JP5252204B2 - 冷却装置 - Google Patents

冷却装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5252204B2
JP5252204B2 JP2008535318A JP2008535318A JP5252204B2 JP 5252204 B2 JP5252204 B2 JP 5252204B2 JP 2008535318 A JP2008535318 A JP 2008535318A JP 2008535318 A JP2008535318 A JP 2008535318A JP 5252204 B2 JP5252204 B2 JP 5252204B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat receiving
substrate
cooling
base
cooled
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008535318A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2008035579A1 (ja
Inventor
実 吉川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP2008535318A priority Critical patent/JP5252204B2/ja
Publication of JPWO2008035579A1 publication Critical patent/JPWO2008035579A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5252204B2 publication Critical patent/JP5252204B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/40Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
    • H01L23/4006Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/4935Heat exchanger or boiler making

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、計算機等に使用されるプロセッサ等のLSI及びその周辺に実装されるICを冷却する冷却装置に関し、特に、液体冷媒を用いてLSIを冷却する冷却装置に関する。
計算機等に使用されるLSIの集積度は世代毎に加速的に増加している。これに伴い発熱量も増加傾向にある。LSIが高速かつ安定に動作するためには、LSIの動作温度を一定温度以下に制御する必要がある。このため、LSIの発熱量に見合った冷却装置が用いられるようになった。
例えば、特開平8−255855号公報は、LSIの上にヒートシンクを取り付け、その上にファンを設置してヒートシンクに冷風を当てる空冷モジュール構造を提案している。また、特開2006−100692号公報は、LSIの上に受熱部、ポンプ、ラジエータ、リザーブタンクを設置して、液体を循環させる液冷モジュールを提案している。
特開平8−255855号公報のような空冷モジュール構造では、発熱量の大きなLSIを十分に冷却するのが難しいという問題がある。ヒートシンクは熱伝導率の高い銅やアルミ等の金属にて作られる。LSIで発生した熱は、ヒートシンクとの接触部から熱伝導にてヒートシンクの全体に拡散した後、ヒートシンク表面のフィンから外気に放熱される。発熱量の増大に伴って、LSIとの接触部からフィンにかけて熱を伝える能力が落ちていく。この状態ではヒートシンクを大型化しても冷却能力はそれほど向上しない。冷却能力を向上させるためにはファンの回転数を上げることも考えられるが、この場合は騒音の問題が発生する。一般にファンの回転数を2倍にすると音圧は15〜18dBも大きくなってしまう。
これに対して、液冷モジュールではこれらの問題を解消しうるが、同時に、ポンプやパイプ等の液体冷媒の循環系や、LSIから熱を受け取った液体冷媒を冷却するためのラジエータが更に必要となる。
特開2006−100692号公報の液冷モジュール構造は、同図2に示すように、受熱部、ポンプ、リザーブタンク、ラジエータをLSI上に積み上げた構造を有する。液冷モジュールが占有する投下面積は、LSIの実装面積よりも大きく、LSI周辺の基板も液冷モジュールにて覆われている。このため、冷却対象となるLSIの周辺基板上に実装可能な他の部品の大きさに制限がある。覆われた部分の基板に実装可能な部品は、液冷モジュールの下面と基板との隙間に収まるものに限られるので、LSI周辺には、背の低い部品のみしか実装できないか、他の部品を実装できないことになる。また、実装可能な空間を確保できたとしても、その部品周辺の空間は狭く、空気の流れが妨げられやすい。このため、発熱体の実装が制限される。
