JP5262477B2 - 透明電極用エッチング液 - Google Patents
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Description
ITO:インジウム−スズ酸化物
CA:クエン酸
OA:シュウ酸
MA:リンゴ酸
AF:フッ化アンモニウム
実施例1〜6、比較例1〜2:
ガラス板上に100nmの厚みでZAOを成膜した基板、及びガラス板上に100nmの厚みでITOを成膜した基板を、表1に記載のエッチング液に浸漬し、水洗乾燥後、そのシート抵抗から各膜厚を測定した。浸漬前後の膜厚変化から、ZAO,ITOのエッチング速度を算出した。それらの結果を表1に示す。
Claims (7)
- 酸化亜鉛及び酸化アルミニウムを主成分とする透明電極を、多価カルボン酸及びその塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物と、フッ化水素酸及びその塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物を含有する水溶液からなる透明電極用のエッチング液を用いてエッチングする透明電極のエッチング方法。
- 多価カルボン酸が、シュウ酸、クエン酸、マロン酸、マレイン酸、リンゴ酸、フタル酸、及びフマル酸からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- フッ化水素酸の塩が、フッ化アンモニウム塩及びフッ化水素酸のアミン塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 酸化亜鉛及び酸化アルミニウムを主成分とする透明電極とインジウムを主成分とする透明電極とを、多価カルボン酸及びその塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物と、フッ化水素酸及びその塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物を含有する水溶液からなる透明電極用のエッチング液を用い、同一液でエッチングする透明電極のエッチング方法。
- 多価カルボン酸が、シュウ酸、クエン酸、マロン酸、マレイン酸、リンゴ酸、フタル酸、及びフマル酸からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- フッ化水素酸の塩が、フッ化アンモニウム塩及びフッ化水素酸のアミン塩からなる群より選ばれる一種又は二種以上の化合物であることを特徴とする請求項4又は5に記載の方法。
- 酸化亜鉛及び酸化アルミニウムを主成分とする透明電極が、ZAO(アルミニウム酸化物添加亜鉛酸化物)を主成分とする透明電極であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
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