JP5239892B2 - 発光分析装置 - Google Patents
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Description
(1)従来、装置固有のゲインは製造時にのみ測定される。そのため、装置の設置環境(周囲温度など)に依存する変動、部品の経時変化などは考慮されず、実際の試料の測定時に十分に高精度な補正が行えない場合がある。
(2)装置製造メーカでは、装置1台毎に実際に放電を行いながら各波長に対応した積分器毎に固有ゲインを求める必要があるため、調整作業が面倒で手間が掛かる。
(3)固有ゲインを測定する際に実際に放電が実施されるため、その放電の際に発光光を集光するためのレンズに装置内部の塵埃などが焼き付き、装置出荷前にその汚れを除去するクリーニング作業が必要になる。また、調整のために無用な放電を繰り返すことで、放電部の継電器などの電気部品の寿命が短くなるおそれがある。
a)前記放電通知信号に相当する擬似放電通知信号を前記測光部へ送出する制御手段と、
b)前記積分器に前記光検出器の出力に代えて固定的な入力を与える積分入力設定手段と、
c)前記固定的な入力に対し前記擬似放電通知信号に同期して前記測光部で得られる出力を用いて、該測光部の固有のゲインを求める固有ゲイン取得手段と、
d)前記固有ゲイン取得手段により得られた固有ゲインと設計上のゲインとの差異に基づいて、試料に対する実測定により得られた信号を補正する補正手段と、
を備え、前記制御手段は擬似放電通知信号を所定回数繰り返し送出し、前記積分入力設定手段は異なる複数の入力値を順に前記積分器に与え、前記固有ゲイン取得手段は、同一の測定条件に基づいて前記異なる複数の入力値に対する測定をそれぞれ実行し、その結果に基づいて前記測光部の固有ゲインを求めることを特徴としている。
特に本発明に係る発光分析装置では、前記積分入力設定手段は異なる複数の入力値を順に与え、前記固有ゲイン取得手段は、同一の測定条件に基づいて、異なる入力値に対する測定をそれぞれ実行し、その結果に基づいて固有ゲインを求める構成としているので、測光部の入力と出力との関係に非線形性がある場合でも、その非線形性を反映した固有ゲインを求め、ゲインずれを良好に補正することができる。
2…放電条件設定部
3…集光レンズ
4…分光器
5a、5b、5c…光検出器
6a、6b、6c…積分器
7、8、10…切替部
9…積分条件設定部
11…A/D変換器
12…入力値設定部
13…測光部
20…データ処理部
21…データ記憶部
22…平均化演算部
23…補正演算部
24…制御部
25…入力部
26…表示部
Claims (3)
- 試料面上の所定領域に放電を行う放電部と、光検出器と積分器とを含み、前記放電により試料から発せられた光を分光し測光する測光部と、を具備し、前記放電部での実際の放電に応じて該放電部から出力される放電通知信号に同期して前記光検出器の出力を前記積分器で積分する発光分析装置において、
a)前記放電通知信号に相当する擬似放電通知信号を前記測光部へ送出する制御手段と、
b)前記積分器に前記光検出器の出力に代えて固定的な入力を与える積分入力設定手段と、
c)前記固定的な入力に対し前記擬似放電通知信号に同期して前記測光部で得られる出力を用いて、該測光部の固有のゲインを求める固有ゲイン取得手段と、
d)前記固有ゲイン取得手段により得られた固有ゲインと設計上のゲインとの差異に基づいて、試料に対する実測定により得られた信号を補正する補正手段と、
を備え、前記制御手段は擬似放電通知信号を所定回数繰り返し送出し、前記積分入力設定手段は異なる複数の入力値を順に前記積分器に与え、前記固有ゲイン取得手段は、同一の測定条件に基づいて前記異なる複数の入力値に対する測定をそれぞれ実行し、その結果に基づいて前記測光部の固有ゲインを求めることを特徴とする発光分析装置。 - 請求項1に記載の発光分析装置であって、
試料に対する実測定の条件が設定された後でその試料に対する測定の実行前に前記固有ゲイン取得手段による固有ゲインの取得を行い、該固有ゲインと設計上のゲインとの差異に基づいて、引き続き実行される試料に対する実測定により得られた信号の補正を行うことを特徴とする発光分析装置。 - 請求項1又は2に記載の発光分析装置であって、
前記固有ゲイン取得手段は、同一条件に基づいて1つの固定的な入力値に対する複数の測定を実行し、その結果に基づいてその1つの入力値に対する測定結果を得ることを特徴とする発光分析装置。
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JP2009011790A JP5239892B2 (ja) | 2009-01-22 | 2009-01-22 | 発光分析装置 |
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JP2010169513A JP2010169513A (ja) | 2010-08-05 |
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