JP5204941B2 - 外部から励磁されるトロイダルプラズマチャンバ - Google Patents
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Description
本発明は、マイクロエレクトロニック回路、フラットパネルディスプレイ等の製造におけるワークピースの処理に用いられるプラズマリアクタ、及び特に、それらのためのプラズマ源に関する。
マイクロエレクトロニック回路においては、従来より増大する密度及び小さなフィーチャサイズに向かう傾向が続き、このようなデバイスのプラズマ処理をより困難にしている。例えば、コンタクトホールの直径は減少されるが、一方そのホールの深さは増大している。例えば、シリコンウエハ上の誘電体膜のプラズマ増強エッチング中に、ホトレジストに対する誘電体材料(例えば、二酸化シリコン)のエッチング選択性は、エッチングプロセスがコンタクトホールをエッチングするのに充分でなければならない。コンタクトホールの直径はホールを規定するホトレジストマスクを邪魔することなくその深さの10倍から15倍である。細かなホトリソグラフに対してより短い波長の光に向かう最近の傾向は薄いホトレジスト層を必要とし、その結果誘電体とホトレジストのエッチング選択性は、いままで以上に大きくなければならないので、この仕事(タスク)を非常に困難にする。この要求は、比較的遅いエッチング速度を有するプロセス、例えば容量性結合プラズマを用いる誘電体エッチングプロセスを使用することによって容易に受け入れられる。容量性結合プラズマのプラズマ密度は、誘導性結合プラズマの密度より比較的小さく、容量性結合プラズマのエッチングプロセスは、誘電体とホトレジストの良好なエッチング選択性を示す。容量性結合プロセスの問題点は、それが遅く、従って生産性が比較的小さいことである。このようなエッチングプロセスに生じる他の問題は、プラズマが一様に分布しないことである。
ワークピースを処理するためのプラズマリアクタは、エンクロージャを有し、このエンクロージャ内のワークピース支持体は、エンクロージャの上方にある部分に面しており、このワークピース支持体とエンクロージャの上方にある部分はワークピース支持体の直径を横切って広がる、それらの間にプロセス領域を画定する。このエンクロージャは、ワークピース支持体のほぼ反対側の近くにそれらを介して少なくとも第1と第2の開口を有する。プロセス領域の外側にある少なくとも1つの中空導管が第1と第2の開口に接続され、導管を通して延び、プロセス領域を横切る第1のトロイダルパス(通路)を与える。RF電力を受けるのに適合された第1のコイルアンテナが中空導管の内部に誘導的に結合され、トロイダルパスにプラズマを維持することができる。
プラズマリアクタチャンバの概要
図1を参照すると、円筒上の側壁105と天井110によって囲まれたプラズマリアクタチャンバ100が半導体ウエハまたはワークピース120を支持するためのウエハペデスタルを有している。プロセスガス源125が側壁105を通して延びるガス入口ノズル130A−130Dを介してプロセスガスをチャンバ100へ供給する。真空ポンプ135がチャンバ100内の圧力を制御し、圧力を一般に0.5ミリトル(mT)以下に保つ。半分のトロイダル中空チューブのエンクロージャまたは導管(コンジット)150が半円形状に天井の上に延びている。導管150は、天井110から外側外方に延びているけれども、それにも拘わらずリアクタの一部であり、チャンバの壁を形成している。内部的には、それはリアクタの他の場所に存在している同じ排気された雰囲気を共有している。実際に、真空ポンプ135は、図1に示されたチャンバの主な部分の底部に結合される代わりに、これは好適ではないけれども導管150に結合されてもよい。導管150は、リアクタの天井110における第1の開口155の周りにシールされた1つの開口端150aとリアクタの天井110における第2の開口160の周りにシールされた他の開口端150bを有する。2つの開口またはポート150、160は、ウエハ支持ペデスタル115のほぼ反対側に配置されている。中空の導管150は、それが1つの開口においてチャンバの主な部分を出て、他の開口で再び入る流路を提供している点で、リエントラントである。この明細書において、導管は中空であり、プラズマが流れることができる閉じたパスの一部を与えることおいて、導管150は半分のドロイダルとして記載されており、全体の通路はウエハ支持ペデスタル115の上にある全体のプロセス領域を横切って流れることによって完成される。用語”Atorroidal”@の使用にもかかわらず、通路の軌道ばかりでなく通路または導管150の断面形状も円形または非円形、正方形、矩形または他のあらゆる形状、即ち規則的な形状または不規則な形状であることができる。
RF誘導性磁界が比較的長い閉じたトロイダル通路(即ち、ウエハとリアクタの天井間のギャップ長に対して長い)を通して吸収され、その結果、RF電力吸収が大きな領域上に分布されることは、大きな利点である。結果的に、ウエハと天井のギャップ(即ち、絶縁ギャップ152で混乱されないように、図2に最もよく示されたプロセス領域121)の近傍におけるRF電力は比較的小さく、従って、RF磁界からのデバイスの損傷の可能性を減少する。反対に、従来の誘導結合リアクタにおいて、RF電力の全ては狭いウエハと天井のギャップ内で吸収されるので、RF電力はその領域に非常に集中される。更に、この事実は、ウエハと天井のギャップ(他の利点の追求において)を狭くする能力をしばしば制限するし、または代わりに、ウエハの領域にRF電力の大きな集中を必要とする。従って、本発明は、従来技術の長く続いている制限を克服する。この特徴は、上述されたウエハを覆うプロセス領域の大きさの劇的な減少を通して反応性ガスの対流時間を減少することによってプロセス性能を向上する。
