JP5221494B2 - 回転検出装置および回転検出装置付き軸受 - Google Patents

Description

この発明は、各種の機器における回転角度検出、特に各種モータの回転制御のための回転角度検出などに用いられる回転検出装置、およびその回転検出装置を搭載した回転検出装置付き軸受に関する。

この種の回転検出装置として、巻き線ステータとロータを用いた回転検出装置であって、ロータに極数の異なる複数のトラック群を形成することでアブソリュートエンコーダを構成し、トラック群から検出される信号の位相差により絶対角度を検出するようにしたものが提案されている（例えば特許文献１）。

他の回転検出装置として、２相の磁界信号を得るものが提案されている（例えば特許文献２）。これは、磁気パルスを発生する例えば周方向に磁極対を並べた磁気エンコーダなどのリング状の磁気パルス発生手段と、この磁気パルス発生手段に対してその周方向にほぼ整列させられ前記磁気パルスを検出する複数の検出素子とを備え、検出素子の出力信号を演算することにより絶対角度を検出する。

また、他の回転検出装置として、ＡＢＺ相信号を用いて絶対角度を出力するモードを実行するようにしたものも提案されている（例えば特許文献３）。

さらに、他の回転装置として、極数の異なる複列の磁気エンコーダを用い、それらの磁気エンコーダの磁界を検出できる複数の磁気センサを使用することにより、これら磁気センサが検出する磁界信号の互いの位相差から絶対角度を算出するようにしたものが提案されている（例えば特許文献４）。

特開２００６−３２２９２７号公報 特表２００２−５４１４８５号公報 特開２００８−１１６２９１号公報 特開２００８−２３３０６９号公報

しかし、いずれの提案例も、ノイズに強く、高速回転時でも精度良く絶対角度を検出できるという各利点を同時に満足できるものではない。
特許文献４では、複数の磁気センサの検出した磁気位相から絶対角度を算出する構成において、各々の検出した磁気位相信号を位相差検出回路に伝達するための信号形態についての説明がない。特に、複数の磁気センサが別々の素子として実装される場合、高精度な絶対角度検出を行うためには、検出した磁界信号の位相を、ノイズで乱されることなく、少ない配線で正確に伝達することが、絶対角度検出には必要である。特許文献４には、このような各々の磁気センサが検出した磁界信号の位相を位相差検出回路に伝達する信号形態について開示がない。

上記した磁界信号の位相の伝達にシリアル通信方法を使用することは可能であるが、シリアル通信ではデータの伝送に時間がかかるため遅延が発生し、高速回転時の検出精度が悪化するという問題がある。

この発明の目的は、ノイズに強く高速回転時でも精度良く絶対角度を検出できる回転
検出装置、およびこの回転検出装置を搭載した回転検出装置付き軸受を提供することである。

この発明の回転検出装置は、同心のリング状に設けられ互いに磁極数が異なる複数の磁気エンコーダと、これら各磁気エンコーダの磁界をそれぞれ検出する複数の磁気センサとを備え、前記各磁気センサは磁気エンコーダの磁極内における位置の情報を検出する機能を有したものである回転検出装置であって、前記各磁気センサは、複数のセンサ素子と、そのセンサ素子の検出した磁界信号からその位相を求めこれを互いに９０°位相の異なるＡ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂおよび原点位置を示すＺ相のパルス信号Ｚを含むＡＢＺ相信号として出力する位相検出手段とを有するものとし、この位相検出手段の出力から前記各磁界信号の位相差を求める位相差検出手段と、この検出した位相差に基づいて磁気エンコーダの絶対角度を算出する角度算出手段とを設けたことを特徴とする。前記複数の磁気センサは、個別にパッケージされた形態で配線基板や他の手段に実装され、前記位相差検出手段と、配線基板の配線または独立した配線で接続されていても良い。
この構成によると、各磁気センサの検出した磁界信号の位相をアナログ信号でなくＡＢＺ相信号として位相差検出手段に伝送する。そのため、ノイズに強く高速な伝達が可能で、配線の本線も少なくて済む。特に、前記複数の磁気センサが別々の素子としてに実装されている場合に、磁気センサから前記位相差検出手段への磁界信号の伝送に、ノイズに強く高速な伝達が可能という利点がより効果的に発揮される。また、シリアル通信と異なり、通信プロトコルのオーバーヘッドがないため、回転情報を最小時間で伝送することができる。その結果、ノイズに強く高速回転時でも精度良く絶対角度を検出できる回転検出装置とすることができる。

この発明において、磁極数が異なる複数の磁気エンコーダのうち、少なくとも一方の磁気エンコーダが複数のトラックで形成され、これらトラックの特定の位置にインデックス信号を生成するための位相ずれパターンが形成されていても良い。この場合、磁気センサは、位相ずれを検出してインデックス信号をＺ相信号として出力する。位相差検出手段は、このインデックス信号を受信することで、Ａ相信号およびＢ相信号を計数するカウンタをリセットまたは規定値に設定することができる。このため、ノイズ等の影響で誤カウントした場合であっても、リセット以降または規定値に設定以降は影響が及ばない。このため、誤差の滞留を防止できる。

この発明において、前記インデックス信号を生成するための位相ずれパターンが、磁気エンコーダ間の磁極対数の差ｎと等しい個数だけ等間隔に形成され、前記磁気エンコーダの１回転あたりにｎ個（ｎは自然数）のＺ相信号を出力するように構成されたものであっても良い。
前記インデックス信号を生成するための位相ずれパターンが、複数のトラックにおける全ての磁極対に形成され、磁極対毎にＺ相信号を出力するように構成されたものであっても良い。この場合、磁気センサそのものが磁極内位相を検出してＡＢＺ信号を出力できる構成と等価になる。

この発明において、前記位相検出手段は、前記磁界信号の位相を絶対角度で出力する絶対角度出力モードと、上記Ａ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂのみを出力するモードとに切換えて出力可能な絶対角度出力モード実行手段を有するものとしても良い。このようにモード切換可能とすることで、その出力される信号の処理の簡易化、出力信号の使用の多様化が図れる。

