて配置されている複数のロードロックを含んでおり、複数のロードロックの各々は、注入ステーションの内部領域と流体連通する脱気可能な内部領域を形成していることを特徴とする。
a)
1)注入チャンバの内部領域と流体連通し、内部を減圧するために選択的に脱気することが可能な内部領域を形成し、ワークピースを支持するために移動可能なロードロックサポート表面を有し、かつ、複数のロードロックを含み、複数の前記ロードロックの各々が、前記注入ステーションの内部領域と流体連通する脱気可能な内部領域を形成しているロードロック装置と、
2)処理に先だって前記ロードロック装置の前記サポート表面からワークピースを取り上げ、処理中の位置にワークピースを保持し、処理後、前記ロードロック装置の前記サポート表面にワークピースを配置するためのワークピース受台と、処理に先だって前記サポート表面からワークピースを取り上げるために、前記ワークピース受台を前記ロードロックサポート表面の開口を通して移動させ、そして、処理の後で前記サポート表面上にワークピースを配置するためのサポートリンケージとを含み、ワークピースを前記注入チャンバの内部領域内で処理するために配置する、前記注入チャンバ内のワークピースサポートと、を備え、
前記ロードロックサポート表面が、前記ロードロック装置の内部領域内の非伸長位置と前記注入チャンバの内部領域内の伸長位置との間の移動経路に沿って移動し、かつワークピースが前記ロードロックサポート表面上に配置されるときにワークピースと整合する開口を含んでいることを特徴とする、ワークピース移送装置を設ける工程と、
b) 前記ロードロック装置の前記サポート表面上にワークピースを配置する工程と、
c) 前記ワークピースサポートを使用してワークピースを前記ロードロック装置の前記サポート表面から取り上げ、そして、ワークピースを処理するための注入チャンバの内部領域内に位置する前記ワークピースを保持する工程と、
d) ワークピースを処理する工程と、
e) 前記ワークピースサポートを使用して処理が完了した後にワークピースを前記ロードロック装置の前記ワークピースサポート表面に配置する工程と、含んでいる。
Claims (21)
- 減圧状況下でワークピースを処理するための注入チャンバを有するイオン注入機に使用するためのワークピース移送装置であって、
a)注入チャンバの内部領域と流体連通し、減圧するために選択的に脱気することが可能な内部領域を形成し、ワークピースを支持するために移動可能なロードロックサポート表面を有するロードロック装置と、
b)処理に先だって前記ロードロック装置の前記サポート表面からワークピースを取り上げ、処理中の位置にワークピースを保持し、処理後、前記ロードロック装置の前記サポート表面にワークピースを配置するためのワークピース受台と、処理に先だって前記サポート表面からワークピースを取り上げるために、前記ワークピース受台を前記ロードロックサポート表面の開口を通して移動させ、そして、処理の後で前記サポート表面上にワークピースを配置するためのサポートリンケージとを含み、ワークピースを前記注入チャンバの内部領域内で処理するために配置する、前記注入チャンバ内のワークピースサポートと、を備え、
前記ロードロックサポート表面は、前記ロードロック装置の内部領域内の非伸長位置と前記注入チャンバの内部領域内の伸長位置との間の移動経路に沿って移動し、かつ、ワークピースが前記ロードロックサポート表面上に配置されるときにワークピースと整合する開口を含み、
前記ロードロック装置は、積み重ねられて配置されている複数のロードロックを含んでおり、複数のロードロックの各々は、注入ステーションの内部領域と流体連通する脱気可能な内部領域を形成していることを特徴とするワークピース移送装置。 - ワークピースを、前記注入チャンバ内で処理するのに先だって前記注入チャンバの外部の保管エリアから前記ロードロック装置に、および、前記注入チャンバ内での処理後に前記ロードロック装置から前記保管エリアに移送するロボットシステムをさらに含んでいる、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 前記サポートリンケージが2軸に沿って独立に運動可能である、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 前記ロードロックの数が3つである、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 複数の前記ロードロックの各々は、注入ステーションに隣接するドアを含んでおり、ドアが開くと、前記ロードロックの内部領域が前記注入チャンバの内部領域と流体連通する結果となる、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 複数の前記ロードロックの各々が移動可能なトレーを含んでおり、各移動可能なトレーがワークピースを支持するワークピースサポート表面を含んでおり、該ワークピースサポート表面は、ワークピースをトレーの前記ワークピースサポート表面から取り上げるとともにワークピースを前記ワークピースサポート表面に配置するために、ワークピース受台が通過できる大きさに作られた中央開口を含んでいる、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 各移動可能な前記トレーは、前記ロードロック内にそのトレーが入る引き込み位置と、前記注入ステーションの内部領域内にそのトレーが伸長する伸長位置との間の移動経路に沿って移動して、ワークピースが前記ワークピースサポート表面から取り上げられるかまたは前記ワークピースサポート表面に配置されるときに、前記ワークピース受台がワークピースサポート表面の中央開口を容易に通過する、請求項6に記載のワークピース移送装置。
- 各トレーの前記ワークピースサポート表面が受動ワークピースグリップを含んでいる、請求項6に記載のワークピース移送装置。
