JP5247070B2 - 液晶表示パネル及びその製造方法 - Google Patents
液晶表示パネル及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5247070B2 JP5247070B2 JP2007154790A JP2007154790A JP5247070B2 JP 5247070 B2 JP5247070 B2 JP 5247070B2 JP 2007154790 A JP2007154790 A JP 2007154790A JP 2007154790 A JP2007154790 A JP 2007154790A JP 5247070 B2 JP5247070 B2 JP 5247070B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- interlayer film
- semiconductor layer
- auxiliary capacitance
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 109
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 83
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 46
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 23
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003471 anti-radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 231100000105 margin of exposure Toxicity 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
浅くなるようにし、短時間でコンタクトホールの形成ができるようにして製造効率を向上
させた液晶表示パネル及びその製造方法に関する。また、本発明は、フォトレジスト材料
からなる層間膜に形成するコンタクトホールの深さが浅くなるようにし、特に層間膜にコ
ンタクトホールと散乱凹凸部を同時に形成することができるようにして製造効率を向上さ
せた液晶表示パネル及びその製造方法に関する。
いては、透明基板上に形成された薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:TFT)等
のスイッチング素子と画素電極との間に層間膜が配置されており、この層間膜に形成され
たコンタクトホールを介して画素電極とスイッチング素子の電極とが電気的に接続されて
いる。
止等の目的で反射板及び画素電極が層間膜を介して信号線及び走査線の一部と重複するよ
うに設けられている。この場合、信号線と画素電極との間に生じる寄生容量が大きくなる
とフリッカないしクロストークが生じることが知られているため、層間膜にはある程度の
膜厚が必要である。そこで、下記特許文献1に開示されている反射部を有する液晶表示装
置においては、画素電極ないしは反射層が基板上の信号線と重なる領域の層間膜を凹凸構
造のないほぼ平坦な状態となし、この平坦な層間膜上に画素電極ないし反射層が位置する
ようにして、信号線と画素電極との間に生じる寄生容量を抑制するようにしている。
て表示画像の視認性を向上させるために、各画素部分の層間膜の表面に多数の散乱凹凸部
が形成されている。すなわち、半透過型液晶表示パネルにおいては、周囲の外光を利用し
て明るい表示を行なう際には、あらゆる角度からの入射光に対して表示画面に垂直な方向
へ散乱する光の強度を増加させる必要がある。そのため、散乱凹凸部によってあらゆる角
度からの入射光に対して観察者の方向へ散乱させるようにしている。
、凸部の裾の径は約10μm程度、凸部の高さは約0.5μm程度、また、凸部の傾斜角
度は10°以下、好ましくは7°程度に形成される。また、一画素における透過部及び反
射部の占める割合は調整可能であるが、あまり透過部の占める割合が多くなってしまうと
反射部の割合が少なくなるので、外光の反射量は減ってしまう。逆に透過部の占める割合
が少なすぎると外光の不足をバックライトの光で補うには不十分となってしまうので、液
晶表示パネルの用途に応じて適宜反射部及び透過部の割合が設定されている。
おり、露光装置上の制約や露光工程の時間短縮の目的から、反射板の散乱凹凸部と、コン
タクトホール部の一括露光が行われている(下記特許文献2参照)。
するように露光させる必要があるために長くなり、露光工程に必要とされる時間は実質的
にこのコンタクトホール部を形成するための露光時間によって決まってしまう。そのため
、短時間でコンタクトホールの形成ができるようにして製造効率を向上させるためには、
コンタクトホール形成部分の層間膜の厚さを薄くする必要がある。