更に、特開2006−100692号公報の液冷モジュール構造では、LSIと受熱部との接触を安定に維持するのが困難なため、冷却効率を維持する上で問題となる。液冷モジュールは空冷モジュールより部品点数が多く、重量が大きい。これは液冷モジュールは空冷モジュールのヒートシンクの代替品であるラジエータに加えて、銅などでできた受熱部、ポンプ、リザーブタンク、液体冷媒の重量が加わるからである。しかしながら、特開2006−100692号公報の液冷モジュール構造はLSIとの接触部で基板に固定される。液冷モジュールを含む装置全体が動くと、これに伴って重量が大きい液冷モジュールがLSI上を支点として揺動し、その結果、LSIと受熱部との接触が不安定になり、冷却効率が低下する。揺動が大きければLSIが破損する恐れもある。特に、図13に示すように基板を立てる場合、液冷モジュールが静止している状態でもモーメント力が発生するので、LSIと受熱部との接触部には常に両者を引き剥がそうとする力が作用することになり、両者の接触の不安定化、ひいては冷却効率低下の一因となっている。
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、本発明が解決しようとする課題は、LSIの冷却装置において、冷却対象となるLSIの周辺基板上にそのLSI以外の部品、特に発熱体を実装可能な冷却装置を提供することである。
また、本発明が解決しようとする他の課題は、冷却対象となるLSIの周辺基板上に実装する部品の高さに制限がない冷却装置を提供することである。
更に、本発明が解決しようとする他の課題は、冷却装置を含む装置全体が動く場合や、立てた基板上にLSI及び冷却装置が設置されている場合であっても、LSIと受熱部との接触圧を所定の範囲に保つことが可能な冷却装置を提供することである。
上述の課題を解決するため、本発明は、基板上に設置した装置を冷却する冷却装置において、基板に対して略垂直な方向であって、基板の両面のうち、冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、冷却対象装置の上に配置され、冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部と、基板上に略垂直に立つ柱状部と、支柱部が貫通した貫通口を有し、受熱部の上に配置されるベースと、柱状部に沿ってベースを付勢することにより、受熱部を冷却対象装置に押し付ける付勢手段とを備えることを特徴とする冷却装置を提供する。
受熱部はその内部を液体冷媒が通過する構造を有し、冷却装置は、受熱部と共に液体冷媒による閉ループ循環系を形成する循環系装置群を備え、循環系装置群の少なくとも一部は、ベース及び柱状部によって基板に対して支持される場合に特に好ましい。ポンプ、リザーブタンク、ラジエータ、ホース等の循環系装置群に生じるモーメント力をベース及び支持手段にて担うことにより、受熱部と冷却対象装置との接触部を安定に維持することができるからである。
空気流を発生するファンと、空気流が、基板に対して吹きつける、或いは、基板から吸い上げる空気流となるように、ファンをベース上に支持するシャーシとを更に備えることとすれば、基板に対して吹きつける或いは吸い上げる空気流を発生することにより、冷却対象装置の周辺の他装置の冷却をも促すことができる。
循環系装置群はシャーシに対して固定されてなることとすれば、循環系装置群をシャーシ及びベースと一体化した後で基板に固定することができる。このため、冷却装置の組み立て・組み外し、基板への設置作業を容易にすることができる。
シャーシはベース上に略垂直に立つ筒状の形状を有し、下の開口にベースが固定され、上の開口にファンが固定され、循環系装置群はラジエータ、ポンプ及びリザーブタンクを含み、ラジエータはファンの下に筒内に配置され、ポンプ及びリザーブタンクは、ラジエータの下に、筒の内面に互いに対向するように配置され、ポンプ及びリザーブタンクの間に、空気流が通過する通風路となる空間を有し、空気流は、ラジエータ及び通風路を通過することとすれば、冷却装置を小型化する上で好ましい。
ベース及びシャーシのうち少なくとも一方は、空気流が通過するための通風孔を備えることとすれば、冷却対象装置の周辺装置をも効率よく冷却することが出来る。
受熱部及びベースに代わって、支柱部が貫通した貫通口を有し、冷却対象装置の上に配置され、冷却対象装置との間で熱交換を行うベース一体型受熱部を備えることとすれば、受熱部を大型化して冷却能力を向上させることが出来る。
一の受熱部は複数の冷却対象装置に対向して配置されることとしてもよい。また、複数の受熱部を備え、複数の受熱部は、それぞれ、少なくともひとつの冷却対象装置に対向して配置されることとしてもよい。
閉ループ循環系装置群の装置間は取り付け及び取り外し可能なホースにより接続されて閉ループ循環系を形成し、閉ループ循環系装置群は、その両端にホースを取り付け及び取り外し可能なカプラを少なくとも2つ含むこととすれば、カプラ間を開放してホースと受熱部とを追加可能な冷却装置を提供することができる。
カプラを介して閉ループ循環系に追加された第2の受熱部を少なくとも1つ備え、第2の受熱部は、熱伝導性接着剤にて第2の冷却対象装置に接着されることとしてもよい。第2の冷却対象装置の上には受熱部以外の閉ループ循環系装置群が載らないので、第2の冷却対象装置が垂直に立てかけて配置されていても、第2の受熱部により発生するモーメント力は、他の閉ループ循環系装置群が載っている場合と比較して小さいので、接着剤による固定であっても第2の受熱部と第2の冷却対象装置との間の接触を安定に維持しやすいからである。