この発明において、前記位相検出手段の出力するＡＢＺ相信号のうち、少なくとも１組の信号を、この回転検出装置に対する外部に出力するＡＢＺ相信号外部出力手段を設けても良い。
この構成の場合、ＡＢＺ相信号外部出力手段により外部に出力されたＡＢＺ相信号を用いて回転速度などの検出を行うことができる。

この発明において、前記磁気センサが、互いに磁極ピッチ内でずれた位置に配置された複数のセンサ素子を有し、sin およびcos の２相の信号出力を得られるものであって、磁極内における位置を、前記出力信号を用いた内挿演算処理で検出するものであっても良い。例えば、前記複数のセンサ素子は２個であって、互いに、前記磁極ピッチで９０°離れた位置に配置して良い。
磁気センサをこのような構成とすると、磁気エンコーダの磁界分布をオン・オフ信号としてではなく、アナログ電圧による正弦波状の信号としてより細かく検出でき、精度の良い絶対角度検出が可能となる。

この発明において、前記磁気センサが、磁気エンコーダの磁極の並び方向に沿ってセンサ素子が並ぶラインセンサを有し、sin ，cos の２相の信号出力を演算によって生成して、磁極内における位置を、前記出力信号を用いた内挿演算処理で検出するものであっても良い。
磁気センサのセンサ素子をこのようにラインセンサで構成した場合、磁界パターンの歪みやノイズの影響が低減されて、より高い精度で磁気エンコーダの位相を検出することが可能である。

この発明において、前記角度算出手段で算出された絶対角度情報をＡＢＺ相信号として出力する角度情報出力手段を設けても良い。この構成の場合、絶対角度を出力するインターフェイス手段を別途備える必要がなく、回転検出装置の回路構成、および回転検出装置が搭載される機器側の回路構成を簡略化することができる。

この発明において、前記磁気エンコーダは、ラジアルタイプであっても、アキシアルタイプであっても良い。すなわち、前記磁気エンコーダが外周面に各磁極を有し、前記磁気センサの前記磁気センサ素子が、磁気エンコーダに対してラジアル方向に対面するものであっても良い。また、前記磁気エンコーダが軸方向面に各磁極を有し、前記磁気センサの前記磁気センサ素子が、磁気エンコーダに対してアキシアル方向に対面するものであっても良い。

この発明の回転検出装置付き軸受は、この発明の上記いずれかの構成の回転検出装置を軸受に搭載したものである。
この構成によると、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。

この発明の回転検出装置は、同心のリング状に設けられ互いに磁極数が異なる複数の磁気エンコーダと、これら各磁気エンコーダの磁界をそれぞれ検出する複数の磁気センサとを備え、前記各磁気センサは磁気エンコーダの磁極内における位置の情報を検出する機能を有したものである回転検出装置であって、前記各磁気センサは、複数のセンサ素子と、そのセンサ素子の検出した磁界信号からその位相を求めこれを互いに９０°位相の異なるＡ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂおよび原点位置を示すＺ相のパルス信号Ｚを含むＡＢＺ相信号として出力する位相検出手段とを有するものとし、この位相検出手段の出力から前記各磁界信号の位相差を求める位相差検出手段と、この検出した位相差に基づいて磁気エンコーダの絶対角度を算出する角度算出手段とを設けたため、ノイズに強く高速回転時でも精度良く絶対角度を検出することができる。
この発明の回転検出装置付き軸受は、この発明の上記構成の回転検出装置を軸受に搭載したものであるため、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。

この発明の一実施形態にかかる回転検出装置の一構成例の概略図である。 同回転検出装置の他の構成例の要部側面図である。 磁気センサの一構成例の説明図である。 磁気センサの他の構成例の説明図である。 磁気センサの検出信号および位相差検出手段の検出信号の波形図である。 各磁気センサの検出信号の位相と両検出信号の位相差を示す波形図である。 この回転検出装置の絶対角度検出回路の一構成例を示すブロック図である。 この回転検出装置における磁気センサでの角度情報出力回路の一構成例を示すブロック図である。 回転部材停止時の磁気センサにおける角度情報出力回路の絶対角度出力モードでの出力動作を説明する波形図である。 回転部材回転時の磁気センサにおける角度情報出力回路の絶対角度出力モードでの出力動作を説明する波形図である。 この回転検出装置の角度情報出力回路の一構成例を示すブロック図である。 （Ａ）は、この発明の他の実施形態にかかる回転検出装置の一構成例を示すブロック図、（Ｂ）は同回転検出装置の磁気エンコーダの正面図である。 この回転検出装置を軸受に搭載した回転検出装置付き軸受の一実施形態を示す断面図である。

この発明の一実施形態を図１ないし図１３と共に説明する。図１は、この実施形態の回転検出装置の概略構成を示す。この回転検出装置１は、例えばモータの回転軸などの回転部材４の外周に、その軸心Ｏに対して同心のリング状に設けられた複数（ここでは２つ）の磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂと、これら各磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁界をそれぞれ検出する複数（ここでは２つ）の磁気センサ３Ａ，３Ｂとを備える。磁気センサ３Ａ，３Ｂは、図１の例では前記各磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂに対して微小のギャップを介してそれぞれ径方向（ラジアル方向）に対向するように、例えばモータのハウジング等の固定部材５に設けられる。ここでは、磁気センサ３Ａが磁気エンコーダ２Ａに対向し、磁気センサ３Ｂが磁気エンコーダ２Ｂに対向する。

磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂは、複数の磁極対（磁極Ｓと磁極Ｎの１組）を周方向に等ピッチで着磁させたリング状の磁性部材であり、ラジアルタイプである図１の例では、その外周面に磁極対が着磁されている。これら２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極対の数は互いに異ならせてある。また、図１の例では、２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂを軸方向に隣接させて配置しているが、これら磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂが同一の回転をするならば、それぞれを別の場所に配置しても良い。

磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの他の例として、図２に示すように、リング状の磁性部材の軸方向端面に複数の磁極対を周方向に等ピッチで並ぶように着磁させたアキシアルタイプのものを用いても良い。この例では、２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂを、内外周に隣接するように同心に配置している。アキシアルタイプの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの場合、その着磁面に対向する軸方向に向けて各磁気センサ３Ａ，３Ｂが配置される。
なお、複数の磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂは、ラジアルタイプおよびアキシアルタイプのいずれにおいても、必ずしも隣接して配置されていなくても良く、一体に回転可能であれば、互いに離れて配置されていても良い。

磁気センサ３Ａ，３Ｂは、対応する磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極対の数よりも高い分解能で磁極検出できる機能、つまり磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極の範囲内における位置の情報を検出する機能を有するものとされる。この機能を満たすために、例えば磁気センサ３Ａのセンサ素子として、対応する磁気エンコーダ２Ａの１磁極対のピッチλを１周期とするとき、図３のように９０度位相差（λ／４）となるように磁極の並び方向に離して配置したホール素子などの２つの磁気センサ素子３Ａ１，３Ａ２を用いたものとしても良い。この場合、これら２つの磁気センサ素子３Ａ１，３Ａ２により得られる２相の信号(sinφ,cosφ) から、磁極内位相（φ=tan^-1(sinφ／cosφ))を逓倍して算出するものとする。すなわち、磁極内位相を内挿演算処理で算出するものとする。他の磁気センサ３Ｂについても、上記磁気センサ３Ａと同様である。なお図３の波形図は、磁気エンコーダ２Ａの磁極の配列を磁界強度に換算して示したものである。

磁気センサ３Ａ，３Ｂのセンサ素子をこのような構成とすると、磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁界分布をオン・オフ信号としてではなく、アナログ電圧による正弦波状の信号としてより細かく検出でき、精度の良い絶対角度検出が可能となる。

磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極の範囲内における位置の情報を検出する機能を有する磁気センサ３Ａ，３Ｂのセンサ素子の他の例として、図４（Ｂ）に示すようなラインセンサを用いても良い。すなわち、例えば磁気センサ３Ａのセンサ素子として、対応する磁気エンコーダ２Ａの磁極の並び方向に沿って磁気センサ素子３ａが並ぶラインセンサ３ＡＡ，３ＡＢを用いる。なお、図４（Ａ）は、磁気エンコーダ２Ａにおける１磁極の区間を磁界強度に換算して波形図で示したものである。この場合、磁気センサ３Ａの第１のラインセンサ３ＡＡは、図４（Ａ）における１８０度の位相区間のうち９０度の位相区間に対応付けて配置し、第２のラインセンサ３ＡＢは残りの９０度の位相区間に対応付けて配置する。このような配置構成により、第１のラインセンサ３ＡＡの検出信号を加算回路３１で加算した信号Ｓ１と、第２のラインセンサ３ＡＢの検出信号を加算回路３２で加算した信号Ｓ２を別の加算回路３３で加算することで、図４（Ｃ）に示すような磁界信号に応じたsin 信号を得る。また、信号Ｓ１と、インバータ３５を介した信号Ｓ２をさらに別の加算回路３４で加算することで、図４（Ｃ）に示すような磁界信号に応じたcos 信号を得る。このようにして得られた２相の出力信号から、磁極の範囲内における位置を検出する。

磁気センサ３Ａ，３Ｂのセンサ素子をこのようにラインセンサで構成した場合、磁界パターンの歪みやノイズの影響が低減されて、より高い精度で磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの位相を検出することが可能である。

各磁気センサ３Ａ，３Ｂは、図７に示すように、磁気センサ素子３Ａ１，３Ａ２，３Ｂ１，３Ｂ２のほかに、磁気センサ素子の検出した磁界信号からそれらの位相を求め、この求めた位相をＡＢＺ相信号として出力する位相検出回路１３Ａ，１３Ｂを有する。ＡＢＺ相信号は、互いに９０°位相の異なるＡ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂ、および原点位置を示すＺ相のパルス信号Ｚを含む信号である。図７では、センサ素子の例として、図３の構成例の磁気センサ素子３Ａ１，３Ａ２，３Ｂ１，３Ｂ２の場合を示している。

例えば、図１の構成例において、磁気センサ３Ａ，３Ｂは位相差検出手段６に接続される。位相差検出手段６は、各磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出した磁界信号の位相差を求める手段であり、その後段に角度算出手段７が接続される。角度算出手段７は、位相差検出手段６の検出した位相差に基づいて磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの絶対角度を算出する手段である。
上記複数の磁気センサ３Ａ，３Ｂは、別々の素子として、つまり個別にパッケージされた形態で設けられて配線基板（図示せず）や他の手段に実装され、前記位相差検出手段６と、配線基板の配線または独立した配線で接続されている。

この回転検出装置１による絶対角度検出の概略動作を、図５および図６を参照して以下に説明する。図１において、２つの磁気エンコーダ２Ｂ，２Ａの磁極対の数をＰとＰ＋ｎとすると、両磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの間では１回転あたり磁極対にしてｎ個分の位相差があるので、これら磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂに対応する磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出信号の位相は、３６０／ｎ度回転するごとに一致する。

図５（Ａ），（Ｂ）には両磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極のパターン例を示し、図５（Ｃ），（Ｄ）にはこれら磁気エンコーダに対応する磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出信号の波形を示す。この場合、磁気エンコーダ２Ａの３磁極対に対して、磁気エンコーダ２Ｂの２磁極対が対応しており、この区間内での絶対位置を検出することができる。図５（Ｅ）は、図５（Ｃ），（Ｄ）の検出信号に基づき、図１の位相差検出手段６より求められる位相差の出力信号の波形図を示す。
なお、図６は、各磁気センサ３Ａ，３Ｂによる検出位相と位相差の波形図を示す。すなわち、図６（Ａ），（Ｂ）には両磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極のパターン例を示し、図６（Ｃ），（Ｄ）には対応する磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出位相の波形図を示し、図６（Ｅ）には位相差検出手段６より出力される位相差信号の波形図を示す。

