JP5243975B2 - 熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図3は、本実施形態に係る放熱板及び放熱フィンを半導体パッケージに装着した断面図である。図3に示すように、本実施形態に係る放熱板40は、基板10に搭載された半導体素子20の上面に設置された熱伝導部材としてのTIM30の上面に配置されている。また、本実施形態に係る放熱フィン50は、放熱板40の上面に設置されたTIM30の上面に配置されている。
図8は、図6に示す放熱板又は放熱フィンの変形例を示す断面図である。図8に示すように、放熱板40又は放熱フィン50がTIM30と接する面において形成された複数個の凸形状60の形は、図6に示した三角形に限らず、プレス加工により形成された、のこぎり形であっても良い。
図9は、図6に示す放熱板又は放熱フィンの変形例を示す斜視図である。図9に示すように、放熱板40又は放熱フィン50がTIM30に接する面において形成された複数個の凸形状60の形は、プレス加工により形成された先端が刃状である三角柱の凸条部63であっても良い。
次に、上記した放熱板40及び放熱フィン50の製造方法について図10〜図12にしたがって説明する。
ここで、上記S22及びS32の工程でプレス加工によって形成した放熱板40と放熱フィン50の凸形状60は、エッチングにより形成することもできる。エッチングの方法は公知の方法とするが、有機酸系マイクロエッチング剤を使用すると良い。
上記S22及びS32工程でプレス加工によって形成した、放熱板40と放熱フィン50の凸形状60は、めっきにより形成することもできる。図13は、めっきにより形成された凸形状を有する粗面化された膜を示す図である。
図15は、図13に示す放熱板又は放熱フィンと、粒形の高熱伝導性物質を含有したTIMとの接触面を拡大した断面図である。図15に示す放熱板40又は放熱フィン50には、凸形状72を有する粗面化膜70が形成されている。また、凸形状72の先端部74は、TIM30の樹脂バインダー等の低熱伝導物質層31を突き破り、粒形の高熱伝導性物質32である、例えば金属フィラー、グラファイト等のうち少なくとも1つからなる成形物に突き刺している。
図16は、図13に示す放熱板又は放熱フィンと、線形の高熱伝導性物質を含有したTIMとの接触面を拡大した断面図である。図16に示す放熱板40又は放熱フィン50には、凸形状72を有する粗面化膜70が形成されている。また、凸形状72の先端部74は、TIM30の樹脂バインダー等の低熱伝導物質層31を突き破り、線形の高熱伝導性物質32である、例えば、カーボンナノチューブ等に突き刺している。なお、図15及び図16に示す凸形状72は、図6又は図8に示す凸形状60としても良い。
図17は、樹脂シート内に金属やカーボン等のピラーを貫通させたTIMを示す図である。図17に示すように、TIM35は、樹脂シート37内に金属やカーボン等のピラーである高熱伝導性物質39を貫通させたシートである。
図19は、カーボンナノチューブを熱伝導方向に配列させ樹脂で成形してシート状にしたTIMと、従来の放熱板との接触面を拡大した断面図である。図19に示すように、放熱板400の表面の形状の起伏は、カーボンナノチューブのような線状の長さにバラツキのある高熱伝導性物質32に対して小さい。そのため、長さの短いカーボンナノチューブ等の高熱伝導性物質32が放熱板400の表面に到達できず、放熱板400の表面と、高熱伝導性物質32との間に空間600が生じている。
20,200 半導体素子
30,35,300 TIM(熱伝導部材)
31,37,301 低熱伝導物質層
32、39,302 高熱伝導性物質
40,400 放熱板(ヒートシンク)
50,500 放熱フィン
60,72 凸形状
70 粗面化膜
62,74 先端部
Claims (7)
- 半導体パッケージ上に配置され、高熱伝導性物質を含有した樹脂を主成分とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品であって、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記熱伝導部材と接する面は、針状又は刃状の凸形状の領域を有し、
前記凸形状の先端部は、前記高熱伝導性物質に突き刺しており、
前記高熱伝導性物質は、金属フィラー、カーボンフィラー、グラファイト、及びカーボンナノチューブのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品。 - 半導体パッケージ上に配置され、高熱伝導性物質を含有した樹脂を主成分とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品であって、
前記熱伝導部材の当該半導体パッケージ放熱用部品と接する面は、低熱伝導物質層を有し、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記低熱伝導物質層と接する面は、針状又は刃状の凸形状の領域を有し、
前記凸形状の先端部は、前記低熱伝導物質層を突き破り、前記高熱伝導性物質に突き刺しており、
前記高熱伝導性物質は、金属フィラー、カーボンフィラー、グラファイト、及びカーボンナノチューブのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品。 - 半導体パッケージ上に配置され、半導体パッケージ放熱用の高熱伝導性物質を有した熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品であって、
前記熱伝導部材は、熱伝導方向に配列させたカーボンナノチューブを有し、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記熱伝導部材と接する面は、針状又は刃状の凸形状の領域を有し、
前記凸形状の先端部は、前記高熱伝導性物質に突き刺していることを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品。 - 半導体パッケージ上に配置され、高熱伝導性物質を含有した樹脂を主成分とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法であって、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記熱伝導部材と接する面に、プレス加工又はマイクロエッチングにより、針状又は刃状の凸形状の領域を形成する工程と、
前記針状又は刃状の凸形状の先端部を、加圧により、前記高熱伝導性物質に突き刺す工程を有しており、
前記高熱伝導性物質は、金属フィラー、カーボンフィラー、グラファイト、及びカーボンナノチューブのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法。 - 半導体パッケージ上に配置され、高熱伝導性物質を含有した樹脂を主成分とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法であって、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記熱伝導部材と接する面に、粗面化された表面を形成するめっきにより、針状の凸形状を有する粗面化された膜を形成する工程と、
前記針状の凸形状の先端部を、加圧により、前記高熱伝導性物質に突き刺す工程を有しており、
前記高熱伝導性物質は、金属フィラー、カーボンフィラー、グラファイト、及びカーボンナノチューブのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法。 - 半導体パッケージ上に配置され、半導体パッケージ放熱用の高熱伝導性物質を有した熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法であって、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記熱伝導部材と接する面に、プレス加工又はマイクロエッチングにより、針状又は刃状の凸形状の領域を形成する工程と、
前記針状又は刃状の凸形状の先端部を、加圧により、前記高熱伝導性物質に突き刺す工程を有しており、
前記高熱伝導性物質は、金属フィラー、カーボンフィラー、グラファイト、及びカーボンナノチューブのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法。 - 半導体パッケージ上に配置され、半導体パッケージ放熱用の高熱伝導性物質を有した熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法であって、
当該半導体パッケージ放熱用部品の前記熱伝導部材と接する面に、粗面化された表面を形成するめっきにより、針状の凸形状を有する粗面化された膜を形成する工程と、
前記針状の凸形状の先端部を、加圧により、前記高熱伝導性物質に突き刺す工程を有しており、
前記高熱伝導性物質は、金属フィラー、カーボンフィラー、グラファイト、及びカーボンナノチューブのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする熱伝導部材を有する半導体パッケージ放熱用部品の製造方法。
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