また、前述の課題を解決するため、本発明は、基板上に設置した装置を冷却する冷却装置を基板に設置する方法において、基板に対して略垂直な方向であって、基板の両面のうち、冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部を、冷却対象装置に対向して配置する段階と、受熱部の上に貫通口を有するベースを配置する段階と、一端に付勢手段を固定した柱状部の他端を貫通口に通して基板に対して固定することにより、付勢手段により受熱部を冷却対象装置に対して押し付けつつ、受熱部を基板上に支持する段階とを含むことを特徴とする冷却装置の設置方法を提供する。
受熱部はその内部を液体冷媒が通過する構造を有し、受熱部を冷却対象装置に対向して配置するのに先立って、受熱部と、受熱部と共に液体冷媒による閉ループ循環系を形成する循環系装置群とを、ベース上に支持する段階を更に含むことが好ましい。
本発明によれば、バネ等の弾性部材により受熱部を発熱体に付勢して一定の力で押し付けるので、受熱部は装置の姿勢や外力の有無に関わらず付勢される。このため、両者の接触を常に安定に維持することが出来る。
また、受熱部、ポンプ、リザーブタンク、ラジエータ、ファン等、液冷システム主要部の重量を支持する手段を発熱体との接触部以外に有するので、主要部に生じるモーメント力による影響が受熱部と発熱体との接触部に及ぶのを防ぐことが出来る。
また、ベースと基板との間に空間を確保するので、発熱体周辺にも他装置を実装するための空間を確保することが出来る。また、この空間によって空気の対流が可能となり、周辺他装置の高温化を防止することができる。
図1は、本発明の第1の実施の形態である冷却装置100の断面図である。
図2は、図1に図示した冷却装置100の受熱部8のA−A断面図である。
図3は、冷却装置100の液体冷媒の閉ループ循環系の斜視図である。
図4は、冷却装置100の透視斜視図である。
図5は、本発明の第2の実施の形態である冷却装置200の断面図である。
図6は、本発明の第3の実施の形態である冷却装置300の断面図である。
図7は、図6に図示した冷却装置300の受熱部41のB−B断面図である。
図8は、本発明の第4の実施の形態である冷却装置400の断面図である。
図9は、本発明の第5の実施の形態である冷却装置500の断面図である。
図10は、本発明の第6の実施の形態である冷却装置600の断面図である。
図11は、本発明の第1乃至6の実施の形態において閉ループ循環系を液体冷媒が流れる順序を説明するための図である。
図12は、閉ループ循環系を液体冷媒が流れる他の順序を説明するための図である。
図13は、垂直に立てた基板上に実装した発熱体に液冷モジュールを固定したときに発生するモーメント力について説明するための図である。
本発明の第1の実施の形態である冷却装置100について図1を参照して以下に説明する。冷却しようとする装置であるLSI1は基板2に設置されている。冷却装置100の主要部はバネ付きネジ3により基板2に対して固定される。バネ付きネジ3はそれぞれ押し付けバネ5を備え、これにより図中下向きに押し下げる力をベース7に対して付与する。ベース7のLSI1側の面には受熱部8が設置されている。受熱部8は銅やアルミなど熱伝導率の高い金属で形成されている。押し付けバネ5による押し下げる力は、ベース7を介して受熱部8に伝達される。これによりLSI1に押し付ける力が受熱部8に付与される。
LSI1及び受熱部8の間には、シリコーングリースやコンパウンド等の熱伝導部材9が塗布されている。LSI1で発生する熱は、熱伝導部材9を介して受熱部8に伝達される。受熱部8は流入口10から取り入れた水等の液体冷媒を流出口11から排出する。図2の受熱部8のA−A断面に示すように、受熱部8は内部にフィンを備え、LSI1から受け取った熱を図中矢印方向に流れる液体冷媒に伝達する。
ベース7の上には四角形断面の筒状のシャーシ12が設けられている。シャーシ12の4つの側壁のうち、一面乃至全面に通風孔13を有する。また、シャーシ10の内壁の一面にポンプ14が設置され、対向する他面にリザーブタンク15が設置されている。ポンプ14及びリザーブタンク15はネジ等によってそれぞれシャーシ10に対して固定される。シャーシ10の図中上側の開口部には、ラジエータ16が設置され、更に、ラジエータ16の上にファン17が設置されている。受熱部8、ポンプ14、リザーブタンク15及びラジエータ16は、それぞれ流入口及び流出口を備え、ホース18〜21を介して環状に接続されている。これにより、受熱部8、ポンプ14、リザーブタンク15、ラジエータ16及びホース18〜21からなる液体冷媒の閉ループ循環系が形成される。図3に示すような閉ループ循環系が図4の透視図に示すようにシャーシ12に納められる。
LSI1で発生した熱は熱伝導部材9を介して受熱部8に伝達される。矢印22〜25に示すように、受熱部8で熱を奪って温度上昇した液体冷媒は、ラジエータ16によって空気と熱交換を行い、温度を下げてから、また受熱部8へ戻る。
受熱部8のフィンピッチ、フィン厚、フィン高さの形状、必要な流量等は、LSI1の仕様により要求される冷却性能を満たすように定められる。尚、受熱部8をシャーシ10と一体になるように固定した後、シャーシ10をで基板2に対して固定することとしてもよいが、冷却装置100を基板2に対して固定する際に、押し付けバネ5により熱伝導部材9及びLSI1に押し付けることにより固定することとしてもよい。
