JP5271763B2 - ペリクル収納容器 - Google Patents
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Description
従来、半導体装置や液晶ディスプレイ等の微細回路パターン製造時のフォトリソグラフィー工程においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
ペリクルは、例えばフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さと幅が数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ10μm以下のニトロセルロース、セルロース誘導体、または含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜であるペリクル膜を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材からなるマスク用粘着材層に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
このようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するメーカー(以下「製造者」ともいう。)から、フォトマスク或いはレティクル(以下「マスク等」ともいう。)を製造するメーカー(以下「使用者」ともいう。)に供給される。使用者では、ペリクルをマスク等に貼付の後、ペリクルで保護されたマスク等を半導体メーカー、液晶パネルメーカー等のフォトリソグラフィーを行うメーカーに供給する。
ところで、ペリクル収納容器には、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性が必要になる。また、ペリクル収納容器には、蓋がペリクル膜に接触しペリクル膜が汚染或いは破損するのを防止するため、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持し得る保持性が要求される。
また、本出願人は特開2000−173887号公報(特許文献2)に記載したように、トレイまたは蓋の少なくとも一方にリブを設けてペリクル収納容器の運搬中の高温度による蓋やトレイの反り等による変形を抑制し、異物侵入を防止する技術を提案した。
また、本出願人は国際公開第2006/080060号パンフレット(特許文献3)において、大型ペリクル収納容器の蓋体またはトレイにハニカム構造を有する材料を含むことで、剛性やハンドリング性、輸送時や保管時の発塵を防止し、平坦性かつ洗浄性に優れたペリクル収納容器を提案した。
ペリクル収納容器の搬送においては、従来は人手によるハンドリングを行ってきていたが、ペリクル収納容器の大型化に伴い、人手による取り扱いが困難となってきている。そのため、大型ペリクル用のペリクル収納容器は、フォークリフトやハンドリフターなどのリフターを使用して搬送するようになってきている。このようなリフターによる搬送を行う場合には、ペリクル収納容器のトレイの底面に脚部を取り付け、該トレイの底面及び脚部、並びに床面の間の空間部にリフターの爪を入れて該ペリクル収納容器を持ち上げることが好ましいと考えられる。
(1)ペリクルを載置するトレイと、該トレイの天面に被せる蓋と、該トレイの底面に配置された脚部とを有するペリクル収納容器であって、前記トレイは、ペリクル収納時に、天面の一部が前記ペリクル又は前記蓋のいずれかに接触し底面の一部が前記脚部と接する外周部と、該外周部の内側に位置し天面が前記ペリクル及び前記蓋のいずれにも接触しない内周部とを有し、該外周部は天面と底面との間に枠材を有し、該内周部は天面と底面との間に中空部を有することを特徴とするペリクル収納容器。
(2)前記中空部と前記トレイの外部との間で空気の流出入を可能とする通気手段を有することを特徴とする(1)に記載のペリクル収納容器。
(3)前記通気手段が、弁、コック、テープ、フィルター、及び防水通気性フィルムからなる群から選択された部材を有する通気孔であることを特徴とする(1)又は(2)に記載のペリクル収納容器。
(4)(1)〜(3)のいずれかに記載のペリクル収納容器の搬送方法であって、前記トレイの底面及び脚部、並びに床面の間の空間部にリフターの爪を入れて前記トレイの底面を該爪で持ち上げることを特徴とするペリクル収納容器の搬送方法。
(5)(2)又は(3)に記載のペリクル収納容器の洗浄方法であって、前記通気手段を封止した状態で洗浄することを特徴とするペリクル収納容器の洗浄方法。
