JP5258848B2 - 角度センサ - Google Patents
角度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5258848B2 JP5258848B2 JP2010147094A JP2010147094A JP5258848B2 JP 5258848 B2 JP5258848 B2 JP 5258848B2 JP 2010147094 A JP2010147094 A JP 2010147094A JP 2010147094 A JP2010147094 A JP 2010147094A JP 5258848 B2 JP5258848 B2 JP 5258848B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- medium
- prism
- light
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 32
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 12
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
sinθ=nair/npri・・・(1)
θ :臨界角
nair:空気の屈折率
npri:プリズムの屈折率
・・・・(2)
Pr :反射率
θ :境界面への測定光の入射角
nair:空気の屈折率
npri:プリズムの屈折率
測定光が入射する入射面、当該入射面に対して傾斜した状態で対峙している媒体境界面、および、当該媒体境界面の法線方向を基準として、前記入射面と対称に配置されている出射面を備えるプリズムと、
前記出射面からの出射光の光量を検出する第1検出部と、
前記媒体境界面から第2媒体の側に出射する透過光の光量を検出する第2検出部と、
前記第1検出部における検出量と前記第2検出部における検出量の差分に基づき、前記測定光の光線方向の傾き角度を判定する角度判定手段と、
を有し、
前記媒体境界面は、前記プリズムを形成している第1媒体と、当該第1媒体とは屈折率の異なる前記第2媒体との境界面であり、
前記入射面と前記出射面は、前記第1媒体および前記第2媒体の屈折率に基づいて設定される所定の角度だけ相対的に傾いて配置されており、
前記所定の角度は、下記の関係式を満たすように設定されていることを特徴としている。
θp=2×(90−(sin −1 (n/n pri )))
θp :所定の角度
n pri :第1媒体の屈折率
n :第2媒体の屈折率
上記のプリズムと、
前記出射面からの出射光の光量を検出する第1検出部と、
前記媒体境界面から前記第2媒体の側に出射する透過光の光量を検出する第2検出部と、
前記第1検出部における検出量と前記第2検出部における検出量の差分に基づき、前記測定光の光線方向の傾き角度を判定する角度判定手段とを備えることを特徴としている。
θp=2×(90−(sin−1(nair/npri)))・・・(3)
θp :プリズムの頂角
npri :プリズムの屈折率
nair :空気の屈折率
図6、図7は、角度センサを利用した転動体の選別システムの説明図である。軸受けなどに用いる転動体は高い形状精度が求められる。例えば、円筒コロの場合、6mm程度の直径に対して、ロット内の直径相互差を1μm以内にすることが求められる。図6の選別システム10は、2つの転動体によって2点で支持されているレバーの傾きを角度センサ1によって高精度で検出し、2つの転動体の直径相互差を測定するものである。
2 プリズム
2A 入射面
2B 出射面
2C 境界面(媒体境界面)
3r 受光部(第1検出部)
3t 受光部(第2検出部)
4 集光レンズ
5 フォトダイオード
6 差動回路
7 演算装置
10 選別システム
11A 転動体
11B 転動体
12 レバー
13 ミラー
14 波長板
15 偏光ビームスプリッター
16 光源
17 鋼球
18 V溝
19 移動ステージ
20 レバー
L 測定光
Lr 反射光
Lt 透過光
P 直角プリズム
P1 斜面
P2 入射面
P3 出射面
θ1 入射角度
θc 入射角度
θp 頂角
Claims (3)
- 測定光が入射する入射面、当該入射面に対して傾斜した状態で対峙している媒体境界面、および、当該媒体境界面の法線方向を基準として、前記入射面と対称に配置されている出射面を備えるプリズムと、
前記出射面からの出射光の光量を検出する第1検出部と、
前記媒体境界面から第2媒体の側に出射する透過光の光量を検出する第2検出部と、
前記第1検出部における検出量と前記第2検出部における検出量の差分に基づき、前記測定光の光線方向の傾き角度を判定する角度判定手段と、
を有し、
前記媒体境界面は、前記プリズムを形成している第1媒体と、当該第1媒体とは屈折率の異なる前記第2媒体との境界面であり、
前記入射面と前記出射面は、前記第1媒体および前記第2媒体の屈折率に基づいて設定される所定の角度だけ相対的に傾いて配置されており、
前記所定の角度は、下記の関係式を満たすように設定されていることを特徴とする角度センサ。
θp=2×(90−(sin −1 (n/n pri )))
θp :所定の角度
n pri :第1媒体の屈折率
n :第2媒体の屈折率 - 請求項1において、
前記第1媒体はBK7であり、
前記所定の角度は97.45°以上98°以下の範囲内であることを特徴とする角度センサ。 - 請求項1または2において、
断面が二等辺三角形の三角柱形状に形成された前記第1媒体からなり、
前記二等辺三角形の底辺となる面に前記媒体境界面が設けられ、
前記二等辺三角形の一方の斜辺となる面に前記入射面が設けられ、他方の斜辺となる面に前記出射面が設けられていることを特徴とする角度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010147094A JP5258848B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | 角度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010147094A JP5258848B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | 角度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012013729A JP2012013729A (ja) | 2012-01-19 |
