JP5228500B2 - 電磁界分布計測方法、走査型電磁界センサユニット、および走査型電磁界計測装置 - Google Patents
電磁界分布計測方法、走査型電磁界センサユニット、および走査型電磁界計測装置 Download PDFInfo
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Description
101 圧電体
102 電極A
103 電極B
104 絶縁層
105 電磁界検出センサ
201,305 ホルダ
202,307 プリント基板
203 配線パターン
300 走査型電磁界計測装置
301 ベース
302 XYテーブル
303 粗動駆動部(固定側)
304 粗動駆動部(可動側)
308 粗動駆動回路(X,Y,Z)
309 微動湾曲動作回路(X)
310 電磁界計測処理ユニット
311 制御回路
Claims (6)
- 圧電体の内部の圧電体素子の貼り合せ面とほぼ平行な面上に電磁界検出センサが半導体プロセスにより形成された電磁界検出センサユニットの一端を、少なくとも1次元的に粗動作を行う粗動駆動部が直接的または間接的に把持し、
前記センサユニットの他端には前記センサの検出部が配置され、
前記圧電体に1kHz以上500kHz以下の連続的または断続的な所望の値の電圧を印加することにより、前記貼り合せ面にほぼ垂直な面内を前記センサユニットは前記一端から前記他端にかけて前記電圧に応じた湾曲動作を連続的または断続的に行う構造を有し、
検査対象物の表面にほぼ垂直な面内に電圧無印加時の前記貼り合せ面が位置するように前記センサユニットの傾きを設定し、
電圧無印加時の前記貼り合せ面とほぼ垂直な方向であって、かつ、前記検査対象物の表面とほほ平行な方向に前記粗動作と前記湾曲動作とを組み合わせて前記センサユニットを走査することにより、
前記検査対象物の表面近傍の電界分布または磁界分布を含む分布計測することを特徴とする電磁界分布計測方法。 - 前記検出部に対して前記圧電体を駆動する電気信号から遮断するシールドを前記圧電体と前記検出部との間に設けることを特徴とする請求項1記載の電磁界分布計測方法。
- 前記圧電体上に配置される前記検出センサはアンテナ構造を有して電界検出を行うことを特徴とする請求項1または請求項2記載の電磁界分布計測方法。
- 前記圧電体上に配置される前記検出センサはコイル構造を有して磁界検出を行うことを特徴とする請求項1記載の電磁界分布計測方法。
- 圧電体の内部の圧電体素子の貼り合せ面とほぼ平行な面上に電磁界検出センサが半導体プロセスにより形成された走査型電磁界センサユニットであって、
前記圧電体は前記圧電体内部の圧電体素子と非圧電体素子、あるいは圧電体素子同士の貼り合わせ面を有し、
外部から前記圧電体素子に電圧が印加されると前記圧電体素子が前記貼り合せ面とほぼ平行な方向に歪みを生じ、前記貼り合せ面を含み前記圧電体が湾曲することにより前記センサユニットが湾曲する構造を有し、
前記電磁界検出センサは、
電磁界を検出する検出部と、
前記検出部と電気的に接続された引出し線と、
前記引出し線と電気的に接続された電極とを有し、
前記センサユニットは前記圧電体素子が外部からの電圧印加により歪みを生ずる方向に略平行な縦長の形状であって、
前記センサユニットの前記電極が配置された一端を直接的または間接点に把持して前記センサユニットを検査対象物の表面に対してほぼ垂直に位置づけ、
前記圧電体に外部から1kHz以上500kHz以下の連続的または断続的な所望の値の電圧が印加されることにより、
電圧無印加時の前記検出部の表面と垂直な面内を前記検出部が前記所望の値の電圧に応じて湾曲動作を行うことにより走査する構造を有することを特徴とする走査型電磁界センサユニット。 - 走査型電磁界計測装置であって、
請求項5記載の走査型電磁界センサユニットと、
前記センサユニットを把持しかつ三次元方向に粗動駆動する粗動駆動部と、
前記粗動駆動部の粗動駆動回路と、
前記粗動駆動回路を制御する粗動駆動制御回路と、
前記粗動駆動制御回路と連携して前記検査対象物の表面に対し前記検出部を一次元方向に走査する湾曲動作回路と、
前記湾曲動作回路を制御する湾曲動作制御回路とを有し、
前記センサユニットを前記検査対象物の表面と平行な方向に粗動駆動する動作と、前記湾曲動作とを組み合わせて、前記検査対象物の表面を走査して検出する電磁界測定値を計算処理して表示する電磁界分布処理ユニットとを有することを特徴とする走査型電磁界計測装置。
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