ペリクル収納容器1は、ペリクル2を載置するトレイ3と、該トレイ3上に被せる蓋4と、該トレイの底面に配置された脚部5とを有している。
前記蓋4は、平面から見て方形状に形成され、ペリクル2の収納時にトレイ3に接触する外周部と、該外周部の内側に位置しトレイ3と接触しない内周部を有している。蓋4の外周部は、平坦で方形の枠形状を有し、トレイ3の外周部に気密に接触できる。また、蓋4の外周部は、平板状に限られず、蓋4とトレイ3が互いに嵌合するような凹凸構造が設けられていてもよい。
前記トレイ3は、例えば厚みのある方盤形状を有し、ペリクル2をのせる平坦面である天面(以下「載置面」ともいう。)と、底面とを有する。ペリクル2及び蓋4を支える部分であるトレイ3の外周部においては、天面と底面との間に枠材を有することで強度を向上させている。一方、該外周部の内側に位置するトレイ3の内周部においては、ペリクル2も蓋4も支える必要がないため、天面と底面との間に中空部を有することで、前述したリフターの爪の先端部による底面突き上げの影響を天面が受けないようにするとともに軽量化を達成している。
しかしながら、更に検討を進めた結果、トレイの密閉性を高めた中空構造にしただけでは、載置部の平坦性を十分に得られないことがあることが判明した。その理由は、密閉構造の中空トレイは輸送中、又はトレイ組立場所と使用場所との気圧変化や温度変化などの要因によって密閉部の気体の体積変化が起こり、トレイの天面や底面の反りや膨張を起こしてしまうからである。トレイの天面の反りや膨張が生じるとその形状が保管や輸送中にマスク用粘着材層に転写し変形しやすくなることがある。また、トレイの天面の膨張によりトレイがペリクル膜に接触するリスクが高まる。更に、トレイの底面を吸着把持してペリクルを取り出すタイプのペリクル自動貼付装置においては、トレイの反りや膨張が生じると該装置に固定できなくなるという問題も生じることがあることがわかった。
封止手段としては、テープ、防水通気性フィルム、コック、弁等があげられるが、防水と洗浄の観点から、テープや防水通気性フィルムがより好ましい。防水通気性フィルムとしては、例えばゴアテックス社製の防水通気性メンブレン(ゴアテックスメンブレン)等などがあげられる。
また、水洗を考えると、枠材として防水機能を有する防水ハニカム構造を有する金属を使用することも好ましい。
トレイ3や蓋4の寸法は、収納されるペリクル2の大きさに応じて設定されており、収納するペリクル2より少し大きい寸法を有している。
ペリクル2のトレイ3への固定方法としては、マスク用粘着材層2bより面積が大きい離型材2dを使用して、離型材2dのはみ出し部分を粘着テープによりトレイ3に貼着したり、ペリクルフレーム2aに形成した係止溝にトレイ3に設けた係止部材を係止したり、トレイ3と蓋4とでペリクルフレーム2aを挟持して固定する等、特に限定されるものではない。
脚部5の高さは、10〜30cmが好ましい。高さが10cm以上であればリフターの爪部を入れる部分を確保しやすく、30cm以内であれば無駄な空間の増加を防ぐことができる。また、脚部5の材質は、プラスチックや金属が使用できる。また、脚部5がプラスチックや金属からなる上部とクッション性を有する材料からなる下部との二部からなるものであってもよい。脚部5の材質がトレイ3と同じ材質であれば、トレイ3と一体成形することが可能である。一方、脚部5の材質がトレイ3と異なる材質であれば、後加工でネジや接着材によってトレイ3の底面の外周部に取り付ける。
また、ペリクル2をペリクル収納容器1から取り出す方法としては、例えばトレイ3の底面を吸着把持して固定し、ロボットハンドが蓋4を吸着把持して該蓋4を上方に持ち上げることによってペリクル2を取り出す方法があげられる。
〔実施例1〕
ペリクルは、外径寸法が幅1748mm×奥行き1526mm、高さ8mmのものを用いた。ペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅1900mm×奥行き1700mm、高さ65mmとなるように製作した。トレイの天面と底面とは、アルミニウム製の厚さ2mmの板材を用いた。底面を構成する板材としては平坦な方形状のものを使用し、天面を構成する板材としては外周部が平坦な方形の枠形状で内周部が平坦な方形状であり、外周部に比較して内周部が41mm低くなるように段差を設けたものを使用した。中空部の外径寸法は幅1700mm×奥行き1400mm、中央部の高さ20mmである。トレイ外周部の枠材には、ハニカム構造を有するアルミニウム製のパネルとアルミニウム製の板材を後者が最外周側になるように配置し、該枠材、並びに天面を構成する板材及び底面を構成する板材を接着剤で接着し密閉シールした。脚部の外径寸法は幅80mm×奥行き150mm、高さ150mmの超高分子ポリエチレン製のブロックをトレイ底面の4隅にそれぞれ配置した。トレイの上部を覆う蓋は、外径寸法が幅1900mm×奥行き1700mm、高さ100mm、3mm厚のアクリル樹脂板の真空成型品を用いた。
