JP5246172B2 - 測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置 - Google Patents

Description

本発明は測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関し、詳しくは、電子部品の電気特性を、試験測定治具に実装した状態で測定した結果から、その電子部品を基準測定治具に実装して測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置に関する。

従来、表面実装型電子部品などの同軸コネクタを有しない電子部品は、同軸コネクタを有する測定治具に実装し、測定治具と測定装置の間を同軸ケーブルを介して接続して、電気特性が測定されることがある。このような測定においては、個々の測定治具の特性のばらつきや、個々の同軸ケーブル及び測定装置の特性のばらつきが、測定誤差の原因となる。

同軸ケーブル及び測定装置については、基準特性を有する標準器を同軸ケーブルを介して測定装置に接続して測定することにより、標準器を接続した同軸ケーブル先端よりも測定装置側の誤差を同定することができる。

しかし、測定治具については、電子部品を実装する部分の接続端子と同軸ケーブルに接続するための同軸コネクタとの間の電気特性の誤差を精度よく同定することができない。また、測定治具間の特性が一致するように調整することは容易ではない。特に広い帯域幅で、測定治具間の特性が一致するように測定治具を調整することは、極めて困難である。

そこで、補正データ取得用試料を複数の測定治具に実装して測定し、測定治具間における測定値のばらつきから、ある測定治具（以下、「基準測定治具」という。）と他の測定治具（以下、「試験測定治具」という。）との間の相対的な誤差を補正する数式を予め導出しておき、任意の電子部品の電気特性について、試験測定治具に実装した状態で測定した測定値から、この数式を用いて、その電子部品を基準測定治具に実装して測定した測定値の推定値を算出する、いわゆる相対補正法が提案されている。

例えば、基準測定治具はユーザに対して電気特性を保証するために用い、試験測定治具は電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる。

具体的には、各ポートについて、試験測定治具誤差を除去する散乱行列Ｓ_Ｔと基準測定治具誤差の散乱行列を合成した散乱行列（これを、「相対補正アダプタ」という。）をそれぞれ導出する。その相対補正アダプタを、試験測定治具測定値の散乱行列に対し合成することで、基準測定治具測定値の推定値を算出する。相対補正アダプタは、ポートごとに基準測定治具、試験測定治具の両方で少なくとも３つの１ポート補正データ取得用試料（例えば、Ｏｐｅｎ、Ｓｈｏｒｔ，Ｌｏａｄのようなもの）を測定し、この測定結果から計算できる。（例えば、特許文献１、非特許文献１、２参照）。
特許第３５５８０７４号公報 ＧＡＫＵ ＫＡＭＩＴＡＮＩ（Ｍｕｒａｔａ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．） "Ａ ＭＥＴＨＯＤ ＴＯ ＣＯＲＲＥＣＴ ＤＩＦＦＥＲＥＮＣＥ ＯＦ ＩＮ−ＦＩＸＴＵＲＥ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ ＡＭＯＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＳ ＯＮ ＲＦ ＤＥＶＩＣＥＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．２， ｐ１０９４−１０９７， ２００３ Ｊ．Ｐ．ＤＵＮＳＭＯＲＥ， Ｌ．ＢＥＴＴＳ （Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ） "ＮＥＷ ＭＥＴＨＯＤＳ ＦＯＲ ＣＯＲＲＥＬＡＴＩＮＧ ＦＩＸＴＵＲＥＤ ＭＥＡＳＵＲＥＭＥＮＴＳ" ＡＰＭＣ Ｖｏｌ．１， ｐ５６８−５７１， ２００３

しかしながら、上記の相対補正アダプタは、測定治具のポート間を直接伝わり、ポート間に接続された電子部品には伝達されない漏洩信号成分に関しては、補正する対象として取り扱っていない。そのため、少なからず測定治具に存在する漏洩信号成分によって、必ず補正誤差が残る。

このような補正誤差によって、選別工程において良否判定のマージンを補正誤差分だけ大きくする必要が出てくるので、良品率低下の原因となる。

また、今後、電子部品の小型化が進むに従い、ポート間の距離が短くなり、電子部品を測定する測定治具の漏洩信号成分が大きくなるため、補正誤差も必然的に大きくなる。そのため、良否判定のマージンを大きくするだけでは対応できなくなり、選別工程において良否判定そのものができなくなる可能性がある。

本発明は、かかる実情に鑑み、測定治具のポート間の漏洩信号成分による補正誤差をなくして補正精度を向上することができる、測定誤差の補正方法及び電子部品特性測定装置を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した測定誤差の補正方法を提供する。

測定誤差の補正方法は、２ポート以上の任意のｎポートを有する電子部品について、試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する方法である。測定誤差の補正方法は、（１）互いに異なる電気特性を有する少なくとも３個の第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第１のステップと、（２）ａ）前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料、ｂ）前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも３個の第２の補正データ取得試料、又はｃ）前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第２のステップと、（３）同一の電子部品について前記試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式であって、前記基準測定治具と前記試験測定治具との少なくとも一方の少なくとも２つのポート間において当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定した相対誤差補正回路網モデルのパラメータを用いて表される数式を、前記第１及び第２のステップで測定した測定値のみを使用し、前記相対誤差補正回路網モデルの前記パラメータを導出することにより決定する第３のステップと、（４）任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第４のステップと、（５）前記第４のステップで測定した結果から、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する第５のステップとを備える。

