JP5263945B2 - ダブルアーム型ロボット - Google Patents
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Description
このような構成により、基柱を旋回させる構成が不要となるため、省スペースで簡易な構成のダブルアーム型ロボットを実現することができる。
このような構成により、ひとつの駆動手段によって、第2アームとハンド部との回動を行うことができるようになる。
このような構成により、一方の多関節アームの位置に関係なく、他方の多関節アームを動作させることができるようになる。
本発明の実施の形態1によるダブルアーム型ロボットについて、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態によるダブルアーム型ロボットの外観を示す概略斜視図である。図1において、本実施の形態によるダブルアーム型ロボット1は、第1の多関節アーム11と、第2の多関節アーム12と、アーム支持部13と、基柱14と、基台15とを備える。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
2、3 搬送物
11 第1の多関節アーム
12 第2の多関節アーム
13 アーム支持部
14 基柱
15 基台
21、31 第1アーム
22、32 第2アーム
23、33 ハンド部
24、34 第1関節部
25、35 第2関節部
26、36 第3関節部
41、42、51、52 モータ
43、44、53、54、50、60、64 ベルト
45、46、49、55、56、59、61、63、65 ベルト車
47、57 減速機
48、58 回転軸
62 回転支軸
71 昇降モータ
72 ウォーム
73 ウォームホイール
74 シャフト
75、76 ピニオン歯車
77、78 ラック
79、80 昇降ガイド
101 第1の制御部
102 第2の制御部
103 上下制御部
111 第1のアーム駆動部
112 第1の関節回動部
113、123 駆動手段
114、124 回動伝達手段
121 第2のアーム駆動部
122 第2の関節回動部
131 上下駆動部
Claims (1)
- 半導体基板、またはガラス基板である搬送物が載置されるハンド部と、それぞれが関節部によって回動可能に連結された第1及び第2アームとを有し、前記ハンド部が前記第2アームの一端に関節部によって回動可能に連結されている、第1及び第2の多関節アームと、
前記第1及び第2の多関節アームの前記ハンド部と反対側の一端が、基端の関節部によってそれぞれ回動可能に連結されるアーム支持部と、
基台と、
前記アーム支持部の前記第1及び第2の多関節アームと反対側の一端を鉛直方向に移動可能に保持しており、前記基台に固定される基柱と、
前記第1の多関節アームを前記基端の関節部において回動させる第1のアーム駆動部と、
前記第2の多関節アームを前記基端の関節部において回動させる第2のアーム駆動部と、
前記第1の多関節アームにおける前記基端の関節部でない2以上の関節部において前記アーム及び前記ハンド部を回動させる第1の関節回動部と、
前記第2の多関節アームにおける前記基端の関節部でない2以上の関節部において前記アーム及び前記ハンド部を回動させる第2の関節回動部と、
前記第1の多関節アームの前記第1アーム及び前記第2アームを伸ばしきった伸長状態と、前記第1の多関節アームの前記第1アーム及び前記第2アームを折り畳み、前記ハンド部を引き込んだ縮み状態との間で前記第1の多関節アームを伸縮させる伸縮動作の際に、前記第1の多関節アームが伸縮動作を行うように前記第1のアーム駆動部及び前記第1の関節回動部を制御し、前記第1の多関節アームの伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、前記第1のアーム駆動部が前記第1の多関節アームを回動させるように制御する第1の制御部と、
前記第2の多関節アームの前記第1アーム及び前記第2アームを伸ばしきった伸長状態と、前記第2の多関節アームの前記第1アーム及び前記第2アームを折り畳み、前記ハンド部を引き込んだ縮み状態との間で前記第2の多関節アームを伸縮させる伸縮動作の際に、前記第2の多関節アームが伸縮動作を行うように前記第2のアーム駆動部及び前記第2の関節回動部を制御し、前記第2の多関節アームの伸縮動作の方向を回転させる回転動作の際に、前記第2のアーム駆動部が前記第2の多関節アームを回動させるように制御する第2の制御部と、を備え、
前記第1及び第2の多関節アームのそれぞれにおいて、
前記第1アームは、前記基端の関節部によって前記アーム支持部と連結され、
前記第2アームは、前記第1アームの前記基端の関節部と反対側の一端に関節部によって回動可能に連結され、
前記第2アームの前記第1アームと反対側の一端は、前記ハンド部と連結され、
前記第1及び第2の関節回動部はそれぞれ、
前記第2アームを前記第1アームに対して回動させる駆動手段と、
前記第1アームに対する前記第2アームの回動を伝達することにより、当該回動に応じて前記ハンド部を前記第2アームに対して回動させる回動伝達手段と、を備え、
前記第1のアーム駆動部及び前記第2のアーム駆動部は、それぞれ独立して前記第1の多関節アーム、前記第2の多関節アームを回動させ、
前記第1の関節回動部及び前記第2の関節回動部は、それぞれ独立して前記第1の多関節アームの前記アーム及び前記ハンド部、前記第2の多関節アームの前記アーム及び前記ハンド部を回動させ、
前記第1及び第2の多関節アームのそれぞれの基端の関節部の回転中心軸は同軸であり、
前記アーム支持部の前記基柱と反対側の一端に、前記第1及び第2の多関節アームの前記ハンド部と反対側の一端が連結されており、
前記アーム支持部は、前記第1の多関節アームの第1アーム、及び前記第2の多関節アームの第1アーム以上の水平方向の長さを有している、ダブルアーム型ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008237583A JP5263945B2 (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | ダブルアーム型ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008237583A JP5263945B2 (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | ダブルアーム型ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010069552A JP2010069552A (ja) | 2010-04-02 |
JP5263945B2 true JP5263945B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=42201811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008237583A Expired - Fee Related JP5263945B2 (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | ダブルアーム型ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5263945B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102050330B (zh) * | 2010-11-05 | 2013-02-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 |
JP2012166297A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Seiko Epson Corp | ロボットハンド及びロボット装置 |
JP5387622B2 (ja) | 2011-06-17 | 2014-01-15 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
JP5569544B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2014-08-13 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
JP6295037B2 (ja) * | 2013-08-08 | 2018-03-14 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP6213604B2 (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-18 | 株式会社安川電機 | 作業ロボット及び作業システム |
JP2022167562A (ja) * | 2021-04-23 | 2022-11-04 | 川崎重工業株式会社 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05109866A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-30 | Nec Corp | ウエハ移載ロボツト |
JPH06126663A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-10 | Toshiba Corp | 複腕ロボット |
JP3973006B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2007-09-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | ダブルアーム型ロボット |
JP2006224218A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Kohnan Electronic Corp | 多関節ロボット |
KR101108767B1 (ko) * | 2006-07-11 | 2012-03-13 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 다관절 로봇 및 배선 방법 |
-
2008
- 2008-09-17 JP JP2008237583A patent/JP5263945B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010069552A (ja) | 2010-04-02 |
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