図７は、この回転検出装置１における絶対角度検出回路の構成例を示す。図５（Ｃ），（Ｄ）に示したような各磁気センサ３Ａ，３Ｂの磁気センサ素子３Ａ１，３Ａ２，３Ｂ１，３Ｂ２による検出信号に基づき、それぞれ対応する位相検出回路１３Ａ，１３Ｂは、図６（Ｃ），（Ｄ）に示したような検出位相信号を出力する。ここでは、説明を簡単にするために検出位相信号を鋸歯の波形として示しているが、後述するように位相検出回路１３Ａ，１３Ｂは検出位相信号としてＡＢＺ相信号（ＡＢＺ１，ＡＢＺ２）を出力する。位相差検出手段６は、これらの検出位相信号に基づき、図６（Ｅ）に示したような位相差信号を出力する。その次段に設けられた角度算出手段７は、位相差検出手段６で求められた位相差を、予め設定された計算パラメータにしたがって絶対角度へ換算する処理を行う。角度算出手段７で用いられる計算パラメータは不揮発メモリなどのメモリ８に記憶されている。このメモリ８には、前記計算パラメータのほか、磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極対の数の設定、絶対角度基準位置、信号出力の方法など、装置の動作に必要な情報が記憶されている。ここでは、メモリ８の次段に通信インタフェース（Ｉ／Ｆ）９を設けることで、通信インタフェース９を通じてメモリ８の内容を更新できる構成とされている。これにより、個別の設定情報を使用状況に応じて可変設定でき、使い勝手が良くなる。

角度算出手段７で算出された絶対角度情報は、パラレル信号、シリアルデータ、アナログ電圧、ＰＷＭなどの変調信号として、角度情報出力回路１０から、あるいは前記通信Ｉ／Ｆ９を介して出力される。また、角度算出手段７からは回転パルス信号も出力される。回転パルス信号としては、２つの磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出信号のうち、いずれか１つの信号を出力すれば良い。上記したように、各磁気センサ３Ａ，３Ｂはそれぞれ逓倍機能を備えているので、高い分解能で回転信号を出力することができる。

図８にブロック図で示すように、各磁気センサ３Ａ，３Ｂの位相検出回路１３Ａ，１３Ｂは、センサ素子の検出した磁界信号からそれらの位相を算出する角度算出手段１２のほか、算出した位相情報をＡＢＺ相信号として出力し位相差検出手段６に伝達する角度情報出力回路２０を有する。

前記各磁気センサ３Ａ，３Ｂの位相検出回路１３Ａ，１３Ｂの出力するＡＢＺ相信号のうち、少なくとも１組の信号（ここでは位相検出回路１３Ａの出力するＡＢＺ相信号ＡＢＺ１）は、ＡＢＺ相信号外部出力手段１４によって外部に出力される。このＡＢＺ相信号外部出力手段１４は、位相検出回路１３Ａの出力から外部に引き出される別の信号回路として構成される。
このように、後段の位相差検出手段６などを経ずに位相検出回路１３Ａから外部にＡＢＺ相信号を出力させると、このＡＢＺ相信号を回転部材４の回転速度検出などにそのまま利用することができる。

角度情報出力手段２０は、回転パルス信号生成手段１７と、絶対角度出力モード実行手段１５と、モード実行信号生成手段１６とを有する。
回転パルス信号生成手段１７は、前記角度算出手段１２で算出した磁気位相に基づきＡＢＺ相信号を生成する手段である。図９（Ａ），（Ｂ）には、回転パルス信号生成手段１７が生成する２つのパルス信号（Ａ相信号，Ｂ相信号）の波形図を示す。図９（Ｃ）には、回転パルス信号生成手段１７が生成するＺ相信号の波形図を示す。

絶対角度出力モード実行手段１５は、前記回転パルス信号（ＡＢ相信号）を、前記インデックス信号（Ｚ相信号）を出力してから現在の磁界位相まで出力するモードである絶対角度出力モードと、上記Ａ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂのみを出力するモードとに切換えて出力可能な手段である。前記回転パルス信号生成手段１７により生成される回転パルス信号（ＡＢ相信号）は、前記絶対角度出力モードの場合とそのモードでない場合とで異なる。すなわち、絶対角度出力モードでない場合（通常時）の回転パルス信号（ＡＢ相信号）は、磁気センサ３Ａ，３Ｂが検出する磁界位相の変化に応じた速度のパルス信号として生成される。これに対して、絶対角度出力モードでの回転パルス信号（ＡＢ相信号）は、前記通常時のパルス信号に比べて十分高速なパルス信号として生成される。なお、インデックス信号（Ｚ相信号）も、絶対角度出力モードでは高速なパルス信号とされる。
絶対角度出力モード実行手段１５は、磁気センサ３Ａ，３Ｂの電源オンの直後、および磁気センサ３Ａ，３Ｂの出力を受ける位相差検出手段６からの要求信号（request信号)
に応じて前記絶対角度出力モードの出力動作を実行する。図９（Ｆ）には、位相差検出手段６から出力される要求信号（request信号) の波形図を示す。磁気センサ３Ａ，３Ｂは
、電源オンの直後に電源オン信号を出力し、この電源オン信号が絶対角度出力モード実行手段１５に入力される。

モード実行信号生成手段１６は、前記絶対角度出力モード実行手段１５が絶対角度出力モードの出力動作を実行していることを示す信号（ＡＢＳ＿mode信号）を出力する手段である。なお、モード実行信号生成手段１６は、例えば、絶対角度出力モード実行手段１５の一部として構成される。図９（Ｄ）には、モード実行信号生成手段１６が出力するＡＢＳ＿mode信号の波形図を示す。