上記方法によれば、ポート間の漏洩信号を想定した数式を用いて電気特性を推定するので、ポート間の漏洩信号が存在する試験測定治具や基準測定治具を用いて相対補正を行うときには、ポート間の漏洩信号を全く想定していない数式を用いて電気特性を推定する場合よりも、測定誤差の補正精度が向上する。

なお、第１、第２及び第４のステップにおいて、試験測定治具又は基準測定治具に接続して電気特性を測定する測定系は、同一特性を有するとみなせればよいので、物理的に異なる測定系、例えば異なる測定装置や接続ケーブル等を用いてもよい。

好ましくは、前記基測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて、前記漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、前記第１のステップにおいて、互いに異なる電気特性を有する少なくとも５個の前記第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定する。前記第２のステップにおいて、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも５個の前記第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の前記第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する。前記第３のステップにおいて、前記第１及び第２のステップで測定した結果から決定する前記数式は、前記基準測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて全てのポートの漏洩信号を補正することを想定した数式である。

すなわち、基準測定治具と試験測定治具のそれぞれで漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、全ポートの漏洩信号を補正することを想定した数式にする必要がある。例えば、３個のポートを有する電子部品において、ポート１−２間にのみ漏洩がある場合、補正データ取得用試料は３個でよい。ポート１−２間及びポート１−３間に漏洩がある場合、ポート２−３間にも漏洩があり、それをも補正することを想定した数式にする必要がある。その際には、補正データ取得用試料は５個必要になる。

前記第３のステップで決定する前記数式は、任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された相対誤差補正回路網モデルについて、（ａ）前記基準測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ_Ｄｍと、（ｂ）前記試験測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ_Ｔｍと、（ｃ）前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡとを用いて表される次の式、

に対してＴ_ＣＡをＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化することで算出される、前記任意の一つの要素で規格化された前記回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡ′である。

この場合、漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続されている相対誤差補正回路網を用いることにより、測定誤差の補正精度が向上する。

上記［数１］に、同一又は同一とみなせる補正データ取得用試料について、第１のステップで測定したＳ_Ｄと、第２のステップで測定したＳ_Ｔを代入し、Ｔ_ＣＡ′を未知数として算出する。

相対補正回路網モデルのＴ_ＣＡ′が決まると、第５のステップにおいて、第４のステップで測定した試験測定治具におけるＳパラメータから、基準測定治具におけるＳパラメータを算出することができる。

好ましくは、前記第５のステップで電気特性を算出する前記数式は、任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された回路網モデルについて、（ａ）前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろうＳパラメータＳ_Ｄと、（ｂ）前記試験測定治具における前記電子部品測定値のＳパラメータＳ_Ｔと、（ｃ）前記第３のステップで算出された前記相対誤差補正回路網モデルのＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化された前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡ′をｎ×ｎに分割した正方行列、Ｔ_ＣＡ１１′、Ｔ_ＣＡ１２′、Ｔ_ＣＡ２１′、Ｔ_ＣＡ２２′とを用いて表される次の式、

に基づいて算出されるＳ_Ｄである。

この場合、Ｔ_ＣＡをＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化することで、［数１］からＴ_ＣＡ′を精度よく導出することが可能となり、その結果［数２］を用いて試験測定治具におけるＳパラメータから、基準測定治具におけるＳパラメータを算出することができるようになる。

また、本発明は、以下のように構成した電子部品特性測定装置を提供する。

電子部品特性測定装置は、２ポート以上の任意のｎポートを有する電子部品について、試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する。電子部品特性測定装置は、（１）同一の電子部品について前記試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式であって、前記基準測定治具と前記試験測定治具との少なくとも一方の少なくとも２つのポート間において当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定した相対誤差補正回路網モデルのパラメータを用いて表され、互いに異なる電気特性を有する少なくとも３個の第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第１の測定結果と、前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも３個の第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第２の測定結果とのみを使用し、前記相対誤差補正回路網モデルの前記パラメータを導出することにより決定された数式を記憶する数式記憶手段と、（２）任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、前記数式記憶手段に記憶された前記数式を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電気特性推定手段とを備える。

この場合、数式記憶手段に記憶された数式を用いて、基準測定治具に実装された状態での電気特性の推定値を算出することができる。

なお、電子部品特性測定装置は、基準測定治具や試験測定治具を介して電子部品の特性を測定する測定手段を備えたり、測定手段で測定した結果の全部又は一部を用いて、測定部数式記憶手段に記憶される数式を導く数式算出手段を備えたりしてもよい。

好ましくは、前記基測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて、前記漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、前記数式記憶手段が記憶する前記数式は、互いに異なる電気特性を有する少なくとも５個の前記第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記第１の測定結果と、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも５個の前記第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の前記第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記第２の測定結果とから、前記基準測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて全てのポートの漏洩信号を補正することを想定して決定される。

前記数式記憶手段が記憶する前記数式は、任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された相対誤差補正回路網モデルについて、（ａ）前記基準測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ_Ｄｍと、（ｂ）前記試験測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ_Ｔｍと、（ｃ）前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡとを用いて表される次の式

