JP5241966B2 - 半導体装置、tft基板、ならびに半導体装置およびtft基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態による液晶表示装置1000の構成を模式的に示す斜視図である。
まず、基板11の上にスパッタ法などにより、例えば、Ti層、Al層、Ti層をこの順に積層する。次に、積層した3層を公知のフォトリソグラフィ法およびウェットエッチング法を用いてパターニングして(第1マスク工程)、図6(a)に示すゲート電極12を得る。このとき、図示しない走査線160および補助容量線162も同時に形成される。その後、残ったレジストの剥離および基板の洗浄が行われる。
次に、図6(b)に示すように、基板11の上に、ゲート電極12を覆うようにゲート絶縁層13を形成する。ゲート絶縁層13は、シラン(SiH4)と亜酸化窒素(N2O)の混合ガス、またはテトラエトキシシラン(TEOS)を用いたCVD法によって厚さ250nm程度に積層された酸化シリコン(SiO2)層である。ゲート絶縁層13を窒化シリコン(SiNx)層と、その上に積層した酸化シリコン(SiO2)層の2層構成としてもよい。
次に、ゲート絶縁層13の上に酸化物半導体を積層する。酸化物半導体は、スパッタ法を用いて、例えばIn−Ga−Zn−O系半導体(IGZO)を厚さ10〜100nm積層して形成される。その後、積層した酸化物半導体を、フォトリソグラフィ法、およびシュウ酸等を用いたウェットエッチング法でパターニングして(第2マスク工程)、図6(c)に示すように、TFT10のチャネル層となる酸化物半導体層15を得る。その後、残ったレジストの剥離および基板の洗浄が行われる。酸化物半導体には、IGZOの代わりに他の種類の酸化物半導体膜を用いてもよい。
次に、図6(d)に示すように、ゲート絶縁層13の上に、酸化物半導体層15を覆うように、スパッタ法により、Ti層8AおよびAl層8Bをこの順番に積層する。Ti層8Aの厚さは例えば30nmであり、Al層8Bの厚さは例えば200nmである。
次に、フォトリソグラフィ法およびウェットエッチング法によって、Al層8Bをパターニングして、図6(e)に示すように、酸化物半導体層15の上のAl層8Bの一部を除去する(第3マスク工程)。エッチャントには酢酸とリン酸と硝酸の混合液が用いられる。ここで、Ti層8Aがエッチストッパーの役割を果たすので、エッチングにより酸化物半導体層15が除去されることはない。
次に、ドライエッチング法によって、Ti層8Aの露出部分、および酸化物半導体層15の露出部分の上部を除去して、図6(f)に示すように、2層構成のソース電極17およびドレイン電極18、並びにチャネル層を有する酸化物半導体層15が完成する。エッチングガスには、四フッ化メタン(CF4)と酸素(O2)の混合ガス、塩素(Cl2)等が用いられる。
次に、図6(g)に示すように、基板11の上に保護層(パッシベーション層)19を形成して、TFT10が完成する。保護層19は、シランと亜酸化窒素の混合ガス、またはテトラエトキシシランを用いたCVD法によって厚さ250nm程度に積層された酸化シリコン層である。
図7は、実施形態2によるTFT基板のTFT10の構成を模式的に示す断面図である。以下に説明する以外のTFT基板の構成は、基本的に実施形態1のTFT基板100と同じである。同じ機能を有する構成要素には同じ参照番号を付け、その詳細な説明を省略する。
図8は、実施形態3によるTFT基板の画素50の構成を模式的に示す断面図である。以下に説明する以外のTFT基板の構成は、基本的に実施形態1のTFT基板100と同じである。同じ機能を有する構成要素には同じ参照番号を付け、その詳細な説明を省略する。
図9は、実施形態4によるTFT基板の画素50の構成を模式的に示す断面図である。以下に説明する以外のTFT基板の構成は、基本的に実施形態1のTFT基板100と同じである。同じ機能を有する構成要素には同じ参照番号を付け、その詳細な説明を省略する。
図10は、実施形態5によるTFT基板の周辺回路90を表した図であり、(a)は周辺回路90の回路図、(b)は周辺回路の構成を模式的に表した平面図である。
実施形態6のTFT基板は、実施形態5と同様、周辺領域に形成された周辺回路90を備えている。本実施形態のTFT基板は、実施形態5のTFT基板とはダイオード70Aおよび70Bの構成が異なるのみであり、他の部分の構成は実施形態5と同じである。以下、簡略化のため、図示を省略し、実施形態5と異なる部分を中心に説明する。
次に、本発明の実施形態7による有機EL表示装置1002を説明する。
11 基板
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁層
15 酸化物半導体層
17 ソース電極
18 ドレイン電極
19 保護層
25 電気素子
30 端子部
50 画素
52 Cs電極
55 酸化物半導体層
58 Cs対向電極
60 補助容量
70A、70B ダイオード
74 層間絶縁層
90 周辺回路
100、140 TFT基板(半導体装置)
102 ゲート電極
103 絶縁層(ゲート絶縁層)
104 酸化物半導体層
105 ドレイン電極
106 ソース電極
109 画素電極
152 信号線
160 走査線
162 補助容量線
210、220 偏光板
230 バックライトユニット
240 走査線駆動回路
250 信号線駆動回路
260 制御回路
1000 液晶表示装置
1002 有機EL表示装置
Claims (12)
- 画素に対応して配置された薄膜トランジスタおよび補助容量を備えた表示装置のTFT基板であって、
前記補助容量の補助容量電極と、
前記補助容量電極の上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層の上に配置された酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層の上に形成された、前記補助容量の補助容量対向電極と、を備え、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記補助容量対向電極が、前記補助容量電極の縁と前記酸化物半導体層の縁とが交差する複数の部位の少なくとも1つを覆っている、TFT基板。 - 画素に対応して配置された薄膜トランジスタおよび補助容量を備えた表示装置のTFT基板であって、