ポンプ14は、図中矢印21〜25の向きの流速を液体冷媒に与える。ポンプ14は液体冷媒の閉ループ循環系の全体における圧力損失と流量とを満足するように選定される。
冷却装置100を長期に稼動させると、ホース18〜21、或いは、これらホースと受熱部8、ポンプ14、リザーブタンク15及びラジエータ16との接続部から、液体冷媒が徐々に抜けていく。この抜け量をあらかじめ確保する目的と、液体冷媒の温度上昇に伴う膨張により循環系内の圧力が上昇するのを防ぐバッファの目的のため、リザーブタンク15は設置される。
ラジエータ16としては直行流型熱交換器が性能面で優れている。例えばコルゲーテッドフィンが好適である。ラジエータ16はファン17からの送風にて冷却される。
ホース18〜21の材料は、長期使用の安定性や透水防止性からブチル等が好ましい。受熱部8、ポンプ14、リザーブタンク15及びラジエータ16との接続部には、ニップル等を用いると冷媒の抜けを防ぐ上で好ましい。冷媒抜けを抑えることができればリザーブタンク15の容量を小さくすることが可能であり、冷却装置100の小型化に資する。
ホースによる接続には、部品交換や、冷却能力の性能レンジの変更が容易になるという利点もある。例えば、LSI1のアップグレードに伴って発熱量が上昇した場合も、ポンプ14を高性能品に変えるだけで対応することが出来る。
また、ホースにより接続すれば、装置の実装に応じて部品の配置を変更することも容易であり、実装の自由度が向上する。例えば、ポンプ14及びリザーブタンク15をベース7上に配置することにより、高さ方向または長手方向の寸法を変更することも考えられる。
受熱部8、ポンプ14、リザーブタンク15、ラジエータ16、ファン17はベース7及びシャーシ12に固定されて一体となるので持ち運びが容易である。また、冷却装置100をLSI1に取り付ける際には、バネ付きネジ3にてベース7を基板2に対して固定するだけでよく、装置への組み付け及び組み外しが容易である。
冷却装置100は、シャーシ12内壁にポンプ14及びリザーブタンク15を取り付ける構造のため、シャーシ12内を貫通する通風路を確保することができる。図中矢印26及び27に示すように、ファン17にて発生した空気流は、ラジエータ16を流れる液体冷媒との間で熱交換を行って熱を奪った後、この通風路を通過し、通風孔13から流出する。この空気流は、基板2に対して上から吹きつけたような空気流となり、基板2上でベース7外側に配置された不図示のキャッシュメモリなど他の集積回路、電子部品等をも冷却することが出来る。このため、LSI1周辺にもIC等の発熱体を実装することが可能となり、装置の実装密度を向上させることができる。尚、ラジエータ16での熱交換後の空気流が高温で周辺装置を冷却出来ない場合、ファン17の回転方向を逆向きにして矢印26及び27の逆向きの空気流を発生することとしてもよい。この場合、空気流は周辺装置を冷却した後でラジエータ16での熱交換を行うことになる。
シャーシ12はベース7に取り付けられる。ベース7はシャーシ12の内側及び外側にツバが張り出す構造を有する。内側のツバは受熱部8をLSI1に押付ける作用を有する。外側のツバは貫通穴を有する。この貫通穴にバネ付ネジ3及び4等を通し、基板2に設けたネジ穴にバネ付ネジ3及び4等をねじ込む。これにより、受熱部8をLSI1に押し付けると共に、ベース7を基板2に対して固定する。基板2にネジ穴を設ける代わりに、基板2に貫通穴を空けて、基板裏面に配置したナット等の機構により固定することとしてもよい。ネジの代わりにクリップ等で固定してもよい。押し付けバネ5のバネ荷重は、LSI1の耐荷重、熱伝導部材9の接触抵抗等の仕様に基づいて決定される。更に、そのバネ荷重を満足するバネ定数とつぶし量に基づいてストローク長が決定される。
本実施の形態では、LSI1の近傍であっても、基板2とベース7との間に空間が確保されるので、基板2上のLSI1近傍に不図示の他の電子部品を実装することが可能となる。これらの他電子部品の周辺には、基板2とベース7との間の空間が確保される上、ファン17が発生する空気流により、間接的な冷却効果を得ることが出来る。
次に、本発明の第2の実施の形態である冷却装置200について図5を参照して説明する。第1の実施の形態と同じ部品等については同じ参照符号を付している。前述の冷却装置100と比較すると、ベース7の代わりに通風孔31を有するベース32を用いる点と、通風孔13を有するシャーシ12の代わりに通風孔を有さないシャーシ33を用いる点が異なる。
矢印34及び35に図示したように、冷却装置200では、ファン17が発生した空気流は、ラジエータ16、シャーシ33を図中上下方向に貫通する通風路、通風孔31を通過して、電子部品36及び37に当たり、基板2とシャーシ33との間の空間を通過して冷却装置200の外部に流出する。
このため、本実施の形態では、LSI1の近傍にも、電子部品36及び37といった発熱体を実装することが可能となる。
次に、本発明の第3の実施の形態である冷却装置300について図6を参照して説明する。第2の実施の形態と比較すると、第3の実施の形態は、受熱部8及びシャーシ33の代わりに、受熱部41を用いる。受熱部41は受熱部8及びシャーシ33の両者を兼ねるものであり、液体冷媒を流入口42から取り入れて流出口43から排出する。受熱部41の内部について図6のB−B断面である図7を参照して説明すると、流入口42及び流出口43と繋がった流路44を備え、ここを液体冷媒が流れる。また、受熱部41は四隅に貫通口45を有し、ここにバネ付きネジ3を通して基板2に対して固定される。