に対してＴ_ＣＡをＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化することで算出される、前記任意の一つの要素で規格化された前記回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡ′である。

好ましくは、前記電気特性推定手段が、任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出するときに用いる前記数式記憶手段に記憶された前記数式は、任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された回路網モデルについて、（ａ）前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろうＳパラメータＳ_Ｄと、（ｂ）前記試験測定治具における前記電子部品測定値のＳパラメータＳ_Ｔと、（ｃ）前記第１の測定結果と前記第２の測定結果とから算出された前記相対誤差補正回路網モデルのＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化された前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡ′をｎ×ｎに分割した正方行列、Ｔ_ＣＡ１１′、Ｔ_ＣＡ１２′、Ｔ_ＣＡ２１′、Ｔ_ＣＡ２２′とを用いて表される次の式、

に基づいて算出されるＳ_Ｄである。

本発明によれば、測定治具のポート間の漏洩信号成分による補正誤差をなくして、補正精度を向上することができる。これにより、電子部品の良品率向上、高精度な特性保証が可能となる。また、電子部品の小型化によって漏洩信号成分が大きくなっても、補正精度を向上することで、電子部品の小型化に容易に対応することができる。さらに、測定治具は、漏洩信号に対して入念に配慮して設計・製作する必要がなくなるので、低コスト化を図ることができる。

２ポート測定系のシグナルフローダイヤグラムである。（従来例） ２ポート測定系のシグナルフローダイヤグラムである。（本発明） ３ポート測定系のブロック図である。（本発明） 測定状態を示す説明図である。（実施例） 補正データ取得試料の説明図である。（実施例） 相対補正結果を示すグラフである。（実施例） 相対補正結果を示すグラフである。（従来例） 相対補正結果を示すグラフである。（実施例） 相対補正結果を示すグラフである。（従来例） 測定系の説明図である。 相対補正法の基本原理を示す２端子対回路図である。（従来例） 相対補正法の基本原理を示す２端子対回路図である。（従来例） 漏洩信号の説明図である。

符号の説明

２０，２０ａ 基準測定治具
２０ｘ 漏洩信号
２１，２１ａ 端子
３０，３０ａ 試験測定治具
３０ｘ 漏洩信号
３１，３１ａ 端子
３２，３２ａ 相対補正アダプタ

以下、本発明の実施の形態について、図１〜図１１を参照しながら説明する。

＜測定系＞ 図８に示すように、電子部品２（例えば、高周波受動電子部品である表面弾性波フィルタ）は、測定治具１２に実装された状態で、測定装置１０（例えば、ネットワークアナライザ）によって、その電気特性が測定される。測定治具１２の同軸コネクタ１２ａと測定装置１０との間は、同軸ケーブル１４によって接続される。矢印１６で示すように、電子部品２を測定治具１２の装着部１２ｂに実装すると、電子部品２の端子２ａが測定装置１０に電気的に接続される。測定装置１０は、電子部品２の端子２ａのうち、ある端子に信号を入力し、他の端子からの出力信号を検出することによって、電子部品２の電気特性を測定する。

測定装置１０は、所定のプログラムにしたがって、測定データに対して演算処理を行い、電子部品２の電気特性を算出する。この場合、測定装置１０は、内部メモリや記録媒体などから、測定値や演算に用いるパラメータなどの必要なデータを読み出したり、外部機器（例えば、サーバー）と通信して必要なデータを読み出したりする。測定装置１０は、複数の機器に分割することも可能である。例えば、測定のみを行う測定部と、測定データの入力を受け付けて演算処理や良否判定などを行う演算部とに分割してもよい。

なお、測定装置１０は、後述する相対補正を行うための数式のデータをメモリ等の数式記憶手段に記憶し、そのデータを用いて、任意の電子部品について相対補正により電気特性の推定値をＣＰＵ等の電気特性推定手段により算出することができればよい。すなわち、測定装置１０は、それ自体が測定と演算を行って相対補正を行うための数式を決定するものであっても、別の測定装置で測定したデータを用いて相対補正のための数式を決定するものであっても、さらには、別の測定装置で決定された相対補正を行うための数式のデータを記憶し、そのデータを用いて、任意の電子部品について相対補正による電気特性の推定値を算出するものであってもよい。

測定治具１２は、同一特性のものを複数個製作することは困難である。そのため、同一の電子部品２であっても、測定に用いる測定治具１２が異なると、測定治具ごとに特性のばらつきがあるため、測定結果も異なる。例えば、ユーザに対して電気特性を保証するために用いる測定治具（基準測定治具）と、電子部品の製造工程における良品選別のための測定に用いる測定治具（試験測定治具）とで、測定結果が異なる。このような測定治具間の測定値の差は、相対補正法によって補正することができる。

＜従来例の相対補正法＞ 次に従来例の相対補正法の基本原理について、図９及び図１０を参照しながら説明する。以下では、簡単のため、２ポート間の電気特性について２端子対回路を例に説明するが、ｎ端子対回路（ｎは、１、又は３以上の整数）に対しても拡張することができる。