JP5258848B2 true JP5258848B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=45600287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010147094A Active JP5258848B2 (ja) | 2010-06-29 | 2010-06-29 | 角度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5258848B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105823441B (zh) * | 2016-04-13 | 2018-04-20 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 一种基于双光敏传感器的光束偏差测量方法 |
CN110411377B (zh) * | 2019-06-11 | 2021-09-28 | 湖北光安伦芯片有限公司 | 一种直角检测调节***及方法 |
CN111272702A (zh) * | 2020-03-18 | 2020-06-12 | 山东非金属材料研究所 | 阿贝折射仪标准块及其定值方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57124302A (en) * | 1981-01-26 | 1982-08-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Incident method of light on optical attenuator |
WO2008129952A1 (ja) * | 2007-04-17 | 2008-10-30 | Satoshi Kiyono | 角度センサ |
-
2010
- 2010-06-29 JP JP2010147094A patent/JP5258848B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012013729A (ja) | 2012-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102567597B1 (ko) | 광학 측정 장치 | |
US7684053B2 (en) | Optical displacement sensor and distance measuring apparatus | |
US10054434B2 (en) | Surface roughness measurement device | |
US20080266576A1 (en) | Optical displacement measuring apparatus | |
JP2013511041A (ja) | 減衰全反射に基づいた光センサシステムおよび感知方法 | |
US6885454B2 (en) | Measuring apparatus | |
JP6186913B2 (ja) | 計測装置 | |
JP2018500542A (ja) | 円筒状ガラス体の屈折率プロファイルの高精度測定 | |
JP5258848B2 (ja) | 角度センサ | |
JPH06223253A (ja) | 硬貨判別装置 | |
JP2017502295A (ja) | 非イメージングコヒーレントラインスキャナシステムおよび光学検査方法 | |
US6417924B1 (en) | Surface plasmon sensor obtaining total reflection break angle based on difference from critical angle | |
US20140250679A1 (en) | Optical inspection apparatus and optical inspection system | |
JP2002277348A (ja) | 透過率測定方法及び装置 | |
JPH09292334A (ja) | 表面プラズモンセンサー | |
JP4130236B2 (ja) | 物体表面形状測定方法及び装置 | |
US10605729B2 (en) | ATR-spectrometer | |
JP2010197143A (ja) | ポリゴンミラー用モータのシャフトの軸倒れを測定する測定装置及び測定方法 | |
CN103426894A (zh) | 光电传感器 | |
JP3200927B2 (ja) | 被覆状態測定方法及び装置 | |
JP2003097924A (ja) | 形状測定装置および測定方法 | |
US20020093659A1 (en) | Sensor utilizing attenuated total reflection | |
JP3761080B2 (ja) | 全反射減衰を利用した測定方法および測定装置 | |
TW201710007A (zh) | 聚光點檢測裝置 | |
TW201711779A (zh) | 雷射加工裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130423 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160502 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5258848 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |