JP5272397B2 - 接着フィルムの貼付装置及び接着フィルムの貼付方法 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照して、被処理体10の構成について説明する。被処理体10は、ダイシングテープ12と、半導体ウエハ14と、ダイシングフレーム16とを備える。
続いて、図2を参照して、接着フィルムの貼付装置20の構成について説明する。接着フィルムの貼付装置20は、ステージ22と、昇降台(半導体ウエハ上昇手段)24と、駆動部(半導体ウエハ上昇手段)26と、ラミネートロール(加熱手段)28(図9参照)とを備える。
続いて、図3〜図11を参照して、接着フィルムの貼付装置20を用いて接着フィルムFを半導体ウエハ14の回路面S1に貼付ける方法について説明する。
Claims (10)
- ダイシングテープと、一方の主面に複数の突出電極が設けられ、他方の主面が前記ダイシングテープに貼付けられた半導体ウエハと、前記半導体ウエハを囲むように前記ダイシングテープに貼付けられた環状のダイシングフレームとを有する被処理体が載置されるステージと、
前記ステージに載置されている前記被処理体のうち前記半導体ウエハを、前記半導体ウエハの前記他方の主面に貼り付けられている前記ダイシングテープと共に上昇させる半導体ウエハ上昇手段と、
前記一方の主面が前記ダイシングフレームの上縁よりも上方に位置し且つ前記他方の主面が前記ダイシングフレームの上縁よりも下方に位置するように、前記半導体ウエハ上昇手段によって前記半導体ウエハが上昇された状態で、前記半導体ウエハの前記一方の主面に接着フィルムを貼付ける貼付手段とを備えることを特徴とする接着フィルムの貼付装置。
- 前記上昇手段は、前記半導体ウエハの前記一方の主面が前記ダイシングフレームよりも高くなるように前記半導体ウエハを上昇させることを特徴とする請求項1に記載された接着フィルムの貼付装置。
- 前記上昇手段は、昇降台と、前記昇降台を昇降させる駆動部とを有することを特徴とする請求項1又は2に記載された接着フィルムの貼付装置。
- 前記上昇手段は、前記ステージ上に設けられた台座部であることを特徴とする請求項1又は2に記載された接着フィルムの貼付装置。
- 前記接着フィルムを加熱するための加熱手段を更に備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載された接着フィルムの貼付装置。
- 前記貼付手段による前記接着フィルムの前記半導体ウエハへの貼付けは真空中で行われることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載された接着フィルムの貼付装置。
- ダイシングテープと、一方の主面に複数の突出電極が設けられ、他方の主面が前記ダイシングテープに貼付けられた半導体ウエハと、前記半導体ウエハを囲むように前記ダイシングテープに貼付けられた環状のダイシングフレームとを有する被処理体を用意する被処理体用意工程と、
前記被処理体のうち前記半導体ウエハを、前記半導体ウエハの前記他方の主面に貼り付けられている前記ダイシングテープと共に上昇させる半導体ウエハ上昇工程と、
前記一方の主面が前記ダイシングフレームの上縁よりも上方に位置し且つ前記他方の主面が前記ダイシングフレームの上縁よりも下方に位置するように、前記半導体ウエハが上昇している状態で、前記半導体ウエハの前記一方の主面に接着フィルムを貼付ける貼付工程とを備えることを特徴とする接着フィルムの貼付方法。 - 前記半導体ウエハ上昇工程では、前記半導体ウエハの前記一方の主面が前記ダイシングフレームよりも高くなるように前記半導体ウエハを上昇させることを特徴とする請求項7に記載された接着フィルムの貼付方法。
- 前記貼付工程では、前記接着フィルムを加熱した状態で、前記半導体ウエハの前記一方の主面に接着フィルムを貼付けることを特徴とする請求項7又は8に記載された接着フィルムの貼付方法。
- 前記貼付工程における前記接着フィルムの前記半導体ウエハへの貼付けは真空中で行うことを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載された接着フィルムの貼付方法。
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