図９（ａ）は、２ポートの電子部品（以下、「試料ＤＵＴ」という。）を実装した基準測定治具の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（Ｓ_ＤＵＴ）で表している。基準測定治具における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（Ｅ_Ｄ１），（Ｅ_Ｄ２）で表している。回路の両側の端子において、基準測定治具に試料ＤＵＴを実装した状態での測定値（以下、「基準測定治具測定値」ともいう。）Ｓ_１１Ｄ，Ｓ_２１Ｄが得られる。

図９（ｂ）は、試料ＤＵＴを実装した試験測定治具の２端子対回路を示す。試料ＤＵＴの特性を散乱行列（Ｓ_ＤＵＴ）で表している。試験測定治具における同軸コネクタと試料ＤＵＴのポートとの間の誤差特性を散乱行列（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）で表している。回路の両側の端子において、試験測定治具に試料ＤＵＴを実装した状態での測定値（以下、「試験測定治具測定値」ともいう。）Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔが得られる。

図９（ｃ）は、図９（ｂ）の回路の両側に、誤差特性（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）を中和するアダプタ（Ｅ_Ｔ１）^−１，（Ｅ_Ｔ２）^−１を接続した状態を示す。このアダプタ（Ｅ_Ｔ１）^−１，（Ｅ_Ｔ２）^−１は、理論上は、誤差特性の散乱行列（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）を伝送行列に変換し、その逆行列を求め、再度散乱行列に変換することにより得られる。誤差特性（Ｅ_Ｔ１），（Ｅ_Ｔ２）とアダプタ（Ｅ_Ｔ１）^−１，（Ｅ_Ｔ２）^−１との間の境界部分８０，８２において、試験測定治具に試料ＤＵＴを実装して測定した試験測定治具測定値Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔが得られる。図９（ｃ）の回路両側の端子において、試験測定治具の誤差が除去され、試料ＤＵＴそのものの測定値Ｓ_{１１ＤＵＴ}，Ｓ_{２１ＤＵＴ}が得られる。

図９（ｃ）の回路は試料ＤＵＴのみと等価であるので、図９（ａ）と同様に、両側に、基準測定治具の誤差特性の散乱行列（Ｅ_Ｄ１），（Ｅ_Ｄ２）を接続すると、図１０（ａ）のようになる。

図１０（ａ）において符号８４で示した（Ｅ_Ｄ１），（Ｅ_Ｔ１）^−１を合成した散乱行列を（ＣＡ１）とし、符号８６で示した（Ｅ_Ｔ２）^−１，（Ｅ_Ｄ２）を合成した散乱行列を（ＣＡ２）とすると、図１０（ｂ）のようになる。これらの散乱行列（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、いわゆる「相対補正アダプタ」であり、試験測定治具測定値Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔと基準測定治具測定値Ｓ_１１Ｄ，Ｓ_２１Ｄとを関連付ける。したがって、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）が決まれば、任意の電子部品を試験測定治具に実装した状態での試験測定治具測定値Ｓ_１１Ｔ，Ｓ_２１Ｔから、相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）を用いて、基準測定治具測定値Ｓ_１１Ｄ，Ｓ_２１Ｄを算出（推定）することができる。

相対補正アダプタ（ＣＡ１），（ＣＡ２）は、それぞれ、４つの係数ｃ_００，ｃ_０１，ｃ_１０，ｃ_１１；ｃ_２２，ｃ_２３，ｃ_３２，ｃ_３３を含むが、相反定理により、ｃ_０１＝ｃ_１０、ｃ_２３＝ｃ_３２となる。したがって、各ポート間について、特性の異なった３種類の１ポート標準試料(補正データ取得用試料)を基準測定治具と基準測定治具とに実装して測定した測定値を用いて、各係数ｃ_００，ｃ_０１，ｃ_１０，ｃ_１１；ｃ_２２，ｃ_２３，ｃ_３２，ｃ_３３を決定することができる。

相対補正アダプタを算出するための補正データ取得用試料の基本特性は、各ポート間の伝達係数が十分に小さく、かつ同一ポート・同一周波数における反射係数特性が、各補正データ取得用試料間でそれぞれ異なっている必要がある。反射係数なので、開放、短絡及び終端を形成するのが、上述の補正データ取得用試料の基本特性を充足するのに容易である。また、補正データ取得用試料の外形は、補正対象試料と同様に測定治具に取り付け可能な外形であることが好ましい。

各ポート間における開放、短絡及び終端は、測定対象となる試料と同一のパッケージの内部等において、パッケージの信号線とグランドをリード線、チップ抵抗器などで接続することなどにより実現することができる。しかし、この方法では測定対象となる試料が小型化すると、パッケージ内部等にチップ抵抗器などの部材を配置することが困難となり、補正データ取得用試料を製作できなくなり、その結果、相対補正法を用いて製品の良品選別を行うことができなくなる可能性がある。

これに対する対策として、測定対象となる試料（電子部品）の製造工程を利用して、補正データ取得用試料を製作する。この場合、商品としての電子部品を製造する製造ライン、電子部品の試作品を実験的に製造する製造ライン、又は両者の折衷形態のいずれを用いて補正データ取得用試料を製作してもよい。

