JP5223081B2 - 偏光板用オンライン位相差測定装置 - Google Patents
偏光板用オンライン位相差測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5223081B2 JP5223081B2 JP2009158613A JP2009158613A JP5223081B2 JP 5223081 B2 JP5223081 B2 JP 5223081B2 JP 2009158613 A JP2009158613 A JP 2009158613A JP 2009158613 A JP2009158613 A JP 2009158613A JP 5223081 B2 JP5223081 B2 JP 5223081B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase difference
- measured
- wavelength
- measuring
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
ここで、θは偏光子・検光子の透過軸方位、I0(θ)は被測定物がないときの検出光強度、αは直交する2つの光学主軸方向に直線偏光が透過するときの振幅透過率比、φは被測定物の配向角(被測定物の2つの光学主軸のうちの屈折率が大きい方向すなわち遅相軸の方向)、Rは被測定物の位相差、λは測定波長である。θとφは基準方位に選んだMD方向を基準にしたときの角度である。
ここで、a,b,cは被測定物ごとに決まる定数であるが、吸収端波長と呼ばれるcについてはヨウ素系偏光板の場合、c=600nmとすると単体透過率が異なる偏光板であっても(3)式でよく近似できることが経験的にわかっている。
Cの値が求まると、次式によって位相差Rが計算できる。
ここで、mは次数で自然数1、2、3、・・・であり、図1に示すようにλ/2ごとに増加するので具体的には[2×R/λ]の整数部に1加えた数値になる。一般的な偏光板の位相差が図5(a)の程度であるとすると、波長850nmから1100nmの波長に対して次数mは2から4の値をとることになる。
(7)式においてa0,b0,c0はすべて既知であるので、400個の位相差から最小二乗法で係数a、bを決定できる。このとき、PVAフィルムのように波長分散のない材料で作製した位相差板を使用すれば、位相差板の位相差は一定値R0となり(7)式の代わりに次のようになる。
いずれの式で表した場合も係数a、bが求まれば、前述の説明の通りPVAフィルムの位相差とヨウ素の位相差とを同時に得ることができる。
被測定物と位相差板が重ね合わさった状態での、3組の偏光子と検光子による波長ごとの検出光強度Ii(0),Ii(45),Ii(90)に対して各係数を掛けた値を算出する。
分光器の検出波長ごとに(4)式、(5)式のI(0),I(45),I(90)の代わりに、(10)式で計算したI'i(0),I'i(45),I'i(90)を用いてCを計算し、検出波長ごとの位相差をm=1として(6)式から求める。その値が、(7)式あるいは(8)式のR'(λ)に相当する。
演算処理部11は専用のコンピュータ又は汎用のパーソナルコンピュータにより実現される。
4a,4b,4c 偏光子
5a,5b,5c 検光子
6 位相差板
10a,10b,10c 分光器
11 演算処理部
110 光量補正係数算出部
112 位相差算出部
114 分散曲線算出部
Claims (5)
- 偏光板からなる移動中の被測定物に偏光子を通して近赤外域の多波長成分を含む測定光が照射され、前記被測定物を透過した測定光が検光子を通して分光器に入射して波長λiごとの検出光強度Ii(θ)(iは波長がλiであることを示し、θは後述の偏光方位である。)が測定される位相差測定部であって、前記偏光子、検光子及び分光器は被測定物の移動方向に沿って配置された第1、第2、第3の3組を含み、各組の偏光子と検光子は平行ニコルの状態に配置され、かつそれぞれの組の偏光子と検光子は基準方位に対する偏光方位θが0°、45°、90°に設定されている位相差測定部と、
前記被測定物に対して直交重ねになる方位に配置された位相差板であって、該位相差板の位相差値は被測定物と該位相差板の直交重ね状態での位相差値Rが測定光の波長λの範囲においてλ/2以下となり、かつ|C|<K(C=cos2πR/λ、Kは0.90〜0.95の範囲の数値をとる定数である。)となるように設定されたものである位相差板と、
前記位相差測定部で測定された波長λiごとの検出光強度Ii(θ)から前記被測定物の位相差を少なくとも算出する演算処理部と、を備え、
前記演算処理部は、3つの偏光方位θに対する波長λiごとの検出光強度Ii(θ)から平行ニコル回転法の原理に基づいて複数波長における位相差を算出し、前記被測定物の位相差の波長分散特性R(λ)を得るオンライン位相差測定装置。 - 被測定物は基材フィルムにヨウ素が吸着配向している偏光板であり、
前記演算処理部は被測定物の位相差の波長分散特性Rp(λ)を以下の波長分散式で表し、
右辺第一項のaを被測定物の基材フィルムの位相差とし、さらにある基準波長λ0における右辺第二項のb/(λ0 2−c2)(cは吸収端波長と呼ばれる定数)の値をヨウ素の位相差とする請求項1に記載のオンライン位相差測定装置。 - 前記位相差板は波長分散特性をもつ材料からなり、近赤外域で測定したときの位相差の波長分散特性R0(λ)が既知の定数a0,b0,c0により(3)式と同じ形で表されるものであり、
前記演算処理部は被測定物と前記位相差板との直交重ね合わせ状態で測定できる位相差R'(λ)を次式で表わし、
複数波長における位相差算出値を用いて最小二乗法により係数a、bを決定するものである請求項2に記載のオンライン位相差測定装置。 - 前記位相差板は波長分散特性をもたず、その位相差は一定値R0となっているものであり、
前記演算処理部は被測定物と前記位相差板との直交重ね合わせ状態で測定できる位相差R'(λ)を次式で表わし、
複数波長における位相差算出値を用いて最小二乗法により係数a、bを決定するものである請求項2に記載のオンライン位相差測定装置。 - 前記演算処理部は検出波長λiごとの光量の補正係数βi(θ)として[一定値/(被測定物がないときの分光器検出光強度I0i(θ))]を計算する補正係数算出部をさらに備え、