- 前記ワークピース受台が、前記ロードロックサポート表面の開口を介して、前記ロードロックサポート表面によって形成される平面を横切る方向に移動する、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 前記ワークピース受台が、前記ロードロックサポート表面の開口を介して、前記ロードロックサポート表面によって形成される平面に対して直交する方向に移動する、請求項1に記載のワークピース移送装置。
- 各ロードロックが隔離弁システムを含んでおり、トレーが前記ロードロックの隔離弁システムの一部分となっており、トレーが引っ込んだ位置にあるときに、前記隔離弁システムが前記ロードロックの内部領域の脱気を可能にする、請求項7に記載のワークピース移送装置。
- 減圧の注入ステーション内に配置されたワークピースをイオンビームで処理する方法であって、
a)
1)注入チャンバの内部領域と流体連通し、内部を減圧するために選択的に脱気することが可能な内部領域を形成し、ワークピースを支持するために移動可能なロードロックサポート表面を有し、かつ、積み重ねられて配置されている複数のロードロックを含み、複数の前記ロードロックの各々が、前記注入ステーションの内部領域と流体連通する脱気可能な内部領域を形成しているロードロック装置と、
2)処理に先だって前記ロードロック装置の前記サポート表面からワークピースを取り上げ、処理中の位置にワークピースを保持し、処理後、前記ロードロック装置の前記サポート表面にワークピースを配置するためのワークピース受台と、処理に先だって前記サポート表面からワークピースを取り上げるために、前記ワークピース受台を前記ロードロックサポート表面の開口を通して移動させ、そして、処理の後で前記サポート表面上にワークピースを配置するためのサポートリンケージとを含み、ワークピースを前記注入チャンバの内部領域内で処理するために配置する、前記注入チャンバ内のワークピースサポートと、を備え、
前記ロードロックサポート表面が、前記ロードロック装置の内部領域内の非伸長位置と前記注入チャンバの内部領域内の伸長位置との間の移動経路に沿って移動し、かつワークピースが前記ロードロックサポート表面上に配置されるときにワークピースと整合する開口を含んでいることを特徴とする、ワークピース移送装置を設ける工程と、
b) 前記ロードロック装置の前記サポート表面上にワークピースを配置する工程と、
c) 前記ワークピースサポートを使用してワークピースを前記ロードロック装置の前記サポート表面から取り上げ、そして、ワークピースを処理するための注入チャンバの内部領域内に位置する前記ワークピースを保持する工程と、
d) ワークピースを処理する工程と、
e) 前記ワークピースサポートを使用して処理が完了した後にワークピースを前記ロードロック装置の前記ワークピースサポート表面に配置する工程と、を備えたことを特徴とするワークピースを処理する方法。 - 前記ワークピース移送システムが、ワークピースを、注入チャンバ内で処理するのに先だって注入チャンバの外部の保管エリアから前記ロードロック装置に、さらに、注入チャンバ内での処理後に、前記ロードロック装置から前記保管エリアに移送するロボットシステムをさらに含んでいる、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
- 前記ワークピース移送システムの前記サポートリンケージが2軸に沿って独立に運動可能である、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
- 前記ワークピース移送システムのロードロックの数が3つである、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
- 複数の前記ロードロックの各々は、注入ステーションに隣接するドアを含んでおり、ドアが開くと、前記ロードロックの内部領域が注入チャンバの内部領域と流体連通する結果となる、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
- 複数の前記ロードロックの各々が移動可能なトレーを含んでおり、各移動可能なトレーがワークピースを支持するワークピースサポート表面を含んでおり、該ワークピースサポート表面は、ワークピースを前記トレーのワークピースサポート表面から取り上げるとともにワークピースを前記ワークピースサポート表面に配置するために、ワークピース受台が通過できる大きさに作られた中央開口を含んでいる、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
- 各移動可能なトレーは、前記ロードロック内にそのトレーが入る引き込み位置と、注入ステーションの内部領域内にそのトレーが伸長する伸長位置との間の移動経路に沿って移動して、ワークピースが前記ワークピースサポート表面から取り上げられるかまたは前記ワークピースサポート表面に配置されるときに、前記ワークピース受台が前記ワークピースサポート表面の中央開口を容易に通過する、請求項17に記載のワークピースを処理する方法。
- 各トレーの前記ワークピースサポート表面が受動ワークピースグリップを含んでいる、請求項17に記載のワークピースを処理する方法。
- 前記ワークピース移送システムのワークピース受台が、前記ロードロックのサポート表面の開口を介して、前記ロードロックサポート表面によって形成される平面を横切る方向に移動する、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
- 前記ワークピース移送システムのワークピース受台が、前記ロードロックのサポート表面の開口を介して、前記ロードロックサポート表面によって形成される平面に対して直交する方向に移動する、請求項12に記載のワークピースを処理する方法。
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