JP5222394B2 - 傾斜構造体を備えたマイクロメカニカル型の構成エレメントおよび相応する製作方法 - Google Patents
傾斜構造体を備えたマイクロメカニカル型の構成エレメントおよび相応する製作方法 Download PDFInfo
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Description
本発明は、傾斜構造体を備えたマイクロメカニカル型の構成エレメントに関する。本発明は、同じく相応する製作方法に関する。
請求項1の特徴部に記載の特徴を有する、本発明による、傾斜構造体を備えたマイクロメカニカル型の構成エレメント、すなわち表面を備えた基板が設けられており、該基板の表面に設けられかつ該基板から離れる方向に延びる第1のアンカが設けられており、該第1のアンカの側面に設けられた少なくとも1つのアームが設けられており、該アームが、第1のアンカから斜めに離れる方向に向けられていることを特徴とする、マイクロメカニカル型の構成エレメントならびに請求項14の特徴部に記載の特徴を有する相応する製作方法、すなわち、以下のステップ:
表面を備えた基板と、該基板の表面に設けられかつ該基板から離れる方向に延びる第1のアンカと、該第1のアンカの側面に設けられかつ該第1のアンカの側面から側方に離れる方向に向けられた少なくとも1つのアームとを提供し;
該アームを、該アームが前記第1のアンカから斜めに離れる方向に向けられるように曲げる;
ステップを実施することを特徴とする、マイクロメカニカル型の構成エレメントを製作するための方法には、傾斜構造体を備えたマイクロメカニカル型の構成エレメントの簡単な製作を可能にするという利点がある。本発明における傾斜構造体は、完全に線状の傾斜に限定されているのではなく、部分的に線状の傾斜や、丸められた傾斜をも包含するものである。言い換えれば、「傾斜」とは、アームがその表面の少なくとも1つの点に、第1のアンカの側面に対して直角の角度を形成しない接線を有していることを意味する。
以下に、本発明の実施形態を図面につき詳しく説明する。
Claims (5)
- マイクロメカニカル型の構成エレメントであって:
表面(O)を備えた基板(1)が設けられており;
該基板(1)の表面(O)に設けられかつ該基板(1)から離れる方向に延びる第1のアンカ(3e;3e´)が設けられており;
該第1のアンカ(3e;3e´)の側面(S1,S2;S1´;S2´)に設けられた少なくとも1つのアーム(3c,3d;3c´)が設けられており、該アーム(3c,3d;3c´)が、第1のアンカ(3e;3e´)から斜めに離れる方向に向けられており;
2つの第1のアンカ(3e´)が、前記基板(1)の表面(O)に、中間室(Z)によって相互間隔を置いて配置されており、前記両第1のアンカ(3e´)が、各アーム(3c´)を介して前記基板(1)の表面(O)に結合されており、前記中間室(Z)内に、旋回ビーム(10)の旋回軸線(A)のための懸吊部(5)が設けられている;
ことを特徴とする、マイクロメカニカル型の構成エレメント。 - 前記旋回ビーム(10)の旋回軸線(A)のための懸吊部(5)が、前記両第1のアンカ(3e´)に取り付けられている、請求項1記載のマイクロメカニカル型の構成エレメント。
- 前記アーム(3c,3d)が、多層構造体を有している、請求項1または2記載のマイクロメカニカル型の構成エレメント。
- 前記アーム(3c,3d;3c;3c´)が、湾曲させられている、請求項1から3までのいずれか1項記載のマイクロメカニカル型の構成エレメント。
- 前記アーム(3c,3d;3c;3c´)が、ビーム形または面形に形成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のマイクロメカニカル型の構成エレメント。
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