次に、前記各磁気センサ３Ａ，３Ｂが磁界位相を検出し、その磁界位相情報を位相差検出手段６に向けて出力する動作を、回転部材が停止している場合（図９）と回転している場合（図１０）とに分けて説明する。
・回転部材が停止している場合
位相差検出手段６から磁気センサ３Ａ，３Ｂの位相検出回路１３Ａ，１３Ｂにおける角度情報出力回路２０に、図９（Ｆ）のように絶対角度出力の要求信号（request）が入力
されると、これに呼応して絶対角度出力モード実行手段１５が動作可能となり、モード実行信号生成手段１６から図９（Ｄ）のように絶対角度出力モード中であることを示すモード実行信号（ＡＢＳ＿mode）が生成され、回転パルス信号生成手段１７から図９（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）のように各回転パルス信号（Ａ，Ｂ，Ｚ）が生成される。各信号の生成順序としては、先ずＡＢＳ＿mode信号が１となり、その後インデックス信号（Ｚ相信号）が出力され、さらに遅れて２つの回転パルス信号（Ａ相信号，Ｂ相信号）が出力される。この場合のインデックス信号（Ｚ相信号）は、磁気センサ３Ａ，３Ｂの零相とは無関係に出力される。

これらの信号を受信して動作する位相差検出手段６では、インデックス信号（Ｚ相信号）を受信することで絶対角度値を示すポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂが０にリセットされる。Ｚ相信号に続いて出力されるＡ相信号およびＢ相信号を、前記ポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂが図９（Ｅ）のように計数する。Ａ相信号およびＢ相信号のポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂでの扱いは、これら各信号の立ち上がりおよび立ち下がりのエッジ部で計数するもの（４逓倍）とされる。磁気センサ３Ａ，３Ｂが検出している現在の磁界位相の絶対値をＱｎとすると、回転パルス信号生成手段１７からは、Ａ相信号およびＢ相信号としてポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂでの計数値が合計Ｑｎとなるパルス数が出力される。
また、回転パルス信号生成手段１７が、Ａ相信号およびＢ相信号として合計Ｑｎカウント分のパルス数を出力すると、モード実行信号生成手段１６の生成するＡＢＳ＿mode信号が０となり、絶対角度出力モードが終了する。その結果、位相差検出手段６のポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂの計数値は、絶対角度出力モードが終了すると、磁気センサ３Ａ，３Ｂが検出している現在の磁界位相の絶対値Ｑｎを示す。
したがって、絶対角度出力モード動作中（ＡＢＳ＿mode＝１）に回転パルス信号生成手段１７から出力されるＡ相信号およびＢ相信号を計数することにより、位相差検出手段６のポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂに絶対位相データＱｎが転送されることになり、別途シリアル通信手段を設けることなく、ＡＢＺ相信号を用いて磁界位相情報を位相差検出手段６に向けて出力することができる。

上記説明では、位相差検出手段６から絶対角度出力モードの要求信号（request）を磁
気センサ３Ａ，３Ｂにおける位相検出回路１３Ａ，１３Ｂの角度情報出力回路２０に入力することによって、絶対角度出力モード実行手段１５を絶対角度出力モードとする場合を示したが、磁気センサ３Ａ，３Ｂが電源オンとなったときにも、初期化動作の一部として絶対角度出力モード実行手段１５が絶対角度出力モードとされる。この場合、磁気センサ３Ａ，３Ｂから出力される電源オン信号が前記要求信号（request）に代わって、絶対角
度出力モードのタイミング信号となる。
この場合にも、磁気センサ３Ａ，３Ｂの電源がオンになると、磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出する現在の磁界位相に相当するパルス数のＡＢ相信号が出力されるため、この信号を受信する位相差検出手段６に現在の磁界位相情報が伝えられることになる。位相差検出手段６がリセットされた場合や、位相差検出手段６の起動時間が長くかかり電源オン直後のＡＢ相信号を正確に受信できない場合には、位相差検出手段６から磁界位相情報の出力を要求する要求信号（request）を改めて磁気センサ３Ａ，３Ｂにおける位相検出回路１３
Ａ，１３Ｂの角度情報出力回路２０に入力し、再度絶対角度検出モードを実行させることにより、現在の磁界位相情報を位相差径手段６に転送することが可能になる。

なお、絶対角度出力モードにおいては、上記したようにＡ，Ｂ，Ｚの各相信号はできるかぎり高速なパルス信号の形態で出力される。その結果、磁界位相情報を位相差検出手段６に転送するために必要な時間を最低限にすることができる。

・回転部材が回転している場合
この場合も、位相差検出手段６から磁気センサ３Ａ，３Ｂにおける位相検出回路１３Ａ，１３Ｂの角度情報出力回路２０に、図１０（Ｆ）のように絶対角度出力の要求信号（request）が入力されると、これに呼応して絶対角度出力モード実行手段１５が動作可能となり、モード実行信号生成手段１６から図１０（Ｅ）のように絶対角度出力モード中であることを示すモード実行信号（ＡＢＳ＿mode＝１）が生成され、回転パルス信号生成手段１７から図９（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）のように各回転パルス信号（Ａ，Ｂ，Ｚ相信号）が生成される。
位相差検出手段６では、Ｚ相信号を受信することで絶対角度値を示すポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂがリセットされ、Ｚ相信号に続いて出力されるＡ相信号およびＢ相信号を、前記ポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂが計数する。Ａ相信号およびＢ相信号のパルス出力が、図１０（Ａ）のように一旦現在の磁界位相に達すると、そこで絶対角度出力モード動作が終了する（ＡＢＳ＿mode＝０）。その後は、回転部材の回転に伴い磁気センサ３Ａ，３Ｂで検出される磁界位相の変化に応じた回転パルス信号（ＡＢＺ相信号）が出力される。これにより、パルスを計数することで各磁気センサ３Ａ，３Ｂの検出する磁界位相を知る位相差検出手段６では、絶対角度出力モード動作が終了（ＡＢＳ＿mode＝０）となった後は実際の磁界位相情報を常に取得している状態となる。

