JP5247761B2 - Fib−sem複合装置 - Google Patents
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Images
Description
て画像を乱すことがない。
工領域全体に集束させない一様なイオンビームを照射させることでエッチング加工をすることに想到したものである。このような加工法を採用することにより、ビーム走査に対応して変動するノイズは無くなり、一様なバックグランドノイズがSEM信号に重畳されることとなるため、画像の乱れは生じない。
この加工を施すべき位置の顕微鏡像はSEM画像で得ることもでき、ダメージのない位置決めが可能である。
1a…FIB鏡筒のブランキング電極
2…チャンバー
3…二次電子検出器
4…試料ステージ
5、5a、5b…アパーチャ
10…SEM鏡筒
10a…SEM鏡筒のブランキング電極
CL…コンデンサレンズ
OL…対物レンズ
A…電流計
AP…増幅器
F…フィルター
Claims (2)
- 試料にイオンビームを照射するFIB鏡筒と、試料のイオンビームを照射する領域に電子ビームを走査照射するSEM鏡筒と、試料から放出された二次電子を検出する二次電子検出器とを有するFIB−SEM複合装置において、
前記試料を所望の形状に加工するためのスリットを有するFIB用のアパーチャと、
前記FIB用のアパーチャと接続されたビーム電流検出器と、
前記ビーム電流検出器で検出したビーム電流値からイオンビーム照射によるノイズレベルを演算し、前記イオンビームと前記電子ビームとを照射することにより前記試料から放出された二次電子の前記二次電子検出器から出力された検出信号から前記イオンビーム照射によるノイズレベルを補正するノイズレベル調整回路と、を有するFIB−SEM複合装置。 - 前記FIB用のアパーチャが、前記FIB鏡筒内の対物レンズと前記試料を載置するステージとの間に配置された請求項1に記載のFIB−SEM複合装置。
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