乱凹凸部53を形成する必要がある場合、散乱凹凸部53は層間膜51の表面を部分的に
露光させればよいのに対しコンタクトホール52形成部分では層間膜51を貫通するよう
に露光させる必要があるため、必要な露光量が大きく異なっている。したがって、フォト
リソグラフィー法によって層間膜51にコンタクトホール52と散乱凹凸部53の両者を
同時に形成するには、グレイトーンマスクやハーフトーンマスク等の多階調マスク54を
用いることが行われている。
コンタクトホールを同時に形成する際の露光工程を示す模式断面図である。
4μmであり、コンタクトホール20形成部分が約8μmである。なお、散乱凹凸部53
は露光量によってでき上がりの凹凸形状が変化するため、散乱に最適な凹凸形状を得るた
めの最適な露光量によって露光される必要がある。このときのコンタクトホール52の形
成部分を完全に露光させるのに必要な露光量はそれ以下でなければならない。散乱に最適
な凹凸形状を得るための最適な露光量でコンタクトホール52の形成部分を完全に露光さ
せることができないと、図9に示したように、レジストが抜けきれず、コンタクト不良と
なってしまう。それに加えて、露光機の照度の変動などによる露光量の変動を考慮した露
光量のマージンが必要となる。
分のレジストの全てを露光させることができるようにするためには、コンタクトホール5
2の形成部分の層間膜の厚さを薄くし、散乱凹凸部の高さL1とコンタクトホール52の
形成部分の層間膜の厚さL2との差が小さくなるようにすればよい。しかしながら、寄生
容量を減らすために層間膜の厚さは厚くすることが要望されていること及び露光前の層間
膜は全面的に平坦面となるように形成されるため、特に製造工数を増やすことなくコンタ
クトホール52の形成部分の層間膜の厚さL2と散乱凹凸部の高さL1との差を小さくす
ることは困難であった。
Tのドレイン電極の下部に半導体層(「アイランド」ともいわれる。)を残して前記ドレ
イン電極の位置が高くなるようにすると、寄生容量を増大させることなく相対的にコンタ
クトホール部の層間膜の厚さを薄くすることができることを見出し、本発明を完成するに
至ったのである。
時間でコンタクトホールの形成ができるようにして製造効率を向上させた液晶表示パネル
及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、相対的にコンタクトホ
ール部の層間膜の厚さを薄くし、特に層間膜にコンタクトホールと散乱凹凸部を短時間に
同時に形成することができるようにして製造効率を向上させた液晶表示パネル及びその製
造方法を提供することを目的とする。
る位置の下部に半導体層を形成したため、このコンタクトホールに対応する位置に形成さ
れるフォトレジスト材料からなる層間膜の厚さは半導体層の厚さ分だけ薄くなる。したが
って、フォトリソグラフィー法によってフォトレジスト材料からなる層間膜にコンタクト
ホールを形成する際、露光させるべき層間膜の厚さが薄くなっているために露光時間を短
くすることができ、製造効率が向上した液晶表示パネルが得られる。
応する位置に形成される層間膜の厚さとの差が小さくなるため、多階調マスクを用いたフ
ォトリソグラフィー法によって容易に層間膜にコンタクトホールと散乱凹凸部を同時に形
成できるため、製造効率に優れた半透過型の液晶表示パネルが得られる。
が行われる。そのため、係る態様の液晶表示パネルによれば、それぞれ露光すべき厚さが
異なるコンタクトホール部と散乱凹凸部を同時に露光することができるため、製造工数を
増やすことなく、半透過型液晶表示パネルを短時間で効率よく製造することができるよう
になる。加えて、層間膜の凹凸形状の高さとコンタクトホールに対応する位置に形成され
る層間膜の厚さとの差が小さくなるため、露光機の照度の変動などに起因する露光量のマ
ージンを確保した上で、散乱に最適な凹凸形状を得るための最適な露光量でコンタクトホ
ール形成部分を完全に露光することができるようになる。
る。しかしながら、以下に示す実施例は、本発明をここに記載したものに限定することを
意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に示した技術思想を逸脱することなく種
々の変更を行ったものにも均しく適用し得るものである。
1画素分の平面図である。図2は図1のII−II線に沿った模式断面図である。図3は図2
のTFT部分及びコンタクトホール部分の模式拡大図である。図4は比較例1の透過型液
晶表示パネルの図3に対応する模式拡大図である。更に、図5は実施例2の半透過型液晶
表示パネルのカラーフィルタ基板を透視して表した1画素分の平面図である。図6は図5
のVI−VI線に沿った模式断面図である。図7は図6のTFT部分及びコンタクトホール部
分の模式拡大図である。図8は比較例2の半透過型液晶表示パネルの図7に対応する模式
拡大図である。
実施例1の透過型液晶表示パネル10Aを図1〜図3を用いて、また比較例1の透過型
液晶表示パネル10aを図4を用いて説明する。この実施例1の透過型液晶表示パネル1
0Aは互いに対向するアレイ基板AR及びカラーフィルタ基板CFを備えている。アレイ
基板ARはガラス基板等の透明基板11上にアルミニウムやモリブデン等の金属薄膜から
なる複数の走査線12及び補助容量電極13が平行になるように形成され、更に走査線1
2からTFT(Thin Film Transistor)のゲート電極Gが延設されている。
電極Gを覆うようにして窒化ケイ素等からなるゲート絶縁膜14が積層されている。そし
て、ゲート電極Gの上及び補助容量電極13の上それぞれにゲート絶縁膜14を介して例
えばアモルファスシリコン層又はポリシリコン層からなる半導体層15aが形成されてい
る。これらの半導体層15a及び15bは、ゲート絶縁膜14の表面全体に亘って半導体
層を形成した後にドライエッチングすることにより同時に形成し得る。
号線16が走査線12と直交するように形成され、この信号線16からTFTのソース電
極Sが延設されてゲート電極G上の半導体層15aの一部と接触されている。また、ゲー
ト絶縁膜14上には信号線16及びソース電極Sと同一の材料でかつ同時に形成されたド
レイン電極Dが設けられており、このドレイン電極Dもゲート電極G上の半導体層15a
の一部と接触されているとともに補助容量電極13上の半導体層15bの表面を被覆する
ように形成されている。
電極G、ゲート絶縁膜14、半導体層15、ソース電極S、ドレイン電極Dによってスイ
ッチング素子となるTFTが構成され、それぞれの画素にこのTFTが形成されている。
この場合、ドレイン電極Dと補助容量電極13によって各画素の補助容量を形成すること
になる。
面全体にわたり、例えば窒化硅素等からなるパッシベーション膜17が積層され、このパ
ッシベーション膜17上に有機絶縁物層からなる層間膜18がアレイ基板ARの表面全体
にわたり積層されている。
位置にコンタクトホール20が形成され、それぞれの画素毎に層間膜18の表面にはIT
O(Indium Tin Oxide)ないしIZO(Indium Zinc Oxide)等の透明導電性材料からな
る画素電極22が形成され、更に、画素電極22の表面に全ての画素を覆うように配向膜
(図示せず)が積層されている。
られたそれぞれの画素に対応して、例えば赤色(R)、緑色(G)、青色(B)からなる
カラーフィルタ層26がストライプ状に形成されるように設けられており、更に、このカ
ラーフィルタ層26の表面には共通電極及び配向膜(いずれも図示せず)が積層されてい
る。そして、アレイ基板AR及びカラーフィルタ基板CFの間に液晶層27を封入するこ
とにより実施例1の液晶表示パネル10Aが形成される。
13上のゲート絶縁膜14の表面に半導体層が形成されていない外は、実施例1の透過型
液晶表示パネル10Aと実質的に同一の構成を備えている。したがって、図4においては
実施例1の透過型液晶表示パネル10Aと同一の構成部分には同一の参照符号を付与して
、その詳細な説明は省略する。
コンタクトホール20の部分の層間膜18の厚さx1は、比較例1の透過型液晶表示パネ
ル10Aのコンタクトホール20の部分の層間膜18の厚さx2よりも半導体層15bの
厚さに相当する分だけ薄くなっている。したがって、実施例1の透過型液晶表示パネル1
0Aにおけるコンタクトホール形成用のフォトレジストからなる層間膜18の露光時間は
、比較例1のものよりも短くて済むことが分かる。そのため、実施例1の透過型液晶表示
パネル10Aは比較例1の透過型液晶表示パネル10aよりも短時間で製造することがで
きるため、製造効率が向上する。
実施例2の半透過型液晶表示パネル10Bを図5〜図7を用いて、また比較例2の透過
型液晶表示パネル10bを図8を用いて説明する。なお、実施例2の半透過型液晶表示パ
ネル10Bにおいて実施例1の透過型液晶表示パネル10Aと同一の構成部分には同一の
参照符号を付与して、その詳細な説明は省略する。
晶表示パネル10Aのアレイ基板と構成が相違する点は、
(1)各画素部分の層間膜18表面は部分的に多数の散乱凹凸部19が形成されていると
ともに、散乱凹凸部19が形成されていない部分は表面が平らにされている点、
(2)層間膜18のコンタクトホール20部分及び散乱凹凸部19表面を被覆するように
、それぞれの画素毎に独立して例えばアルミニウム等からなる反射板21が形成されてい
る点、
(3)それぞれの画素毎にこの反射板21の表面及び層間膜18の平らな表面にはITO
ないしIZO等の透明導電性材料からなる画素電極22が形成されている点、
である。
に設けられるものである。なお、図5においてはこの散乱凹凸部19は省略されている。
このうち、それぞれの画素毎に反射板21が形成されている部分が反射部23を形成し、
反射板21が設けられていない部分が透過部24を形成する。
とおり、パッシベーション膜17を形成する。次いで、パッシベーション膜17の表面に
例えばネガ型のフォトレジストからなる層間膜18形成材料を0.5〜5μmの厚さに塗
布し、その後、温度70℃〜120℃でプリベークを行う。
ホール形成部分を同時に露光する。このグレイトーンマスクは、反射部側に散乱用の凹凸
を形成するために所望のピッチの開口量とされたスリットを有し、また、コンタクトホー
ル形成部分では層間膜18を貫通するように露光する必要があるため、開口量は最大に設
定されている。このようなグレイトーンマスクを上記プリベークの施された層間膜18の
前に配置し、露光光源を発光させ1回の露光を行う。なお、光源の発光強度は一定でよく
、25〜500mJの強度とする。
%の濃度のTMAH(teramethyl ammonium hydroxide)溶液(例えば0.2%濃度)を
用い、現像時間は、20〜120secとする。なお、現像後のポストベースは行わなく
てもよい。現像終了後には、ブリーチングを行う。このブリーチングは、例えば低圧水銀
ランプを使用し、基板に短波長UV光(254nm〜185nm)を照射することで実行
する。ブリーチングの強度は200mJ〜5000mJとする。ブリーチング後には層間
膜18の焼成を行う。具体的には、まず、メルトベークを80℃〜180℃の温度で1〜
20min実行し、続けて焼成ベークを140℃から300℃の温度で15〜180mi
nの時間実行する。
凸部19が形成される。そして層間膜18の表面に反射板21の材料を成膜し、コンタク
トホール形成位置を取り除くとともに、散乱凹凸部19に対応させて反射板21としての
所定の形状を形成する。そしてパッシベーション膜17のコンタクトホール形成位置にド
ライエッチング法により所定の大きさの穴を形成してドレイン電極Dの表面を露出させる
。これにより、層間膜18を貫通してTFTのドレイン電極Dの表面に至るコンタクトホ
ール20が形成される。
極13上のゲート絶縁膜14の表面に半導体層が形成されていない外は、実施例2の半透
過型液晶表示パネル10Bと実質的に同一の構成を備えている。したがって、図8におい
ては実施例2の半透過型液晶表示パネル10Bと同一の構成部分には同一の参照符号を付
与して、その詳細な説明は省略する。
のコンタクトホール20の部分の層間膜18の厚さx3は、比較例2の半透過型液晶表示
パネル10bのコンタクトホール20の部分の層間膜18の厚さx5よりも半導体層15
bの厚さに相当する分だけ薄くなっている。したがって、実施例2の透過型液晶表示パネ
ル10Bにおけるコンタクトホール形成用のフォトレジストからなる層間膜18の露光時
間は、比較例2のものよりもよりも短くて済むことが分かる。
間膜18の厚さx3と散乱凹凸部の高さx4との差は、比較例2の半透過型液晶表示パネ
ル10bのコンタクトホール20の部分の層間膜18の厚さx5と散乱凹凸部の高さx6
との差よりも小さくなっている。そのため、実施例2の半透過型液晶表示パネル10Bの
フォトレジスト材料からなる層間膜18の露光に際し、比較例2の半透過型液晶表示パネ
ル10bの製造用に最適化された多階調マスクを用いて露光すると、先にコンタクトホー
ル20の形成部分のレジストが全て露光された後に散乱凹凸部19が所望の形状となるよ
うに露光されるようになる。
膜18の露光に際しては、比較例2の場合と比すると、半導体層15bの厚さに相当する
分だけ余計に露光量のマージンを確保することができるため、露光機の照度の変動などに
よる露光量の変動に十分に対処することが可能となる。
するのに必要な露光量をJh1(比較例2)、Jh2(実施例2)、最低限に必要な露光
量マージンをJmとおくと、露光機の照度の変動などによる露光量の変動を考慮してもコ
ンタクトホール部に未露光部分が生じないようにするためには、比較例2では下記式(1
)を、実施例2では下記式(2)を満たす必要がある。
Ji>Jh1+Jm (1)
Ji>Jh2+Jm (2)
しかしながら、実施例2のコンタクトホール20部分の層間膜の厚さは比較例のものよ
りも半導体層15bの部分だけ薄いから、下記式(3)が成立する。
Jh1>Jh2 (3)
従って、実施例2では(Jh1−Jh2)だけ比較例2の場合に比して露光量のマージ
ンが増加することが分かる。
したが、ハーフトーンマスクを用いても同様の作用効果を奏することができる。また、一
度の露光で層間膜に散乱凹凸部とコンタクトホール部とを同時に形成するために、散乱凹
凸部形成のためのマスクとコンタクトホール形成用のマスクとを組み合わせ、擬似的な多
階調マスクとしたものを用いることもできる。
4:ゲート絶縁膜 15、15a、15b:半導体層 16:信号線 17:パッシベー
ション膜 18:層間膜 19:散乱凹凸部 20:コンタクトホール 21:反射板
22:画素電極 23:反射部 24:透過部 25:ガラス基板 26:カラーフィル
タ層 27:液晶層
Claims (2)
- それぞれの画素領域毎に、フォトレジスト材料からなる層間膜と透明基板との間に形成されたスイッチング素子としての薄膜トランジスタと、前記層間膜の表面に形成された画素電極と、を備える液晶表示パネルにおいて、
前記透明基板に形成された補助容量電極の表面及び前記薄膜トランジスタのゲート電極を覆って、前記透明基板の表面全体に積層された絶縁膜と、