ウエハ上のプラズマ通路の断面積を減少することによってウエハ表面に近くに高プラズマ密度を実現する1つの方法は、ウエハと天井のギャップ長を減少することである。これは、単に天井の高さを減少することによって、または図2に示されるように、ウエハ上に導電性のガス分配プレート、即ちシャワーヘッドを導入することによって達成される。図2のガス分配シャワーヘッド210は、ガス源125に接続され、複数のガスノズル開口230を通してウエハ120上のプロセス領域と連通するガス分配プレナム220からなる。導電性シャワーヘッド210の利点は、2つある。即ち、第1に、そのウエハへの接近した位置によって、シャワーヘッドはウエハ表面上のプラズマ通路を圧縮し、それによりその近傍でプラズマ流の密度を増大する。第2に、シャワーヘッドはウエハの全表面近く及びウエハ表面を横切って、均一な電位規準または接地面を与える。
本発明は、高密度プラズマを伴って時々生じる好ましくないエッチング選択性の問題を解決する。図1と図2のリアクタは、容量結合プラズマリアクタのエッチング選択性(約7:1)と同程度に高いに酸化シリコンとホトレジストのエッチング選択性を有し、一方、高いエッチング速度を与えることは、誘導結合プラズマリアクタのエッチング速度に近づく。この成功の理由は、図1と図2のリアクタ構造が、ウエハ120上のプラズマ領域にフリーなフッ素の発生率を減少するように、反応性プロセスガス、一般にフルオロカーボンガスの分離の程度を減少することであると考えらる。従って、フルオロカーボンガスから分離した他の種に対してプラズマ中のフリーなフッ素の割合が望ましく減少される。これらの他の種は、フルオロカーボンプロセスガスからプラズマ中に形成され、保護的なポリマーコーティングとしてホトレジスト上に堆積される保護的なカーボンの豊富なポリマー先駆種を含む。それらは、更に、フルオロカーボンプロセスガスからプラズマ中に形成される反応性のないエッチャント種、例えばCFやCF2を含む。フリーなフッ素は、それが二酸化シリコンを攻撃する程度活発にホトレジスト及びその上に形成される保護的なポリマーコーティングを攻撃する傾向にあり、従って、酸素−ホトレジストのエッチング選択性を減少する。他方、反応性のないエッチング種、例えばCFやCF2は、ホトレジスト及びその上に形成される保護的なポリマーコーティングをよりゆっくり攻撃する傾向にあり、従って優れたエッチング選択性を与える。
チャンバ圧力は、0.5T以下であり、そして1mT程度に低くすることができる。プロセスガスは、約20mTに維持されるチャンバ圧力を有し、150cc/mのアルゴンと共に約15cc/mの流速でガス分配シャワーヘッドを通してチャンバ100へ導入されるC4F8である。代わりに、アルゴンガスの流速は650cc/mに、またチャンバ圧力は60mTに増加することができる。アンテナ170は、13MHzで約500ワットのRF電力で励起される。ウエハーシャワーヘッド間のギャップは、約0.3〜約2インチである。ウエハペデスタルに加えられるバイアスRF電力は、13MHz、2000ワットである。他の周波数の選択がなされてもよい。コイルアンテナ170に加えられるソース電力は、50KHz程度の低さか、または13MHzの数倍の高さ、或いはそれより高くてもよい。ウエハペデスタルに加えられるバイアス電力についても同じことである。
ウエハまたはワークピースの近傍のトロイダルプラズマ流路の閉じ込めは、他の性能基準に対し著しいトレードオフのない2つの独立した利点を有する。(1)ウエハ上のプラズマ密度は、プラズマのソース電力の如何なる増加の必要性もなく増加され、(2)ホトレジストまたは他の材料に対するエッチングの選択性は、上述のように増加される。従来のプラズマリアクタにおいて、エッチングの選択性を増加する同じステップによってプラズマイオン密度を増加することは、不可能ではないにしても実用的ではなかった。従って、本発明のトロイダルプラズマソースによって実現される二重の利点は、従来技術からの革新的な出発であるようである。
図9は、図1の実施の形態のサイドアンテナ170が天井110と中空導管150の間の空間内に収まった小さなアンテナ910によって置き換えられた変形例を示す。好ましくは、このアンテナ910は、中空導管150に関して中央に置かれた単一巻線である。
小さなデバイスサイズ及び高いデバイス密度に向かう最近の傾向に加えて、他の傾向は大きなウエハの直径に向かっている。例えば、最近、12インチの直径のウエハが製造されるようになっており、将来的には、恐らくさらに大きな直径のウエハになるであろう。その利点は、ウエハ毎の集積回路のダイの数が非常に大きいために、スループットが大きくなることである。この欠点は、プラズマ処理において、大きな直径のウエハを横切って均一なプラズマを維持することが困難なことである。本発明の以下の実施の形態は、特に大きな直径のウエハ、例えば12インチ直径のウエハの全表面にわたって均一なプラズマイオン密度分布を与えるのに適合されている。