また、基準測定治具に実装する補正データ取得用試料と、試験測定治具に実装する補正データ取得用試料とは、原理的には同一の電気特性であれば十分であるので、同じものでなくてもよい。例えば、同一の電気特性を有するとみなせる複数個の補正データ取得用試料を用意しておき、用意した補正データ取得用試料の中から任意に選択した別個の補正データ取得用試料を、それぞれ、基準測定治具と試験測定治具に実装して測定しても、相対補正アダプタを導出することができる。

ところで、図１１（ａ）の説明図において矢印８ａで示すように、測定治具１２ａのポート１、２の信号経路４ａ，５ａ間を直接伝わり、測定治具１２ａに実装された電子部品２ｓのポート１、２間には伝達されない漏洩信号成分が、少なからず存在する。また、図１１（ｂ）の説明図において矢印８ｂで示すように、測定治具１２ｂの接近したポート２、３間を直接伝わる漏洩信号成分は、大きくなる。従来の相対補正法は、このような測定治具における漏洩信号を一切考慮していない回路網モデルに基づいている。そのため、従来の相対補正法は、漏洩信号による補正誤差が残る。

＜本発明の基本原理＞ 次に、本発明の基本原理について、図１〜図３を参照しながら説明する。

図１は、比較のため、従来例の相対補正法で用いる２端子対回路を書き直したシグナルフローダイヤグラムである。符号２０は基準測定治具に相当する部分であり、符号２１は基準測定治具の同軸コネクタに相当する端子である。符号３０は試験測定治具に相当する部分であり、符号３１は試験測定治具の同軸コネクタに相当する端子である。相対補正アダプタ３２は、基準測定治具２０の端子２１と試験測定治具３０の端子３１との間に、ポート１、２ごとに互いに独立して接続されている。

これに対して、本発明の相対補正法では、図２に示すシグナルフローダイヤグラムを用いる。すなわち、本発明では、ポート１、２について、基準測定治具２０の端子２１と試験測定治具３０の端子３１との間に接続される相対補正アダプタ３２は、実線で示した従来例と同じ部分に、破線で示した部分を追加している。この破線の部分によって、基準測定治具と試験測定治具との少なくとも一方のポート間においてポート間を直接伝達する漏洩信号、すなわち、ポートに接続された電子部品に伝達されない漏洩信号の存在を想定することができる。

詳しくは、ＣＡ_１２は、基準測定治具のポート２への入力信号（ａ_２）から、基準測定治具のポート１からの出力信号（ｂ_１）に接続されている。ＣＡ_２１は、基準測定治具のポート１への入力信号（ａ_１）から、基準測定治具のポート２からの出力信号（ｂ_２）に接続されている。

ＣＡ_３４は、試験測定治具のポート２からの出力信号（ｂ_４）から、試験測定治具のポート１への入力信号（ａ_３）に接続されている。ＣＡ_４３は、試験測定治具のポート１からの出力信号（ｂ_３）から、試験測定治具のポート２への入力信号（ａ_４）に接続されている。

ＣＡ_１４は、試験測定治具のポート２からの出力信号（ｂ_４）から、基準測定治具のポート１からの出力信号（ｂ_１）に接続されている。ＣＡ_４１は、基準測定治具のポート１への入力信号（ａ_１）から、試験測定治具のポート２への入力信号（ａ_４）に接続されている。

ＣＡ_２３は、試験測定治具のポート１からの出力信号（ｂ_３）から、基準測定治具のポート２からの入力信号（ｂ_２）に接続されている。ＣＡ_３２は、基準測定治具のポート２への入力信号（ａ_２）から、試験測定治具のポート１への入力信号（ａ_３）に接続されている。

図２から、次の３つの式が成り立つ。

ここで、相対補正アダプタ３２であるＴパラメータＴ_ＣＡ

を２×２に分割した正方行列の小行列を、Ｔ_{ＣＡ１１、}Ｔ_{ＣＡ１２、}Ｔ_{ＣＡ２１、}Ｔ_ＣＡ２２とする。すなわち、

とする。

［数３］は、［数７］を用いると、次のように表される。

［数８ａ］に［数５］を代入し、さらに［数８ｂ］を代入すると、次式となる。

この［数９］に［数４］を代入すると次式となる。

この［数１０］に、右から（Ｔ_ＣＡ２１・Ｓ_Ｔ＋Ｔ_ＣＡ２２）^−１を掛けると、

となり、［数１１］が導き出される。

この［数１１］を、Ｔ_ＣＡに対する線形結合に変形すると、

となる。

ここで、

は、クロネッカ積である。

は、列展開である。

添え字ｔは、転置行列である。

Ｉ_２は２×２の単位行列である。以下、Ｉ_ｎは、ｎ×ｎの単位行列と定義する。

［数１２］は、ｔ_ＣＡを一つの要素、例えば−ｔ_ＣＡ１１で規格化すると、

となる。ここで、Ａ_４×１６は４×１６の行列、ｕ_４×１は４×１の行列、Ｂ_４×１５は４×１５の行列である。

したがって、

となる。

［数１６］、［数１７］はＤＵＴを基準測定治具、及び試験測定治具にて測定することによりｔ_ＣＡ′に対する４つの線形方程式が導出されることを示している。

漏洩誤差相対補正アダプタｔ_ＣＡ′を未知だとすると、［数１６］、［数１７］はｔ_ＣＡ′に対する４つの線形連立方程式を表しているので、ＤＵＴを補正データ取得用試料にし、いくつか補正データ取得用試料を測定することによりｔ_ＣＡ′が導出される。補正データ取得用試料をＮ_ｓｔｄ個測定した場合、［数１６］、［数１７］は次式で表される。