トレイを水洗した結果、該通気孔内に水の侵入が無く乾燥も速かった。
次に、このペリクル収納容器を標高590mの高台から標高19mの低地までトラックに積載して輸送した。その結果、トレイ底面に5mmの凹状の反りが発生したが、上記テープを一旦通気孔より剥離することで瞬時に反りは回復して平面に戻った。その後再度通気孔に該テープをはった。
次に、このペリクル収納容器のトレイの底面及び脚部、並びに床面の間の空間部にリフターの爪を入れて、該リフターの爪の先端部が該トレイの内周部の底面にあたるように持ちあげ搬送した結果、トレイ天面のペリクル膜との接触はなく、マスク用粘着材層におけるエアパスの発生もなかった。
次に、このペリクル収納容器をペリクル自動取出装置にセットしてペリクルの自動取り出しを行ったところ、トレイ底面の反りがないため、ペリクル自動取出装置でのトレイ吸着固定がスムーズにいき、蓋の開放もスムーズだった。
なお、トレイ底面の凹状の反りは、トレイの対向する二長辺の中央部間にたこ糸を展張し、底面との最大離間距離を定規で測定して反り量とした。
トレイと中空部との間に通気孔を設けない構成以外は、実施例1と同様のペリクル収納容器を用いた。
次に、実施例1と同様にトラックに積載して輸送した。その結果、トレイ底面に5mmの凹状の反りが発生した。
次に、このペリクル収納容器のトレイの底面及び脚部、並びに床面の間の空間部にリフターの爪を入れて、該リフターの爪の先端部が該トレイの内周部の底面にあたるように持ちあげ搬送した結果、トレイ天面のペリクル膜との接触はなく、マスク用粘着材層におけるエアパスの発生もなかった。
次に、このペリクル収納容器を実施例1と同様のペリクル自動取出装置にセットしてペリクルの自動取り出しを行ったところ、ペリクル自動取出装置でのトレイ吸着が出来ずに、トレイをしっかりと固定することができなかった。そのため、この自動取出装置では、蓋の開放がスムーズにはおこなえなかった。
トレイの底面に、トレイの外部と中空部とをつなぐ直径2mmの通気孔を設け、封止しない構成以外は、実施例1と同様のペリクル収納容器を用いた。
実施例1と同様に水洗した結果、該通気孔から水が中空部に侵入したため、水洗後に十分に水をきっても、乾燥に時間を要した。
トレイを中空部を持たない厚み4mmのアルミニウム製の板材とした以外は、実施例1と同様のペリクル収納容器を用いた。
このペリクル収納容器のトレイの底面及び脚部、並びに床面の間の空間部にリフターの爪を入れて、該リフターの爪の先端部が該トレイの底面にあたるように持ちあげ搬送した結果、トレイ天面とペリクル膜の接触が発生した。
2 ペリクル
2a ペリクルフレーム
2b マスク用粘着材層
2c ペリクル膜
2d 離型材
3 トレイ
3a 天面
3b 底面
3c 外周部
3d 内周部
3e 中空部
4 蓋
5 脚部
Claims (5)
- ペリクルを載置するトレイと、該トレイの天面に被せる蓋と、該トレイの底面に配置された脚部とを有するペリクル収納容器であって、
前記トレイは、ペリクル収納時に、天面の一部が前記ペリクル又は前記蓋のいずれかに接触し底面の一部が前記脚部と接する外周部と、該外周部の内側に位置し天面が前記ペリクル及び前記蓋のいずれにも接触しない内周部とを有し、
該外周部は天面と底面との間に枠材を有し、該内周部は天面と底面との間に中空部を有することを特徴とするペリクル収納容器。 - 前記中空部と前記トレイの外部との間で空気の流出入を可能とする通気手段を有することを特徴とする請求項1に記載のペリクル収納容器。
- 前記通気手段が、弁、コック、テープ、フィルター、及び防水通気性フィルムからなる群から選択された部材を有する通気孔であることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクル収納容器。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のペリクル収納容器の搬送方法であって、
前記トレイの底面及び脚部、並びに床面の間の空間部にリフターの爪を入れて前記トレイの底面を該爪で持ち上げることを特徴とするペリクル収納容器の搬送方法。 - 請求項2又は3に記載のペリクル収納容器の洗浄方法であって、
前記通気手段を封止した状態で洗浄することを特徴とするペリクル収納容器の洗浄方法。
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