前記補助容量電極の表面及び前記薄膜トランジスタのゲート電極に対応する前記絶縁膜の領域上に形成された半導体層と、
前記薄膜トランジスタの半導体層の一部に接触するとともに、前記補助容量電極の表面上の半導体層を被膜して形成された前記薄膜トランジスタのドレイン電極と、
前記補助容量電極の表面上の半導体層に対応する領域に積層された前記層間膜に形成され、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と前記画素電極とを電気的に接続するコンタクトホールと、
前記コンタクトホールを形成する際に前記画素電極と前記層間膜の間に部分的に形成され、下部の前記層間膜の表面に凹凸形状が形成される反射板と、
を有し、
前記補助容量電極の表面上の半導体層は、前記補助容量電極の表面に対応する領域を超えない大きさで、かつ前記ドレイン電極側の前記コンタクトホールの大きさよりも大きく形成される、液晶表示パネル。 - 透明基板上のそれぞれの画素領域毎に、スイッチング素子としての薄膜トランジスタを形成した後、フォトレジスト材料からなる層間膜を形成し、前記層間膜の表面に画素電極を形成する工程を含む液晶表示パネルの製造方法において、
前記透明基板に形成された補助容量電極の表面及び前記薄膜トランジスタのゲート電極を覆って、前記透明基板の表面全体に絶縁膜を積層する工程と、
前記補助容量電極の表面及び前記薄膜トランジスタのゲート電極に対応する前記絶縁膜の領域上に半導体層を形成する工程、
前記薄膜トランジスタの半導体層の一部に接触するとともに、前記補助容量電極の表面上の半導体層の表面を被膜して前記薄膜トランジスタのドレイン電極を形成する工程と、
フォトリソグラフィー法によって、前記補助容量電極の表面上の半導体層に対応する領域に積層された前記層間膜に、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と前記画素電極とを電気的に接続するコンタクトホールを形成する際に、多階調マスクを用い、前記コンタクトホールの形成と同時に前記各画素領域間の前記層間膜の表面に部分的に散乱凹凸部を形成し、前記画素電極の形成前に前記層間膜の散乱凹凸部の表面に反射板を形成する工程と、
を有し、
前記半導体層を形成する工程は、前記補助容量電極の上の半導体層を、前記補助容量電極の表面に対応する領域を超えない大きさで、かつ前記ドレイン電極側の前記コンタクトホールの大きさよりも大きく形成する、液晶表示パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007154790A JP5247070B2 (ja) | 2007-06-12 | 2007-06-12 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007154790A JP5247070B2 (ja) | 2007-06-12 | 2007-06-12 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008309831A JP2008309831A (ja) | 2008-12-25 |
JP5247070B2 true JP5247070B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=40237522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007154790A Active JP5247070B2 (ja) | 2007-06-12 | 2007-06-12 | 液晶表示パネル及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5247070B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014054487A1 (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-10 | シャープ株式会社 | 液晶パネル、及び製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3367821B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2003-01-20 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板 |
JP3868649B2 (ja) * | 1999-01-22 | 2007-01-17 | 株式会社アドバンスト・ディスプレイ | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP4063733B2 (ja) * | 2002-07-10 | 2008-03-19 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 半透過型液晶表示装置及びその製造方法 |