このように、この実施形態の回転検出装置１では、磁気センサ３Ａ，３Ｂで検出した磁界位相情報を、特別なハードウェアの追加なしに、従来のインクリメンタル・エンコーダと同様なＡＢＺ相パルス信号を利用して位相差検出手段６に伝達することができる。このため、ノイズに強く高速な伝達が可能で、配線の本線も少なくて済む。また、通信プロトコルのオーバーヘッドがないため、回転情報を最小時間で伝送することができる。

また、磁気センサ３Ａ，３Ｂにおける位相検出回路１３Ａ，１３Ｂの角度情報出力回路２０の絶対角度出力モード実行手段１５が絶対角度出力モードを実行していることを示す信号（ＡＢＳ＿mode）を出力するモード実行信号生成手段１６を設けているので、絶対角度出力モード動作中を示す信号線を備えておれば、位相差検出手段６において、磁気センサ３Ａ，３Ｂから送信されてくる回転パルス信号（ＡＢＺ相信号）がどのような状態で出力されているかを判別することができ、機器の制御状態などを乱すことなく磁界位相情報を伝達することもできる。

また、磁気センサ３Ａ，３Ｂに対する位相差検出手段６からの要求信号（request）に
応じて、絶対角度出力モード実行手段１５が絶対角度出力モードによる出力を実行するものとしているので、位相差検出手段６の状態に応じて磁界位相情報を出力することができ、位相差の演算を余裕を持って行うことができる。

図７の角度情報出力回路１０でも、前記角度算出手段７で算出された絶対角度を、互いに９０度位相の異なるＡ相およびＢ相の２つのパルス信号と、原点位置を示すＺ相のパルス信号とでなるＡＢＺ相信号として出力するようにしても良い。
この場合、図１１に示すように、受信側回路４４から角度情報出力回路１０に対して絶対角度出力の要求信号（request）が入力されると、これに呼応して角度情報出力回路１
０における絶対角度出力モード実行手段４５が動作可能となり、角度情報出力回路１０におけるモード実行信号生成手段４６から絶対角度出力モード中であることを示すモード実行信号（ＡＢＳ＿mode＝１）が生成され、角度情報出力回路１０における回転パルス信号生成手段４７からＡ，Ｂ，Ｚ相信号が出力されるように、角度情報出力回路１０を構成しても良い。
受信側回路４４では、Ｚ相信号を受信することで絶対角度値を示すポジションカウンタ４８が０にリセットされ、Ｚ相信号に続いて出力されるＡ相信号およびＢ相信号を、前記ポジションカウンタ４８が計数する。Ａ相信号およびＢ相信号のパルス出力が、一旦現在の絶対角度値に達すると、そこで絶対角度出力モード動作が終了する（ＡＢＳ＿mode＝０）。その後は、回転部材４（図１）の回転に伴い検出される絶対角度の変化に応じた回転パルス信号（ＡＢＺ相信号）を角度算出手段７から出力する。これにより、パルスを計数することで絶対角度を知る受信側回路４４では、絶対角度出力モード動作が終了（ＡＢＳ＿mode＝０）となった後は実際の絶対角度情報を常に取得している状態となる。

このように、角度情報出力回路１０からＡＢＺ相信号のような回転パルス信号を出力し、絶対角度出力モードによって絶対角度情報を出力する構成とすると、絶対角度を出力するインタフェースを別途備える必要がなく、この回転検出装置１の回路構成、および回転検出装置１が搭載される機器側の回路構成を簡略化することができる。

また、この回転検出装置１において、前記磁気センサ３Ａ，３Ｂと、図７に示した角度情報出力回路１０を含む信号処理回路とを、例えば図２の例で示すように、センサモジュール１１として一体化しても良いし、このセンサモジュール１１を１つの半導体チップに集積しても良い。このように構成した場合、部品点数の低減、磁気センサ３Ａ，３Ｂの互いの位置精度の向上、製造コストの低減、組立コストの低減、信号ノイズ低減による検出精度向上などのメリットが得られ、小型で低コストの回転検出装置１とすることができる。
なお、この場合、２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂに対して１つのセンサモジュール１１を対向させることになるので、２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂは互いに近接して配置させることになる。

このように、この回転検出装置１は、同心のリング状に設けられ互いに磁極数が異なる複数の磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂと、これら各磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁界をそれぞれ検出する複数の磁気センサ３Ａ，３Ｂとを備え、これら各磁気センサ３Ａ，３Ｂは磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの磁極内における位置の情報を検出する機能を有したものであり、センサ素子と、そのセンサ素子の検出した磁界信号からその位相を求めこれをＡＢＺ相信号として出力する位相検出手段１３Ａ，１３Ｂとを有するものとし、この位相検出手段１３Ａ，１３Ｂ出力から前記各磁界信号の位相差を位相差検出手段６で求め、この検出した位相差に基づいて磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの絶対角度を角度算出手段７で算出するようにしているので、ノイズに強く高速回転時でも精度良く絶対角度を検出できる回転検出装置とすることができる。

上記実施形態における典型例の特徴を整理すると、次のとおりである。図７の位相差検出手段６への検出位相信号の伝達は、ＡＢＺ相のパルス信号を用いて図８に伝達される。検出した磁気位相を０〜３６０度の位相データとして扱い、図１０に示すチャートのように磁気位相データを一連のパルス出力の形態で伝達する。この方式によれば、アナログ信号伝達を用いないためノイズに強い。また、電源ＯＮ直後に位相データを絶対角度出力モードで出力後は、回転体の回転にともなう回転パルスが伝達され、カウンタ１８Ａ，１８Ｂによる計数で追従するため、高速な応答が可能で、算出される絶対角度の検出精度を高めることができる。シリアル通信によるデータ伝送と比較して、回転情報の伝達に遅延がないため、高速回転での応答性を向上させることができる。
また、図７の最上部に示したパルス出力のように、一方の磁気センサ３Ａ（または３Ｂ）の検出した位相信号（絶対角度出力モード以外は回転パルスと等価）を出力すれば、角度計算による内部遅延なく回転信号を出力できるため、高速回転にも対応した角度センサが実現できる。