前記補助容量の補助容量電極と、
前記補助容量電極の上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層の上に配置された酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層の上に形成された、前記補助容量の補助容量対向電極と、を備え、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記酸化物半導体層が、前記補助容量電極の縁に交わることなく、前記補助容量電極の前記縁の内側に形成されている、TFT基板。 - 前記薄膜トランジスタのゲート電極と、
前記ゲート電極の上に形成されたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層の上に配置された、前記薄膜トランジスタの酸化物半導体層と、
前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層の上に形成された、前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極と、を備え、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記ソース電極または前記ドレイン電極が、前記ゲート電極の縁と前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層の縁とが交差する複数の部位のうちの少なくとも1つを覆っている、請求項1または2に記載のTFT基板。 - 前記薄膜トランジスタのゲート電極と、
前記ゲート電極の上に形成されたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層の上に配置された、前記薄膜トランジスタの酸化物半導体層と、
前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層の上に形成された、前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極と、を備え、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層が、前記ゲート電極の縁に交わることなく、前記ゲート電極の前記縁の内側に形成されている、請求項1または2に記載のTFT基板。 - 前記補助容量対向電極がアルミニウムからなる層を含む、請求項1から4のいずれかに記載のTFT基板。
- 前記酸化物半導体層は、In−Ga−Zn−O系半導体から形成されている請求項1から5のいずれかに記載のTFT基板。
- 画素に対応して配置された薄膜トランジスタおよび補助容量を備えた表示装置のTFT基板の製造方法であって、
(A)基板の上に前記補助容量の補助容量電極を形成する工程と、
(B)前記補助容量電極の上に形成された絶縁層と、
(C)前記絶縁層の上に酸化物半導体層を形成する工程と、
(D)前記酸化物半導体層の上に、前記補助容量の補助容量対向電極を形成する工程と、を含み、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記補助容量対向電極が、前記補助容量電極の縁と前記酸化物半導体層とが交差する複数の部位の少なくとも1つを覆うように形成される、TFT基板の製造方法。 - 画素に対応して配置された薄膜トランジスタおよび補助容量を備えた表示装置のTFT基板の製造方法であって、
(A)基板の上に前記補助容量の補助容量電極を形成する工程と、
(B)前記補助容量電極の上に形成された絶縁層と、
(C)前記絶縁層の上に酸化物半導体層を形成する工程と、
(D)前記酸化物半導体層の上に、前記補助容量の補助容量対向電極を形成する工程と、を含み、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記酸化物半導体層が、前記補助容量電極の縁に交わることなく、前記補助容量電極の前記縁の内側に形成される、TFT基板の製造方法。 - 前記工程(A)において、前記薄膜トランジスタのゲート電極が形成され、
前記工程(C)において、前記ゲート電極の上に、前記薄膜トランジスタの酸化物半導体層が形成され、
前記工程(D)において、前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層の上に、前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極が形成され、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記ソース電極または前記ドレイン電極が、前記ゲート電極の縁と前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層の縁とが交差する複数の部位のうちの少なくとも1つを覆っている、請求項7または8に記載のTFT基板の製造方法。 - 前記工程(A)において、前記薄膜トランジスタのゲート電極が形成され、
前記工程(C)において、前記ゲート電極の上に、前記薄膜トランジスタの酸化物半導体層が形成され、
前記工程(D)において、前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層の上に、前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極が形成され、
前記TFT基板の基板面に垂直な方向から見た場合、前記薄膜トランジスタの前記酸化物半導体層が、前記ゲート電極の縁に交わることなく、前記ゲート電極の前記縁の内側に形成される、請求項7または8に記載のTFT基板の製造方法。 - 前記工程(D)が、前記ソース電極および前記ドレイン電極に含まれるアルミニウム層を形成する工程と、