Ｃ_{４Ｎｓｔｄ×１５}及びν_４Ｎは測定値であるため、誤差が存在する。誤差の分布が正規分布であると仮定すればｔ_ＣＡ′は最小２乗問題を解くことにより求められる。ｒａｎｋ［Ｃ_{４Ｎｓｔｄ×１５}］≧１５（ｔ_ＣＡ′の未知数の数）となるためには、５つ以上の特性が異なる補正データ取得用試料を用意すればよい。測定環境によっては［数１８］に対して測定値の分散の違いを考慮することにより、ｔ_ＣＡ′の解の精度は向上する。また、誤差の分布が正規分布でなければ最尤法を用いて解くことにより求められる。

上記方法より求められたｔ_ＣＡ′を［数１１］に代入することで、試験測定治具測定値から基準測定治具測定値を推定できる。

＜規格化について＞ 次にＴ_ＣＡを規格化することによる基準測定治具測定値と試験測定治具測定値の関係式、［数１１］への影響を考察する。

−ｔ_ＣＡ１１をαとおくと、［数１１］は次のように変形される。

［数２１］、［数２２］は、規格化して導出したｔ_ＣＡ′を用いても試験測定治具測定値から基準測定治具測定値を推定できることを示しており、よって規格化に関して問題ないといえる。

なお、規格化の基準となるＴパラメータの要素として−ｔ_ＣＡ１１を用いた例を示したが、実際はゼロ付近の値をとらない要素を選択することが望ましい。

＜Ｎポート測定系への拡張＞ 次に、任意のＮポート測定系への拡張について説明する。

まず、３ポートの測定系について説明する。３ポートの測定における漏洩信号をモデル化した相対補正法のブロック図は、図３のように表される。各記号の意味は、２ポートの例（図1及び図２）と同じである。

図３において、Ｓ_ＴとＳ_Ｄの関係は、漏洩信号相対補正回路網のＴパラメータＴ_ＣＡを用いると、次式で表される。これは、２ポートの場合に対して、各行列が３×３となっただけであり、ほぼ同じである。

２ポートと同様の手順にて、次式が求められる。

［数２６］、［数２７］は、２ポートの場合の［数１２］、［数１３］と次元は異なるが、それ以外はまったく同じであり、同様に規格化を行うことで、最小２乗法における観測方程式の形に持ち込むことができる。そして、５つ以上の特性が異なる補正データ取得用試料を、基準測定治具と試験測定治具にて測定し、その測定値を代入しｔ_ＣＡ′を求めることができる。

つまり、３ポートにおける漏洩誤差相対補正アダプタの解は、２ポートの方法の拡張で考えることができる。

４ポート以上でも同じであり、本手法は任意のＮポートに拡張可能である。

＜実施例＞ ２ポートにおいてポート間漏洩信号の相対補正を行うため、同軸線路にてポート間漏洩信号を含む２つ測定状態、すなわち基準状態及び試験状態を構成した。

図４に測定系の模式図を示す。図４（ａ）は基準状態、図４（ｂ）は試験状態である。両方の状態において、矢印２０ｘ，３０ｘで示すように、分配器２０ａ，２０ｂ；３０ａ，３０ｂによりＤＵＴ３を通らないパス、つまり漏洩信号を生み出している。漏洩信号レベルは、アッテネータ２０ｓ，３０ｓにより調整しており、基準状態は−３７ｄＢ程度、試験状態は−２７ｄＢ程度とした。また試験状態には、さらに−６ｄＢのアッテネータ３０ｐをＤＵＴ３側に接続し、基準状態に対してロスを増やしている。

図５に、補正データ取得用試料を示す。５つの２ポートの補正データ取得用試料２ａ〜２ｅを用意した。図５（ａ）〜（ｃ）に示すＯＰＥＮ／ＯＰＥＮ、ＳＨＯＲＴ／ＳＨＯＲＴ、ＬＯＡＤ／ＬＯＡＤの補正データ取得用試料２ａ〜２ｃは、ＣＡＬキット（８５０５２Ｂ）のものを２個同時に接続した。図５（ｄ）のＬＩＮＥの補正データ取得用試料２ｄは３．５ｍｍオスメスコネクタである。図５（ｅ）の−６ｄＢＡＴＴの補正データ取得用試料２ｅには、ＭＫＴタイセー製のアッテネータを使用している。補正データ取得用試料２ａ〜２ｅの電気特性の値自体は未知であり、測定治具に実装した基準状態、試験状態での測定値のみ使用し、相対補正回路網のパラメータを導出した。

その他の実験条件は、以下の通りである。

［測定器］ Ｅ８３６４Ｂ（Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）
［測定周波数］ ５００ＭＨｚ〜２ＧＨｚ
［中間周波数］ １００Ｈｚ
［ＤＵＴ］ −３ＢＡＴＴ（ＭＫＴタイセー）
導出した相対補正回路網のパラメータを用い、試験測定治具に実装した状態の測定値から、相対補正法により、基準測定治具に実装した状態での電気特性の推定値を算出した。