このように、次の各利点が得られる。
・位相信号の伝達にアナログ信号を用いないため、ノイズに強い。
・電源ＯＮ直後に、各センサ３Ａ，３Ｂの検出した磁気位相を絶対角度出力モードで出力するため、余分な配線を用意することなく磁気位相のデータを伝送することができる。
・一旦絶対角度（位相）データを出力した後は、回転に応じたＡＢＺ信号を出力するため、検出位相信号を高速に伝達可能で、検出遅れもほとんど発生せず、高精度な絶対角度検出が可能。

なお、上記実施形態では、２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂを用いたものを例示したが、磁気エンコーダは２つでなくてもよく、磁極対の数の異なる３つ以上の磁気エンコーダを組み合わせて、より広い範囲の絶対角度を検出する構成としても良い。この回転検出装置１をモータの回転検出に使用する場合、上記磁極対の数の差の調整において、モータのロータ極数Ｐｎに合わせてＰとＰ＋Ｐｎという組合せとすれば、回転検出装置１によりモータの電気角を検出できるため、モータの回転制御に好都合である。

前記図７の構成では、各磁気センサ３Ａ，３Ｂが磁極内位相を検出する位相検出手段１３Ａ，１３Ｂを有し、単独でＡＢＺ信号を用いた位置情報出力が可能としていた。しかし、各磁気センサ３Ａ，３Ｂが、磁極内位相を逓倍する逓倍機能だけを備えており、磁極毎にＺ相信号を出力する機能がない場合もある。
その場合、例えば、２つの磁気センサ素子３Ａ１，３Ａ２により得られる２相のアナログ信号(sinφ，cosφ)等を別途利用して磁極内位相を求めて記憶する。その後、出力されるＡＢ信号の積算によりポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂを動作させ、角度検出を継続することができる。
しかし、ノイズ等の影響でポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂが誤動作（誤カウント）することがあると、その誤差を修正する機会がなく、検出誤差が滞留してしまう。

そこで、この発明の他の回転検出装置１では、磁極数が異なる複数の磁気エンコーダのうち、少なくとも一方の磁気エンコーダを複数のトラックで形成し、これらトラックの特定の位置にインデックス信号を生成するための位相ずれパターンを形成している。具体的には、図１２（Ｂ）の３トラック構成の例に示すように、互いに同心で磁極数が異なる２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂのうち、外径側の磁気エンコーダ２Ａが、それぞれ磁気エンコーダトラックである２つのトラック２Ａｍ，２Ａｉで形成されている。両磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂは、リング状の磁性部材の軸方向端面に磁極対を形成したアキシアルタイプである。

図１２（Ｂ）に示すように、外径側の磁気エンコーダ２Ａの２つのトラック２Ａｍ，２Ａｉは、互いに磁極数が同じであるが、このうちの外径側のトラック２Ａｉは、内径側のトラック２Ａｍである位相検出用のトラック２Ａｍに対し部分的に磁極幅が異なっていて、インデックストラックとなる。すなわち２つのトラック２Ａｍおよびトラック２Ａｉにおいて、インデックス信号を生成するインデックス位置Ｐ１が、円周方向一定間隔で定められ、前記トラック２ＡｉのＳ極からＮ極への周方向の磁極遷移位置が、前記インデックス位置Ｐ１では周方向一方側（左側）にずれている。このインデックス位置Ｐ１は、例えば、磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂ間の磁極対数の差ｎと等しい個数だけ等間隔に形成される。
トラック２Ａｉにおける、位相検出用のトラック２Ａｍに対して前記の磁極遷移位置が変わる部分のパターンＺＰが、インデックス信号を生成するための「位相ずれパターン」となる。
磁気センサ３Ａｍ，３Ａｉは、トラック２Ａｍ、トラック２Ａｉにそれぞれ微小のギャップを介して対向する。これら磁気センサ３Ａｍ，３Ａｉのうち磁気センサ３Ａｉは、前記磁極遷移位置のずれを検出してインデックス信号を出力する。インデックス位置Ｐ１がｎ個等間隔に形成される場合、磁気エンコーダ１回転あたりｎ個のインデックス信号を出力し得る。

図１２（Ａ）に示すように、検出した前記インデックス信号をＺ相信号として、前記磁気センサ３Ａｉから出力する。位相差検出手段６は、このインデックス信号を受信することで、ポジションカウンタ１８Ａを「０」にリセットすることができる。このため、ノイズ等の影響でポジションカウンタ１８Ａが誤カウントした場合であっても、ポジションカウンタ１８Ａのリセット以降は影響が及ばない。このため、誤差の滞留を防止できる。
前記インデックス位置Ｐ１は、前記のように円周方向一定間隔で形成されても良いし、複数のトラック２Ａｍ，２Ａｉにおける全ての磁極対に形成されていても良い。インデックス位置Ｐ１が全ての磁極対に形成された場合、磁気センサそのものが磁極内位相を検出してＡＢＺ信号を出力できる構成と等価になる。

複数の磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂそれぞれに、インデックス信号を生成するための位相ずれパターンが形成されていても良い。磁極数の異なる磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの両方がインデックス信号を備えていた場合、位相差検出手段６は、前記両方のインデックス信号を受信することで、両方のＡＢ相信号を計数するポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂを「０」にリセットすることができる。ポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂにおける誤カウントがそれぞれリセットされるため、検出値に対する信頼性をさらに向上させることができる。この場合においても、インデックス位置Ｐ１は円周方向一定間隔で形成されても良いし、全ての磁極対に形成されていても良い。
また、回転体の高速回転時に、磁極数の異なる両方の磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂの信号から絶対角度を計算すると、構成によっては遅延時間が問題となる場合がある。しかし、インデックス信号が一定位置で出力されていれば、絶対角度の計算が終わるのを待たずに、前記インデックス信号を用いた処理を実行することも可能になる。よって、高速回転時における応答性を高める効果もある。
位相差検出手段６は、前記インデックス信号を受信したタイミングでポジションカウンタ１８Ａ，１８Ｂを規定の値に設定する動作を行うようにしても良い。