本実施の形態によれば、冷却装置300の下面の全面が受熱部として働くため、LSI1と受熱部41との位置関係上の制約が緩くなり、基板2に取り付ける際の位置合わせが容易になるという効果がある。
次に、本発明の第4の実施の形態である冷却装置400について図8を参照して説明する。第3の実施の形態と比較すると、受熱部41の直下にLSI1だけではなく、その近傍に電子部品36、37を実装している点で異なる。これにより、これら複数の電子部品を一括して冷却することが可能となる。
次に、本発明の第5の実施の形態である冷却装置500について図9を参照して説明する。第1の実施の形態と比較すると、本実施の形態は、2つの受熱部51及び52を備える点、受熱部をひとつ取り付けるための開口部を有するベース7の代わりに、2つの受熱部51及び52を取り付けるための2つの開口部を有するベース53を用いる点、及び、側面に通風孔を持たないシャーシ33を用いる点で異なる。
基板2上には電子部品54及び55が実装されている。電子部品54及び55は冷却対象となる電子デバイス、電子素子等である。冷却装置500が基板2に設置された状態において、押し付けバネの作用により、受熱部51は熱伝導部材56を介して電子部品54に押し付けられ、受熱部52は熱伝導部材57を介して電子部品55に押し付けられる。液体冷媒の閉ループ循環系の中で、受熱部51及び52はシリアルに接続されてもパラレルに接続されてもよい。本実施の形態により、複数の電子部品を一括して冷却することが出来る。
次に、本発明の第6の実施の形態である冷却装置600について図10を参照して説明する。前述の冷却装置300と比較すると、冷却装置600は以下の点で異なる。ホース18の代わりに、受熱部8の流出口11に一端を接続するホース61を備え、リザーブタンク15の流入口に一端を接続するホース62を備える。ホース間を接続するためのカプラ63及び64を備える。ホース61及び62の他端はそれぞれカプラ63及び64に接続される。シャーシ33の代わりに、カプラ63及び64を貫通させる貫通口を側面に有するシャーシ65を用いる。カプラ63及び64はそれぞれ一方のホース取付口をシャーシ65の内側に有し、他方のホース取付口をシャーシ65の外側に有する。カプラ63及び64の外側取付口にそれぞれ一端を接続したホース66及び67を備える。ホース66及び67の他端に接続された受熱部68を備える。受熱部68は熱伝導性接着剤69にて電子部品70に接着される。
受熱部8の上部にはポンプ14、リザーブタンク15、ラジエータ16及びフィン17等を配置する。これら装置の重量を支持すると共に、所定の力で受熱部8をLSI1に押し付けるため、バネ付きネジ3及びベース7等にて保持している。これに対し、受熱部68の上部にはこうした他装置が配置されないので、接着によって電子部品70を保持している。尚、受熱部8と同様に、受熱部68もバネ付きネジとベースによって保持してもよい。
冷却装置600によれば、受熱部8によってLSI1を冷却すると同時に、受熱部68によって電子部品70を冷却することができる。受熱部68とカプラ63、64は取り外し可能である。このため、冷却装置600は取り扱いが容易であるという利点がある。また、不要であれば受熱部68を外してもよい。この場合、カプラ63の流出口とカプラ64の流入口とをホースで直結することにより閉ループ循環系を形成する。更に、必要に応じてカプラ及び受熱部を追加し、受熱部68とシリアル或いはパラレルに接続して3つ以上の受熱部を含む閉ループ循環系を形成することとしてもよい。
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、当業者の通常の知識の範囲内でその変更や改良が可能であることは勿論である。
例えば、上述の実施の形態では、計算機用のLSIやその周辺装置を冷却対象の装置として説明したが、本発明はこれに限らず、一般の電子部品、電子機器の冷却に適用できる。
また、上述の実施の形態では、ポンプ、リザーブタンク、ラジエータ、ファンはすべてベース又はシャーシに取り付けられているが、一部を基板上、或いは、LSI、基板及び冷却装置を内蔵する不図示の装置の内壁に取り付けることとしてもよい。
また、上述の実施の形態における液体冷媒の閉ループ循環系では、図11に示すように、受熱部、リザーブタンク、ラジエータ、ポンプの順に液体冷媒を循環させているが、図12に示すように、受熱部、ラジエータ、リザーブタンク、ポンプの順に循環させてもよい。循環系内での順序関係は、実装形態、部品の温度仕様等を鑑みて適宜決定される。
また、上述の実施の形態では押し付けバネとしてコイルスプリングを用いているが、本発明はこれに限らず、他の弾性体にてベース或いは受熱部を付勢することとしてもよい。こうした付勢部材としては例えばゴムブッシュが考えられる。
更に、上述の実施の形態の間には、ベース或いはシャーシの通風孔の有無及び位置、受熱部の数、受熱部及びベースの構造、ファンが発生する空気流の方向、一受熱部で冷却する電子部品の数、カプラの有無、液体冷媒の閉ループ循環系におけるポンプ、リザーブタンク、受熱部、ラジエータの順序関係等について相違しているが、これらを適宜組み合わせ可能なことは当業者には明らかであろう。
この出願は、2006年9月19日に出願された日本出願特願第2006−252177号を基礎とする優先権を主張し、その開示のすべてをここに取り込む。