本発明のリアクタは、他の性能の特徴、例えばエッチング速度を犠牲にすることなくエッチングの選択度を増加するためのいろいろな機会を提供する。例えば、ウエハの近傍におけるトロイダルプラズマ流を狭めることは、エッチングの選択度を向上するばかりでなく、同時にプラズマイオン密度を増加することによってエッチング速度を増加する。従来のリアクタは、ワークピース上でエッチング速度またはプラズマイオン密度を増加する同じメカニズムによってエチングの選択度は増加しないと考えられている。
Claims (18)
- 基板を処理するための排気された内部環境を画定するプラズマチャンバであって、
基板支持体と、
前記基板支持体に対して間隔をおいて対面する関係にあり、前記基板支持体に隣接する当該チャンバの前記内部環境にプロセスガスを流すように適合された、開口を有するガス分配プレートを含む天井と、
を具備し、
前記ガス分配プレート及び前記基板支持体がそれらの間に基板処理領域を画定し、
さらに、
前記ガス分配プレートに結合された、少なくとも反応性種のプロセスガス源と、
前記ガス分配プレートの対向する両側において、前記天井の各開口を通って前記基板処理領域に連通する端部を有する中空導管であって、該中空導管は前記ガス分配プレートの上に設けられ、該中空導管の内部が前記内部環境を共有するようになっている、中空導管と、
前記導管の一部の周囲に設けられたコアと、該コアの一部の周囲に設けられた誘導性巻線と、該誘導性巻線に結合されたRF電源と、
を具備し、
前記導管が、該導管内に処理ガスのRF磁界による放射を受けて、該導管の前記内部の周りにかつ前記チャンバの前記内部環境内の前記基板処理領域を横切って延びる通路にプラズマを維持する、ように構成されている、
ことを特徴とするプラズマチャンバ。
- 前記通路は、再入可能なものであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記通路は、トロイダルであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記プラズマ流は、前記通路の周りを循環することを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記導管の断面積は、基板の処理領域の断面積を実質的に越えることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記プラズマのイオン密度は、全基板支持体を横切って実質的に均一であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記プラズマの誘導された電界ラインは、導管の端部の一方から他方へ前記基板のプラズマ処理領域を横切って延びていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記電界ラインは、平行であることを特徴とする請求項7に記載のプラズマチャンバ。
- 前記電界の強さは、前記基板のプラズマ処理領域を横切って一様に分布されていることを特徴とする請求項8に記載のプラズマチャンバ。
- 前記導管は、それぞれの端部間の中間に絶縁ギャップを有し、導管が前記端部間に連続した導電性通路を生じるのを妨げることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記導管は、前記チャンバの直径より小さな外径を有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記導管の各端部は、前記基板支持体の横方向の径と少なくとも同程度の大きさの横方向の径を有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- さらに、前記基板支持体に結合されるバイアス電源を有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- さらに、前記導管へのガス注入入口を有することを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記ガス注入入口は、希釈ガスを流すように適合されており、且つ前記ガス分配プレートは、反応性プロセスガスを主に流すように適合されていることを特徴とする請求項14に記載のプラズマチャンバ。
- 前記ガス分配プレートは、異なる半径方向の位置において不活性ガス及び反応性プロセスガスのいろいろな混合物を流すように適合されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記基板処理領域における前記基板支持体の平面に略垂直な軸に沿った前記通路の高さが、該通路におけるいずれの場所よりも低くなっており、これにより、該通路におけるいずれのプラズマイオン密度に比べて、前記基板処理領域におけるプラズマイオン密度を高くしている、請求項1に記載のプラズマチャンバ。
- 前記中空導管を横切るように設けられ、前記ガス分配プレートの対向する第2の両側において前記基板処理領域に連通する第2の端部を有する、第2の中空導管、をさらに具備する、請求項1に記載のプラズマチャンバ。
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