図１３は、上記いずれかの回転検出装置１を軸受に搭載した回転検出装置付き軸受の一実施形態を示す断面図である。この回転検出装置付き軸受５０は、回転側軌道輪である内輪５２と固定側軌道輪である外輪５３の間に複数の転動体５４が介在する転がり軸受５１の一端部に、上記回転検出装置１を設けたものである。転がり軸受５１は深溝玉軸受からなり、内輪５２の外径面および外輪５３の内径面にはそれぞれ転動体５４の転走面５２ａ，５３ａが形成されている。内輪５２と外輪５３の間の軸受空間は、回転検出装置１の設置側とは反対側の端部がシール５６で密封されている。

回転検出装置１の２つの磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂは、内輪５２の一端部の外径面に圧入嵌合されるリング状の芯金５７の外径面に、軸方向に並べて設けられる。回転検出装置１の２つの磁気センサ３Ａ，３Ｂは、図２で示したように他の信号処理回路と共にセンサモジュール１１として一体化され、リング状の金属製センサハウジング５８の内側に挿入された状態で樹脂モールド５９され、センサハウジング５８を介して外輪５３の一端部の内径面に取付けられる。これにより、磁気エンコーダ２Ａ，２Ｂと対応する磁気センサ
３Ａ，３Ｂとがラジアル方向に対向配置される。センサモジュール１１に接続されるリード線６０はセンサハウジング５９を貫通して外部に引き出され、このリード線６０を介してセンサモジュール１１と外部回路との間で信号の授受や電源供給が行われる。

この回転検出装置付き軸受５０では、上記回転検出装置１を転がり軸受５１に搭載しているので、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化を図ることができる。

１…回転検出装置
２Ａ，２Ｂ…磁気エンコーダ
３Ａ，３Ｂ…磁気センサ
３Ａ１，３Ａ２，３Ｂ１，３Ｂ２…磁気センサ素子
３ＡＡ，３ＡＢ…ラインセンサ
６…位相差検出手段
７…角度算出手段
１０…角度情報出力回路
１３Ａ，１３Ｂ…位相検出回路
５０…回転検出装置付き軸受
５１…転がり軸受

Claims (14)

1. 同心のリング状に設けられ互いに磁極数が異なる複数の磁気エンコーダと、これら各磁気エンコーダの磁界をそれぞれ検出する複数の磁気センサとを備え、前記各磁気センサは磁気エンコーダの磁極内における位置の情報を検出する機能を有したものである回転検出装置であって、
   前記各磁気センサは、複数のセンサ素子と、そのセンサ素子の検出した磁界信号からその位相を求めこれを互いに９０°位相の異なるＡ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂおよび原点位置を示すＺ相のパルス信号Ｚを含むＡＢＺ相信号として出力する位相検出手段とを有するものとし、この位相検出手段の出力から前記各磁界信号の位相差を求める位相差検出手段と、この検出した位相差に基づいて磁気エンコーダの絶対角度を算出する角度算出手段とを設けたことを特徴とする回転検出装置。
2. 請求項１において、磁極数が異なる複数の磁気エンコーダのうち、少なくとも一方の磁気エンコーダが複数のトラックで形成され、これらトラックの特定の位置にインデックス信号を生成するための位相ずれパターンが形成されている回転検出装置。
3. 請求項２において、前記インデックス信号を生成するための位相ずれパターンが、磁気エンコーダ間の磁極対数の差ｎと等しい個数だけ等間隔に形成され、前記磁気エンコーダの１回転あたりにｎ個（ｎは自然数）のＺ相信号を出力するように構成された回転検出装置。
4. 請求項２において、前記インデックス信号を生成するための位相ずれパターンが、複数のトラックにおける全ての磁極対に形成され、磁極対毎にＺ相信号を出力するように構成された回転検出装置。
5. 請求項１において、前記複数の磁気センサが個別にパッケージされた形態で実装され、前記位相差検出手段と配線で接続されている回転検出装置。
6. 請求項１または請求項５において、前記位相検出手段は、前記磁界信号の位相を絶対角度で出力する絶対角度出力モードと、上記Ａ相およびＢ相のパルス信号Ａ，Ｂのみを出力するモードとに切換えて出力可能な絶対角度出力モード実行手段を有する回転検出装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれ１項において、前記位相検出手段の出力するＡＢＺ相信号のうち、少なくとも１組の信号を、この回転検出装置に対する外部に出力するＡＢＺ相信号外部出力手段を設けた回転検出装置。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれか１項において、前記磁気センサが、互いに磁極ピッチ内でずれた位置に配置された複数のセンサ素子を有し、sin およびcos の２相の信号出力を得られるものであって、磁極内における位置を、前記出力信号を用いた内挿演算処理で検出するものである回転検出装置。
9. 請求項８において、前記複数のセンサ素子は２個であって、互いに、前記磁極ピッチで９０°離れた位置に配置されている回転検出装置。
10. 請求項１ないし請求項７のいずれか１項において、前記磁気センサが、磁気エンコーダの磁極の並び方向に沿ってセンサ素子が並ぶラインセンサを有し、sin ，cos の２相の信号出力を演算によって生成して、磁極内における位置を、前記出力信号を用いた内挿演算処理で検出するものである回転検出装置。
11. 請求項１ないし請求項１０のいずれか１項において、前記角度算出手段で算出された絶対角度情報をＡＢＺ相信号として出力する角度情報出力手段を設けた回転検出装置。
12. 請求項１ないし請求項１１のいずれか１項において、前記磁気エンコーダが外周面に各磁極を有し、前記磁気センサの前記磁気センサ素子が、磁気エンコーダに対してラジアル方向に対面する回転検出装置。
13. 請求項１ないし請求項１２のいずれか１項において、前記磁気エンコーダが軸方向面に各磁極を有し、前記磁気センサの前記磁気センサ素子が、磁気エンコーダに対してアキシアル方向に対面する回転検出装置。
14. 請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載の回転検出装置を軸受に組み込んだ回転検出装置付き軸受。

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