Claims (15)

  1. 基板上に設置した装置を冷却する冷却装置において、
    前記基板に対して略垂直な方向であって、前記基板の両面のうち、前記冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、
    前記冷却対象装置の上に配置され、その内部を液体冷媒が通過する構造を有し、前記冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部と、
    前記基板上に略垂直に立つ柱状部と、
    前記柱状部が貫通した貫通口を有し、前記受熱部の上に配置されるベースと、
    前記柱状部に沿って前記ベースを付勢することにより、前記受熱部を前記冷却対象装置に押し付ける付勢手段と
    前記受熱部と共に前記液体冷媒による閉ループ循環系を形成する装置群からなり、その少なくとも一部として、前記ベース及び柱状部によって前記基板に対して支持される装置を含む装置群である循環系装置群と、
    空気流を発生するファンと、
    前記空気流が、前記基板に対して吹きつける、或いは、前記基板から吸い上げる空気流となるように、前記ファンを前記ベース上に支持するシャーシと
    を備えることを特徴とする冷却装置。
  2. 請求項に記載の冷却装置において、前記循環系装置群は前記シャーシに対して固定されてなることを特徴とする冷却装置。
  3. 請求項に記載の冷却装置において、
    前記シャーシは前記ベース上に略垂直に立つ筒状の形状を有し、下の開口に前記ベースが固定され、上の開口に前記ファンが固定され、
    前記循環系装置群はラジエータ、ポンプ及びリザーブタンクを含み、前記ラジエータは前記ファンの下に前記筒内に配置され、前記ポンプ及びリザーブタンクは、前記ラジエータの下に、前記筒の内面に互いに対向するように配置され、
    前記ポンプ及びリザーブタンクの間に、前記空気流が通過する通風路となる空間を有し、
    前記空気流は、前記ラジエータ及び通風路を通過する
    ことを特徴とする冷却装置。
  4. 請求項に記載の冷却装置において、前記ベース及びシャーシのうち少なくとも一方は、前記空気流が通過するための通風孔を備えることを特徴とする冷却装置。
  5. 請求項1に記載の冷却装置において、前記受熱部及びベースに代わって、前記支柱部が貫通した貫通口を有し、前記冷却対象装置の上に配置され、前記冷却対象装置との間で熱交換を行うベース一体型受熱部を備えることを特徴とする冷却装置。
  6. 請求項1に記載の冷却装置において、一の受熱部は複数の冷却対象装置に対向して配置されることを特徴とする冷却装置。
  7. 請求項1に記載の冷却装置において、複数の前記受熱部を備え、
    前記複数の受熱部は、それぞれ、少なくともひとつの冷却対象装置に対向して配置されることを特徴とする冷却装置。
  8. 請求項に記載の冷却装置において、
    前記閉ループ循環系装置群の装置間は取り付け及び取り外し可能なホースにより接続されて前記閉ループ循環系を形成し、
    前記閉ループ循環系装置群は、その両端にホースを取り付け及び取り外し可能なカプラを少なくとも2つ含む
    ことを特徴とする冷却装置。
  9. 基板上に設置した装置を冷却する冷却装置において、
    前記基板に対して略垂直な方向であって、前記基板の両面のうち、前記冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、
    前記冷却対象装置の上に配置され、その内部を液体冷媒が通過する構造を有し、前記冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部と、
    前記基板上に略垂直に立つ柱状部と、
    前記柱状部が貫通した貫通口を有し、前記受熱部の上に配置されるベースと、
    前記柱状部に沿って前記ベースを付勢することにより、前記受熱部を前記冷却対象装置に押し付ける付勢手段と、
    互いに取り付け及び取り外し可能なホースにより接続されて、前記受熱部と共に前記液体冷媒による閉ループ循環系を形成する循環系装置群と、
    前記閉ループ循環系装置群の両端にホースを取り付け及び取り外し可能な少なくとも2つのカプラとを備え、
    前記循環系装置群の少なくとも一部は、前記ベース及び柱状部によって前記基板に対して支持される
    ことを特徴とする冷却装置。
  10. 請求項8及び9のいずれかに記載の冷却装置において、
    前記カプラを介して前記閉ループ循環系に追加された第2の受熱部を少なくとも1つ備え、
    前記第2の受熱部は、熱伝導性接着剤にて第2の冷却対象装置に接着される
    ことを特徴とする冷却装置。
  11. 基板上に設置した装置を冷却する冷却装置において、
    前記基板に対して略垂直な方向であって、前記基板の両面のうち、前記冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、
    前記冷却対象装置の上に配置され、前記冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部と、
    前記基板上に略垂直に立つ柱状部と、
    前記柱状部が貫通した貫通口を有し、前記受熱部の上に配置されるベースと、
    前記柱状部に沿って前記ベースを付勢することにより、前記受熱部を前記冷却対象装置に押し付ける付勢手段と
    を備え、
    一の受熱部は複数の冷却対象装置に対向して配置される
    ことを特徴とする冷却装置。
  12. 基板上に設置した装置を冷却する冷却装置において、
    前記基板に対して略垂直な方向であって、前記基板の両面のうち、前記冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、
    前記冷却対象装置の上に配置され、前記冷却対象装置との間で熱交換を行う複数の受熱部と、
    前記基板上に略垂直に立つ柱状部と、
    前記柱状部が貫通した貫通口を有し、前記受熱部の上に配置されるベースと、
    前記柱状部に沿って前記ベースを付勢することにより、前記受熱部を前記冷却対象装置に押し付ける付勢手段とを備え、
    前記複数の受熱部は、それぞれ、少なくともひとつの冷却対象装置に対向して配置される
    ことを特徴とする冷却装置。
  13. 基板上に設置した装置を冷却する冷却装置を基板に設置する方法において、
    前記基板に対して略垂直な方向であって、前記基板の両面のうち、前記冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、
    その内部を液体冷媒が通過する構造を有し、前記冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部と、前記受熱部と共に前記液体冷媒による閉ループ循環系を形成する循環系装置群とを、貫通口を有するベース上に支持する段階と、
    前記受熱部を前記冷却対象装置に対向して配置し、前記受熱部の上に前記ベースを配置する段階と、
    一端に付勢手段を固定した柱状部の他端を前記貫通口に通して前記基板に対して固定することにより、前記付勢手段により前記受熱部を前記冷却対象装置に対して押し付けつつ、前記受熱部を前記基板上に支持する段階と、
    前記基板に対して吹きつける、或いは、前記基板から吸い上げる空気流を発生するファンを前記ベース上に設けたシャーシにて支持する段階と
    を含むことを特徴とする冷却装置の設置方法。
  14. 基板上に設置した装置を冷却する冷却装置において、
    前記基板に対して略垂直な方向であって、前記基板の両面のうち、前記冷却対象装置を設置する面側を上とし、他方の面側を下とするとき、
    前記冷却対象装置の上に配置され、その内部を液体冷媒が通過する構造を有し、前記冷却対象装置との間で熱交換を行う受熱部と、
    前記基板上に略垂直に立つ柱状部と、
    前記柱状部が貫通した貫通口を有し、前記受熱部の上に配置されるベースと、
    前記柱状部に沿って前記ベースを付勢することにより、前記受熱部を前記冷却対象装置に押し付ける付勢手段と、
    前記受熱部と共に前記液体冷媒による閉ループ循環系を形成する循環系装置群と、
    前記循環系装置郡を固定するシャーシと
    を備え、
    前記シャーシは前記ベース上に略垂直に立つ筒状の形状を有し、下の開口に前記ベースが固定され、
    前記循環系装置群はラジエータ、ポンプ及びリザーブタンクを含み、前記ポンプ及びリザーブタンクは、前記ラジエータの下に、前記筒の内面に互いに対向するように配置され、
    前記ポンプ及びリザーブタンクの間に、空気流が通過する通風路となる空間を有し、
    前記空気流は、前記ラジエータ及び通風路を通過する
    ことを特徴とする冷却装置。
  15. 請求項14に記載の冷却装置において、
    空気流を発生するファンを更に備え、
    前記空気流が、前記基板に対して吹きつける、或いは、前記基板から吸い上げる空気流となるように、前記シャーシは前記ファンを前記ベース上に支持する
    ことを特徴とする冷却装置。
JP2008535318A 2006-09-19 2007-09-04 冷却装置 Active JP5252204B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008535318A JP5252204B2 (ja) 2006-09-19 2007-09-04 冷却装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006252177 2006-09-19
JP2006252177 2006-09-19
PCT/JP2007/067557 WO2008035579A1 (fr) 2006-09-19 2007-09-04 Appareil de refroidissement
JP2008535318A JP5252204B2 (ja) 2006-09-19 2007-09-04 冷却装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2008035579A1 JPWO2008035579A1 (ja) 2010-06-17
JP5252204B2 true JP5252204B2 (ja) 2013-07-31