図６ａにＳ_１１、図７ａにＳ_２１の補正結果のグラフを示す。比較のため、図６ｂ及び図７ｂに、ポート間の漏洩信号を考慮しない従来例の相対補正アダプタを用いた場合のＳ_１１及びＳ_２１の補正結果のグラフを示す。図中、「基準測定治具」は基準測定治具に実装した状態での測定値、「試験測定治具」は試験測定治具に実装した状態での測定値、「相対補正」は、従来例の相対補正法により、試験測定治具に実装した状態の測定値から算出した、基準測定治具に実装した状態での電気特性の推定値、「漏洩相対補正」は、本発明の相対補正法により、試験測定治具に実装した状態での測定値から算出した、基準測定治具に実装した状態での電気特性の推定値である。

従来例では、図４のような漏洩信号を含む測定系について、漏洩信号を含めて補正することができないため、図６ｂ及び図７ｂに示すように、補正誤差が残る。これに対して、図６ａ及び図７ｂに示すように、本発明では、漏洩信号を含む場合でも、精度よく補正できていることが分かる。この結果より、実際の漏洩信号を含む測定において、本発明は十分な効果が期待できる。

なお、測定周波数領域内の各周波数毎にＴ_ＣＡ´を導出することで、Ｔ_ＣＡ´の周波数特性の影響を加味した測定誤差の補正を行なうことができる。すなわち、実際に商品が使用される周波数でのＴ_ＣＡ´を求め、それに基づいて誤差補正を行なうことにより、高精度な特性保証が可能となる。」

さらに、例えばネットワークアナライザといった測定器の校正データとを結合させて、１つの回路網として処理を行なうことにより、補正計算時間の短縮を図ることができる。それにより、量産時により高速に商品を測定できる。

＜その他＞ ３ポートの測定系において、特定の２つのポート間（例えば、ポート１、２間）においてのみ漏洩信号が存在し、他のポート間（例えば、ポート１、３間、ポート２、３間）では漏洩信号が存在しないことが分かっている場合には、未知数が減るため、少なくとも３個の補正データ取得用試料の測定値から、相対補正アダプタを決定することができる。

また、漏洩信号が存在しない基準測定治具及び試験測定治具を用いる場合でも、本発明の相対補正法を適用することができる。この場合には、漏洩信号について相対補正成分がゼロとなるだけであり、補正精度は従来例の相対補正法と同程度もしくはそれ以上となる。

したがって、測定治具での漏洩信号の有無にかかわらず、本発明の相対補正法を適用することができる。

＜まとめ＞ 従来は、試験測定治具誤差を除去する散乱行列と、基準測定治具誤差の散乱行列とを合成した散乱行列（相対補正アダプタ）をポートごとに導出し、試験測定治具測定値の散乱行列に対し合成することで基準測定治具測定値を推定する。

これに対し、本発明の相対補正アダプタは、図２において破線で示したように、ＤＵＴを介さずに、測定治具のポート間を直接伝達する漏洩信号成分も含むようにモデル化した相対補正アダプタを用いている。そのため、漏洩信号成分による補正誤差は発生しない。本発明の相対補正アダプタは、測定治具と同じポート数を持った、それぞれ特性が異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を基準測定治具、試験測定治具にて測定し、計算を行うことにより導出される。本発明は２ポート以上の任意のＮポート測定に拡張可能である。

本発明は少なからず測定治具にも発生する漏洩信号成分を補正モデルに取り入れているため、漏洩信号成分に関する補正誤差が発生しない。よって相対補正法の補正精度が向上するので、選別工程における良否判定のマージンを小さくでき、良品率が上がる。また高性能な部品に関しては高精度な特性保証が必要なため、その効果はさらに大きくなる。

また、小型の部品では測定治具の端子等が狭ピッチとなり漏洩信号成分が増大するが、本発明では同じ精度で補正可能である。加えて、今後さらに進んでいくと考えられる部品の小型化に対して対応することができる。

さらに、本発明は漏洩信号成分を補正可能であるため、量産に使用する測定治具においては漏洩信号成分を気にせず設計、製作できるので、今までより接触性、耐久性がよく、コストが安い測定治具を実現することができる。

なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。

Claims (6)

1. ２ポート以上の任意のｎポートを有する電子部品について、試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性の推定値を算出する、測定誤差の補正方法であって、
   互いに異なる電気特性を有する少なくとも３個の第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第１のステップと、
   前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも３個の第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第２のステップと、
   同一の電子部品について前記試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式であって、前記基準測定治具と前記試験測定治具との少なくとも一方の少なくとも２つのポート間において当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定した相対誤差補正回路網モデルのパラメータを用いて表される数式を、前記第１及び第２のステップで測定した測定値のみを使用し、前記相対誤差補正回路網モデルの前記パラメータを導出することにより決定する第３のステップと、
   任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定する第４のステップと、
   前記第４のステップで測定した結果から、前記第３のステップで決定した前記数式を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する第５のステップと、
   を備え、
   前記第３のステップで決定する前記数式は、
   任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された相対誤差補正回路網モデルについて、
   前記基準測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ _Ｄｍ と、
   前記試験測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ _Ｔｍ と、
   前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ _ＣＡ と、
   を用いて表される次の式、
   

