JP5212113B2 - 面発光レーザ - Google Patents
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Description
111、2112、311、411 第1の高屈折率層
112、113、2111、312、313、412、413 第1の低屈折率層
12、212、222、32、42 光共振器部
121、2121、321、421 活性層部
122、2122、2222、322、422 電界強度曲線
123、323、423 高屈折率層
13、213、33、43 第2の多層膜ブラック反射鏡
131、2132、331、431 第2の低屈折率層
132、2131、332、432 第2の高屈折率層
2123 大きなバンドギャップを有する層(低屈折率層)
50 n型GaAs基板
51、61、71、81、91 第1の多層膜ブラック反射鏡
511 SiドープGaAs層
512 SiドープAl0.9Ga0.1As層
513 n型Al0.9Ga0.1As層
514 SiドープAlGaAsグレーディット層
52、62、72、82、92 光共振器部
521、621、721、821、921 3重量子活性層
522 p型Al0.3Ga0.7As電子ブロック層
523、623、723 トンネル接合部
524 SiドープGaAs層
53、63、73、83、93 第2の多層膜ブラック反射鏡
531、631、731、831 SiO2層
532、632、732、832 アモルファスSi層
54、55 電極
611 n型GaAs層
612 n型AlGaAs層
613 n型AlGaAs層
614 SiドープAl0.98Ga0.02As層(電流狭窄層)
622 p型AlGaAs電子ブロック層
624、715、724、822 n型GaAsコンタクト層
711 GaAs層
712 AlOx酸化低屈折率層
713 n型Al0.9Ga0.1As層
714、913 n型AlGaAsグレーディット層
722 p型AlGaAs電子ブロック層
811 p型GaAs高屈折率層
812 p型AlGaAs低屈折率層
813 p型AlGaAs低屈折率層
814 CドープAl0.98Ga0.02As層(酸化狭窄層)
815 p型AlGaAsグレーディット層
911 n型GaAs高屈折率層
912 n型AlGaAs低屈折率層
931 p型AlGaAs低屈折率層
932 p型GaAs高屈折率層
933 p型AlGaAs酸化狭窄層(電流狭窄層)
以下に、具体的なVCSEL構造について実施例を用いて説明する。各実施例において、Lを光共振器の層厚とし、λを面発光レーザの発振波長とする。
Claims (7)
- 第1の層および該第1の層よりも屈折率の大きい第1の高屈折率層を含む第1の多層膜ブラッグ反射鏡と、第2の層および該第2の層よりも屈折率の大きい第2の高屈折率層を含む第2の多層膜ブラッグ反射鏡と、該第1および第2の多層膜ブラッグ反射鏡に挟まれ、光学利得を発生する活性層部を含む光共振器部とを有する面発光レーザであって、
前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡について前記光共振器部に接している層が前記第1の層であり、前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡について前記光共振器部に接している層が前記第2の層であり、
前記共振器部の実効的な屈折率neffが前記第1および第2の層よりも大きく、かつ、前記光共振器部の光路長neffLが面発光レーザの発振波長λと0.5λ<neffL≦0.7λの関係にあり、
前記光路長neffLから0.5λを引いた結果の値をΔLとすると、前記光共振器部と前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡との境界から前記ΔL離れた位置に前記活性層部が設けられ、
前記第1の層および前記第1の高屈折率層がn型の導電性を有する半導体層である、面発光レーザ。 - 前記第2の層および前記第2の高屈折率層が誘電体層であり、
前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡と前記光共振器部との境界が電界強度の腹の部位に位置し、
前記活性層部が前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡の境界から前記ΔL離れた位置に設けられた請求項1に記載の面発光レーザ。 - 前記光共振器部に、電流狭窄効果を有するトンネル接合部が電界強度の節の部位に設けられ、前記トンネル接合部よりも前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡に近い側にn型の導電性を有するコンタクト層が形成され、
前記コンタクト層の一部に電極が設けられた請求項2に記載の面発光レーザ。 - 前記第1の層の一部に電流狭窄構造が設けられ、
前記光共振器部に、トンネル接合部が電界強度の節の部位に設けられ、前記トンネル接合部よりも前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡に近い側にn型の導電性を有するコンタクト層が形成され、
前記コンタクト層の一部に電極が設けられた請求項2に記載の面発光レーザ。 - 前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡の一部が、半導体と、該半導体とは構成元素の異なる半導体を酸化させた層とで構成されている請求項3または4に記載の面発光レーザ。
- 第1の層および該第1の層よりも屈折率の大きい第1の高屈折率層を含む第1の多層膜ブラッグ反射鏡と、第2の層および該第2の層よりも屈折率の大きい第2の高屈折率層を含む第2の多層膜ブラッグ反射鏡と、該第1および第2の多層膜ブラッグ反射鏡に挟まれ、光学利得を発生する活性層部を含む光共振器部とを有する面発光レーザであって、
前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡について前記光共振器部に接している層が前記第1の層であり、前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡について前記光共振器部に接している層が前記第2の層であり、
前記共振器部の実効的な屈折率neffが前記第1および第2の層よりも大きく、かつ、前記光共振器部の光路長neffLが面発光レーザの発振波長λと0.5λ<neffL≦0.7λの関係にあり、
前記光路長neffLから0.5λを引いた結果の値をΔLとすると、前記光共振器部と前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡との境界から前記ΔL離れた位置に前記活性層部が設けられ、
前記第1の層および前記第1の高屈折率層が半導体層であり、
前記第2の層および前記第2の高屈折率層が誘電体層であり、
前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡と前記光共振器部との境界が電界強度の腹の部位に位置し、
前記第1の層および前記第1の高屈折率層がp型の導電性を有し、
前記第1の層の一部に電流狭窄構造が設けられ、
前記光共振器部に、前記活性層部よりも前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡に近い側にn型の導電性を有するコンタクト層が形成され、
前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡の一部にp型の導電性を有する第1の電極が設けられ、
前記コンタクト層に第2の電極が設けられた、面発光レーザ。 - 前記第2の層および前記第2の高屈折率層がp型の導電性を有する半導体層であり、
前記第1の多層膜ブラッグ反射鏡または前記第2の多層膜ブラッグ反射鏡の少なくとも一方に電流狭窄構造を有する請求項1に記載の面発光レーザ。
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