Family

ID=39200406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008535318A Active JP5252204B2 (ja) 2006-09-19 2007-09-04 冷却装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8432695B2 (ja)
EP (1) EP2065935B1 (ja)
JP (1) JP5252204B2 (ja)
WO (1) WO2008035579A1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8787022B2 (en) * 2009-07-24 2014-07-22 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor storage device and method of manufacturing the same
US9310859B2 (en) 2013-11-12 2016-04-12 International Business Machines Corporation Liquid cooling of multiple components on a circuit board
US10262920B1 (en) * 2016-12-05 2019-04-16 Xilinx, Inc. Stacked silicon package having a thermal capacitance element
US10028409B1 (en) * 2017-01-06 2018-07-17 Hamilton Sundstrand Corporation Immersion cooling arrangements
US11019748B2 (en) * 2017-12-22 2021-05-25 Seagate Technology Llc Suspended fan modules
CN209029558U (zh) * 2018-10-15 2019-06-25 富顶精密组件(深圳)有限公司 电连接器组件及其液氮散热器
JP7151503B2 (ja) * 2019-01-23 2022-10-12 富士通株式会社 冷却装置及び電子機器
US10874034B1 (en) * 2019-11-05 2020-12-22 Facebook, Inc. Pump driven liquid cooling module with tower fins
GB2601357B (en) * 2020-11-27 2023-02-01 Nexalus Ltd Modular thermal heat sink device
US11523534B2 (en) * 2021-01-13 2022-12-06 Baidu Usa Llc Device for airflow management and cooling improvement in hybrid-cooled electronics

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002093960A (ja) * 2000-09-12 2002-03-29 Nec Corp マルチチップモジュールの冷却構造およびその製造方法
JP2004235481A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Nec Corp ヒートシンクの保持装置、ヒートシンク付き半導体装置及び半導体装置の実装方法
US20050183848A1 (en) * 2004-02-25 2005-08-25 Ruei-Fu Cheng Coolant tray of liquid based cooling device
JP2006237369A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Fujitsu Ltd 電子装置及びスタンドオフ部材及び電子装置の製造方法
JP2008072062A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Toshiba Corp 実装構造、およびこれを備えた電子機器

