JP5248941B2 - セラミック部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
[第2の実施形態]
10A…未焼結積層体
11…セラミック基体
18,19…導体としてのビア導体
23…導体としての実装パッド
27…導体としての実装パッド
28…導体としての内層導体パターン
64,65,66…セラミックグリーンシート
76…ビア孔
77…導体ペースト
78…導体形成層
201…セラミック部品としてのビアアレイ型積層セラミックコンデンサ
204…セラミック基体としてのセラミック焼結体
211,212…導体としての第1外部電極
221,222…導体としての第2外部電極
231…導体としての第1ビア導体
232…導体としての第2ビア導体
241…導体としての第1内層電極
242…導体としての第2内層電極
Claims (9)
- 銅の融点よりも高い温度で焼結するセラミックを主体とするセラミック基体に導体が形成されたセラミック部品において、
前記導体は、チタンアルミナイド、チタン酸化物及びアルミニウム酸化物のうちから選択される少なくとも2種の無機化合物を主体とするフィラーと銅との混合相からなることを特徴とするセラミック部品。 - 前記チタン酸化物及び前記アルミニウム酸化物は、前記チタンアルミナイドが熱分解して酸化することにより生じたものであることを特徴とする請求項1に記載のセラミック部品。
- 前記無機化合物は、前記チタン酸化物及び前記アルミニウム酸化物を主体とし、前記導体における前記無機化合物の含有量が15体積%以上75体積%以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミック部品。
- 前記フィラーは、平均粒径が10μm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のセラミック部品。
- 前記導体は、電気抵抗率が20×10−8Ω・m以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のセラミック部品。
- 前記セラミック部品は、前記セラミック基体の内部に形成された内層導体パターン及びビア導体と、前記セラミック基体の表面上に形成された実装パッドとを備えるセラミック配線基板であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のセラミック部品。
- 前記セラミック部品は、主面及び裏面を有する板状をなし、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体を介して複数の内層電極が積層配置されてなるセラミック基体と、前記セラミック基体の厚さ方向に沿って延びる複数のビア孔内に形成され、前記複数の内層電極に対して接続する複数のビア導体と、前記複数のビア導体における少なくとも前記主面側の端部に接続するように配置された複数の外部電極とを備え、前記複数のビア導体が全体としてアレイ状に配置されているビアアレイ型積層セラミックコンデンサであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のセラミック部品。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のセラミック部品の製造方法であって、
銅粉末を含有し、少なくともチタンアルミナイドの粉末を含有する導体ペーストを準備する導体ペースト準備工程と、
銅の融点よりも高い温度で焼結するセラミックを主成分として含有するセラミックグリーンシート上に、前記導体ペーストを印刷塗布して導体形成層を形成する導体形成層形成工程と、
前記導体形成層が形成された前記セラミックグリーンシートを積層一体化して、未焼結積層体を作製する積層工程と、
前記セラミックが焼結しうる温度に前記未焼結積層体を加熱して、前記セラミックグリーンシート及び前記導体形成層を焼成する同時焼成工程と
を含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。 - 前記銅粉末の含有量が40体積%以上90体積%以下であり、前記チタンアルミナイドの粉末の含有量が10体積%以上60体積%以下であることを特徴とする請求項8に記載のセラミック部品の製造方法。
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