   

   に対してＴ _ＣＡ をＴ _ＣＡ における任意の一つの要素で規格化することで算出される、前記任意の一つの要素で規格化された前記回路網モデルのＴパラメータＴ _ＣＡ ′であることを特徴とする、測定誤差の補正方法。
2. 前記基測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて、前記漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、
   前記第１のステップにおいて、互いに異なる電気特性を有する少なくとも５個の前記第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定し、
   前記第２のステップにおいて、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも５個の前記第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の前記第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定し、
   前記第３のステップにおいて、前記第１及び第２のステップで測定した結果から決定する前記数式は、前記基準測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて全てのポートの漏洩信号を補正することを想定した数式である、
   ことを特徴とする、請求項１に記載の測定誤差の補正方法。
3. 前記第５のステップで電気特性を算出する前記数式は、
   任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された回路網モデルについて、
   前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろうＳパラメータＳ_Ｄと、
   前記試験測定治具における前記電子部品測定値のＳパラメータＳ_Ｔと、
   前記第３のステップで算出された前記相対誤差補正回路網モデルのＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化された前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡ′をｎ×ｎに分割した正方行列、Ｔ_ＣＡ１１′、Ｔ_ＣＡ１２′、Ｔ_ＣＡ２１′、Ｔ_ＣＡ２２′と、
   を用いて表される次の式、
   

   

   に基づいて算出されるＳ_Ｄであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の測定誤差の補正方法。
4. ２ポート以上の任意のｎポートを有する電子部品について、試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品を基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電子部品特性測定装置であって、
   同一の電子部品について前記試験測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値と前記基準測定治具に実装した状態で測定した電気特性の測定値とを関連付ける数式であって、前記基準測定治具と前記試験測定治具との少なくとも一方の少なくとも２つのポート間において当該２つのポートに接続された電子部品に伝達されずに当該２つのポート間を直接伝達する漏洩信号の存在を想定した相対誤差補正回路網モデルのパラメータを用いて表され、互いに異なる電気特性を有する少なくとも３個の第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第１の測定結果と、前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも３個の第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも３個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した第２の測定結果とのみを使用し、前記相対誤差補正回路網モデルの前記パラメータを導出することにより決定された数式を記憶する数式記憶手段と、
   任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、前記数式記憶手段に記憶された前記数式を用いて、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出する、電気特性推定手段と、
   を備え、
   前記数式記憶手段が記憶する前記数式は、
   任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された相対誤差補正回路網モデルについて、
   前記基準測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ _Ｄｍ と、
   前記試験測定治具における前記ｍ番目の補正データ取得試料測定値のＳパラメータＳ _Ｔｍ と、
   前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ _ＣＡ と、
   を用いて表される次の式、
   

   

   に対してＴ _ＣＡ をＴ _ＣＡ における任意の一つの要素で規格化することで算出される、前記任意の一つの要素で規格化された前記回路網モデルのＴパラメータＴ _ＣＡ ′であることを特徴とする、電子部品特性測定装置。
5. 前記基測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて、前記漏洩信号が存在するポートを全て補正しようとするならば、
   前記数式記憶手段が記憶する前記数式は、
   互いに異なる電気特性を有する少なくとも５個の前記第１の補正データ取得試料について、前記基準測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記第１の測定結果と、
   前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料、前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも５個の前記第２の補正データ取得試料、又は前記少なくとも５個の第１の補正データ取得試料のうちの一部と同等の電気特性を有するとみなせる少なくとも１個の前記第３の補正データ取得試料及びその他の前記第１の補正データ取得試料について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した前記第２の測定結果とから、
   前記基準測定治具及び前記試験測定治具のそれぞれにおいて全てのポートの漏洩信号を補正することを想定して、決定されることを特徴とする、請求項４に記載の電子部品特性測定装置。
6. 前記電気特性推定手段が、任意の電子部品について、前記試験測定治具に実装した状態で電気特性を測定した結果から、当該電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろう電気特性を算出するときに用いる前記数式記憶手段に記憶された前記数式は
   任意のｎポートの測定において、前記基準測定治具におけるＳパラメータと、前記試験測定治具におけるＳパラメータとの間を、同一ポート同士が接続され、さらに漏洩信号の存在を想定する異なるポート間が接続された回路網モデルについて、
   前記電子部品について前記基準測定治具に実装した状態で測定したならば得られるであろうＳパラメータＳ_Ｄと、
   前記試験測定治具における前記電子部品測定値のＳパラメータＳ_Ｔと、
   前記第１の測定結果と前記第２の測定結果とから算出された前記相対誤差補正回路網モデルのＴ_ＣＡにおける任意の一つの要素で規格化された前記相対誤差補正回路網モデルのＴパラメータＴ_ＣＡ′をｎ×ｎに分割した正方行列、Ｔ_ＣＡ１１′、Ｔ_ＣＡ１２′、Ｔ_ＣＡ２１′、Ｔ_ＣＡ２２′と、
   を用いて表される次の式、
   

   

   に基づいて算出されるＳ_Ｄであることを特徴とする、請求項４又は５に記載の電子部品特性測定装置。

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