KR101189271B1 (ko) * | 2005-07-12 | 2012-10-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
-
2007
- 2007-06-12 JP JP2007154790A patent/JP5247070B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008309831A (ja) | 2008-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7488983B2 (en) | Transflective liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
JP2007212969A (ja) | 反射板及び該反射板を備える液晶表示装置並びにその製造方法 | |
US20110220902A1 (en) | Transflective Liquid Crystal Display Device and Method of Fabricating the Same | |
CN1707340A (zh) | 液晶显示器件及其制造方法 | |
JP2006259745A (ja) | 半透過型液晶表示装置パネル及びその製造方法 | |
JP4452213B2 (ja) | 反射−透過型液晶表示装置 | |
US8178262B2 (en) | Method for fabricating color filter layer | |
US9638971B2 (en) | Liquid crystal display device having asymmetrical through hole | |
JP2007156019A (ja) | 表示装置とその製造方法 | |
US8241935B2 (en) | Method of fabricating liquid crystal display device having concave reflector | |
JP2007114770A (ja) | アレイ基板及びその製造方法並びにそれを有する液晶表示装置 | |
US7907244B2 (en) | Manufacturing process of transflective pixel structure | |
KR20060018137A (ko) | 반투과 액정표시장치와 그 제조방법 | |
JP5247070B2 (ja) | 液晶表示パネル及びその製造方法 | |
CN1492265A (zh) | 滤色板、其制造方法及包括滤色板的液晶显示器 | |
JP4334258B2 (ja) | 表示装置 | |
US20080074590A1 (en) | Color filter substrate and liquid crystal display apparatus having the same | |
JP2010181474A (ja) | 薄膜トランジスタアレイ基板、反射型液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP2006215062A (ja) | 液晶表示パネル、液晶表示装置、および液晶表示パネルの製造方法 | |
JP4905261B2 (ja) | 反射板を有する表示パネルの製造方法 | |
TWI406070B (zh) | 薄膜電晶體基板、顯示面板、顯示裝置及其製造方法 | |
KR100995581B1 (ko) | 컬러필터기판, 이를 갖는 액정표시장치 및 이의 제조방법 | |
TWI744034B (zh) | 顯示面板 | |
JP4565568B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2003167261A (ja) | 液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20100517 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100526 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120313 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130319 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130409 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5247070 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |