JP5266662B2 - シート物理量測定装置 - Google Patents
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Description
放射線源からシート状物体に出射された放射線の透過量を放射線検出器で検出し、前記シート状物体の物理量を測定するシート物理量測定装置において、
前記放射線検出器は1次元又は2次元のアレイ素子から構成され、
前記アレイ素子のうち前記シート状物体の測定領域に対応した素子から出力される検出信号を選択する選択手段と、
前記アレイ素子の手前に前記シート状物体と対向して配設され、前記放射線のエネルギーの一部をカットする蛍光発光物質からなり、前記シート状物体から出射される2次X線を検出するフィルタと、
を備え、前記フィルタは前記シート状物体内の2次X線を出す物質の量を前記物理量としたことを特徴とする。
請求項1に記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線としてX線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項1に記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線としてβ線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項1に記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線を赤外線で置き換え、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
なお、上記説明において、X線2は放射線を構成し、厚さは物理量を構成する。
2 放射線
3 シート状物体
6 選択手段
7 測定領域
9,19 フィルタ
14 放射線検出器
Claims (4)
- 放射線源からシート状物体に出射された放射線の透過量を放射線検出器で検出し、前記シート状物体の物理量を測定するシート物理量測定装置において、
前記放射線検出器は1次元又は2次元のアレイ素子から構成され、
前記アレイ素子のうち前記シート状物体の測定領域に対応した素子から出力される検出信号を選択する選択手段と、
前記アレイ素子の手前に前記シート状物体と対向して配設され、前記放射線のエネルギーの一部をカットする蛍光発光物質からなり、前記シート状物体から出射される2次X線を検出するフィルタと、
を備え、前記フィルタは前記シート状物体内の2次X線を出す物質の量を前記物理量とすることを特徴とするシート物理量測定装置。 - 前記放射線としてX線を用い、前記物理量を厚さとすることを特徴とする請求項1に記載のシート物理量測定装置。
- 前記放射線としてβ線を用い、前記物理量を厚さとすることを特徴とする請求項1に記載のシート物理量測定装置。
- 前記放射線を赤外線で置き換え、前記物理量を厚さとすることを特徴とする請求項1に記載のシート物理量測定装置。
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