JP5219237B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
3 ピッチ調整機構
9 基板
11 基板保持部
12 基板移動機構
12a 基板回転機構
13 CCDカメラ
15 ヘッド移動機構
17 ノズル
21,21a,21b 試験塗布ステージ部
34 当接部移動機構
91 上面
93 位置決め用目印
101 ピッチ検出部
102 調整機構制御部
103 基板位置調整部
213 樹脂テープ
213a 試験片
213b 待機試験片
214 テープ保持部
214a 試験片保持部
215 テープ供給部
215a 試験片収容部
216 テープ回収部
216a 押出機構
343 ステッピングモータ
2131 試験塗布面
2141 テープ吸着部
2142 テープ押圧部
2145 保持平面
2147 試験塗布面当接部
S11〜S20,S151,S152 ステップ
Claims (9)
- 基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板の主面に向けて流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルを前記基板の前記主面に平行な主走査方向に前記基板に対して相対的に移動するとともに、前記主走査方向への移動が行われる毎に前記基板を前記複数のノズルに対して前記主面に平行かつ前記主走査方向に垂直な副走査方向に相対的に移動するノズル走査機構と、
前記基板への非塗布時に前記複数のノズルからの流動性材料が試験塗布される試験塗布面を有する試験塗布部と、
前記試験塗布部を前記複数のノズルの前記主走査方向における相対移動の経路に対して進退させる試験塗布部進退機構と、
前記複数のノズルの前記主走査方向への相対移動により前記試験塗布面に塗布された流動性材料のパターンの画像を取得する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像に基づいて前記複数のノズルの前記副走査方向におけるピッチを検出するピッチ検出部と、
前記複数のノズルの前記副走査方向におけるピッチを調整するピッチ調整機構と、
前記試験塗布部の前記試験塗布面を新たな試験塗布面と交換する試験塗布面交換機構と、
を備え、
前記試験塗布面が、樹脂テープの一部の主面であり、
前記試験塗布部が、
前記樹脂テープの前記一部を保持するテープ保持部と、
前記樹脂テープの前記試験塗布面を前記基板の前記主面に平行な保持平面上に固定するテープ固定部と、
を備え、
試験塗布時における前記複数のノズルと前記テープ固定部により固定された前記試験塗布面との間の距離が、塗布時の前記複数のノズルと前記基板の前記主面との間の距離に等しいことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置であって、
試験塗布時に、前記試験塗布面が前記複数のノズルの前記主走査方向における相対移動の経路の一部のみと重なっていることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1または2に記載の塗布装置であって、
前記基板保持部を前記基板の前記主面に垂直な回転軸を中心に回転する基板回転機構と、
前記主走査方向において前記試験塗布面から離間して設けられるもう1つの試験塗布面に塗布された流動性材料のパターンの画像を取得するもう1つの撮像部と、
前記撮像部および前記もう1つの撮像部により取得された流動性材料のパターンの画像、並びに、前記撮像部および前記もう1つの撮像部により取得された前記基板の前記主面上の位置決め用目印の画像に基づいて前記ノズル走査機構および前記基板回転機構を制御することにより前記基板の前記複数のノズルに対する相対位置を調整する基板位置調整部と、
をさらに備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項3に記載の塗布装置であって、
前記もう1つの試験塗布面を、前記試験塗布面とは個別に新たな試験塗布面と交換するもう1つの試験塗布面交換機構をさらに備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記ピッチ調整機構を駆動する駆動部と、
前記ピッチ検出部の検出結果に基づいて前記駆動部を制御する調整機構制御部と、
をさらに備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記ピッチ検出部により、前記副走査方向に関して互いに隣接する2つのノズル間の各距離が検出され、
前記ピッチ調整機構により、前記複数のノズルの全てまたは1つを除く他の全てが前記副走査方向に個別に移動されることにより前記各距離が調整されることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記試験塗布面交換機構が、前記樹脂テープを前記試験塗布部へと繰り出すテープ供給部を備えることを特徴とする塗布装置。 - 基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板の主面に向けて流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルを前記基板の前記主面に平行な主走査方向に前記基板に対して相対的に移動するとともに、前記主走査方向への移動が行われる毎に前記基板を前記複数のノズルに対して前記主面に平行かつ前記主走査方向に垂直な副走査方向に相対的に移動するノズル走査機構と、
前記基板への非塗布時に前記複数のノズルからの流動性材料が試験塗布される試験塗布面を有する試験塗布部と、
前記試験塗布部を前記複数のノズルの前記主走査方向における相対移動の経路に対して進退させる試験塗布部進退機構と、
前記複数のノズルの前記主走査方向への相対移動により前記試験塗布面に塗布された流動性材料のパターンの画像を取得する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像に基づいて前記複数のノズルの前記副走査方向におけるピッチを検出するピッチ検出部と、
前記複数のノズルの前記副走査方向におけるピッチを調整するピッチ調整機構と、
前記試験塗布部の前記試験塗布面を新たな試験塗布面と交換する試験塗布面交換機構と、
を備え、
前記試験塗布面が、流動性材料に対する濡れ性が前記基板の前記主面と同等とされた試験片の主面であり、
前記試験塗布部が、前記試験片を保持する試験片保持部であり、
試験塗布時における前記複数のノズルと前記試験片保持部により保持された前記試験片の前記試験塗布面との間の距離が、塗布時の前記複数のノズルと前記基板の前記主面との間の距離に等しいことを特徴とする塗布装置。 - 請求項8に記載の塗布装置であって、
前記試験塗布部が、前記試験片の前記試験塗布面に当接して前記試験塗布面に垂直な方向における前記試験塗布面の位置を決定する試験塗布面当接部を備え、
前記試験塗布面交換機構が、
前記試験片の前記試験塗布面とは反対側において複数の待機試験片を保持するとともに前記試験片を前記複数の待機試験片を介して前記試験塗布面当接部に向けて付勢する試験片収容部と、
前記試験塗布部から前記試験片を取り出す試験片取出部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
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