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3477101D1 (en) * 1983-03-25 1989-04-13 Mitsubishi Electric Corp Heat radiator assembly for cooling electronic parts
JPH08153839A (ja) 1994-11-28 1996-06-11 Fujitsu Ltd 冷却体構造
JP2625398B2 (ja) 1995-03-17 1997-07-02 日本電気株式会社 マルチチップ冷却装置
US5785116A (en) * 1996-02-01 1998-07-28 Hewlett-Packard Company Fan assisted heat sink device
US5794685A (en) * 1996-12-17 1998-08-18 Hewlett-Packard Company Heat sink device having radial heat and airflow paths
JP4290232B2 (ja) 1997-02-24 2009-07-01 富士通株式会社 ヒートシンクとそれを使用する情報処理装置
US6019165A (en) * 1998-05-18 2000-02-01 Batchelder; John Samuel Heat exchange apparatus
US6028355A (en) * 1998-06-16 2000-02-22 At&T Corp. Method and apparatus for dissipating heat from an enclosed printed wiring board
CA2474781A1 (en) * 2002-01-30 2003-08-07 David Erel Heat-sink with large fins-to-air contact area
DE20303845U1 (de) * 2003-03-03 2003-05-15 Richard Wöhr GmbH, 75339 Höfen Kühlvorrichtung mit lüfterlosem Flüssigkeitskühler für einen auf einer Grundplatte getragenen Prozessor
US6747873B1 (en) * 2003-03-12 2004-06-08 Intel Corporation Channeled heat dissipation device and a method of fabrication
US6903929B2 (en) * 2003-03-31 2005-06-07 Intel Corporation Two-phase cooling utilizing microchannel heat exchangers and channeled heat sink
US6999317B2 (en) * 2003-08-12 2006-02-14 Delphi Technologies, Inc. Thermally enhanced electronic module with self-aligning heat sink
JP2005175075A (ja) * 2003-12-09 2005-06-30 Hitachi Cable Ltd 液循環型冷却装置
US6945314B2 (en) * 2003-12-22 2005-09-20 Lenovo Pte Ltd Minimal fluid forced convective heat sink for high power computers
JP2005315156A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Toshiba Corp ポンプおよびポンプを備える電子機器
JP2006100692A (ja) 2004-09-30 2006-04-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 冷却装置およびこれを備えた電子機器
DE102004060497B3 (de) * 2004-12-16 2006-01-12 Rico Weber Modulare Kühleinrichtung in Sandwichbauweise
JP2006190735A (ja) 2005-01-05 2006-07-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 冷却装置及びそれを備えた電子機器
JP4796314B2 (ja) 2005-03-10 2011-10-19 株式会社リコー カード更新装置、カード更新システム、カード更新方法、カード更新プログラム及び記録媒体
US7262967B2 (en) * 2005-06-29 2007-08-28 Intel Corporation Systems for low cost coaxial liquid cooling
US7583502B2 (en) * 2006-06-13 2009-09-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method and apparatus for increasing heat dissipation of high performance integrated circuits (IC)
US7336487B1 (en) * 2006-09-29 2008-02-26 Intel Corporation Cold plate and mating manifold plate for IC device cooling system enabling the shipment of cooling system pre-charged with liquid coolant
US7751918B2 (en) * 2007-01-05 2010-07-06 International Business Machines Corporation Methods for configuring tubing for interconnecting in-series multiple liquid-cooled cold plates
US7477517B2 (en) * 2007-01-29 2009-01-13 International Business Machines Corporation Integrated heat spreader and exchanger

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002093960A (ja) * 2000-09-12 2002-03-29 Nec Corp マルチチップモジュールの冷却構造およびその製造方法
JP2004235481A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Nec Corp ヒートシンクの保持装置、ヒートシンク付き半導体装置及び半導体装置の実装方法
US20050183848A1 (en) * 2004-02-25 2005-08-25 Ruei-Fu Cheng Coolant tray of liquid based cooling device
JP2006237369A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Fujitsu Ltd 電子装置及びスタンドオフ部材及び電子装置の製造方法
JP2008072062A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Toshiba Corp 実装構造、およびこれを備えた電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
EP2065935B1 (en) 2017-11-29
US20090314473A1 (en) 2009-12-24
WO2008035579A1 (fr) 2008-03-27
EP2065935A4 (en) 2012-01-11
EP2065935A1 (en) 2009-06-03
JPWO2008035579A1 (ja) 2010-06-17
US8432695B2 (en) 2013-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5252204B2 (ja) 冷却装置
JP5644767B2 (ja) 電子機器装置の熱輸送構造
JP5824662B2 (ja) ラック型サーバーを冷却する冷却装置とこれを備えたデータセンター
JP3594900B2 (ja) ディスプレイ装置一体型コンピュータ
JP4859823B2 (ja) 冷却装置およびそれを用いた電子機器
KR101005404B1 (ko) 흡열 부재, 냉각 장치 및 전자 기기
US20110315343A1 (en) Interleaved, immersion-cooling apparatuses and methods for cooling electronic subsystems
US20140085823A1 (en) Immersion-cooling of selected electronic component(s) mounted to printed circuit board
US20110315344A1 (en) Interleaved, immersion-cooling apparatus and method for an electronic subsystem of an electronics rack
JP2007116055A (ja) 電子機器および冷却モジュール
JP2009533764A (ja) 冷却装置
JP5664397B2 (ja) 冷却ユニット
JP2000049479A (ja) 電子装置
JP2008181530A (ja) 大部分をコンピュータ筐体外部に配置されて動作する1つまたは複数の熱交換部品
US8111516B2 (en) Housing used as heat collector
US10874034B1 (en) Pump driven liquid cooling module with tower fins
TW201334679A (zh) 散熱模組
JP5760797B2 (ja) 冷却ユニット
JP2005317033A (ja) ディスプレイ装置一体型コンピュータ及びこれに用いる冷却モジュール
TWM524499U (zh) 散熱模組
RU108264U1 (ru) Охлаждающее устройство для электронных компонентов
JP2004094961A (ja) ディスプレイ装置一体型コンピュータ及びこれに用いる冷却モジュール
JP2006190735A (ja) 冷却装置及びそれを備えた電子機器
JP2009088051A (ja) 電子機器用の冷却装置
JP2009187074A (ja) 電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100716

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120926

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121226

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130321

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130403

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5252204

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350