前記演算処理部は被測定物と前記位相差板との重ね合わせ状態での分光器検出光強度Ii(θ)に替えてβi(θ)で補正された波長ごとの検出光強度βi(θ)×Ii(θ)を用いて位相差を算出する請求項1から4のいずれかに記載のオンライン位相差測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158613A JP5223081B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | 偏光板用オンライン位相差測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009158613A JP5223081B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | 偏光板用オンライン位相差測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011013140A JP2011013140A (ja) | 2011-01-20 |
JP5223081B2 true JP5223081B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=43592189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009158613A Expired - Fee Related JP5223081B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | 偏光板用オンライン位相差測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5223081B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5945037B2 (ja) * | 2014-09-29 | 2016-07-05 | 住友化学株式会社 | 偏光板 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2789575B2 (ja) * | 1990-07-31 | 1998-08-20 | 王子製紙株式会社 | 複屈折測定装置 |
JPH08145878A (ja) * | 1994-11-21 | 1996-06-07 | Sekisui Chem Co Ltd | 複屈折測定装置 |
JP3414156B2 (ja) * | 1996-09-06 | 2003-06-09 | 王子製紙株式会社 | 複屈折測定装置 |
JP2005031577A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏光膜、偏光板および液晶表示装置 |
JP5116345B2 (ja) * | 2007-04-06 | 2013-01-09 | 富士フイルム株式会社 | 位相差測定方法及び装置 |
-
2009
- 2009-07-03 JP JP2009158613A patent/JP5223081B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011013140A (ja) | 2011-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI331672B (en) | Focused-beam ellipsometer | |
JP2011141288A5 (ja) | ||
JP5198980B2 (ja) | 光学異方性パラメータ測定方法及び測定装置 | |
JP4779124B2 (ja) | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法 | |
TWI421486B (zh) | 光學異方性參數測定方法及測定裝置 | |
CN100340838C (zh) | 测量双折射单轴晶体波片厚度的方法 | |
KR20080090994A (ko) | 위상차 측정 방법 및 장치 | |
JP5254323B2 (ja) | 光学歪み計測装置 | |
TWI485382B (zh) | And a measuring device for measuring the inclination angle of the reflective liquid crystal cell | |
KR20080091002A (ko) | 분광기를 이용한 위상차 측정 장치 | |
TWI615604B (zh) | 寬波段消色差複合波片的定標方法 | |
JP5223081B2 (ja) | 偏光板用オンライン位相差測定装置 | |
WO2016001173A1 (en) | A broadband linear polarization scrambler | |
JP5446644B2 (ja) | 楕円偏光板の貼合角測定装置 | |
JP6239336B2 (ja) | 円二色性計測方法及び円二色性計測装置 | |
Yang et al. | Optical, mechanical, and photoelastic anisotropy of biaxially stretched polyethylene terephthalate films studied using transmission ellipsometer equipped with strain camera and stress gauge | |
JP5041508B2 (ja) | 光学特性計測装置および方法 | |
JP5991230B2 (ja) | 位相差測定方法及び装置 | |
JP2011117792A (ja) | 楕円偏光板の貼合角測定装置 | |
JP2009281787A (ja) | 位相差分布測定装置 | |
TWI413765B (zh) | 物質特性量測方法與系統 | |
JP2008151559A (ja) | 赤外線厚さ・配向計及び赤外線厚さ・配向測定方法 | |
JP3936712B2 (ja) | 検出対象のパラメータ検出方法及び検出装置 | |
JP6239335B2 (ja) | 円二色性計測方法及び円二色性計測装置 | |
Otsuki et al. | Mueller matrix microscopic ellipsometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5223081 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160322 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |