JP5217350B2 - 偏芯測定装置 - Google Patents
偏芯測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5217350B2 JP5217350B2 JP2007266953A JP2007266953A JP5217350B2 JP 5217350 B2 JP5217350 B2 JP 5217350B2 JP 2007266953 A JP2007266953 A JP 2007266953A JP 2007266953 A JP2007266953 A JP 2007266953A JP 5217350 B2 JP5217350 B2 JP 5217350B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical system
- incident
- imaging optical
- subject
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
図1及び図2を参照して、第1実施形態に係る偏芯測定装置1の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る偏芯測定装置の構成図である。図2は、第1実施形態に係る偏芯測定装置に含まれるコーナーキューブの斜視図である。
図5を参照して、第2実施形態に係る偏芯測定装置21の構成について説明する。第2実施形態に係る偏芯測定装置21は、被検体Sの被検面Smに入射する光の光路と被検面Smで反射された光の光路とが異なる点で、第1実施形態に係る偏芯測定装置とは異なる。図5は、第2実施形態に係る偏芯測定装置の構成図である。
Claims (9)
- 被検体の偏芯量を測定する装置であって、
所定の焦点距離を有する結像光学系と、
前記結像光学系を透過後に入射した光を前記被検体に入射するように反射する第1の反射部材と、
前記被検体を介した後に入射した光を前記結像光学系に入射するように反射する第2の反射部材と、
前記装置の光軸に対する前記結像光学系を介した前記第2の反射部材での反射光の傾きを検出する傾き検出手段と、を備え、
前記第1及び第2の反射部材の何れか一方は入射された光を光軸に対して180度回転して入射方向に沿って反射する反射部材であって、他方は平面鏡であることを特徴とする偏芯測定装置。 - 入射された光を反射又は透過する光反射透過部材をさらに備え、
前記第1の反射部材は、前記結像光学系を透過後に入射した光を、前記光反射透過部材を介して前記被検体に入射するように反射し、
前記第2の反射部材は、前記被検体を介した後、前記光反射透過部材を介して入射した光を、前記光反射透過部材を介して前記結像光学系に入射するように反射することを特徴とする請求項1に記載の偏芯測定装置。 - 前記第1及び第2の反射部材のうち、入射された光を光軸に対して180度回転して入射方向に沿って反射する反射部材は、互いに直交する3つの反射面を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の偏芯測定装置。
- 前記第1及び第2の反射部材のうち、入射された光を光軸に対して180度回転して入射方向に沿って反射する反射部材は、コーナーキューブであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の偏芯測定装置。
- 前記第1及び第2の反射部材のうち、入射された光を光軸に対して180度回転して入射方向に沿って反射する反射部材は、コーナーリフレクタであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の偏芯測定装置。
- 前記結像光学系は、前記焦点距離を変えることができることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の偏芯測定装置。
- 前記結像光学系は、有限の焦点距離を有し、前記被検体の曲率中心から光軸に沿って前記焦点距離だけ離れた位置に配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の偏芯測定装置。
- 前記傾き検出手段は、前記結像光学系を透過した前記第2の反射部材での反射光を集光し、集光された光の光量重心の位置を観察することで、前記装置の光軸に対する前記結像光学系を透過した前記第2の反射部材での反射光の傾きを検出することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の偏芯測定装置。
- 光を遮蔽する遮蔽部と光を通過させる通過部とからなり、前記装置の光軸を中心に180度回転させることで前記遮蔽部の位置と前記通過部の位置とが反転するパターンを有する第1のマスク及び第2のマスクをさらに備え、
前記第1のマスクは、当該第1のマスクを通過後に前記被検体に光が入射する位置に配置され、
前記第2のマスクは、前記被検体を介した後に当該第2のマスクに光が入射する位置に配置され、
前記第1及び第2のマスクは、前記パターンが互いに180度反転するように配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項記載の偏芯測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007266953A JP5217350B2 (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 偏芯測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007266953A JP5217350B2 (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 偏芯測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009097883A JP2009097883A (ja) | 2009-05-07 |
JP5217350B2 true JP5217350B2 (ja) | 2013-06-19 |
Family
ID=40701036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007266953A Expired - Fee Related JP5217350B2 (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 偏芯測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5217350B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5459619B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-04-02 | 株式会社ニコン | 偏芯測定装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002214070A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-07-31 | Nikon Corp | 偏芯測定装置、偏芯測定方法及びこれらを用いて偏芯が測定された光学素子を組み込んでなる投影レンズ |
JP2005003667A (ja) * | 2003-05-16 | 2005-01-06 | Olympus Corp | 基準軸設定光学系、並びにこれを用いた偏心量測定機及び偏心測定方法 |
-
2007
- 2007-10-12 JP JP2007266953A patent/JP5217350B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009097883A (ja) | 2009-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
JP5569132B2 (ja) | 測距装置および撮像装置 | |
JP5713545B2 (ja) | 斜入射干渉計 | |
JP2007279287A (ja) | 構造化照明光学系、及びそれを備えた構造化照明顕微鏡 | |
JP4751156B2 (ja) | オートコリメータ及びそれを用いた角度測定装置 | |
JP2008096197A (ja) | 偏心測定装置 | |
US20200341379A1 (en) | Pattern drawing device | |
JP5217350B2 (ja) | 偏芯測定装置 | |
JPS6249925B2 (ja) | ||
JP6289353B2 (ja) | 波面収差計測装置 | |
JP2013213802A (ja) | 計測装置 | |
JP2014145684A (ja) | 測定装置 | |
JP5346670B2 (ja) | 非接触表面形状測定装置 | |
JP2008107274A (ja) | 焦点位置測定装置 | |
JP2009121927A (ja) | 偏芯測定装置及び偏芯測定方法 | |
JP5641278B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2009250927A (ja) | 偏芯測定装置 | |
JP5459619B2 (ja) | 偏芯測定装置 | |
JP2017072465A (ja) | 測量機の光学系 | |
JP2005315683A (ja) | シヤリング干渉計及び干渉計測装置 | |
JP3315806B2 (ja) | 像面測定装置 | |
JP2003140029A (ja) | 焦点検出装置及びそれを組合せた自動焦点顕微鏡 | |
JP2005140589A (ja) | 干渉計 | |
JPH08166209A (ja) | 多面鏡評価装置 | |
JP2005009977A (ja) | 光学系偏心測定装置及び光学系偏心測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100405 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110511 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120229 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120605 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130218 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5217350 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |