JP5234008B2 - 積層型圧電素子及び圧電ポンプ - Google Patents
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Description
2…ポンプ本体
2a…ポンプ室
3…圧電素子
4…ダイヤフラム
4a…開口
5…積層型圧電素子
5a…側面
5b…側面
6…接続流路
7…流入側弁室
7a…開口
8…流入側逆止め弁
9…接続流路
10…流出側弁室
10a…開口
11…流出側逆止め弁
12…押さえ板
21…第1の圧電体層
22…第2の圧電体層
23…第3の圧電体層
24…第4の圧電体層
25…第4の圧電体層
26〜31…励振電極
32…第1の端子電極
33…第2の端子電極
34,35…緩衝部
41…積層型圧電素子
51…積層型圧電素子
61…積層型圧電素子
71…積層型圧電素子
81…積層型圧電体
91…電極
101,102…第2の励振電極
103,104…周辺電極
Claims (11)
- 第1の圧電体層と、第2の圧電体層と、第1,第2の圧電体層の間に積層された第3の圧電体層とを有する積層型圧電体と、
前記第1の圧電体層を挟んで対向しており、かつ前記第1の圧電体層を平面視した場合の中央領域に位置している第1,第2の励振電極と、
前記第2の圧電体層を挟んで対向しており、かつ前記第1,第2の励振電極が設けられている領域の周辺の領域に配置された第3,第4の励振電極とを備え、
前記第1,第2の励振電極が前記第1の圧電体層を介して重なり合っている第1の駆動領域の第1の圧電体層部分が積層型圧電体の厚み方向に分極されており、
前記第3,第4の励振電極が前記第2の圧電体層を介して重なり合っている第2の駆動領域の第2の圧電体層部分が、前記第1の駆動領域と同じ方向に分極処理されており、
前記第3の圧電体層には、2つの励振電極が前記第3の圧電体層を介して重なり合っている駆動領域が設けられていないことを特徴とする、積層型圧電素子。 - 前記第1,第2の圧電体層の少なくとも一方の圧電体層の積層方向外側に、第4の圧電体層が積層されている、請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記第1,第2の圧電体層の外側に圧電体層を有しておらず、前記第1の圧電体層の外表面に前記第2の励振電極が形成されており、前記第2の圧電体層の外表面に前記第3の励振電極が形成されている、請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記圧電体層の全体が厚み方向に一様に分極処理されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層型圧電素子。
- 前記第1,第2の駆動領域において、第1,第2の圧電体層が厚み方向に分極されており、第1,第2の駆動領域以外の圧電体部分が分極されていない、請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層型圧電素子。
- 平面視した際に、前記第1の駆動領域の外側の端縁と、前記第2の駆動領域の第1の駆動領域側の端縁とが接するように第1,第2の駆動領域が配置されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層型圧電素子。
- 平面視した際に、前記第1の駆動領域の外側の端縁と、前記第2の駆動領域の前記第1の駆動領域側の端縁とが隔てられており、第1,第2の駆動領域間に緩衝部が配置されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層型圧電素子。
- 前記第1の駆動領域の両側に一対の第2の駆動領域が配置されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の積層型圧電素子。
- 前記第1,第2の励振電極の平面形状が正方形または矩形であり、前記第3,第4の励振電極の平面形状が矩形である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の積層型圧電素子。
- ポンプ室を有するポンプ本体と、ポンプ室を閉成するようにポンプ本体に保持されており、電圧が印加された際に屈曲変位してポンプ室の容積を変化させる圧電素子とを備え、
前記圧電素子の前記ポンプ室を閉成している部分が、中央部と、中央部を囲む周辺部とを有し、印加される駆動電圧により中心部と駆動部が逆方向に屈曲変位される圧電ポンプにおいて、前記圧電素子が、請求項1〜9のいずれか1項に記載の積層型圧電素子を有することを特徴とする、圧電ポンプ。 - 前記圧電素子が、ダイヤフラムをさらに備え、ダイヤフラムの片面に前記積層型圧電素子が固定されており、ダイヤフラムの積層型圧電素子が固定されている側とは反対側の面が前記ポンプ室を閉成している部分である、請求項10に記載の圧電ポンプ。
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