前記アルミニウム層をウェットエッチングによりパターニングする工程と、を含む、請求項7から10のいずれかに記載のTFT基板の製造方法。 - 前記工程(C)において、前記酸化物半導体層は、In−Ga−Zn−O系半導体から形成される請求項7から11のいずれかに記載のTFT基板の製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098305A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP2010245118A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Sharp Corp | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
JP2010266490A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Sony Corp | 表示装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4202502B2 (ja) * | 1998-12-28 | 2008-12-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2007286150A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 電気光学装置、並びに、電流制御用tft基板及びその製造方法 |
JP2008129314A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Hitachi Displays Ltd | 画像表示装置およびその製造方法 |
US7772021B2 (en) * | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008170664A (ja) | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Epson Imaging Devices Corp | 液晶表示装置及びその製造方法 |
KR20090075554A (ko) * | 2008-01-04 | 2009-07-08 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치와 그 제조 방법 |
JP2010062233A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置 |
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JP4844617B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2011-12-28 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタ基板および表示装置 |
JP5491833B2 (ja) * | 2008-12-05 | 2014-05-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
US8441007B2 (en) * | 2008-12-25 | 2013-05-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and manufacturing method thereof |
KR101681884B1 (ko) * | 2009-03-27 | 2016-12-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치, 표시장치 및 전자기기 |
JP2010243594A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Sharp Corp | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
US8115883B2 (en) * | 2009-08-27 | 2012-02-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and method for manufacturing the same |
KR101073272B1 (ko) * | 2009-11-04 | 2011-10-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR101050466B1 (ko) * | 2010-03-12 | 2011-07-20 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치의 커패시터 및 그것을 구비한 유기 발광 표시 장치 |
JP5479188B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-04-23 | 富士フイルム株式会社 | 電子装置 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098305A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP2010245118A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Sharp Corp | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
JP2010266490A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Sony Corp | 表示装置 |
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